JPS59109140U - ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル - Google Patents

ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル

Info

Publication number
JPS59109140U
JPS59109140U JP202983U JP202983U JPS59109140U JP S59109140 U JPS59109140 U JP S59109140U JP 202983 U JP202983 U JP 202983U JP 202983 U JP202983 U JP 202983U JP S59109140 U JPS59109140 U JP S59109140U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chuck table
vacuum chuck
recess
intake
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP202983U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6233319Y2 (ja
Inventor
啓一 梶山
Original Assignee
株式会社デイスコ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社デイスコ filed Critical 株式会社デイスコ
Priority to JP202983U priority Critical patent/JPS59109140U/ja
Publication of JPS59109140U publication Critical patent/JPS59109140U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6233319Y2 publication Critical patent/JPS6233319Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案によるウエーハバキュームチ′ヤツク
テーブルとその受台およびグラ′インダーを示す縦断面
図、第２図は第１図に示したバキュームチャックテーブ
ルの平面図、第３図は同受台の平面図である。 １・・・基台、１ａ・・・基幹孔、２・・・アッパデス
ク、２ａ・・・凹所、２ｂ・・・吸気溝、２Ｃ・・・吸
気縦孔、３・・・バキュームチャックテーブル、３ａ・
・・吸気Ｌ　５・・・ウェーハ、Ａ・・・バキュームチ
ャックテーブル受台。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 中心部に基幹孔を設けた基台上には上面部に凹所を設け
    この凹所の底部には吸気溝を平面状に形成するとともに
    この吸気溝下には上記基台の基幹孔と連通ずる吸気縦孔
    を設けたアッパデスクを同心状による上下配管をもって
    載置結合したバキュ、−ムチャツクテーブル受台におい
    て、上記アッパデスクとその凹所に収嵌する吸気孔付の
    チャックテーブルを、このテーブルの上面にバキューム
    操作をもって固定保持するウェーハと同じシリコン素材
    により形成したことを特徴とするウエーノ１バキューム
    チャックテーブル７
JP202983U 1983-01-11 1983-01-11 ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル Granted JPS59109140U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP202983U JPS59109140U (ja) 1983-01-11 1983-01-11 ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP202983U JPS59109140U (ja) 1983-01-11 1983-01-11 ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59109140U true JPS59109140U (ja) 1984-07-23
JPS6233319Y2 JPS6233319Y2 (ja) 1987-08-26

Family

ID=30133727

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP202983U Granted JPS59109140U (ja) 1983-01-11 1983-01-11 ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59109140U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6161133U (ja) * 1984-09-26 1986-04-24
JP2018034299A (ja) * 2017-11-22 2018-03-08 ローム株式会社 吸引保持装置およびウエハ研磨装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6161133U (ja) * 1984-09-26 1986-04-24
JP2018034299A (ja) * 2017-11-22 2018-03-08 ローム株式会社 吸引保持装置およびウエハ研磨装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6233319Y2 (ja) 1987-08-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59109140U (ja) ウエ−ハバキユ−ムチヤツクテ−ブル
JPS6237932U (ja)
JPS6127339U (ja) 半導体基板のチヤツク機構
JPS59109147U (ja) ウエハ収納ケ−ス
JPS59147274U (ja) 販売機の固定装置
JPS60109295U (ja) 電磁調理器におけるワ−クコイル支持装置
JPS6120047U (ja) 半導体ウエ−ハの載置装置
JPS5939937U (ja) 半導体ウエハ支持台
JPS5989534U (ja) プラズマエツチング用ウエハ−トレ−
JPS5949487U (ja) レ−ザ加工機の被加工物保持具
JPS615545U (ja) 直進移動テ−ブル
JPS6134543U (ja) 吸着盤形シ−ト支持具
JPS6021619U (ja) 石油スト−ブの置台
JPH0325233U (ja)
JPS59143701U (ja) 丸鋸
JPS59138111U (ja) 回転式キヤンドルスタンド
JPS59100552U (ja) 両面同時研磨機の研磨圧付加機構
JPS6066441U (ja) 眼鏡レンズ用軸出器
JPS6116554U (ja) 焼付準備用機械の版材支持台
JPH0265550U (ja)
JPS60115079U (ja) 杯台付き杯
JPS6087537U (ja) 植木鉢の置台
JPS6364442U (ja)
JPS60168002U (ja) 板材の厚さ測定装置
JPS5867686U (ja) 吸着ヘツド