JPH0744425Y2

JPH0744425Y2 - ロータリーテーブル

Info

Publication number: JPH0744425Y2
Application number: JP1990089262U
Authority: JP
Inventors: 久嘉境
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1990-08-27
Filing date: 1990-08-27
Publication date: 1995-10-11
Anticipated expiration: 2005-08-27
Also published as: JPH0447938U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は、ワークを回転させるロータリーテーブルに関
し、工作機械、精密測定機械等に利用できる。

〔背景技術〕

従来、NC旋盤、フライス盤等の工作機械若しくは真円度
測定機、三次元測定機等の精密機械等に装着される種々
のロータリーテーブルが広範に利用されている。

この種のロータリーテーブルの中には、例えば、このロ
ータリーテーブルで測定中若しくは加工中に、その回転
を非常停止させるクランプ手段を設けたものがあり、そ
の一例を第７図、第８図及び第９図に示す。

第７図及び第８図の全体構成図において、ロータリーテ
ーブル200は、ケーシング等からなる固定部201と、この
固定部201に回転自在に支持された可動部202とを含み、
この可動部202にはターンテーブル203が包含されてい
る。このターンテーブル203は、減速機付きサーボモー
タ等からなる駆動手段210により回転される。

ターンテーブル203と固定部201との間には、第９図に示
されるようにベアリング204と、油等が内部に流入する
のを阻止するＯリング205とが介装され、更にこのベア
リング204の下方には、ターンテーブル203から一体に半
径外方向に突出された剛性の高い突出部206が設けられ
る。

そして、固定部201の下部には、ターンテーブル203を固
定部201にクランプするクランプ手段230が装着される。

クランプ手段230は、固定部201に画成されたシリンダ室
231を含み、このシリンダ室231にはエアーを供給するエ
アー接続孔232が設けられている。また、前記シリンダ
室231にはＯリング233を介してシリンダキャップ234が
嵌合固定され、更に、このシリンダキャップ234に穿設
される中心孔235には、ロッドパッキン236を介してピス
トンロッド237が挿入される。

ピストンロッド237の上部には、周囲にピストンパッキ
ン238を有するピストン239を介してシャフト241が一体
に設けられている。このシャフト241の上部は、固定部2
01から突出され、ターンテーブル203の突出部206に対向
されている。

一方、シャフト241の下部には押圧用のコイルスプリン
グ242が外装されるとともに、このコイルスプリング242
は、固定部201に設けられたばね受け243とピストン239
との間に介装されている。従って、ピストン239は、コ
イルスプリング242の作用により、図中下方に付勢さ
れ、常時は、シャフト241がターンテーブル203の突出部
206から離れるようになっている。一方、シリンダ室231
に高圧エアーが供給されると、ピストン239ひいてはシ
ャフト241は、コイルスプリング242に抗して上昇するこ
ととなる。

なお、シャフト241、ピストン239及びピストンロッド23
7内には、コイルスプリング242が介装された室内と外部
とを連通させる連通孔244が形成されている。

そして、ターンテーブル203の回転中に、クランプ手段2
30でターンテーブル203を非常停止させるには、図示し
ない非常停止ボタン等を押圧すると、先ず、圧縮空気供
給源（図示せず）から高圧エアーがエアー接続孔232を
介してシリンダ室231に供給される。これにより、シリ
ンダ室231が高圧となり、ピストン239及びシャフト241
がコイルスプリング242の押圧力に抗して矢印Ｚ方向に
変位するので、これに伴いシャフト242の先端が突出部2
06に当接して突出部206を固定部201側に押圧し、その回
転を停止させる。

〔考案が解決しようとする課題〕然しながら、この場合、突出部206は、比較的剛性の高
い構造でターンテーブル203から一体に形成されている
ため、シャフト241による矢印Ｚ方向の押圧により、突
出部206は、当然に、矢印Ｚ方向すなわちターンテーブ
ル203の回転軸に対するスラスト方向の力を受け、この
力はターンテーブル203に伝達されることとなる。

しかも、シャフト241が組み込み公差等の影響で、鉛直
方向に対して半径方向へ僅かに傾いて突出部206を押圧
する場合、クランプ時に、スラスト方向（矢印Ｚ）の力
と、その方向に対して略直交するラジアル方向（矢印
Ｘ）の力が発生し、これらの二方向の力も突出部206を
介してターンテーブル203に伝達される。

