JP3456562B2 - 固体潤滑膜の製造方法およびその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリ−ン、真空と
いった特殊環境下で使用される半導体製造装置や宇宙機
器などに適用する転がり軸受の転動体への固体潤滑膜の
製造方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ころがり軸受に適用される玉やコ
ロなどの転動体に二硫化モリブデン膜の固体潤滑剤をス
パッタする固体潤滑膜の製造方法としては、例えば、本
出願人が先に提案した特開平５−９７０７号公報に開示
されているものがある。図１２の(a) は従来例を示すス
パッタ装置の側断面図、(b) はＣＣ’線に沿う平面図で
ある。ここで、転動体が玉の場合を例に取り説明する。
真空チャンバ−１の中の上部に二硫化モリブデンからな
るターゲット２を設け、下方の真空チャンバ−１のベー
ス７には回転テーブル３を設けており、回転テーブル３
は図示しない駆動装置により回転軸３１を介して回転さ
せるものである。回転テーブル３上に治具４を固定し、
治具４上のターゲット２に対向する位置に設けた穴４ａ
に玉６を載置する。ターゲット２と玉６との間にはシャ
ッタ５を設け、スパッタ時間を調節している。詳細には
治具４には玉６の直径よりもわずかに大きい直径の穴４
ａを複数個設けて、その穴４ａに玉６を入れ、玉６の高
さの半分以上が治具４から露出した状態で真空チャンバ
−１内を真空に引いてスパッタを行う。その後、真空チ
ャンバ−１を大気に開放して、治具４で隠れているため
スパッタ膜が形成されなかった玉６の高さの半分以下の
部分を治具４の外側に露出するように反転させ、一方、
スパッタ膜が形成された玉６の高さの半分以上を穴４ａ
の底側に向けて載置し、再びスパッタを行う。以上の説
明は、転動体が玉の場合のスパッタ方法であるが、コロ
の場合も同じ方法でスパッタされる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成の
方法では玉６の半面をタ−ゲット５に対向させてスパッ
タした後、一度大気に開放して、玉６を反転した後に反
転した玉６の残りの半面をスパッタするため、次のよう
な課題があった。 (1) 玉の上面部に対するタ−ゲット粒子の入射角度が
直角に近いことに対し、玉の側面部に対する入射角度が
浅いため、玉の上面部と側面部とでは膜の構造や厚みに
違いが生じる。更に、２回のスパッタによって玉の一部
に膜が二重となる合わせ面ができる。 (2) 玉の反転時の取り扱いや大気との接触によって、
ごみ、酸化、吸湿などで汚染されるため、清浄なスパッ
タ膜が得られない。 (3) ２回のスパッタ処理が必要であるため、玉の反転
に手数がかかり、生産性が悪い。 なお、玉に替えてコロをスパッタする場合も同様な問題
があった。そこで、本発明は膜の構造や厚みが均一で合
わせ面がない、清浄な潤滑膜が得られ、且つ、スパッタ
処理に手数や時間のかからない、高品質で簡便な固体潤
滑膜の製造方法およびその装置を提供することを目的と
する。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、請求項１の本発明は、真空チャンバ−の中に固体潤
滑剤からなるターゲットとこのターゲットに間隔を置い
て対向する回転テーブルを設け、この回転テーブル上に
治具を設置し、この治具上の前記ターゲットに対向する
位置に複数の転動体を収納し、前記回転テーブルを回転
しながら前記転動体にスパッタを行う固体潤滑膜の製造
方法において、前記治具は、前記回転テ−ブルと対峙し
た位置に配設された転動体収納部を構成する複数の貫通
した穴部を形成してなる第１のプレートと、この第１の
プレートと前記回転テーブルとの間に前記穴部と対向す
るように少なくともその表面の一部が段凹部を形成して
なる第２のプレートと、この第２のプレートを前記真空
チャンバ−に固定する固定バ−とし、前記転動体収納部
と対向する前記固定された第２のプレート上に前記転動
体を収納し、前記第２のプレ−ト上で前記第１のプレ−
トを回転しながら前記段凹部上を前記転動体が通過する
際に前記転動体の姿勢を変化させるようにしたものであ
る。

