JPS6329945U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6329945U JPS6329945U JP12412286U JP12412286U JPS6329945U JP S6329945 U JPS6329945 U JP S6329945U JP 12412286 U JP12412286 U JP 12412286U JP 12412286 U JP12412286 U JP 12412286U JP S6329945 U JPS6329945 U JP S6329945U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- container
- cartridge
- view
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 13
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 6
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図〜第８図は本考案の実施例を示すもので
あつて、第１図はＣＶＤ装置内に半導体ウエハを
収容したカートリツジが装入された状態を示す概
略断面図、第２図は第１図のカートリツジ支持部
分の概略平面図、第３図はカートリツジの平面図
、第４図は半導体ウエハ移送装置を示し、同図ａ
は平面図、同図ｂは同図ａのｂ―ｂ線矢視断
面図、第５図ａ及びｂは夫々フオーク上に載置さ
れた未処理の半導体ウエハを収容するカートリツ
ジ及び処理済の半導体ウエハを収容するカートリ
ツジを示す概略部分正面図、第６図はＣＶＤ装置
下に位置するカートリツジ及びその周辺を示す正
面図（一部断面）、第７図は半導体ウエハ支持用
平板の斜視図、第８図は半導体ウエハ移換え装置
の部分正面図である。第９図及び第１０図は従来
例を示すものであつて、第９図はカートリツジの
斜視図、第１０図は他のカートリツジの正面図で
ある。 なお、図面に示された符号に於いて、１，１０
１……カートリツジ、２……半導体ウエハ、４…
…ＣＶＤ装置、５……ＣＶＤ装置の装入孔、６，
７……カートリツジ支持台、１０……反応管、１
３……台板、２５……底蓋、２７……支持台、３
１，１３１……半導体ウエハ移送装置、３３，１
３３……フオーク、３４……回転軸、Ｒ１……支
持台の回転中心線、Ｒ３……カートリツジ底面の
回転中心線、Ｒ４……カートリツジ天蓋の回転中
心線、である。
あつて、第１図はＣＶＤ装置内に半導体ウエハを
収容したカートリツジが装入された状態を示す概
略断面図、第２図は第１図のカートリツジ支持部
分の概略平面図、第３図はカートリツジの平面図
、第４図は半導体ウエハ移送装置を示し、同図ａ
は平面図、同図ｂは同図ａのｂ―ｂ線矢視断
面図、第５図ａ及びｂは夫々フオーク上に載置さ
れた未処理の半導体ウエハを収容するカートリツ
ジ及び処理済の半導体ウエハを収容するカートリ
ツジを示す概略部分正面図、第６図はＣＶＤ装置
下に位置するカートリツジ及びその周辺を示す正
面図（一部断面）、第７図は半導体ウエハ支持用
平板の斜視図、第８図は半導体ウエハ移換え装置
の部分正面図である。第９図及び第１０図は従来
例を示すものであつて、第９図はカートリツジの
斜視図、第１０図は他のカートリツジの正面図で
ある。 なお、図面に示された符号に於いて、１，１０
１……カートリツジ、２……半導体ウエハ、４…
…ＣＶＤ装置、５……ＣＶＤ装置の装入孔、６，
７……カートリツジ支持台、１０……反応管、１
３……台板、２５……底蓋、２７……支持台、３
１，１３１……半導体ウエハ移送装置、３３，１
３３……フオーク、３４……回転軸、Ｒ１……支
持台の回転中心線、Ｒ３……カートリツジ底面の
回転中心線、Ｒ４……カートリツジ天蓋の回転中
心線、である。
Claims (1)
- 半導体を水平に収容する半導体収容器を半導体
収容器支持台上に載置する半導体収容器の支持構
造であつて、前記半導体が傾斜するように、前記
半導体収容器を傾斜させて前記半導体収容器支持
台上に載置する載置部を有する、半導体収容器の
支持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12412286U JPS6329945U (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12412286U JPS6329945U (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6329945U true JPS6329945U (ja) | 1988-02-27 |
Family
ID=31015846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12412286U Pending JPS6329945U (ja) | 1986-08-13 | 1986-08-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6329945U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02263454A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-26 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| JP2009182332A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Asm Internatl Nv | ウェハボート |
-
1986
- 1986-08-13 JP JP12412286U patent/JPS6329945U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02263454A (ja) * | 1989-03-20 | 1990-10-26 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
| JP2009182332A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Asm Internatl Nv | ウェハボート |