JPS60145307U - 膜厚測定装置 - Google Patents

膜厚測定装置

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Publication number
JPS60145307U
JPS60145307U JP3267184U JP3267184U JPS60145307U JP S60145307 U JPS60145307 U JP S60145307U JP 3267184 U JP3267184 U JP 3267184U JP 3267184 U JP3267184 U JP 3267184U JP S60145307 U JPS60145307 U JP S60145307U
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JP
Japan
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film thickness
measuring device
thickness sensor
thickness measuring
substrate
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Pending
Application number
JP3267184U
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English (en)
Inventor
岩谷　靖之
森　栄作
美濃和　芳文
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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Priority to JP3267184U priority Critical patent/JPS60145307U/ja
Publication of JPS60145307U publication Critical patent/JPS60145307U/ja
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はクラスターイオンビームによる蒸着装置の構成
図、第２図は従来の膜厚測定装置を示す構成図、第３図
はこの考案の一実施例を示す構成図、第４図及び第５図
は動作状態を示す説明図である。 図において、１は真空容器、３は膜厚センサ、　　　。 ４は基板、５はチューブミ７は駆動機構、８は取付板、
９は回転板、１０は回転軸を示す。なお、各図中同一符
号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 蒸着膜が形成される基板と対向した膜厚センサを駆動機
    構によって上記基板との対向位置を変えて、上記膜厚セ
    ンサの出力を可撓性のチューブを介して取り出すように
    したものにおいて、上記部、動機構に連結された取付部
    材と上記膜厚センサとを上記基板の面とほぼ垂直な回転
    軸で連結し、上記膜厚センサが上記回転軸を中心にして
    回動自在にしたことを特徴とする膜厚測定装置。
JP3267184U 1984-03-06 1984-03-06 膜厚測定装置 Pending JPS60145307U (ja)

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JP3267184U JPS60145307U (ja) 1984-03-06 1984-03-06 膜厚測定装置

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JP3267184U JPS60145307U (ja) 1984-03-06 1984-03-06 膜厚測定装置

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JPS60145307U true JPS60145307U (ja) 1985-09-26

Family

ID=30534401

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JP3267184U Pending JPS60145307U (ja) 1984-03-06 1984-03-06 膜厚測定装置

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