【０００５】請求項２の本発明は,真空チャンバ−の中
に設けた固体潤滑剤からなるターゲットと、このターゲ
ットに間隔を置いて対向して設けた回転テーブルと、こ
の回転テーブル上に設置した治具と、この治具上の前記
ターゲットに対向する位置に収納した複数の転動体とを
備え、前記回転テーブルを回転しながら前記転動体にス
パッタを行う固体潤滑膜の製造装置において、前記治具
は、前記回転テ−ブルと対峙した位置に同軸状態で配設
されると共に前記転動体を収納するような複数の貫通し
た穴部を有する第１のプレートと、前記第１のプレート
と前記回転テーブルとの間に独立して設けられると共に
前記穴部と対向して少なくともその表面の一部に段凹部
を形成した第２のプレートと、前記第２のプレートを前
記真空チャンバ−に固定する固定バ−とを備え、前記固
定された第２のプレ−ト上で前記第１のプレ−トを回転
しながら前記段凹部上で前記穴部に収納された前記転動
体の姿勢を変化させるものである。また、請求項３の本
発明は、請求項２記載の固体潤滑膜の製造装置におい
て、前記段凹部は、一方の端部が前記第２のプレ−トの
表面に垂直な面で形成された段付の壁部と、前記第１の
プレ−トの回転方向に沿う前記壁部の前方側に形成され
た傾斜面とで構成されるものである。また、請求項４の
本発明は、請求項２または請求項３記載の固体潤滑膜の
製造装置において、前記段凹部は、前記第２のプレ−ト
の鉛直方向から見た形状がＹ字状としたものである。ま
た、請求項５の本発明は、請求項２または請求項３に記
載の固体潤滑膜の製造装置において、前記第１のプレー
トは、前記隣り合う複数の穴部を互いに連通するように
内側と外側のプレートの二つに分離したものである。ま
た、請求項６の本発明は、請求項２または請求項３に記
載の固体潤滑膜の製造装置において、前記第１のプレー
トを前記回転テ−ブルと同軸上に連結された太陽歯車と
し、前記第２のプレートを内歯車とし、前記太陽歯車と
前記内歯車との間に前記転動体を収納する貫通した穴部
を有する遊星歯車を設けたものである。また、請求項７
の本発明は、請求項６に記載の固体潤滑膜の製造装置に
おいて 、前記遊星歯車に設けた穴部の内壁を凹凸状に形
成したものである。

【０００６】上記構成により、この固体潤滑膜の製造装
置では、例えば前記転動体がコロの場合に適用すると、
複数コロの端面および円筒面が満遍なく転がり、その結
果、コロの全面にスパッタ膜が形成される。また、スパ
ッタ途中でコロの向きを変更するために真空チャンバ−
を大気開放し、もう一度スパッタを行う処理の必要がな
くなり、スパッタを１回の処理で連続して行うことがで
きる。これにより、膜の構造や厚みが均一で合わせ面が
ない、清浄なスパッタ膜が得られる。

