JP2006312765A - 真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 複数の被成膜体に蒸着物質の蒸着を行うときに、膜厚分布の均一化を図る。
【解決手段】
真空槽1の内部の上部には複数の被成膜体Wを取り付けるための被成膜体保持部材10が配置され、下部には複数の蒸着物質が充填された2つの蒸発源2A、2Bが配置されている。被成膜体保持部材10と蒸発源2A、2Bとの間には固定式の第1の補正板4A、4Bが配置され、蒸発源2A、2Bと第1の補正板4A、4Bとの間には可動式の第2の補正板5A、5Bが配置される。第2の補正板5A、5Bに取り付けられる回転軸は第2の補正板5A、5Bの平面を2等分する中心線上に取り付けられ、当該回転軸の軸回りに第2の補正板5A、5Bが回転して作動状態と非作動状態とに切り替わる。
【選択図】 図1
Description
4A、4B 第1の補正板 5A、5B 第2の補正板
10 ドーム 20 回転機構
Claims (4)
- 真空槽内部の下部に複数種類の蒸着物質が充填される蒸発源と、前記真空槽内部の上部に前記蒸着物質が蒸着される複数の被成膜体を保持する回転可能なドームと、このドームと前記蒸発源との間に配置され、前記ドームに保持される前記複数の被成膜体の膜厚分布を補正する第1の補正板とを有する真空蒸着装置であって、
前記第1の補正板と前記蒸発源との間には、前記第1の補正板と組み合わされて使用される補正板であって、前記第1の補正板が補正する蒸着物質とは異なる種類の蒸着物質の膜厚分布を補正する第2の補正板が配置され、
前記第2の補正板は、前記真空槽の壁面に取り付けられて水平方向の回転軸の軸回りを回転して、前記蒸着物質が前記蒸発源から飛散する方向に対して水平な方向の作動状態と、垂直な方向の非作動状態とに切り替わることを特徴とする真空蒸着装置。 - 前記真空槽の外部には回転駆動装置が設けられ、この回転駆動装置による回転力を前記真空槽内部に伝達する動力伝達部材が前記真空槽の壁面に取り付けられ、
前記動力伝達部材には前記回転軸が接続され、さらに前記回転軸に前記第2の補正板が取り付けられて、前記第2の補正板は作動状態と非作動状態とに切り替わることを特徴とする請求項1記載の真空蒸着装置。 - 前記第2の補正板は、この第2の補正板が形成する平面を2等分する中心線を中心として回転することを特徴とする請求項2記載の真空蒸着装置。
- 前記真空槽には、前記蒸発源、前記第1の補正板及び前記第2の補正板の組が複数箇所に設けられていることを特徴とする請求項1記載の真空蒸着装置。
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JP2005135901A JP2006312765A (ja) | 2005-05-09 | 2005-05-09 | 真空蒸着装置 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-05-09 JP JP2005135901A patent/JP2006312765A/ja active Pending
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