JPS6384949U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6384949U JPS6384949U JP18067186U JP18067186U JPS6384949U JP S6384949 U JPS6384949 U JP S6384949U JP 18067186 U JP18067186 U JP 18067186U JP 18067186 U JP18067186 U JP 18067186U JP S6384949 U JPS6384949 U JP S6384949U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pedestal
- wafer
- support table
- lever
- disposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す平面図、第
２図は第１図の一部の断面図、第３図は同じく一
部の正面図、第４図は従来例の部分正面図、第５
図は同じく一部の平面図である。 １……支持台、２……ウエハー、３……押え部
材、１５……受け台、１７，１９……スプリング
、２２……レバー、２３……回転軸。
２図は第１図の一部の断面図、第３図は同じく一
部の正面図、第４図は従来例の部分正面図、第５
図は同じく一部の平面図である。 １……支持台、２……ウエハー、３……押え部
材、１５……受け台、１７，１９……スプリング
、２２……レバー、２３……回転軸。
Claims (1)
- ウエハーを支持する支持台の表面に、表面にウ
エハーが載せられる受け台を、更にその表面に押
え部材を、前記受け台とともに上昇されるように
それぞれ配置するとともに、前記受け台、押え部
材を前記支持台に対して接近する方向に弾力が作
用するスプリングを設け、更に前記支持台上のウ
エハーを前記受け台上に移動させ、かつ前記支持
台とウエハーとの間に、ウエハー搬送用の受け板
が挿入可能の空間が形成されるように、前記押え
部材をスプリングの弾力に抗して押上るためのレ
バーを設け、前記レバーを真空室の外部より挿入
された回転軸によつて回転自在としてなるウエハ
ー交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18067186U JPS6384949U (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18067186U JPS6384949U (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384949U true JPS6384949U (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=31124839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18067186U Pending JPS6384949U (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384949U (ja) |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP18067186U patent/JPS6384949U/ja active Pending