【０００７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図を参照し
ながら説明する。図１の(a) は本発明の第１の実施例を
示すスパッタ装置の側断面図、(b) は(a) のＡＡ’線に
沿う治具の平面図である。なお、従来例と同じ構成要素
には同じ符号を用いている。なお、スパッタの対象とな
る転動体は玉について説明する。真空チャンバ−１の中
の上部に二硫化モリブデンからなるターゲット２を設
け、下方には回転テーブル３を設け、回転テーブル３の
上にターゲット２に対向する半径方向位置に玉６を載せ
る治具４を設置し、ターゲット２と玉６との間にシャッ
タ５を設けるようにした基本的な構成は従来例と同じで
ある。従来例と異なる点は、回転テーブル３の上に設け
た治具４はターゲット２に対向する回転円周上に、ター
ゲット直径に近い幅の外リング４１と内リング４２から
なるリング溝を設け、その円周方向に複数の仕切り部材
４３を設け、リング溝と仕切り部材４３により転動体収
納部４４を形成し、転動体収納部４４に複数の玉６を載
せる際に転動体収納部４４を塞がないように空き間４４
ａを設けるようにしたものである。また、転動体収納部
４４内における玉６の転動が可能なように、回転テ−ブ
ル３には玉６に加速度を付与するための正転・逆転およ
び加速・減速の繰り返しを行う回動機構９を設けてあ
る。これにより回転テーブル３に設けた治具４の上で玉
６をランダムに転動させるようにしてある。なお、回動
機構９は回転テ−ブル３の回転方向と回転速度を可変で
きるようなサ−ボモ−タが望ましいが、これに限定され
るものではない。このような構成において、真空チャン
バ−１内を真空に引いてスパッタを行うと、玉６は回転
テ−ブル３の回動機構９により加速度を受けて治具４上
の転動体収納部４４内をランダムに転がり、ターゲット
２に対してスパッタされる玉６の面が時間変化と共に順
次変わるため、玉６の全面にスパッタが行われる。した
がって、回転テーブル３の回転方向とは同期することな
く、玉６が治具４上の転動体収納部４４内を転がるた
め、清浄で均一なスパッタ膜を得ることができる。ま
た、玉６はスパッタ処理において、真空チャンバ−１を
大気開放して反転させる必要がなくなり、玉６の取り扱
いや大気との接触によって、ごみ、酸化、吸湿などで汚
染される心配が無く、また、大気解放による長時間の真
空引きが必要なく、玉６の反転に手数や時間がかかるこ
となくスパッタ処理を一括で行うことができ、生産性が
向上する。また、転動体収納部４４の形状は図１の(b)
に示したものに限定されるものでなく、円形や長方形な
どの形状にしても構わない。図１の(a) のＡＡ’線に沿
う治具の平面図に相当するものとして、図２に治具のそ
の他の形状を示している。回転テ−ブル３上に円形状の
仕切り部材４３を設け、仕切り部材４３に囲まれた転動
体収納部４４内で玉６がランダムに転がるように空き間
４４ａを有する構成にしてある。また、図３は第１の実
施例のその他の発明を示すスパッタ装置の側断面図であ
る。シャッタ５と玉６との間に玉６および回転テーブル
３を覆うカバー８をベース７に固定するようにしても良
い。カバー８のターゲット２の直下にはターゲット２の
外径とほぼ同じ大きさの径の貫通穴８１を設けてある。
こうような構成にすることで、玉６がターゲット２真下
近辺以外にあるときはカバ−８によってスパッタ粒子の
付着が防止されるので、より均一な特性の膜質が得られ
る。

【０００８】図４は本発明の第２の実施例を示す装置の
側断面図である。回転テーブル３に第１の実施例と同様
の転動体収納部４４を設けた治具４を設置して、転動体
収納部に玉６を入れる構成は同じである。第１の実施例
と異なる点は治具４を設置した回転テーブル３を傾斜し
たまま回転させる構成にしたものである。すなわち、図
示しないタ−ゲットと治具４との間隔を一定に保つよう
にするため、治具４を設置した回転テーブル３の軸３１
を軸受３２により支持させるとともに、回転テーブル３
を図示しないベ−スの面に対してαの角度だけ傾斜した
まま回転させるようにし、回転テーブル３の軸３１とそ
の下方にある回動機構９の軸９１とは自在継手９２を介
して連結された構成にしたものである。このような構成
において、回転テーブル３を支持する軸３１が回動機構
９の軸９１に対して傾斜しているので治具４の連続的あ
るいは非連続的な回転にともなって、玉６は重力を受
け、治具４上を転がるので、玉６の全面にスパッタが行
なわれる。したがって、第１の実施例と同様に回転テー
ブル３の回転方向とは同期することなく、玉６が治具４
上の転動体収納部４４内をランダムに転がるため、清浄
で均一なスパッタ膜を得ることができる。また、玉のス
パッタ処理を一括で行うことができ、生産性が向上する
効果は同じである。

