JPS5976558U - 真空蒸着用蒸発源 - Google Patents

真空蒸着用蒸発源

Info

Publication number
JPS5976558U
JPS5976558U JP17384282U JP17384282U JPS5976558U JP S5976558 U JPS5976558 U JP S5976558U JP 17384282 U JP17384282 U JP 17384282U JP 17384282 U JP17384282 U JP 17384282U JP S5976558 U JPS5976558 U JP S5976558U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
evaporation
evaporation source
vapor
container
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17384282U
Other languages
English (en)
Inventor
克司 大根田
Original Assignee
カルソニックカンセイ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by カルソニックカンセイ株式会社 filed Critical カルソニックカンセイ株式会社
Priority to JP17384282U priority Critical patent/JPS5976558U/ja
Publication of JPS5976558U publication Critical patent/JPS5976558U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の真空蒸着用蒸発源を示した断面図、第
２図は、本考案よりなる蒸発源の一実施例を示した断面
図である。 １１・・・蒸発源容器、１２・・・容器本体、１３・・
べびれ部、１４・・・蒸気噴出筒、１５・・・蒸気噴出
用間、　　　−口部、１６・・・支持用アーム、１７．
１７’・・・クランプ、１８・・・鍔、１９・・・蒸着
材料、２０・・・蒸気、２１・・・支持用アーム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電流によって発熱する材料によって形成され、蒸着材料
    １９を収納でき、かつ該蒸着材料の蒸気２０を噴出する
    蒸気噴出用開口部１５を開口した密閉容器状の蒸発源容
    器１１を備え、さらに該蒸発源容器１１には、前記蒸気
    噴出用開口部１５の回りを加熱用電流の通路とする電流
    供給手段１６゜２１を備えたことを特徴とする真空蒸着
    用蒸発源。
JP17384282U 1982-11-17 1982-11-17 真空蒸着用蒸発源 Pending JPS5976558U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17384282U JPS5976558U (ja) 1982-11-17 1982-11-17 真空蒸着用蒸発源

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17384282U JPS5976558U (ja) 1982-11-17 1982-11-17 真空蒸着用蒸発源

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5976558U true JPS5976558U (ja) 1984-05-24

Family

ID=30378605

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17384282U Pending JPS5976558U (ja) 1982-11-17 1982-11-17 真空蒸着用蒸発源

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5976558U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2023084558A (ja) * 2021-12-07 2023-06-19 長州産業株式会社 蒸着用坩堝、蒸着源及び蒸着装置
TWI837977B (zh) * 2021-12-07 2024-04-01 日商長州産業股份有限公司 蒸鍍源和蒸鍍裝置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2023084558A (ja) * 2021-12-07 2023-06-19 長州産業株式会社 蒸着用坩堝、蒸着源及び蒸着装置
TWI835441B (zh) * 2021-12-07 2024-03-11 日商長州産業股份有限公司 蒸鍍用坩堝、蒸鍍源和蒸鍍裝置
TWI837977B (zh) * 2021-12-07 2024-04-01 日商長州産業股份有限公司 蒸鍍源和蒸鍍裝置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5976558U (ja) 真空蒸着用蒸発源
JPS58105341U (ja) 香料揮散器
JPS5977063U (ja) 高速液体クロマトグラフ用カラムオ−ブン
JPS58172463U (ja) 真空蒸着用蒸着試料
JPS58797U (ja) スチ−ムアイロン
JPS5940357U (ja) 蒸着物質収容器
JPS58142889U (ja) 誘導加熱調理器
JPS58168573U (ja) 蒸着用ボ−ト
JPS5919033U (ja) 保温性湯沸し
JPS5936472U (ja) 太陽熱温水器
JPS58128975U (ja) 真空蒸着用蒸発源
JPS5931893U (ja) マイクロ波加熱装置
JPS58122877U (ja) ヒ−トパイプ
JPS612125U (ja) 電子レンジ用容器
JPS5940358U (ja) 蒸着物質収容器
JPS586184U (ja) 冷蔵庫
JPS5944771U (ja) 真空蒸着炉のスノ−ケル管
JPS59191377U (ja) 管球包装容器
JPS58194733U (ja) 湯沸器
JPS5996000U (ja) スチ−ムアイロン
JPS607503U (ja) 高周波加熱装置
JPS5922698U (ja) スチ−ムアイロン
JPS5982952U (ja) 試料冷却装置
JPS58168565U (ja) 真空蒸着用蒸発源
JPS58154767U (ja) 食器乾燥器