ターンテーブル203に作用する力のうちスラスト方向の
力は、固定部201との間に設けられるベアリング204に伝
達されて、このベアリング204とターンテーブル203との
当り位置を微少距離位置ずれさせ、ターンテーブル203
の水平方向に対する傾き等が発生する。一方、前記ラジ
アル方向（矢印Ｘ）に加わる力は、実質的にターンテー
ブル203の半径方向に作用する。このラジアル方向に作
用する力は、このターンテーブル203を偏心させてしま
い、スラスト方向の力による位置ずれとも相俟ってその
回転精度を劣化させる。

また、ターンテーブル203を長時間駆動させると、サー
ボモータからなる駆動手段210の内部発熱によって、サ
ーボモータ近傍は局部的に温度上昇し、固定部201、更
には、ターンテーブル203に歪みが発生することにな
る。従って、この点からも回転精度が低下する虞れがあ
る。

この結果、ターンテーブル203に取付けられる被測定物
の精密測定並びにワークの精密加工が困難となる不都合
が生じる。

考案の目的は、ターンテーブルのクランプ時に、ターン
テーブルに偏心等を生じさせることが極めて少なく、精
度劣化もほとんど生じさせることがないうえ、小型で高
精度な回転が得られるロータリーテーブルを提供するこ
とにある。

〔課題を解決するための手段〕

本考案は、前記従来の不都合がターンテーブルの剛性の
高い突出部を直接固定部に押圧するために惹起されるも
のであることに着眼してなされたものであり、少なくと
もターンテーブルのスラスト方向に弾性変位可能で、か
つ、その回転方向に沿って孔部が穿設される円盤をター
ンテーブルに取着し、ターンテーブルの回転を停止させ
るには、従来のように固定部に直接押圧力を加えるので
はなく、固定部に装着されたクランプ手段で、この円盤
を挟み込んで、その回転を停止させるようにしたもので
ある。

具体的には、固定部と可動部とを有し、前記可動部に設
けられるターンテーブルに一体的に装着される駆動軸を
有するロータリーテーブルにおいて、前記駆動軸を直接
回動させる駆動手段と、前記固定部と可動部との摩擦を
低減するエアーベアリングと、前記可動部に設けられる
とともに１若しくは２以上の孔部がその回転方向に沿っ
て穿設されかつ少なくともスラスト方向に弾性変形可能
な円盤と、前記固定部側に設けられるとともに前記円盤
をクランプ可能にされこの円盤のクランプにより前記タ
ーンテーブルの回転を停止させるクランプ手段とを備
え、前記可動部には、前記エアーベアリングと駆動手段
近傍とを連通させる流路が形成され、この流路を通って
前記エアーベアリングのエアーが駆動手段の冷却風とし
て供給可能とされていることを特徴とする。

〔作用〕

本考案において、クランプ手段による円盤のクランプ時
に、スラスト方向に発生する力は、円盤の弾性変形で吸
収され、また、スラスト方向と略直交するラジアル方向
の力は、回転方向に沿って設けられる孔部の変形によっ
て吸収される。

これにより、ターンテーブルの偏心並びに傾きを未然に
阻止できるので、回転精度を低下させることなく、ター
ンテーブルを停止させることができる。この結果、被測
定物の精密測定並びにワークの精密加工が可能となる。

また、ターンテーブルに一体的に設けられる軸を直接に
駆動する駆動手段を装着しているため、減速機等を介し
て駆動させるものに比べ、小型化できる。更に、固定部
と可動部との間にエアーベアリングを形成し、このエア
ーベアリングのエアーの一部を駆動手段の近傍に導く流
路を設けたので、エアーがこの流路から駆動手段の近傍
に入り、ここで発生する熱を外部に放出することができ
るので、ターンテーブル等の熱膨張を阻止でき、より高
度な精密測定が可能となる。

〔実施例〕

次に、本考案に係るロータリーテーブルについて好適な
実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細に説明す
る。

全体構成を示す第１図及び第２図において、参照符号10
は、本実施例に係るロータリーテーブルを示し、このロ
ータリーテーブル10は、固定部20と可動部40とを含む。