【０００９】図５は本発明の第３の実施例を示す装置の
側断面図を示す。本実施例が上記に述べた第１および第
２の実施例と異なるのは、転動体収納部４４に玉６を入
れた複数の治具４は各々の治具４の中心に軸４５を設
け、回転テ−ブル３の軸３１に歯車伝達機構１０を設け
た構成である。治具４を支持する軸４５は回転テーブル
３を貫通し、回転テーブル３に設けた軸受３３で支持さ
れるとともに、回転テーブル３を貫通した軸４５に装着
した歯車１０３は回転テーブル３の軸３１に装着した歯
車１０４と噛み合わせるようにしたものである。また、
回転テーブル３は軸受３４に支持され、治具４の中心に
備えた軸４５には回転テーブル３の公転に対して治具４
を自転させるようにした歯車１０１と歯車１０２が噛み
合わせるようにしたものである。このような構成におい
て、回転テーブル３の回転によって治具４が回転テーブ
ル３上で自転するので、治具４を連続的あるいは非連続
的に回転させることによって、玉６は治具４上を転がる
ので玉６の全面にスパッタが行なわれる。したがって、
第１および第２の実施例と同様に回転テーブル３の回転
方向とは同期することなく、玉６が治具４上の転動体収
納部４４内をランダムに転がるため、清浄で均一なスパ
ッタ膜を得ることができる。また、玉のスパッタ処理を
一括で行うことができ、生産性が向上する効果は同じで
ある。

【００１０】これまで第１の実施例ないし第３の実施例
において、スパッタの対象となる転動体は玉について説
明してきた。上記の転がし方式による転動体へのスパッ
タをコロに適用した場合、コロのように円筒面と平らな
端面とからなる異形状を有するものでは、慣性力や重力
だけでは両面の間の回転ができず、さらに、例えば治具
上を複数のコロが転がる際に、タ−ゲットに対向する鉛
直方向に直立したコロなどが周囲の横倒しになったコロ
の転がりを妨害することになる。その結果、円筒面と端
面の両面を満遍なく転がすことができないという課題が
生じることになる。そこで、転動体がコロの場合の発明
を、次の第４ないし第７の実施例において説明する。

