JPH0451132U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0451132U JPH0451132U JP9233690U JP9233690U JPH0451132U JP H0451132 U JPH0451132 U JP H0451132U JP 9233690 U JP9233690 U JP 9233690U JP 9233690 U JP9233690 U JP 9233690U JP H0451132 U JPH0451132 U JP H0451132U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cradle
- rotor
- support member
- semiconductor material
- side plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Description
第１図は本考案の一例による半導体材料用乾燥
装置の要部を示す平面図、第２図はその要部の一
部を断面で示す側面図、第３図は従来の同種の乾
燥装置の関連部分を示す平面図、そして第４図は
従来装置の関連部分の一部を断面で示す側面図で
ある。 図中、１……ロータ、２……底板、３……側板
、４……クレイドル、５……軸ピン、１０……支
持部材。
装置の要部を示す平面図、第２図はその要部の一
部を断面で示す側面図、第３図は従来の同種の乾
燥装置の関連部分を示す平面図、そして第４図は
従来装置の関連部分の一部を断面で示す側面図で
ある。 図中、１……ロータ、２……底板、３……側板
、４……クレイドル、５……軸ピン、１０……支
持部材。
Claims (1)
- 回転駆動されるロータと前記ロータを包囲する
グローブからなり、前記ロータの底板上に対称に
設けられたほぼ直角状の４つの側板の間に、該側
板の軸ピンに後記クレイドルの溝が引掛けられて
、クレイドルが設置され、乾燥すべき半導体材料
を収めたキヤリアは前記クレイドルに収められる
ことによつて前記ロータに設置される半導体材料
用乾燥装置において、前記クレイドルの一方の側
が面する前記側板には支持部材が固定され、前記
キヤリヤの着脱の際に前記クレイドルは前記軸ピ
ンを中心に上方に回動され且つ前記支持部材の側
に移動されると前記支持部材上に支持されるよう
になつていることを特徴とする半導体材料用乾燥
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9233690U JPH0451132U (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9233690U JPH0451132U (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0451132U true JPH0451132U (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=31828703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9233690U Pending JPH0451132U (ja) | 1990-08-31 | 1990-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0451132U (ja) |
-
1990
- 1990-08-31 JP JP9233690U patent/JPH0451132U/ja active Pending