KR101436900B1 - Ｏｌｅｄ 제조용 박막 증착장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

OLED 제조용 박막 증착장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치는 챔버 내부에서 소정 간격으로 이격되어 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 스캔 레일; 및 한 쌍의 스캔 레일을 따라 이동하되, 기판의 전체 증착 진행 방향에 교차하는 방향으로 이동하면서 기판에 증착물질을 제공하는 소스유닛을 포함한다.
이에 의해, 작업자가 독성 물질인 유기물이 존재하는 챔버 내부로 들어가지 않고도 소스유닛의 유지보수가 가능한 효과가 있다.

Description

ＯＬＥＤ 제조용 박막 증착장치 및 그 방법{THIN LAYERS DEPOSITION APPARATUS FOR MANUFACTURING OLED AND ITS METHOD}
본 발명은, OLED 제조용 박막 증착장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 작업자가 독성 물질인 유기물이 존재하는 챔버 내부로 들어가지 않고도 소스유닛의 유지보수가 가능한 OLED 제조용 박막 증착장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로, 구조가 간단하고 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로 주목받고 있다.
이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다.
여기서, 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.
유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나누어질 수 있다.
유기전계발광표시장치에서 풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 OLED를 제작하는 방식으로는 FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.
한편, 발광층을 포함하는 유기막들은 물리적 증착 방법의 일종인 열증착(Thermal Deposition) 방법을 사용하고 있다.
여기서, 종래 기술의 경우, 증착을 위해 챔버 내부에 기판을 배치하고, 증착물질을 제공하는 소스유닛이 기판 하부에서 이동하며 기판을 증착하게 된다.
그리고, 기판의 증착은 복수의 증착챔버가 일렬로 배열되어 증착챔버와 증착챔버 사이를 이동하면서 여러 번 증착하게 된다. 즉, 하나의 증착챔버에서 기판의 증착이 완료되면 증착챔버에 연결된 로봇챔버에서 다음 증착챔버로 기판을 이동시키며, 다음 증착챔버에서 증착이 진행된다.
여기서, 택트 타임(Tact Time) 및 생산성을 고려하여, 하나의 챔버 내부에는 2개의 기판, 즉, 듀얼로 기판을 배열 후 증착이 진행되는데, 증착물질은 모든 기판에서 동일한 순서대로 제공되어야 한다.
종래 증착장치는, 소스유닛이 이동할 수 있도록 마련되는 소스 스캔용 레일이 챔버 내부에 배치되는데, 소스유닛이 소스 스캔용 레일을 따라 움직이면서 듀얼로 배치된 기판 중 하나의 기판을 증착하게 된다.
여기서, 소스 스캔용 레일은 증착챔버와 증착챔버 사이를 통해 기판이 이동하는 방향, 즉, 기판의 전체 증착 진행 방향과 동일한 방향으로 배치되므로, 소스 스캔용 레일을 따라 움직이는 소스유닛 또한, 기판의 전체 증착 진행 방향과 동일한 방향으로 이동하도록 배치되어 진행하게 된다.
그러나, 기판의 전체 증착 진행 방향과 동일한 방향으로 소스유닛이 진행하는 경우, 기판이 듀얼로 배치된 후 모든 기판에 동일한 순서대로 증착물질을 증착하기 위해서는, 소스 스캔용 레일뿐만 아니라, 듀얼로 마련된 두 개의 기판 사이를 왕복하기 위한 스위칭 레일까지 하나의 증착챔버 내부에 모두 구비되어야 하므로, 챔버 내부에 레일이 복잡하게 설치된다.
그리고, 소스유닛이 진행하는 방향의 증착챔버 외부에는 증착된 기판을 다음 증착챔버로 이동시키기 위한 로봇챔버가 연결되어 있는데, 그 쪽에는 소스유닛을 유지보수하기 위한 도어(Door)를 설치할 수 없으므로, 로봇챔버가 연결되지 않은 다른 쪽에 도어를 설치하게 된다.
하지만, 소스유닛은 기판의 전체 증착 진행 방향과 동일한 방향으로 이동하도록 배치되어 있으므로, 로봇챔버가 연결되지 않은 다른 쪽에 설치된 도어를 통해서는 소스유닛을 직접 유지보수할 수 없으며, 소스유닛을 보수하기 위해 작업자가 독성 물질인 유기물이 존재하는 챔버 내부로 직접 들어가서 작업을 해야 하는데, 이러한 열악한 작업환경은 작업자의 건강을 저해하는 문제점이 있었다.