【００１１】本発明の第４の実施例について説明する。
図６は本発明の第４の実施例を示すスパッタ装置の側断
面図である。また、図７の(a) は図６の治具の分解斜視
図、(b) は(a) の組立斜視図である。また、図８の(a)
，(b) ，(c) は第１のプレ−トと第２のプレ−ト間に
おけるコロの転がり状態を示す概念図である。図６にお
いて、真空チャンバ−１の中の上部に二流化モリブデン
からなるターゲット２を設け下方には回転テーブル３を
設けて、ターゲット２に対向する半径方向位置に治具４
に入れたコロ６１を収納し、ターゲット２とコロ６１と
の間にシャッタ５およびカバー８を設けた構成は従来と
同じである。第１ないし第３の実施例と異なるのは、治
具構成である。図７の(a) の分解斜視図に示すように、
回転テーブル３の上に設けた治具４は、回転テ−ブルと
対峙した位置に転動体を収納するような複数の貫通した
穴部４７を有する第１のプレート４６が同軸状態で設け
てあり、第１のプレート４６と回転テーブル３との間に
は、複数の穴部４７と対向してその表面の一部に段凹部
４９を形成した第２のプレート４８が独立して設けら
れ、第２のプレート４８を図示しない真空チャンバ−１
に固定バ−４８ａにより固定するようにしてある。ま
た、図７の(b) の組立斜視図に示す治具４は、第２のプ
レート４８を下面とし、第１のプレート４６を第２のプ
レート４８の上に対向させた状態で組み立てたものであ
る。第１のプレート４６の穴部４７にコロ６１で塞がな
い程度の個数分のコロを入れ、第２のプレート４８には
コロ６１の直径の三分の一程度の深さで段凹部４９を設
けている。段凹部４９の形状は、図７の(a) に示すよう
に一方の端部が第２のプレ−ト４８の表面に垂直な面で
形成された段付の壁部４９ａと、第１のプレ−ト４６の
回転方向に沿う壁部４９ａの前方側に形成された緩やか
な傾斜面４９ｂとで構成されるものである。このような
構成において、図７の(b) に示すように、コロ６１が第
１のプレ−ト４６の穴部４７と第２のプレ−ト４８との
間で構成される転動体収納部４４に収納されており、コ
ロ６１は、回転テーブル３の回転に伴って第１のプレ−
ト４６に設けた穴部４７の内壁に押され、第２のプレ−
ト４８の上を移動して段凹部４９に落ちてコロ６１の姿
勢を変化させるようにしてあり、図示しない真空に引か
れた真空チャンバ−内でスパッタされる。次に動作を図
８にしたがって説明する。コロ６１が穴部４７に複数収
納される場合、図８は図７の(b) のＤ部を拡大した、第
１のプレ−トと第２のプレ−トの側面から見たコロの動
きを示す概念図である。第１のプレ−ト４６の回転方向
に対して前方にあるコロを６１ａ、後方にあるコロを６
１ｂとする。(a) において、コロ６１ａが第２のプレ−
ト４８に設けた段凹部４９の壁部４９ａに達し、直立し
たコロ６１ａがコロ６１ｂに押されて壁部４９ａから落
ちる。さらに(b) では、第１のプレ−ト４６が回転方向
に移動すると、壁部４９ａから落ちたコロ６１ａは、傾
斜面４９ｂで横倒しになる。(c) に示すように、さらに
第１のプレ−ト４６が回転方向に移動すると、傾斜面４
９ｂにある横倒しのコロ６１ａは、壁部４９ａを直立し
たまま落ちる後方のコロ６１ｂから押されるため、横倒
しのまま傾斜面４９ｂを登る。逆に(a) において、コロ
６１ａが横倒しになったままで壁部４９ａから落ちる場
合は段凹部４９の傾斜面４９ｂに直立した姿勢に変化す
る。したがって、段凹部により、複数のコロのうち第１
のプレ−トの回転方向に対して前方に位置するコロをそ
の円筒面および端面の両面間で回転させることできるの
で、前方のコロの姿勢を容易に変化させることが可能と
なり、その結果、均一に前方のコロの両面をスパッタす
ることができる。

【００１２】次に、本発明の第５の実施例を説明する。
図９の(a) は第５の実施例を示すその他の第２のプレ−
トの斜視図、(b) は(a) の段凹部におけるコロの動きを
示す概念図、(C) は(b) の側面図である。前述した第４
の実施例において、図８に示すように複数のコロを収納
した場合であって、段凹部４９に複数のコロが落ちる際
に、後方のコロ６１ｂは前方のコロ６１ａが支えとなっ
て、直立していたコロ６１ｂは直立したまま、横倒しに
なっていたコロ６１ｂは横倒しになったままの状態で壁
部４９ａを落ちる。本実施例では複数のコロが第２のプ
レ−ト４８上で転がる際に、前方と後方のコロの位置を
入れ換えることを目的とするものである。図９の(a) の
第２のプレ−トの組立斜視図に示すように、段凹部４９
の形状を中央部から分岐するようなＹ字状としたもので
ある。このような構成において動作を説明すると、図９
の(a) のＥ部を拡大した(b)、(c) に示すように、第１
のプレート４６の動きに連れ、複数のコロ６１がＹ字状
の傾斜面４９ｂを上がる際、分岐した傾斜面に沿って、
先頭中央に位置するコロ６１は左右どちらかの端に追い
やられる。複数のコロが第１のプレ−ト４６の回転によ
り、第２のプレ−ト４８上で数回段凹部４９を通過する
ことで、複数のコロにおける後方のコロは先頭へ、先頭
にあったコロは後方へ互いの位置が入れ換わるようにな
る。したがって、本実施例は、第４の実施例で説明した
第１のプレ−トの回転方向に対して前方に位置するコロ
を段凹部によってその姿勢を変化させる作用に加え、段
凹部をＹ字形状とすることで、転動体収納部の前方と後
方に入れられたコロの位置を互いに入れ換えることが可
能となり、その結果、複数のコロを満遍なく転がすこと
ができ、コロの全面に効率よくスパッタを施すことがで
きる。