第１図において、固定部20は、箱体21を備え、この箱体
21の第１図中右手前の側面21Aには、電源、信号等のケ
ーブル（図示せず）等を連結するための接続部35と、排
気用ファン36の取付孔37に取着されたファン保護用のメ
ッシュ板38とが設けられている。別の側面21B及び上面2
1C、並びに、側面21B及び上面21Cの反対側に位置する図
示しない背面及び下面の対応位置には、箱体21の取付孔
39がそれぞれ穿設される。

可動部40は、矢印Ｒ方向に回転自在にされるとともに、
ターンテーブル50を備え、このターンテーブル50のアウ
タプレート51上には、放射状に形成された複数本のＴ溝
52及び／またはねじ孔53が必要に応じ設けられている。
このターンテーブル50上には、工作機械等による被加工
物、あるいは、三次元測定機等による被測定物等がＴ溝
52やねじ孔53等により取付けられる。

箱体21の内部は、第２図に示されるように、隔壁22によ
り可動部40が配置される主室23と副装品が収納される副
室24とに画成されており、これらの主室23と副室24との
間は、隔壁22に形成された通気孔25を介して連通されて
いる。

副室24内には、前述の排気用ファン36が配置され、この
排気ファン36の駆動によって主室23内のエアーが通気孔
25及び副室24を介して吸引され、メッシュ板38から外部
に放出されるように構成されている。

箱体21の隔壁22と、肉厚に形成された第２図中左方の壁
体26との間には、リング状の固定部材27が複数本のボル
ト28（図示は１本）により固定されている。この固定部
材27には、ターンテーブル50が回転自在に係合されてい
る。

すなわち、ターンテーブル50は、箱体21の外部に突出さ
れたアウタプレート51と、このアウタプレート51の下面
にボルト54により固定されるとともに、アウタプレート
51の外径より小径で固定部材27の内径に丁度嵌合される
外径とされた略有底円筒状の中間部材55と、この中間部
材55の下面にボルト56により固定されるとともに、アウ
タプレート51の外径とほぼ等しい外径を有する有孔円盤
状のインナプレート57とから構成されている。

従って、ターンテーブル50は、中間部材55が小径にされ
たことによって、全体として中間部材55の部分に凹溝を
有する中空の略円盤状に形成され、この凹溝内に丁度固
定部材27が嵌合されている。

ターンテーブル50と固定部材27との嵌合部には、所定間
隔、実質的には数μｍの隙間、すなわち、アウタプレー
ト51の下面と固定部材27の上面との間の上部水平面隙間
71、中間部材55の外周面と固定部材27の内周面との間の
垂直面隙間72及びインナープレート57の上面と固定部材
27の下面との間の下部水平面隙間73が形成されている。
これらの隙間71,72,73により、固定部20と可動部40との
摩擦を低減する流体軸受手段としてのエアーベアリング
70が構成されている。

固定部材27には、円周方向等位置に８箇所の略筒状Ｈ字
状の連通孔74が形成されている（図では１箇所のみ示
す）。この連通孔74には、図示しない圧縮空気供給源か
ら配管75を介して高圧エアーが供給され、このエアー
は、連通孔74に連設された４箇所の噴射孔76を介してエ
アーベアリング70を構成する各隙間71,72,73に供給され
る。

エアーベアリング70に供給される高圧エアーの一部は、
ターンテーブル50の中間部材55の上、下面に、それぞれ
形成された半径方向の複数本の溝からなる流路77を介し
て、ターンテーブル50の内方、ひいては箱体21の主室23
内に流入される。これらの流路77は、実質的にはそれぞ
れ数mmの直径を有するようにされている。

箱体21の主室23内において、ターンテーブル50の内周と
干渉しない位置に、略円筒状のステータ支持部材29が立
設され、箱体21の底面にボルト31で固定されている。ス
テータ支持部材29の下部には複数の通気孔32が貫通して
形成され、この通気孔32を介してステータ支持部材29の
内外のエアーが連通されている。

ステータ支持部材29の上部には、駆動手段としてのダイ
レクトドライブモータ60のステータ61が押え部材33とボ
ルト34とにより固定されている。

ステータ61は、積層板からなる略リング状のコア62と、
このコア62に巻回されたコイル63とから構成されてい
る。ステータ61の内側には、ステータ61とともにダイレ
クトドライブモータ60を構成するロータ64が配置されて
いる。

