JPH01142452U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01142452U JPH01142452U JP3595088U JP3595088U JPH01142452U JP H01142452 U JPH01142452 U JP H01142452U JP 3595088 U JP3595088 U JP 3595088U JP 3595088 U JP3595088 U JP 3595088U JP H01142452 U JPH01142452 U JP H01142452U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- wafer
- central axis
- vacuum
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は、実施例のイオン処理装置の要部断面
図である。第２図は、先行例のイオン処理装置の
要部断面図である。 ２…ウエハ、４…イオンビーム、６…真空容器
、８…ホルダ、４０，５０…モータ、４８，５８
…回転軸。
図である。第２図は、先行例のイオン処理装置の
要部断面図である。 ２…ウエハ、４…イオンビーム、６…真空容器
、８…ホルダ、４０，５０…モータ、４８，５８
…回転軸。
Claims (1)
- 真空容器内でウエハにイオンビームを照射して
当該ウエハを処理する装置であつて、真空容器の
内側に取り付けられた真空中用の第１の可逆転式
のモータと、このモータに直結された第１の回転
軸と、この回転軸にその中心軸に対して回転の中
心軸がほぼ直交するように取り付けられた真空中
用の第２のモータと、このモータに直結された第
２の回転軸と、この回転軸に取り付けられていて
ウエハを保持可能なホルダであつて、前記第１の
回転軸の中心軸がほぼこのホルダ上のウエハの中
心点を通る位置に設けられたものとを備えること
を特徴とするイオン処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3595088U JPH01142452U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3595088U JPH01142452U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01142452U true JPH01142452U (ja) | 1989-09-29 |
Family
ID=31262576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3595088U Pending JPH01142452U (ja) | 1988-03-17 | 1988-03-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01142452U (ja) |
-
1988
- 1988-03-17 JP JP3595088U patent/JPH01142452U/ja active Pending