【００１３】次に、本発明の第６の実施例を説明する。
図１０の(a) は第６の実施例を示すその他の第１のプレ
−トの斜視図、(b) は(a) の転動体収納部におけるコロ
の動きを示す概念図である。第１のプレート４６は、図
１０の(a) に示すように、隣り合う複数の穴部４７を互
いに連通するように内側プレート４６１と外側プレート
４６２の二つに分離してあるものである。内側プレート
４６１と外側プレート４６２に分離したところは継手４
６３で接続している。このような構成において、図１０
の(a) のＦ部を拡大した(b) に示すように第１のプレー
ト４６の動きに連れ、複数のコロのうち、第１のプレ−
ト４６の回転方向に対して後方に位置するコロは連通溝
４６４を通り抜け、隣り合う転動体収納部に収納された
複数のコロの先頭に移すことができる。したがって、各
転動体収納部ごとに収納され、第１のプレ−トの回転方
向に対して前方と後方に入れられたコロの位置を互いに
入れ換えることが可能となり、その結果、第４の実施例
における第２のプレ−トの段凹部による作用に相乗して
複数コロを満遍なく転がすことができ、コロの全面に効
率よくスパッタを施すことができる。

【００１４】次に、本発明の第７の実施例を説明する。
図１１の(a) は本発明の第７の実施例を示す治具の側断
面図、(b) は(a) のＢＢ’線に沿う治具の平面図であ
る。本実施例は、図６の第４の実施例に示した第１のプ
レートを、回転テ−ブル３と同軸上に連結された太陽歯
車１１２とし、また、第４の実施例に示した第２のプレ
ートを、内歯車１１１とし、太陽歯車１１２と内歯車１
１１との間に転動体を収納する貫通した穴部１１３ａを
有す０遊星歯車１１３を設けてある遊星歯車式治具１１
を構成したものである。また、遊星歯車１１３の穴部１
１３ａの内壁面は円周方向に凹凸形状をしたものであ
る。なお、内歯車１１１は真空チャンバ１に固定バ−１
１１ａにより固定されており、内歯車１１１のうち、遊
星歯車１１３の穴部１１３ａに対向する面には第４の実
施例で示した段凹部１１１ｂを設けている。このような
構成において、動作を説明する。回転テ−ブル３の鉛直
上方に位置した太陽歯車１１２の自転に伴って遊星歯車
１１３が公転し、遊星歯車１１３の穴部１１３ａに収納
したコロ６１が穴部１１３ａの内壁面に設けた凹凸面に
引っ掛かって回転し、複数のコロの位置が絶えず入れ換
わるようになる。この結果、複数のコロの位置を互いに
入れ換えることが可能となり、段凹部による複数のコロ
のうち前方に位置するコロの姿勢変化作用に相乗して、
複数コロの円筒面と端面の両面を満遍なく転がすことが
でき、コロの全面に効率よくスパッタを施すことができ
る。以上にスパッタの対象となる転動体はコロについて
説明したが、転動体であれば同様の効果が得られること
が期待できる。なお、スパッタ膜の重なりの有無はコロ
表面の段差の計測、コロ表面をエッチングした時の膜消
失までのエッチング時間の違いなどの方法によって検出
される。また、ここでは、スパッタ装置の例について説
明したが、スパッタ以外の方法のコロへの成膜にも効果
が期待できる。