ロータ64は、ターンテーブル50のアウタプレート51の中
心部に形成された孔58に上端を嵌合されるとともにフラ
ンジ65Aをボルト連結された駆動軸65と、この駆動軸65
にボルト止めされるとともにステータ61内に配置された
鉄芯66と、この鉄芯66の周面に固定されるとともに希土
類磁石等からなる複数の永久磁石67とを含んで構成され
ている。

ここにおいて、ロータ64、ターンテーブル50等により可
動部40が構成されている。

なお、ステータ61側の励磁条件を図示しない制御手段を
介して変化させることにより、ロータ64の回転数（回転
速度）並びに回転方向等を自在に制御できるようになっ
ている。従って、ステータ61とロータ64との相互作用下
により、ダイレクトドライブモータ60の駆動軸65、すな
わち、ターンテーブル50が矢印Ｒ方向に（第１図参照）
回動するよう構成される。

ロータ64の駆動軸65の下部には、保持部材111を介して
エンコーダディスク112が取付けられている。このエン
コーダディスク112と、エンコーダディスク112に対向し
て配置されたインデックススケール113と、図示しない
光学式検出器とによってロータリーエンコーダ110が構
成されている。このロータリーエンコーダ110により、
ロータ64ひいてはダイレクトドライブモータ60の回転数
が検知される。

ターンテーブル50のインナプレート57の下面には、ステ
ンレス等の金属板からなる円盤としてのダイアフラム80
がボルト81により固定されている。

このダイアフラム80は、第３図に示されるように、薄肉
リング状に形成され、リングの内周側にボルト81を挿通
する複数の孔82が同一円周上に等角度間隔（好適には30
度）離間して穿設されている。これらの孔82の外側に
は、ダイアフラム80の回転方向に沿って彎曲する６個の
孔部としての長孔83が設けられ、更に、その外側にはこ
れら長孔83と位相角度が30度ずれた位置に６個の同様形
状な孔部としての長孔84が穿設されている。

これにより、ダイアフラム80は、長孔83,84等の作用に
よって板厚方向、すなわち、駆動軸65の軸方向（スラス
ト方向）に弾性変形可能にされるとともに、この軸方向
に直交する半径方向（ラジアル方向）にも変形可能にさ
れている。

ダイアフラム80に対向される位置において、固定部20側
である箱体21には、ダイアフラム80を挟み込んで、ター
ンテーブル50の回転を停止させるクランプ手段90が装着
されている。

クランプ手段90は、第４図に示されるように、固定部20
に取着される取付部材91を備え、この取付部材91には角
筒体92がボルト93で固定されている。この角筒体92の内
周には、円形断面を有するシリンダ孔94が穿設されると
ともに、角筒体92の側壁にはシリンダ孔94に連通するエ
アー供給孔95が形成されている。このエアー供給孔95を
介して図示しないコンプレサからシリンダ孔94にエアー
が供給されるようになっている。

角筒体92のシリンダ孔94の上端開口部には、Ｏリング96
を介してエンドプレート97が取着される一方、下端開口
部には、Ｏリング98を介して底蓋99が固定されている。
これらのエンドプレート97と底蓋99とにより仕切られた
シリンダ孔94内には、凸型形状の押圧部材101が摺動自
在に嵌合され、この押圧部材101に形成された突軸102と
エンドプレート97との間にもＯリング103が介装されて
いる。この突軸102の先端は、半球状に形成されるとと
もに、エンドプレート97から突出され、ダイアフラム80
を介して取付部材91に対向されている。

押圧部材101と底蓋99との間には押圧用の圧縮コイルば
ね104が介装され、このばね104の付勢力により、押圧部
材101の突軸102は常時突出方向（Ｚ方向）に付勢され、
突軸102の球状の先端と取付部材91とでダイアフラム80
をクランプできるようになっている。

一方、押圧部材101とエンドプレート97とにより、シリ
ンダ孔94内に画成されるシリンダ室105に、エアー供給
孔95から高圧エアーが供給されると、押圧部材101が圧
縮コイルばね104の付勢力に抗して図中下方に移動され
る結果、ダイアフラム80は、非クランプ状態とされる。

