JPS6011102A - スケ−ル - Google Patents
スケ−ルInfo
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- JPS6011102A JPS6011102A JP11819683A JP11819683A JPS6011102A JP S6011102 A JPS6011102 A JP S6011102A JP 11819683 A JP11819683 A JP 11819683A JP 11819683 A JP11819683 A JP 11819683A JP S6011102 A JPS6011102 A JP S6011102A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 abstract description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はスケールに関する。
放電加工装置に於ける電極又は被加工体等の位置、高速
エンジンレースの主軸の回転角、切込みや加工送り等を
デジタル表示するスケールとしては従来は磁気スケール
が用いられているが、従来の磁気スケールは分解能が低
く、ノイズによる誤動作が不可避であった。
エンジンレースの主軸の回転角、切込みや加工送り等を
デジタル表示するスケールとしては従来は磁気スケール
が用いられているが、従来の磁気スケールは分解能が低
く、ノイズによる誤動作が不可避であった。
本発明は叙上の観点に立って成されたものであって、そ
の目的とするところは、極めてシンプル且つコンパクト
であり、間隙や該間隙を構成する二物体の形状に左右さ
れることなく利用することができ時定数が極めて短く、
測定値のデジタル表示や遠隔伝送等も容易な、高精度の
スケールを提供しようとするものである。
の目的とするところは、極めてシンプル且つコンパクト
であり、間隙や該間隙を構成する二物体の形状に左右さ
れることなく利用することができ時定数が極めて短く、
測定値のデジタル表示や遠隔伝送等も容易な、高精度の
スケールを提供しようとするものである。
而して、その要旨とするとこは、軸方向の所定寸法毎に
側面に疵を付けたオプチカルファイバと、上記オプチカ
ルファイバの少り左も一皓部から投光する光源と、上記
オプチカルファイバに設れられた疵からの漏光を検出す
る光検出装置とによって構成するものである。
側面に疵を付けたオプチカルファイバと、上記オプチカ
ルファイバの少り左も一皓部から投光する光源と、上記
オプチカルファイバに設れられた疵からの漏光を検出す
る光検出装置とによって構成するものである。
以下、図面により本発明の詳細を具体的に説明する。
第1図は、本発明にかかるスケールの一実施例を示す説
明図、第2図は、その回路構成を示す説明図である。
明図、第2図は、その回路構成を示す説明図である。
第1図及び第2図中、1は繊維状、線状、棒状、又は長
尺板状等のオプチカルファイバ、la、1aは上記オプ
チカルファイバ1の側面軸方向に所定の寸法毎に入れら
れた疵で、例えばダイヤモンドその他の機械的工具体に
よって付けられた微小切込み、微小溝、研削面、全残溜
部、或いはレーザ、電子ビーム、又は高温刃体により付
けられた疵や全残溜部である。2は上記オプチカルファ
イバに一方の端部から投光するレーザ発振器、3は集積
フォトランジスタ等によって構成された光検出装置、4
は反射鏡、5はレンズ、6o乃至610は集積フォトラ
ンジスタ、l、乃至110は疵1a、1aの実像、7−
0乃至7−9は集積フ第1・ランジスタロ。乃至6θの
信号を受けることによりパルス信号を発生するパルス発
生回路、8及び9はバイステーブルエレメント、10及
び11はアンド回路、12はリバーシブルカウンタ12
−1及び端数表示カウンタ12−2とによって構成され
ているカウンタ、13は変換回路である。
尺板状等のオプチカルファイバ、la、1aは上記オプ
チカルファイバ1の側面軸方向に所定の寸法毎に入れら
れた疵で、例えばダイヤモンドその他の機械的工具体に
よって付けられた微小切込み、微小溝、研削面、全残溜
部、或いはレーザ、電子ビーム、又は高温刃体により付
けられた疵や全残溜部である。2は上記オプチカルファ
イバに一方の端部から投光するレーザ発振器、3は集積
フォトランジスタ等によって構成された光検出装置、4
は反射鏡、5はレンズ、6o乃至610は集積フォトラ
ンジスタ、l、乃至110は疵1a、1aの実像、7−
0乃至7−9は集積フ第1・ランジスタロ。乃至6θの
信号を受けることによりパルス信号を発生するパルス発
生回路、8及び9はバイステーブルエレメント、10及
び11はアンド回路、12はリバーシブルカウンタ12
−1及び端数表示カウンタ12−2とによって構成され
ているカウンタ、13は変換回路である。
而して、オプチカルファイバ1の側面軸方向には所定の
寸法毎に、例えば約0.01〜0.5fl深さ程度又は
それ以下の微小線状のV溝の如き疵1a、1aが入れら
れていると共に、上記流1a、laに対向して上記オプ
