JPS5932502Y2 - 回転テ−ブル - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は微細な加工や測定を行なう必要のあるワーク
ピースを載せた回転テーブルを精密に回転させ、かつそ
の回転テーブルを所望の角度位置にて正確にクランプす
る装置に関するものである。

例えば半導体電子素子の製造過程において、ウェハーに
スクライブ線を入れたり、ダイシング加工を行なう場合
、あるいはウェハー上の各ペレットの性能を測定する場
合には、回転テーブルを微細に回転してその角度位置を
決めてクランプする必要がある。

この場合回転テーブルが精密に回転することおよび回転
テーブルが所望の角度位置で正確にクランプされること
が望ましいのであるが従来装置においてはこの両方を共
に満足する装置はなかった。

例えば従来装置においては、第１図に示すように回転テ
ーブル１はその半径方向は転動体３によって、軸方向は
回転テーブル１の下面と固定部２の上面との面当りによ
って案内されて回転する。

そして所望角度位置にて回転テーブル１をクランプする
場合は、固定部２に設けられた吸引孔５より真空吸着（
以下バキュームクランプという）することによって行な
っていた。

しかし、この従来装置においては軸方向が回転テーブル
１と固定部２との面当りになっているため大きな回転力
を必要とし、それだけ大きなパワーのモータを使用しな
ければならないという経済的不利益があり、また精密な
回転が期待出来ないという技術的な欠点があった。

そこで、回転テーブル１の下面と固定部２との間にロー
ラ等の転動体を設けて回転力を軽くして精密な回転を行
なわせることも考えられているが、この場合は面と面と
の間にローラの幅だけの間隙を生ずるので理想的なりラ
ンプ方法であるバキュームクランプは使用できず、機械
的方法によるクランプにせざるを得なかった。

しかし、機械的方法によるクランプは機構が複雑になっ
て経済的でなく、またクランプ時に微少な角度ずれを生
ずるという欠点があった。

このように従来装置においては上記前者のように回転力
を堪性にしてバキュームクランプとするか、あるいは後
者のように回転力を軽くして機械的クランプとするかの
どちらかの方法に頼らざるを得なかった。

本考案は上記のような欠点を解決し、簡単な機構によっ
て軽い回転力による精密な回転とバキュームクランプに
よる角度ずれのない正確なりランプの両方を共に満足す
る回転テーブルに関するものである。

第２図によって本考案の装置を説明する。

図において１はワークピースを載せる回転テーブル、２
は固定部、３は前記回転テーブル１と固定部２との間に
複数個設けられて回転テーブルの半径方向を案内するボ
ール等の転動体、４は前記回転テーブル１の下面と固定
部２の上面との間に複数個設けられて回転テーブルの軸
方向を案内するローラ等の転動体、５は固定部２の上面
円周に設けられた吸着溝６とニップル１とを連通ずる吸
引孔、８は前記吸着溝６とわずかな間隙を有するように
して回転テーブル１の下面に複数個のビス９によって固
定されるドーナツ形薄円板のような薄板、１０はプーリ
１１．ベルト１２を介して前記回転テーブル１に回転力
を与えるモータを示す。

以上のような構造におい℃吸引孔５かもの吸引を切って
モータ１０を駆動させて回転テーブル１を回転させると
回転テーブルはボール３とローラ４に案内されて極めて
軽い回転力によって精密な回転を行なう。

そして回転テーブル１が回転して所望の角度位置に来た
ときにはモータ１０の回転を止めると共に吸引孔５から
図示しない装置によって空気を吸込む。

こうすると吸引孔５の上部は吸着溝６に通じているので
吸引作用は吸着溝６の円周全体に生じ、固定部２かられ
ずかな間隙をもって設けられている薄板８は湾曲して固
定部２の上面に吸着し、従って回転テーブル１はクラン
プされる。

そして吸引孔５から吸引を切れば薄板８は元に復帰し固
定部２とわずかな間隙を生ずるので回転テーブル１０回
転にｍをきたさない。

なお、上記実施例においては回転テーブル１に薄板８を
固定し、固定部２に吸着溝６を設けたがこれを全く逆に
して、回転テーブル側に吸着溝を設け、固定部側に薄板
を固定しても同様の効果を得ることができる。

また、回転案内として上記実施例では半径方向にボール
３、軸方向にローラ４を用いたが、この代りに空気軸受
を用いた場合や軸方向にのみ転動体を用いた場合にも本
考案は有効であること勿論である。

以上詳述したように本考案によれば、簡単な構造によっ
て回転チーフルの精密な回転を得ると共に、その回転テ
ーブルを所望の角度位置にて角度ずれのない正確なりラ
ンプを行なうことが出来るようにしたために回転テーブ
ル上のワークピースの微細な加工・ｆｉｌｆｆｌ等に極
めて有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の回転テーブルの断面図、第２図は本考案
に係る回転テーブルの断面図。 １・・・・・・回転テーブル、２・・・・・・固定部、
３・・・・・・ボール、４・・・・・・ローラ、５・・
・・・・吸引孔、６・・・・・・吸着溝、８・・・・・
・薄板、１０・・・・・・モータ。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）固定部と、前記固定部に対し軸方向および半径方
   向を軸受により回転可能に支持された回転テーブルと、
   前記回転テーブルの下面または前記固定部の上面のいず
   れか一方に固着された薄板と、前記回転テーブルの下面
   または前記固定部の上面の他の一方に前記薄板とわずか
   な間隙をもって設げられた吸着溝とからなる回転テーブ
   ル。
2. （２）実用新案登録請求の範囲第１項の記載において、
   前記軸受が空気軸受であることを特徴とする回転テーブ
   ル。