JPH0260860U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0260860U
JPH0260860U JP13930888U JP13930888U JPH0260860U JP H0260860 U JPH0260860 U JP H0260860U JP 13930888 U JP13930888 U JP 13930888U JP 13930888 U JP13930888 U JP 13930888U JP H0260860 U JPH0260860 U JP H0260860U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk
chuck member
inversion
base
rotating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13930888U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP13930888U priority Critical patent/JPH0260860U/ja
Publication of JPH0260860U publication Critical patent/JPH0260860U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図
はデイスク検査用支持装置の全体構成図、第2図
は第1図の―断面図、第3図は第1図の―
断面図である。 1:デイスク、10:デイスク支持装置、11
:可動チヤツク部材、12:回転チヤツク部材、
13:スイングアーム、14:反転ベース、18
:チヤツク解除手段、20:回転駆動手段、21
:回転軸、24:反転軸、26:反転モータ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 左右一対の可動チヤツク部材と、回転駆動手段
    に接続した回転チヤツク部材とを反転ベースに装
    着し、該反転ベースを反転駆動手段に接続して、
    前記各チヤツク部材によつて、デイスクをチヤツ
    クさせて、前記回転チヤツク部材を回転させるこ
    とにより、デイスクを回転させることができるよ
    うになすと共に、前記反転ベースによつてデイス
    クを傾けたり、また反転させることができるよう
    に構成したことを特徴とするデイスク検査用支持
    装置。
JP13930888U 1988-10-27 1988-10-27 Pending JPH0260860U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13930888U JPH0260860U (ja) 1988-10-27 1988-10-27

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13930888U JPH0260860U (ja) 1988-10-27 1988-10-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0260860U true JPH0260860U (ja) 1990-05-07

Family

ID=31402444

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13930888U Pending JPH0260860U (ja) 1988-10-27 1988-10-27

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0260860U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04301714A (ja) * 1991-03-29 1992-10-26 Showa Alum Corp ワークの外観検査装置
JPH0564760U (ja) * 1992-01-22 1993-08-27 東京航空計器株式会社 円盤状物品の保持装置
JP2004524709A (ja) * 2001-04-28 2004-08-12 ライカ マイクロシステムス イェーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウェーハ用保持装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04301714A (ja) * 1991-03-29 1992-10-26 Showa Alum Corp ワークの外観検査装置
JPH0564760U (ja) * 1992-01-22 1993-08-27 東京航空計器株式会社 円盤状物品の保持装置
JP2004524709A (ja) * 2001-04-28 2004-08-12 ライカ マイクロシステムス イェーナ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウェーハ用保持装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0260860U (ja)
JPS5893451U (ja) 両面円板研削盤の工作用回し金
JPH01175135U (ja)
JPH0217553U (ja)
JPH0364928U (ja)
JPS6381015U (ja)
JPS61132548U (ja)
JPS63150346U (ja)
JPS6232746U (ja)
JPH0218423U (ja)
JPS63161644U (ja)
JPS59146641U (ja) 旋回装置
JPS64888U (ja)
JPS6311960U (ja)
JPS61180028U (ja)
JPH01138554U (ja)
JPS61205284U (ja)
JPS61151802U (ja)
JPH0253325U (ja)
JPH01142452U (ja)
JPH0165824U (ja)
JPS61163207U (ja)
JPS63127847U (ja)
JPH0261520U (ja)
JPH0280622U (ja)