JPH0174276U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0174276U JPH0174276U JP1987167521U JP16752187U JPH0174276U JP H0174276 U JPH0174276 U JP H0174276U JP 1987167521 U JP1987167521 U JP 1987167521U JP 16752187 U JP16752187 U JP 16752187U JP H0174276 U JPH0174276 U JP H0174276U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- molecular beam
- grows
- crystals
- chamber
- crystal growth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 2
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の第１の実施例を示す縦断面図
、第２図は本考案の第２の実施例を示す縦断面図
である。 １……成長室、２……分子線セル、３……分子
線セルロツク室、４……クルーシブル（るつぼ）
、５……セルヒーター、６……セル用熱電対、７
……ソース（蒸発源材料）、８……ゲートバルブ
、９……ゲートバルブ（排気用）、１０……基板
、１１……メインシヤツター、１２……基板加熱
ヒーター用熱電対、１３……基板加熱ヒーター、
１４……基板ホルダー、１５……セルシヤツター
。
、第２図は本考案の第２の実施例を示す縦断面図
である。 １……成長室、２……分子線セル、３……分子
線セルロツク室、４……クルーシブル（るつぼ）
、５……セルヒーター、６……セル用熱電対、７
……ソース（蒸発源材料）、８……ゲートバルブ
、９……ゲートバルブ（排気用）、１０……基板
、１１……メインシヤツター、１２……基板加熱
ヒーター用熱電対、１３……基板加熱ヒーター、
１４……基板ホルダー、１５……セルシヤツター
。
Claims (1)
- 超高真空中で目的とする金属を溶融させ、分子
線状の結晶成長を行う分子線結晶成長装置におい
て、基板への結晶成長を行う成長室から独立した
ロツク室内に分子線セル蒸発源を設置し、該ロツ
ク室をゲートバルブを介して前記成長室に連通さ
せたことを特徴とする分子線結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167521U JPH0174276U (ja) | 1987-10-31 | 1987-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987167521U JPH0174276U (ja) | 1987-10-31 | 1987-10-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0174276U true JPH0174276U (ja) | 1989-05-19 |
Family
ID=31455894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987167521U Pending JPH0174276U (ja) | 1987-10-31 | 1987-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0174276U (ja) |
-
1987
- 1987-10-31 JP JP1987167521U patent/JPH0174276U/ja active Pending
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