【００１５】

【発明の効果】以上述べたように、大気開放と反転操作
が必要であった従来の転動体に対する固体潤滑膜の製造
方法に対し、本発明によれば、スパッタ途中で真空チャ
ンバ−を大気開放することなく１回の処理で連続したス
パッタができるので、玉やコロの一部にスパッタ膜が二
重となる合わせ面を生じることなく、玉やコロの全面に
均一な膜質が得られ膜の特性が向上するという効果があ
る。また、玉の反転時の取り扱いや大気との接触がない
ため、ごみ、酸化、吸湿などで汚染されることがなく、
玉やコロの全面に清浄な潤滑膜が得られるという効果が
ある。また、スパッタ処理に手数や時間がかからず、ス
パッタ膜の生産性が向上するという効果がある。したが
って、スパッタ処理が簡便となり高信頼性の固体潤滑膜
の製造方法およびその装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 (a) は本発明の第１の実施例を示すスパッタ
装置の側断面図、(b) は(a) のＡＡ’線に沿う治具の平
面図である。

【図２】 治具のその他の実施例を示す平面図である。

【図３】 第１の実施例のその他の発明を示す装置の側
断面面である。

【図４】 本発明の第２の実施例を示す装置の側断面図
である。

【図５】 本発明の第３の実施例を示す装置の側断面図
である。

【図６】 本発明の第４の実施例を示す装置の側断面図
である。

【図７】 (a) は図６の治具の分解斜視図、(b) は(a)
の組立斜視図である。

【図８】 (a) ，(b) ，(C) は第１のプレ−トと第２の
プレ−ト間におけるコロの転がり状態を示す概念図であ
る。

【図９】 (a) は本発明の第５の実施例を示すその他の
第２のプレ−トの斜視図、(b) は(a) の段凹部における
コロの動きを示す概念図、(C) は(b) の側面図である。