또한, 성인 신장의 대략 70%정도에 불과한 높이를 가지는 챔버 내부에서 작업하는 경우, 작업자가 허리를 숙이거나 쪼그리고 앉아서 작업해야하므로, 챔버 내부에서 작업하는 것이 용이하지 않다는 문제점이 있었다.
그리고, 챔버 내부에 소스 스캔용 레일과, 스위칭 레일이 복잡하게 연결되어 있어서, 작업자가 챔버 내부를 이동할 때 레일 위를 넘어서 통과해야 하는 데, 이 경우, 작업자가 레일에 걸려 넘어지는 등 작업상의 애로사항을 가지는 문제점이 있었다.
대한민국공개특허 공개번호 : 제10-2006-0035405호 (출원인 : 삼성에스디아이 주식회사)
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 작업자가 독성 물질인 유기물이 존재하는 챔버 내부로 들어가지 않고도 소스유닛의 유지보수가 가능하며, 이를 통해, 전체 공정의 PM(Preventive Maintenance)시간을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있는 OLED 제조용 박막 증착장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 챔버 내부에서 소정 간격으로 이격되어 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 스캔 레일; 및 상기 한 쌍의 스캔 레일을 따라 이동하되, 기판의 전체 증착 진행 방향에 교차하는 방향으로 이동하면서 기판에 증착물질을 제공하는 소스유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 한 쌍의 스캔 레일 간격 사이의 상부에는 복수의 기판이 배치될 수 있다.
그리고, 상기 소스유닛과 상기 기판 사이에 배치되며, 상기 소스유닛에서 상기 기판에 증착물질을 제공하는 동안 상기 기판을 점진적으로 개폐하는 메인셔터를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 소스유닛은 상기 한 쌍의 스캔 레일의 중심부에 최초 위치하며, 최초 위치에서의 소스유닛을 기준으로, 상기 소스유닛의 일측 및 대향되는 타측에는 상기 복수의 기판 중 2개의 기판이 각각 배치될 수 있다.
그리고, 상기 소스유닛이 상기 2개의 기판 중 일측 기판에 증착물질을 제공하는 동안 타측 기판은 상기 메인셔터에 의해 폐쇄될 수 있다.
또한, 상기 소스유닛이 일측 기판의 증착을 완료한 후, 상기 소스유닛은 타측 기판의 단부로 이동하여 상기 타측 기판의 단부로부터 타측 기판의 증착을 시작할 수 있다.
그리고, 상기 메인셔터는, 상기 기판의 하부에 배치되는 제1메인셔터; 및 상기 제1메인셔터 하부에 배치되는 제2메인셔터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 메인셔터가 2개의 기판 중 어느 하나의 기판을 폐쇄하는 경우, 상기 제1메인셔터와 상기 제2메인셔터가 모두 펼쳐질 수 있다.
그리고, 상기 타측 기판의 증착을 위해 상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 단부로부터 소정 방향으로 구동되는 경우, 상기 메인셔터가 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 선행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 개방하며, 개방된 공간을 통해 상기 소스유닛의 증착물질이 상기 타측 기판에 제공될 수 있다.
또한, 상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 소정 방향으로 증착물질을 제공한 후, 상기 타측 기판에 대한 최초 이동방향과 반대방향으로 구동하면서 증착물질을 다시 제공하는 경우, 상기 메인셔터는 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 후행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 폐쇄할 수 있다.
그리고, 상기 제1메인셔터의 단부에는 자성체에 반응하는 금속재질의 캐치가 설치되고, 상기 제1메인셔터의 캐치와 맞닿는 상기 제2메인셔터의 단부에는 자성체가 설치되며, 상기 메인셔터가 상기 기판을 개폐하는 경우, 상기 캐치와 상기 자성체가 결합하여 함께 움직일 수 있다.
또한, 상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터를 구동하기 위해, 상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터에는 래크가 형성되어 있고, 챔버 내부에는 상기 래크에 맞물려 구동될 수 있는 피니언이 설치될 수 있다.
그리고, 상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터를 구동하기 위해, 상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터 일측에는 선형 모터가 설치될 수 있다.
또한, 상기 소스유닛의 단부에는 상기 소스유닛에서 증착되는 물질의 증착 정도를 측정하기 위해 적어도 하나의 센서가 설치될 수 있다.
