JPH0290667U - - Google Patents
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- JPH0290667U JPH0290667U JP16939688U JP16939688U JPH0290667U JP H0290667 U JPH0290667 U JP H0290667U JP 16939688 U JP16939688 U JP 16939688U JP 16939688 U JP16939688 U JP 16939688U JP H0290667 U JPH0290667 U JP H0290667U
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例による試料台保持機
構を備えた真空蒸着装置の概略断面構成図、第２
図はその試料台と試料台保持機構の詳細を示す斜
視図である。 １……真空チヤンバ、５……蒸着源、７……基
板、８……試料台、１０……試料台保持機構、１
１……係合部、１４……孔、１５……係合空間、
１７……回転軸、１８……受け台、１９……支持
ピン、２１……駆動モータ。
構を備えた真空蒸着装置の概略断面構成図、第２
図はその試料台と試料台保持機構の詳細を示す斜
視図である。 １……真空チヤンバ、５……蒸着源、７……基
板、８……試料台、１０……試料台保持機構、１
１……係合部、１４……孔、１５……係合空間、
１７……回転軸、１８……受け台、１９……支持
ピン、２１……駆動モータ。
Claims (1)
- 成膜装置の真空室内で試料台を保持するための
試料台保持機構であつて、前記試料台上面に設け
られる試料台の回転中心軸上に位置決め用の孔を
有する係合部と、前記真空室上部に回転可能に装
着された回転軸と、この回転軸の下部に固定され
、前記試料台の係合部に係合する試料台保持部を
有するとともに前記試料台保持部の回転中心部に
前記係合部の位置決め用孔に嵌挿する支持ピンを
有する受け台とを備えた成膜装置の試料台保持機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16939688U JPH0638111Y2 (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 成膜装置の試料台保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16939688U JPH0638111Y2 (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 成膜装置の試料台保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0290667U true JPH0290667U (ja) | 1990-07-18 |
| JPH0638111Y2 JPH0638111Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=31459415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16939688U Expired - Lifetime JPH0638111Y2 (ja) | 1988-12-29 | 1988-12-29 | 成膜装置の試料台保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638111Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-29 JP JP16939688U patent/JPH0638111Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638111Y2 (ja) | 1994-10-05 |