JPH01125550U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01125550U JPH01125550U JP2092888U JP2092888U JPH01125550U JP H01125550 U JPH01125550 U JP H01125550U JP 2092888 U JP2092888 U JP 2092888U JP 2092888 U JP2092888 U JP 2092888U JP H01125550 U JPH01125550 U JP H01125550U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- holding plate
- shape
- surface holding
- legs
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図ａは本考案の一実施例の外観斜視図、第
１図ｂは第１図ａの使用時の状態を示す斜視図、
第２図ａは本考案の第二の実施例の外観斜視図、
第２図ｂは第２図ｂの使用時の状態を示す斜視図
、第３図ａは従来のピンセツトの外観斜視図、第
３図ｂは第３図ａの使用時の状態を示す斜視図で
ある。 １……柄、２……上面保持板、３……下面保持
板、４……半導体ウエハー、５……半導体集積回
路、１１……柄、１２……上面保持板、１３……
下面保持板、１４……側面支持板、２１……柄、
２２……上面保持板、２３……下面保持板。
１図ｂは第１図ａの使用時の状態を示す斜視図、
第２図ａは本考案の第二の実施例の外観斜視図、
第２図ｂは第２図ｂの使用時の状態を示す斜視図
、第３図ａは従来のピンセツトの外観斜視図、第
３図ｂは第３図ａの使用時の状態を示す斜視図で
ある。 １……柄、２……上面保持板、３……下面保持
板、４……半導体ウエハー、５……半導体集積回
路、１１……柄、１２……上面保持板、１３……
下面保持板、１４……側面支持板、２１……柄、
２２……上面保持板、２３……下面保持板。
Claims (1)
- 半導体ウエハーの一つの面にその外周縁辺部の
少くとも一部分で接触する形状の上面保持板と、
前記半導体ウエハーの外形円周の少くとも一部を
含み、その半導体ウエハーの他の面の少くとも一
部分に接触する形状の下面保持板とを両脚部に備
えることを特徴とするピンセツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2092888U JPH01125550U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2092888U JPH01125550U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125550U true JPH01125550U (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=31237710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2092888U Pending JPH01125550U (ja) | 1988-02-19 | 1988-02-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125550U (ja) |
-
1988
- 1988-02-19 JP JP2092888U patent/JPH01125550U/ja active Pending