チカルファイバ1の中心軸方向に摺動自在に光検出袋N
3が設けられ、更に上記オプチカルファイバ1内にレー
ザ発振器2からレーザ光が発射されていて、これにより
光検出装置3の移動位置が知られるように構成されてい
る。
寸法毎に、例えば約0.01〜0.5fl深さ程度又は
それ以下の微小線状のV溝の如き疵1a、1aが入れら
れていると共に、上記流1a、laに対向して上記オプ
チカルファイバ1の中心軸方向に摺動自在に光検出袋N
3が設けられ、更に上記オプチカルファイバ1内にレー
ザ発振器2からレーザ光が発射されていて、これにより
光検出装置3の移動位置が知られるように構成されてい
る。
即ち、オプチカルファイバ1内にその端部から発射人力
さたレーザ発振器2からのレーザ光は、直接か又は反射
鏡4によって反射された後、上記オプチカルファイバ1
の側面に所定の寸法毎に付けられている疵1a、laか
ら漏光する。
さたレーザ発振器2からのレーザ光は、直接か又は反射
鏡4によって反射された後、上記オプチカルファイバ1
の側面に所定の寸法毎に付けられている疵1a、laか
ら漏光する。
而して、レンズ5はこれらの漏光により疵1a。
1aの実像11、I2 ・・・・110を集積フォトラ
ンジスタロo、61 ・・・・610が排列された線上
に生じさせる。
ンジスタロo、61 ・・・・610が排列された線上
に生じさせる。
集積フォトランジスタロ。、61 ・・・・610は、
10個の実像11乃至110の存在する領域、即ち、実
像I1乃至11[+の距離を11等分する′ように配置
されている。図示されている状態では、一つ実像11は
丁度集積フォトランジスタロoの上に生じており、カウ
ンタ12の表示は1714.0となっている。このこと
は、光検出装置3の基準位置からの移動量が疵ja、l
aのピッチの1714倍であること、換言すればこの実
像11を生じさせた疵が0点から171A番目のもので
あることを示すものである。
10個の実像11乃至110の存在する領域、即ち、実
像I1乃至11[+の距離を11等分する′ように配置
されている。図示されている状態では、一つ実像11は
丁度集積フォトランジスタロoの上に生じており、カウ
ンタ12の表示は1714.0となっている。このこと
は、光検出装置3の基準位置からの移動量が疵ja、l
aのピッチの1714倍であること、換言すればこの実
像11を生じさせた疵が0点から171A番目のもので
あることを示すものである。
而して、光検出装置3が図中右方向に0.1ピツチだけ
移動すると、集積フォトランジスタロ1が次の疵、即ち
1715番目の疵の実像I2の上に来るので、上記集積
)Aトランジスタ61から信号が発信され、これを受け
たパルス発生回路7−1がパルス信号を発生し、このパ
ルス信号が変換回路13を介してカウンタ12の端数表
示カウンタ12−2に入力され、上記端数表示カウンタ
12−2の表示が1に変る。
移動すると、集積フォトランジスタロ1が次の疵、即ち
1715番目の疵の実像I2の上に来るので、上記集積
)Aトランジスタ61から信号が発信され、これを受け
たパルス発生回路7−1がパルス信号を発生し、このパ
ルス信号が変換回路13を介してカウンタ12の端数表
示カウンタ12−2に入力され、上記端数表示カウンタ
12−2の表示が1に変る。
以下、光検出袋W3が引き続き右方向に移動を続けると
、集積フォトランジスタロ2・・・・・68が順次疵の
実像■3・・・・・I9の結ばれる所に移動し、パルス
発生回路7−2.7−3・・・・・7−9が順次トリガ
されるので、端数表示カウンタ12−2の表示が順次2
・・・・・9と変って行く。
、集積フォトランジスタロ2・・・・・68が順次疵の
実像■3・・・・・I9の結ばれる所に移動し、パルス
発生回路7−2.7−3・・・・・7−9が順次トリガ
されるので、端数表示カウンタ12−2の表示が順次2
・・・・・9と変って行く。
一方、リバーシブルカウンタ12−1によるカウントは
、・バイステーブルエレメント8.9及びアンド回路1
0.11によって行われる。
、・バイステーブルエレメント8.9及びアンド回路1
0.11によって行われる。
光検出装置3が正の方向、即ち図中右方向に移動する場
合、パルス発生回路7−9からのパルス信号によってバ
イステーブルエレメント8がリセットされ、然る後、パ
ルス発生回路7−0からのパルス信号がアンド回1?1
G10に人力されると、そのパルスはアンド回路10を
通過してリバーシブルカウンタ12−1によりカウント
される。この時は同時に上記バイステーブルエレメント
8はセ・ノドされるので、以後光検出袋w3が更に正方
向に移動した後逆方向に移動してパルス発生回路7−0
を再トリガしてもその際パルス発生回路7−0の出力パ
ルスはアンド回路10を通過せず、カウントされない。
合、パルス発生回路7−9からのパルス信号によってバ
イステーブルエレメント8がリセットされ、然る後、パ
ルス発生回路7−0からのパルス信号がアンド回1?1
G10に人力されると、そのパルスはアンド回路10を
通過してリバーシブルカウンタ12−1によりカウント