그리고, 챔버 내부에서 소정 간격으로 이격되어 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 스캔 레일을 따라 소스유닛이 이동하는 단계; 및 상기 소스유닛이 상기 한 쌍의 스캔 레일을 따라 이동하되, 상기 기판의 전체 증착 진행 방향에 교차하는 방향으로 이동하면서 기판에 증착물질을 제공하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 한 쌍의 스캔 레일 간격 사이의 상부에는 복수의 기판이 배치되고, 상기 소스유닛과 상기 기판 사이에 메인셔터가 배치되며, 상기 메인셔터는 상기 소스유닛에서 상기 기판에 증착물질을 제공하는 동안 상기 기판을 점진적으로 개폐하는 단계를 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 소스유닛은 상기 한 쌍의 스캔 레일의 중심부에 최초 위치하며, 최초 위치에서의 소스유닛을 기준으로, 상기 소스유닛의 일측 및 대향되는 타측에는 2개의 기판이 각각 배치될 수 있다.
또한, 상기 소스유닛이 상기 2개의 기판 중 일측 기판에 증착물질을 제공하는 동안 상기 메인셔터가 타측 기판을 폐쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다.
그리고, 상기 소스유닛이 일측 기판의 증착을 완료한 후, 상기 소스유닛은 타측 기판의 단부로 이동하여 상기 타측 기판의 단부로부터 타측 기판의 증착을 시작하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 메인셔터는, 상기 기판의 하부에 배치되는 제1메인셔터; 및 상기 제1메인셔터 하부에 배치되는 제2메인셔터를 포함하며, 상기 메인셔터가 2개의 기판 중 어느 하나의 기판을 폐쇄하는 경우, 상기 제1메인셔터와 상기 제2메인셔터가 모두 펼쳐질 수 있다.
그리고, 상기 타측 기판의 증착을 위해 상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 단부로부터 소정 방향으로 구동되는 경우, 상기 메인셔터가 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 선행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 개방하며, 개방된 공간을 통해 상기 소스유닛의 증착물질이 상기 타측 기판에 제공되는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 소정 방향으로 증착물질을 제공한 후, 상기 타측 기판에 대한 최초 이동방향과 반대방향으로 구동하면서 증착물질을 다시 제공하는 경우, 상기 메인셔터는 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 후행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 폐쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 작업자가 독성 물질인 유기물이 존재하는 챔버 내부로 들어가지 않고도 소스유닛의 유지보수가 가능하며, 이를 통해, 전체 공정의 PM(Preventive Maintenance)시간을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 상측에서 본 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치의 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치에서 메인셔터가 없는 위치의 기판을 증착하는 작동도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치에서 메인셔터가 구비된 기판측으로 소스유닛이 이동하는 작동도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치 중 메인셔터가 구비된 기판측에서 메인셔터가 개방되면서 기판을 증착하는 작동도이다.
도 8 내지 도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치 중 메인셔터가 구비된 기판측에서 기판을 증착하면서 메인셔터가 폐쇄되는 과정에 대한 작동도이다.
도 11은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치 중 측면에서 본 메인셔트의 작동도이다.
도 12는 본 발명의 제2실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착방법에 대한 플로우 차트이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
한편, 본 발명의 명세서에서 사용되는 기판(600)은 글래스(Glass)일 수 있으며, 증착을 위한 증착챔버(510) 내부는 진공으로 마련될 수 있다.
그리고, 본 발명의 실시예에서 '기판의 전체 증착 진행 방향'은 복수로 마련되는 증착챔버(510)가 일렬로 배치되는 경우, 기판(600)이 하나의 증착챔버(510)로부터 로봇챔버(520)를 통해 다른 증착챔버(510)를 거쳐 이송되는 과정에서, 기판(600)의 이송방향을 의미한다.
즉, '기판의 전체 증착 진행 방향'은 도 1에 도시된 'W 방향'에 해당된다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)의 상측에서 본 단면도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)의 측단면도이며, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)에서 메인셔터(400)가 없는 위치의 기판(600)을 증착하는 작동도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)에서 메인셔터(400)가 구비된 기판(600)측으로 소스유닛(300)이 이동하는 작동도이며, 도 5 내지 도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100) 중 메인셔터(400)가 구비된 기판(600)측에서 메인셔터(400)가 개방되면서 기판(600)을 증착하는 작동도이고, 도 8 내지 도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100) 중 메인셔터(400)가 구비된 기판(600)측에서 기판(600)을 증착하면서 메인셔터(400)가 폐쇄되는 과정에 대한 작동도이며, 도 11은 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100) 중 측면에서 본 메인셔트의 작동도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)는 챔버(500) 내부에서 소정 간격으로 이격되어 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 스캔 레일(200)과, 한 쌍의 스캔 레일(200)을 따라 이동하되, 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하는 방향으로 이동하면서 기판(600)에 증착물질(310)을 제공하는 소스유닛(300)을 포함한다.
도 1을 참조하면, 한 쌍의 스캔 레일(200)은 챔버(500) 내부에서 소정 간격으로 이격되어 길이방향으로 배치된다.
