JPS62128635U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案にかかわるチヤツク構造を説明
する側面図、第２図、第３図は共に本考案の別の
実施例を説明する側面図、第４図は従来のパドル
方式現像装置説明する模式図、を示す。 図面において、１は支持棒、２は真空吸着孔、
３は円形台板、４はウエハー、５は突起部、６は
中央部、７は窪み、８は突出部、をそれぞれ示す
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 内部に真空吸着孔２を貫通せる支持棒１と
   、該支持棒の上端部に固着せる円形台板３よりな
   るウエハー保持用のチヤツク構造において、 該円形台板は、外径が前記ウエハー径の７０％
   以上よりなり、且つ中央部に窪み７を形成せる上
   面凹状の形状よりなることを特徴とするウエハー
   現像装置装置用チヤツク構造。 (2) 前記円形台板は、周辺部では曲率が大で、
   中央部では曲率の小なるる曲面形状よりなること
   を特徴とする実用新案登録請求の範囲第(1)項記
   載のウエハー現像装置用チヤツク構造。 (3) 前記円形台板は、周辺部にウエハーを収容
   する突出部８を設けたことを特徴とする実用新案
   登録請求の範囲第(1)項記載のウエハー現像装置
   用チヤツク構造。