される。この時は同時に上記バイステーブルエレメント
8はセ・ノドされるので、以後光検出袋w3が更に正方
向に移動した後逆方向に移動してパルス発生回路7−0
を再トリガしてもその際パルス発生回路7−0の出力パ
ルスはアンド回路10を通過せず、カウントされない。
また、光検出装置3が負の方向に移動し減算等が行われ
る場合には、パルス発生回路7−0からのパルス信号に
よっ゛ζバイステーブルエレメント9がリセフトされ、
然る後、パルス発生回路7−9からのパルス信号がアン
ド回路11を介してリバーシブルカウンタ12−1の減
算入力端子に加えられ、同時にバイステーブルエレメン
ト9がセントされるので、この場合にも光検出装置3の
移動方向が変っても誤動作が生じない。
る場合には、パルス発生回路7−0からのパルス信号に
よっ゛ζバイステーブルエレメント9がリセフトされ、
然る後、パルス発生回路7−9からのパルス信号がアン
ド回路11を介してリバーシブルカウンタ12−1の減
算入力端子に加えられ、同時にバイステーブルエレメン
ト9がセントされるので、この場合にも光検出装置3の
移動方向が変っても誤動作が生じない。
而して、このスケールは柔軟であるから適宜の形状とす
ることができ、且つ光検出装置とは接触しないからスケ
ールは高速回転体等にも取り付けられる。
ることができ、且つ光検出装置とは接触しないからスケ
ールは高速回転体等にも取り付けられる。
本発明は紅玉の如く構成されるので、本発明にかかるス
ケールによる時には、時定数が極めて短く、測定値のデ
ジタル表示や遠隔伝送等も容易であり、しかもコンパク
トで高精度のスケールであるので大変に商品価値の高い
スケールであると云える。
ケールによる時には、時定数が極めて短く、測定値のデ
ジタル表示や遠隔伝送等も容易であり、しかもコンパク
トで高精度のスケールであるので大変に商品価値の高い
スケールであると云える。
なお、本発明は紅玉の実施例に限定されるものではない
。即ち、例えば、本実施例に於ては検出装置に集積フォ
トランジスタを使用したが、同様な機能を有するもので
あれば他の公知の半導体素子を利用することができ、ま
た、オプチカルファイバ内への照射もレーザ光に限定さ
れず他の公知の光源を利用できるものである。その他、
オプチカルファイバ付ける疵の数及びその形状、バーニ
アの構成等は本発明の目的の範囲内で自由に設計変更で
きるものであって、本発明はそれらの総てを包摂するも
のである。
。即ち、例えば、本実施例に於ては検出装置に集積フォ
トランジスタを使用したが、同様な機能を有するもので
あれば他の公知の半導体素子を利用することができ、ま
た、オプチカルファイバ内への照射もレーザ光に限定さ
れず他の公知の光源を利用できるものである。その他、
オプチカルファイバ付ける疵の数及びその形状、バーニ
アの構成等は本発明の目的の範囲内で自由に設計変更で
きるものであって、本発明はそれらの総てを包摂するも
のである。
fA1図は、本発明にかかるスケールの一実施例を示す
説明図、第2図は、その回路構成を示す説明図である。 1−−−−−−・−−一一−−−−−−−−−−・−−
−−オプチカルファイバl a −−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−・−疵2−−−−−−−−−
−−−−−・−−−−−−−−一−レーザ発振器3−−
−−−・−−−−−一−−−−−−−−−−−−−−−
光検出装置4・−・−−−一−・−−一−−−−−−−
−−〜−−−−−反射鏡5−・−一−−−−−−−−−
−−−−−−−一・−一−−レンズ60 ・ 61 ・
62 63・ 64・ 65 6e、6? 、6B 69.610−−’−集積フォトランジスタ7−0.7
−1 7−2.7−3 7−4.7−5 7−6.7−8 7−9−−−−−−−−−パルス発生回路8.9−−−
−−−−−一・−=−一一〜−−−−バイステーブルエ
レメント10.11−−−−−−−・−−−−一−−−
−−−−−アンド回路12−−−−−−−−−−−−・
−一−−−−−−−−カウンタ12−1−−−−−−−
−−−−−−−−−リバーシブルカウンタ12−2−−
−−−−−−−−−〜−−−−−−−一端数表示カウン
ク13−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
一変換回路11・ I2・ I3 I4、I5、I6 I7 ・ I8 ・ I9 1 to −−−−−−−一疵1a、laの実像特許出
願人 株式会社井上ジャパックス研究所代理人(152
4)最上正太部
説明図、第2図は、その回路構成を示す説明図である。 1−−−−−−・−−一一−−−−−−−−−−・−−
−−オプチカルファイバl a −−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−・−疵2−−−−−−−−−
−−−−−・−−−−−−−−一−レーザ発振器3−−
−−−・−−−−−一−−−−−−−−−−−−−−−
光検出装置4・−・−−−一−・−−一−−−−−−−