여기서, 한 쌍의 스캔 레일(200)은 서로 평행하게 배치될 수 있으며, 또한, 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하도록 챔버(500) 내부에 설치될 수 있다.
또한, 한 쌍의 스캔 레일(200)은 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하는 방향 중 수직한 방향으로 배치될 수 있다.
여기서, 도 1을 참조하면, 소스유닛(300)은 한 쌍의 스캔 레일(200)을 따라 이동하되, 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하는 방향으로 이동하면서 기판(600)에 증착물질(310)을 제공하도록 마련된다.
즉, 한 쌍의 스캔 레일(200)이 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하도록 챔버(500) 내부에 설치되어 있고, 소스유닛(300)은 한 쌍의 스캔 레일(200)에 장착되어 한 쌍의 스캔 레일(200)을 따라 움직이므로, 소스유닛(300)은 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하는 방향으로 이동면서 기판(600)에 증착물질(310)을 제공하게 된다.
한편, 소스유닛(300)이 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하는 방향 중 수직한 방향으로 이동하면서 챔버(500) 내부에 배치된 기판(600)에 증착물질(310)을 제공할 수 있다.
이에 의해, 작업자가 독성 물질인 유기물이 존재하는 챔버(500) 내부로 들어가지 않고도 소스유닛(300)의 유지보수가 가능하며, 이를 통해, 전체 공정의 PM(Preventive Maintenance)시간을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
구체적으로 설명하면, 종래 기술의 경우, 소스유닛(300)이 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)과 동일한 방향으로 진행하도록 배치되어 있으므로, 소스유닛(300)을 유지보수하기 위한 도어(Door)(530)는 소스유닛(300)의 진행방향과 다른 측에 설치된다.
즉, 소스유닛(300)이 진행하는 방향의 증착챔버(510) 외부에는 증착된 기판(600)을 다음 증착챔버(510)로 이동시키기 위한 로봇챔버(520)가 연결되어 있는데, 그 쪽에는 소스유닛(300)을 유지보수하기 위한 도어(530)를 설치할 수 없으므로, 로봇챔버(520)가 연결되지 않은 다른 측에 도어(530)를 설치하게 된다.
여기서, 소스유닛(300)을 유지보수하기 위한 도어(530)를 개방하는 경우, 소스유닛(300)은 도어(530)가 설치되지 않은 다른 측에 대기 중이므로, 로봇챔버(520)가 연결되지 않은 다른 측에 설치된 도어(530)를 통해서는 소스유닛(300)을 직접 유지보수할 수 없으며, 소스유닛(300)을 유지보수하기 위해서 작업자가 직접 챔버(500) 내부로 들어가야 했다.
하지만, 챔버(500) 내부에는 증착을 위한 유기물이 가득 차 있고, 이러한 유기물들은 작업자의 건강을 위협하는 독성 물질이므로, 작업자의 건강에 해로운 문제가 있었다.
또한, 다수의 레일이 설치되어 이동하기 불편할 뿐만 아니라 성인 신장의 대략 70%정도에 불과한 높이를 가지는 챔버(500) 내부에서 허리를 숙이거나 쪼그리고 앉아 작업하는 경우, 작업하기도 용이하지 않지만, 유지보수에 필요한 시간, 즉, 전체 공정의 PM(Preventive Maintenance)시간이 증가하는 문제가 있었다.
그러나, 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)의 경우, 작업자가 도어(530) 내부로 들어가지 않고 도어(530) 외부에서 소스유닛(300)의 유지보수가 가능하다.
즉, 도 1을 참조하면, 한 쌍의 스캔 레일(200)이 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하도록 배치되고, 소스유닛(300)은 한 쌍의 스캔 레일(200)에 장착되어 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)과 교차하는 방향으로 진행된다.
여기서, 소스유닛(300)을 도어(530)측으로 이동 후, 챔버(500)에 설치된 도어(530)를 개방하면 소스유닛(300)이 도어(530)에 근접하게 정지하게 되며, 작업자는 챔버(500) 내부로 들어가지 않고도 도어(530)를 개방한 상태로 챔버(500) 외부에서 소스유닛(300)의 유지보수가 가능해 진다.
이를 통해, 작업자가 독성 물질인 유기물이 존재하는 챔버(500) 내부로 들어가지 않고도 소스유닛(300)의 직접적인 유지보수가 가능하므로, 작업자의 건강에 악영향을 미치지 않게 된다.