本実施例に係るロータリーテーブル10は、基本的には、
以上のように構成されるものであり、次に、その作用に
ついて説明する。

先ず、図示しないコンプレッサを作動させて配管75、連
通孔74及び噴射孔76を介して各隙間71,72,73に高圧エア
ーを供給し、エアーベアリング70を形成する。これによ
り、ターンテーブル50が矢印Ｒの方向へ回動自在とな
る。

この際、高圧エアーは、クランプ手段90のシリンダ室10
5にも供給されており、このエアーの作用によって押圧
部材101が圧縮コイルばね104に抗して押し下げられてい
る。従って、クランプ手段90によるダイアフラム80のク
ランプは開放されており、ターンテーブル50の回転は、
何ら妨げられることはない。

次いで、排気ファン36を作動させてターンテーブル50内
を含む主室23内のエアーを通気孔32及び25、並びに、副
室24を介してメッシュ板38から外部に放出する。これと
同時に、ダイレクトトライブモータ60を作動させ、図示
しない制御手段により回転方向及び回転数を設定する
と、ターンテーブル50が矢印Ｒの一方の方向へ所定回転
数で回転する。この回転中に、作業の終了あるいはター
ンテーブル50を偶発的な事故等から回避するために、停
止あるいは非常停止する場合には、図示しない停止ある
いは非常停止ボタン等を作動させる。

すると、コンプレッサ（図示せず）からクランプ手段90
への高圧エアーの供給が停止される。これにより、シリ
ンダ室105が低圧となり、圧縮コイルばね104の押圧力に
よって押圧部材101が矢印Ｚ方向に変位する。これに伴
い、ダイアフラム80が押圧部材101と取付部材91とで挟
み込まれてクランプされ、ダイアフラム80と一体のター
ンテーブル50の回転が停止される。

このクランプ手段90によるダイアフラム80のクランプに
あたり、弾性変形可能で、かつ、長孔83,84を有するダ
イアフラム80は、第５図及び第６図に示されるように、
変形する。

すなわち、スラスト（矢印Ｚ）方向に作用する力は、ダ
イアフラム80の弾性変形（第６図参照）によって吸収さ
れ、また、このスラスト方向と略直交するラジアル（矢
印Ｘ）方向の力は、ダイアフラム80が長孔83内に弾性変
形（第５図参照）することによって吸収される。

これにより、たとえ、押圧部材101が組込み公差等の影
響で、僅かに傾いてダイアフラム80をクランプしたとし
ても、スラスト方向（矢印Ｚ）及びラジアル方向（矢印
Ｘ）若しくはそれらの合成方向に作用する力が全てダイ
アフラム80で吸収されて、ターンテーブル50が停止され
る。従って、ターンテーブル50には、傾き及び偏心等が
生じることがなく、停止される。

前述のような本実施例によれば、次のような効果があ
る。

すなわち、ロータリーテーブル10のターンテーブル50を
停止するにあたり、弾性変形可能な円盤であるダイアフ
ラム80を用いているから、このダイアフラム80をクラン
プ手段90でクランプしてターンテーブル50を停止させて
も、ターンテーブル50に何らスラスト力、ラジアル力を
加えることがない。従って、ターンテーブル50に傾き、
偏心等も生じることがなく、これらの傾き等に基づく回
転精度の低下もない。この結果、常に被測定物の精密測
定並びに被加工物の精密加工等が可能となる効果を奏す
る。

また、ターンテーブル50に固定される駆動軸65を駆動す
る駆動手段としてダイレクトドライブモータ60を採用し
ているので、従来使用していた減速機、ウォームギア、
ホイール等を一掃することができ、その分、ロータリー
テーブル10を小型化することが可能となる。しかも、ギ
ア等の機械的接触がないため、バックラッシュをなくす
ことができ、回転精度を飛躍的に向上させることが可能
となる効果を奏する。

また、軸受手段として水平方向、垂直方向ともに支持可
能なエアーベアリング70を採用したから、ターンテーブ
ル50の回転を極めて円滑に行える。しかも、エアーベア
リング70を構成する隙間71,72,73内において、それぞれ
の部材、例えば、固定部材27とアウタプレート51との表
面に微小な凹凸があっても、それを平均化できるととも
に、非接触のために、摩擦、磨耗、スティックスリップ
等を生ずることがないので、回転精度を向上させて高精
度測定が可能となる。そのうえ、従来のように、取扱い
及び選択に時間のかかる高精度なベアリングだけを使用
しなければ回転精度が向上しないといったものではな
く、エアーベアリング70を採用することによって、当該
ロータリーテーブル10の生産性を低下させることなく、
安価に製作することが可能となる。

