JPS60193967U - 真空蒸着装置 - Google Patents

真空蒸着装置

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JPS60193967U
JPS60193967U JP8277784U JP8277784U JPS60193967U JP S60193967 U JPS60193967 U JP S60193967U JP 8277784 U JP8277784 U JP 8277784U JP 8277784 U JP8277784 U JP 8277784U JP S60193967 U JPS60193967 U JP S60193967U
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JP
Japan
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evaporation
instruction output
vacuum deposition
deposition equipment
vacuum
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Application number
JP8277784U
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English (en)
Inventor
邦文 高岡
Original Assignee
日新電機株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例である真空蒸着装置の模式
図である。第２図は液位と蒸着分布との関係を示すＣｏ
Ｓｎθ則蒸着分布図である。 ３・・・・・・蒸発物質、６・・曲蒸発物質供給装置、
７・・・・・・供給蒸発物質材、９ａ、９ｂ・・曲膜厚
センサー、１０ａ、１０ｂ・・・・・・検出面、１３・
・曲用力比信号発生回路、１４・・四個差信号発生回路
、１５・・・・・・基準比信号発生回路、１６・・開駆
動回路。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 開口を有する蒸発容器内の蒸発物質を被蒸着体に蒸着さ
    せるための真空蒸着装置であって、前記蒸発容器の前記
    開口に対してそれぞれ相対的に異なる位置関係で設けら
    れ、それぞれの位置における蒸着速度を検出する複数の
    蒸着速度検出器と、 前記蒸着速度検出器のそれぞれに接続され、前記蒸着速
    度検出器のそれぞれの出力値の間の相対的関係に応じた
    指示出力を発生する指示出力発生回路と、 前記指示出力に応じて蒸発物質供給装置を駆動させる駆
    動回路とを備えた真空蒸着装置。
JP8277784U 1984-06-04 1984-06-04 真空蒸着装置 Pending JPS60193967U (ja)

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