CN206570393U - 免开腔加料式蒸镀机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及一种免开腔加料式蒸镀机。其包括内部具有蒸镀腔室的机体，所述蒸镀腔室内设置有用于容置蒸镀材料的坩埚；所述机体的外侧设置有手套箱，所述手套箱内设置有加料腔室；所述加料腔室内设置有伸入所述蒸镀腔室内以向所述坩埚内补加蒸镀材料的加料管，所述加料管上设置有控制阀；所述加料腔室外安装有控制所述加料腔室内真空状态的真空控制装置。本实用新型能够避免蒸镀作业过程因出现材料耗尽而需要停机开腔加料的问题，大大节约了时间，提高了工作效率，并降低了开腔所需要的各种原料成本消耗。
Description
技术领域
本实用新型属于OLED显示器件制备技术领域，具体涉及OLED显示器件蒸镀工艺中所需蒸镀机的改造。
背景技术
有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一种极具发展前景的平板显示技术，它不仅具有十分优异的显示性能，还具有自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等特性，被誉为“梦幻显示器”，再加上其生产设备投资远小于液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)，得到了各大显示器厂家的青睐，已成为显示技术领域中第三代显示器件的主力军。
OLED显示器件包括：基板，形成于基板上的OLED器件及与基板贴合设置的封装盖板，所述OLED器件包括形成于基板上的阳极、形成于阳极上的有机功能层以及形成于有机功能层上的阴极，阳极与阴极激发有机功能层以实现显示。其中，OLED器件的有机功能层一般由三个功能层构成，分别为空穴传输功能层(Hole Transport Layer，HTL)、发光功能层(Emissive Layer，EML)、电子传输功能层(Electron Transport Layer，ETL)。每个功能层可以是一层，或者一层以上，例如空穴传输功能层，有时可以细分为空穴注入层和空穴传输层；电子传输功能层，可以细分为电子传输层和电子注入层，但其功能相近，故统称为空穴传输功能层和电子传输功能层。
目前，制备OLED显示器件主流的方式是真空加热镀膜，即在蒸镀机内通过加热使OLED材料蒸镀到基板上，目前实验室蒸镀机在蒸镀过程中容易出现加料不足或者蒸镀异常导致坩埚内材料在蒸镀作业进行过程中使用完，使得蒸镀过程不得不停止，进行破真空、开腔、加料、抽真空的过程，导致生产任务停滞等不良影响。
实用新型内容
为了解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种能够避免蒸镀作业过程因出现材料耗尽而影响生产停滞问题的免开腔加料式蒸镀机。
为实现上述技术目的，本实用新型采用以下的技术方案：
免开腔加料式蒸镀机，包括内部具有蒸镀腔室的机体，所述蒸镀腔室内设置有用于容置蒸镀材料的坩埚；
所述机体的外侧设置有手套箱，所述手套箱内设置有加料腔室；
所述加料腔室内设置有伸入所述蒸镀腔室内以向所述坩埚内补加蒸镀材料的加料管，所述加料管上设置有控制阀；
所述加料腔室外安装有控制所述加料腔室内真空状态的真空控制装置。
作为优选，所述真空控制装置包括真空泵。
作为优选，所述坩埚的蒸发口上方设置有挡板，所述加料管的底端穿过所述挡板。
由于采用上述技术方案，本实用新型具有至少以下有益效果：当蒸镀腔室的坩埚一旦出现蒸镀材料耗尽的状况，便可以先停止蒸镀工作，破开加料腔室的真空状态，在手套箱内进行加料动作，加完后关闭加料腔室，用真空泵对加料腔室快速进行抽真空，抽至相应真空后打开加料阀便可进行材料的导入，导入完成后即可继续进行蒸镀作业，从而提高了蒸镀过程的稳定性和连续性。
附图说明
以下附图仅旨在于对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。其中：
图1是本实用新型实施例的结构示意图。
图中：1-蒸镀腔室；2-机体；3-坩埚；4-挡板；5-手套箱；6-加料腔室；7-加料管；8-控制阀；9-真空控制装置。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，进一步阐述本实用新型。在下面的详细描述中，只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例。毋庸置疑，本领域的普通技术人员可以认识到，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，附图和描述在本质上是说明性的，而不是用于限制权利要求的保护范围。
如图1所示，免开腔加料式蒸镀机，包括内部具有蒸镀腔室1的机体2，所述蒸镀腔室1内设置有用于容置蒸镀材料的坩埚3；所述坩埚3的蒸发口上方设置有挡板4，所述机体2的外侧设置有手套箱5，所述手套箱5内设置有加料腔室6；
所述加料腔室6内设置有伸入所述蒸镀腔室1内以向所述坩埚3内补加蒸镀材料的加料管7，所述加料管7上设置有控制阀8；所述加料管7的底端穿过所述挡板4且位于坩埚3上方，以牢固安装且加料方便。
所述加料腔室6外安装有控制所述加料腔室内真空状态的真空控制装置9。其中，所述真空控制装置9可以采用真空泵以及真空阀等常用结构实现，在此不再进行详述。
参考图1，当坩埚3在蒸镀作业进行过程中材料耗尽时，可以破开加料腔室6的真空状态，破完后打开加料腔室门，在手套箱5中进行加料动作，加完后关闭加料腔室门，抽真空至相应状态后打开控制阀8进行材料的导入，导入完成后关闭控制阀8，待蒸镀腔室1恢复到相应蒸镀真空环境之后，再进行蒸镀作业，这种方案，可以避免因材料耗尽而不得不对蒸镀机进行开腔加料的问题，大大节约了时间，提高了工作效率，并降低了开腔所需要的各种原料成本消耗。
以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式，并非用以限定本实用新型的范围。任何本领域内的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。
Claims (3)
1.免开腔加料式蒸镀机，包括内部具有蒸镀腔室(1)的机体(2)，所述蒸镀腔室(1)内设置有用于容置蒸镀材料的坩埚(3)；其特征在于：
所述机体(2)的外侧设置有手套箱(5)，所述手套箱(5)内设置有加料腔室(6)；
所述加料腔室(6)内设置有伸入所述蒸镀腔室(1)内以向所述坩埚(3)内补加蒸镀材料的加料管(7)，所述加料管(7)上设置有控制阀(8)；
所述加料腔室(6)外安装有控制所述加料腔室内真空状态的真空控制装置(9)。
2.如权利要求1所述的免开腔加料式蒸镀机，其特征在于：所述真空控制装置(9)包括真空泵。
3.如权利要求1或2所述的免开腔加料式蒸镀机，其特征在于：所述坩埚(3)的蒸发口上方设置有挡板(4)，所述加料管(7)的底端穿过所述挡板(4)。
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