更に、本実施例では、このエアーベアリング70のエアー
を主目的である軸受けとしてだけ用いるのではなく、副
次的にダイレクトドライブモータ60の冷却手段も兼用し
ている。すなわち、エアーベアリング70を形成する隙間
71,72,73からダイレクトドライブモータ60の近傍に連通
する流路77と、このモータ近傍からロータリーテーブル
10の外部に通じるメッシュ板38とを介して、モータ60近
傍で温められるエアーを外部に放出することができるの
で、従来のようにダイレクトドライブモータ60の発熱に
よってターンテーブル50がその熱影響を受けるというこ
とがほとんどなく、この結果、回転精度をより向上させ
て精密測定が可能となる効果が得られる。

以上、本考案について好適な実施例を挙げて説明した
が、本考案はこの実施例に限定されるものではなく、本
考案の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である。

例えば、ダイアフラム80の長孔83,84は、必ずしも２列
に設けなくともよく、１列あるいは３列以上でもよい。
また、長孔83,84は他の形状の孔でもよく、例えば、円
形の孔を放射状に多数設けるものでもよい。しかし、長
孔83,84とすれば、スラスト方向の変形にあたり、ダイ
アフラム80に生ずる抗力が極めて少ないという利点があ
る。

更に、クランプ手段90は、前記実施例の構成に限定され
ず、電磁ソレノイド等の他の駆動源を用いたものでもよ
い。この際、クランプ手段90のクランプ力として、前記
実施例と同様にばねの付勢力を用いれば、電源やエアー
圧力源の喪失に拘らずクランプでき、安全性が高いとい
う利点がある。

その他、各部の形状、構造は、同様な作用を達成できる
範囲で変更可能である。

〔考案の効果〕

前述のように本考案によれば、ターンテーブルのクラン
プ時に、ターンテーブルに偏心等を生じさせることが極
めて少なく、精度劣化もほとんど生じさせることがない
うえ、小型で高精度な回転が得られるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図は本考案の一実施例を示すもので、
第１図は全体構成の外観を示す斜視図、第２図は全体構
成の拡大縦断面図、第３図はダイアフラムの平面図、第
４図はクランプ手段の部分を示す拡大断面図、第５図は
クランプ手段作用時におけるダイアフラムの部分拡大平
面図、第６図はクランプ手段によるダイアフラムのクラ
ンプ状態を示す拡大断面図であり、第７図ないし第９図
は従来例を示すもので、第７図は全体構成を示す平面
図、第８図は第７図の正面図、第９図は要部の拡大断面
図である。 10…ロータリーテーブル、20…固定部、21…箱体、40…
可動部、50…ターンテーブル、51…アウタプレート、55
…中間部材、57…インナプレート、60…駆動手段として
のダイレクトドライブモータ、61…ステータ、64…ロー
タ、70…流体軸受手段としてのエアーベアリング、77…
流路、80…円盤としてのダイアフラム、83,84…孔部と
しての長孔、90…クランプ手段、91…取付部材、101…
押圧部材、104…圧縮コイルばね。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】固定部と可動部とを有し、前記可動部に設
けられるターンテーブルに一体的に装着される駆動軸を
有するロータリーテーブルにおいて、前記駆動軸を直接回動させる駆動手段と、前記固定部と可動部との摩擦を低減するエアーベアリン
グと、前記可動部に設けられるとともに１若しくは２以上の孔
部がその回転方向に沿って穿設されかつ少なくともスラ
スト方向に弾性変形可能な円盤と、前記固定部側に設けられるとともに前記円盤をクランプ
可能にされこの円盤のクランプにより前記ターンテーブ
ルの回転を停止させるクランプ手段とを備え、前記可動部には、前記エアーベアリングと駆動手段近傍
とを連通させる流路が形成され、この流路を通って前記
エアーベアリングのエアーが駆動手段の冷却風として供
給可能とされていることを特徴とするロータリテーブ
ル。