JPH01129826U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01129826U JPH01129826U JP2558888U JP2558888U JPH01129826U JP H01129826 U JPH01129826 U JP H01129826U JP 2558888 U JP2558888 U JP 2558888U JP 2558888 U JP2558888 U JP 2558888U JP H01129826 U JPH01129826 U JP H01129826U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cradle
- center
- revolution
- gravity
- stopper
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 3
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
Description
第１図は本考案の遠心乾燥機の実施例の説明図
、第２図は従来のクレードル姿勢制御手段の説明
図である。 １……クレードル、２……支持ピン、３……支
持体、５……ストツパ、６……ターンテーブル、
７……モータ、８……乾燥機チヤンバ、１０……
クレードルの公転中心軸、１１……ウエハ、１２
……クレードル支持ピン、１５……駆動装置、１
６……クレードル突き起こし端部、Ｃ……遠心力
、Ｆ……合力、Ｇ……重心、Ｗ……重力。
、第２図は従来のクレードル姿勢制御手段の説明
図である。 １……クレードル、２……支持ピン、３……支
持体、５……ストツパ、６……ターンテーブル、
７……モータ、８……乾燥機チヤンバ、１０……
クレードルの公転中心軸、１１……ウエハ、１２
……クレードル支持ピン、１５……駆動装置、１
６……クレードル突き起こし端部、Ｃ……遠心力
、Ｆ……合力、Ｇ……重心、Ｗ……重力。
Claims (1)
- クレードルの重心に関してクレードルの公転中
心軸と同じ側に設けられ、該公転中心軸と直角な
軸のまわりに回動可能にクレードルを支える支持
部と；前記の公転中心軸と直角な軸のまわりの回
動を制止してクレードルの上部開口面を水平に保
持するストツパと；を具備することを特徴とする
遠心乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2558888U JPH01129826U (ja) | 1988-02-27 | 1988-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2558888U JPH01129826U (ja) | 1988-02-27 | 1988-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01129826U true JPH01129826U (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=31528519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2558888U Pending JPH01129826U (ja) | 1988-02-27 | 1988-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01129826U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011075161A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Toto Ltd | 即湯システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS629635A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの回転乾燥装置 |
-
1988
- 1988-02-27 JP JP2558888U patent/JPH01129826U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS629635A (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの回転乾燥装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011075161A (ja) * | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Toto Ltd | 即湯システム |