−−〜−−−−−反射鏡5−・−一−−−−−−−−−
−−−−−−−一・−一−−レンズ60 ・ 61 ・
62 63・ 64・ 65 6e、6? 、6B 69.610−−’−集積フォトランジスタ7−0.7
−1 7−2.7−3 7−4.7−5 7−6.7−8 7−9−−−−−−−−−パルス発生回路8.9−−−
−−−−−一・−=−一一〜−−−−バイステーブルエ
レメント10.11−−−−−−−・−−−−一−−−
−−−−−アンド回路12−−−−−−−−−−−−・
−一−−−−−−−−カウンタ12−1−−−−−−−
−−−−−−−−−リバーシブルカウンタ12−2−−
−−−−−−−−−〜−−−−−−−一端数表示カウン
ク13−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
一変換回路11・ I2・ I3 I4、I5、I6 I7 ・ I8 ・ I9 1 to −−−−−−−一疵1a、laの実像特許出
願人 株式会社井上ジャパックス研究所代理人(152
4)最上正太部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)軸方向の所定寸法毎に側面に疵を付けたオプチカル
ファイバと、上記オプチカルファイバの少くとも一端部
から投光する光源と、上記オプチカルファイバに設れた
疵からの漏光を検出する光検出装置とから成るスケール
。 2)上記光源がレーザ発振器である特許請求の範囲第1
項記載のスケール。 3)上記光検出装置が集積フォトランジスタによって構
成されている特許請求の範囲第1項記載のスケール。 4)上記光検出装置が副尺付である特許請求の範囲第1
項又は第3項記載のスケール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11819683A JPH0235243B2 (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | Sukeeru |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11819683A JPH0235243B2 (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | Sukeeru |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6011102A true JPS6011102A (ja) | 1985-01-21 |
JPH0235243B2 JPH0235243B2 (ja) | 1990-08-09 |
Family
ID=14730543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11819683A Expired - Lifetime JPH0235243B2 (ja) | 1983-07-01 | 1983-07-01 | Sukeeru |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0235243B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5940358U (ja) * | 1982-09-04 | 1984-03-15 | コニカ株式会社 | 蒸着物質収容器 |
WO2011135941A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | オリンパス株式会社 | 光ポテンショメータ及びマニピュレータ |
-
1983
- 1983-07-01 JP JP11819683A patent/JPH0235243B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5940358U (ja) * | 1982-09-04 | 1984-03-15 | コニカ株式会社 | 蒸着物質収容器 |
WO2011135941A1 (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-03 | オリンパス株式会社 | 光ポテンショメータ及びマニピュレータ |
CN102859329A (zh) * | 2010-04-30 | 2013-01-02 | 奥林巴斯株式会社 | 光位移传感器和机械手 |
US8933387B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-01-13 | Olympus Corporation | Optical potentiometer and manipulator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0235243B2 (ja) | 1990-08-09 |
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