【図１０】 (a) は本発明の第６の実施例を示すその他
の第１のプレ−トの斜視図、(b) は(a) の転動体収納部
におけるコロの動きを示す概念図である。

【図１１】 (a) は本発明の第７の実施例を示す治具の
側断面図、(b) は(a) のＢＢ’線に沿う装置の平面図で
ある。

【図１２】 (a) は従来例を示すスパッタ装置の側断面
図、(b) は(a) のＣＣ’線に沿う平面図である。

【符号の説明】

１：真空チャンバ− ２：ターゲット ３：回転テーブル ３１：軸 ３２、３３、３４：軸受 ４： 治具 ４ａ：穴 ４１：外リング ４２：内リング ４３：仕切り部材 ４４：転動体収納部 ４４ａ：空き間 ４５：軸 ４６：第１のプレ−ト ４６１：内側プレート ４６２：外側プレート ４６３：継手 ４６４：連通溝 ４７：穴部 ４８：第２のプレ−ト ４８ａ：固定バ− ４９：段凹部 ４９ａ：壁部 ４９ｂ：傾斜面 ５ ：シャッタ ６：玉（転動体） ６１：コロ（転動体） ７：ベース ８ ：カバー ８１：貫通穴 ９：回動機構 ９１：軸 ９２：自在継手 １０：歯車伝達機構 １０１、１０２、１０３、１０４：軸受 １１：遊星歯車式治具 １１１：内歯車 １１１ａ：固定バ− １１１ｂ：段凹部 １１２：太陽歯車 １１３：遊星歯車 １１３ａ：穴部 １１４：スライディングパッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山住 修司 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１ 号 株式会社 安川電機内 (72)発明者 板部 忠喜 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１ 号 株式会社 安川電機内 (56)参考文献 特開 平５−9707（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−88227（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−256940（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−87065（ＪＰ，Ｕ) 特公 平８−23069（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空チャンバ−の中に固体潤滑剤からな
   るターゲットとこのターゲットに間隔を置いて対向する
   回転テーブルを設け、この回転テーブル上に治具を設置
   し、この治具上の前記ターゲットに対向する位置に複数
   の転動体を収納し、前記回転テーブルを回転しながら前
   記転動体にスパッタを行う固体潤滑膜の製造方法におい
   て、 前記治具は、前記回転テ−ブルと対峙した位置に配設さ
   れた転動体収納部を構成する複数の貫通した穴部を形成
   してなる第１のプレートと、この第１のプレートと前記
   回転テーブルとの間に前記穴部と対向するように少なく
   ともその表面の一部が段凹部を形成してなる第２のプレ
   ートと、この第２のプレートを前記真空チャンバ−に固
   定する固定バ−とし、前記転動体収納部と対向する前記
   固定された第２のプレート上に前記転動体を収納し、前
   記第２のプレ−ト上で前記第１のプレ−トを回転しなが
   ら前記段凹部上を前記転動体が通過する際に前記転動体
   の姿勢を変化させるようにしたことを特徴とする固体潤
   滑膜の製造方法。
2. 【請求項２】 真空チャンバ−の中に設けた固体潤滑剤
   からなるターゲットと、このターゲットに間隔を置いて
   対向して設けた回転テーブルと、この回転テーブル上に
   設置した治具と、この治具上の前記ターゲットに対向す
   る位置に収納した複数の転動体とを備え、前記回転テー
   ブルを回転しながら前記転動体にスパッタを行う固体潤
   滑膜の製造装置において、 前記治具は、前記回転テ−ブルと対峙した位置に同軸状
   態で配設されると共に前記転動体を収納するような複数
   の貫通した穴部を有する第１のプレートと、前記第１の
   プレートと前記回転テーブルとの間に独立して設けられ
   ると共に前記穴部と対向して少なくともその表面の一部
   に段凹部を形成した第２のプレートと、前記第２のプレ
   ートを前記真空チャンバ−に固定する固定バ−とを備
   え、前記固定された第２のプレ−ト上で前記第１のプレ
   −トを回転しながら前記段凹部上で前記穴部に収納され
   た前記転動体の姿勢を変化させるものであることを特徴
   とする固体潤滑膜の製造装置。
3. 【請求項３】 前記段凹部は、一方の端部が前記第２の
   プレ−トの表面に垂直な面で形成された段付の壁部と、
   前記第１のプレ−トの回転方向に沿う前記壁 部の前方側
   に形成された傾斜面とで構成される請求項２記載の固体
   潤滑膜の製造装置。
4. 【請求項４】 前記段凹部は、前記第２のプレ−トの鉛
   直方向から見た形状がＹ字状としてある請求項２または
   請求項３記載の固体潤滑膜の製造装置。
5. 【請求項５】 前記第１のプレートは、前記隣り合う複
   数の穴部を互いに連通するように内側と外側のプレート
   の二つに分離してある請求項２または請求項３に記載の
   固体潤滑膜の製造装置。
6. 【請求項６】 前記第１のプレートを前記回転テ−ブル
   と同軸上に連結された太陽歯車とし、前記第２のプレー
   トを内歯車とし、前記太陽歯車と前記内歯車との間に前
   記転動体を収納する貫通した穴部を有する遊星歯車を設
   けてある請求項２または請求項３に記載の固体潤滑膜の
   製造装置。
7. 【請求項７】 前記遊星歯車に設けた穴部の内壁を凹凸
   状に形成してある請求項６に記載の固体潤滑膜の製造装
   置。