또한, 챔버(500) 내부가 아니라 챔버(500) 외부에서 도어(530)를 통해 소스유닛(300)을 유지보수할 수 있으므로, 작업자가 허리를 숙이거나 쪼그리고 앉을 필요가 없어 작업이 용이하며, 이를 통해, 전체 공정의 PM(Preventive Maintenance)시간이 감소되어 생산성 역시 향상되는 효과가 있다.
도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 소스유닛(300)은 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 최초 위치하여 복수의 기판(600)을 향해 이동하면서 증착물질(310)을 제공할 수 있다.
여기서, 하나의 챔버(500)에는 복수의 기판(600) 중 2개의 기판(600)이 배치될 수 있으며, 특히, 2개의 기판(600)은 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 최초 위치한 소스유닛(300)을 기준으로, 소스유닛(300)의 일측 및 대향되는 타측에 각각 배치될 수 있다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 소스유닛(300)의 일측에 X 기판이 배치되고, 소스유닛(300)의 타측에 Y 기판이 배치될 수 있다.
종래 기술의 경우, 소스유닛(300)이 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)과 동일한 방향으로 진행하도록 배치되므로, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 최초 위치하게 되면, 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 위치한 소스유닛(300)을 기준으로 일측과 대향되는 타측에 2개의 기판(600)이 각각 배치될 수가 없었다.
하지만, 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)의 경우, 소스유닛(300)의 최초 위치를 기준으로 일측 및 대향되는 타측에 2개의 기판(600)이 각각 배치되도록 소스유닛(300)이 설치되므로, 결국, 소스유닛(300)은 도어(530)측에 근접할 수 있는 방향으로 배치된다.
따라서, 작업자가 챔버(500) 내부로 들어가지 않고 챔버(500) 외부에서 도어(530)의 개방상태로 소스유닛(300)의 유지보수가 가능해지는 효과가 있다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 한 쌍의 스캔 레일(200) 간격 사이의 상부에는 복수의 기판(600) 중 2개의 기판(600)이 배치될 수 있다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이, 소스유닛(300)은 챔버(500) 내부 중 하부에 설치된 한 쌍의 스캔 레일(200)을 따라 움직이면서 소스유닛(300) 상부에 배치된 기판(600)에 증착물질(310)을 제공하게 된다.
그리고, 각 작업 공정에 걸리는 시간인 택트 타임(Tact Time)을 고려해, 하나의 챔버(500) 내부에는 복수의 기판(600)을 배치하여 증착이 진행될 수 있는데, 여기서, 챔버(500) 내부에는 듀얼로, 즉, 2개의 기판(600)을 하나의 챔버(500) 내부에 배치한 후, 기판(600)에 대한 증착이 진행될 수 있다.
다만, 챔버(500) 내부에 복수의 기판(600)이 배치되더라도, 기판(600)에 증착물질(310)이 증착되는 순서는 모든 기판(600)에 동일해야 한다. 즉, 증착물질(310)이 소스유닛(300)에 복수로 구비되는 경우, 복수의 증착물질(310)은 모든 기판(600)에서 동일한 순서대로 증착되어야 한다.
도 3을 참조하여 예를 들어 설명하면, 소스유닛(300)에는 제1증착물질(311)과, 제2증착물질(312)과, 제3증착물질(313)로 구성되는 복수의 증착물질(310)이 마련되어 있다.
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 일측 기판(600)인 메인셔터(400)가 없는 기판(600), 즉, X 기판을 증착하는 경우, 소스유닛(300)은 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 최초 위치하여 X 기판을 향해 이동하면서 증착을 하게 된다.
여기서, 복수의 증착물질(310)이 증착되는 순서를 살펴보면, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 X 기판의 단부(220)로 이동할 때, 즉, A 방향으로 이동할 때는 제1증착물질(311)이 가장 먼저 X 기판에 증착되고, 다음, 제2증착물질(312)이 증착되며, 마지막에 제3증착물질(313)이 증착된다.
그리고, X 기판의 단부(220)로 이동한 소스유닛(300)이 스캔 레일(200)의 일측 단부(220)로부터 스캔 레일(200)의 중심부(210)로 돌아올 때, 즉, B 방향으로 이동할 때는, 제3증착물질(313)이 가장 먼저 X 기판에 증착되고, 다음, 제2증착물질(312)이 증착되며, 마지막에 제1증착물질(311)이 증착된다.
즉, 도 3의 경우, 소스유닛(300)이 X 기판을 증착하는 때에는 제1증착물질(311) - 제2증착물질(312) - 제3증착물질(313) - 제3증착물질(313) - 제2증착물질(312) - 제1증착물질(311)의 순서에 따라 총 6번의 증착을 하게 된다.
한편, 하나의 챔버(500) 내부에 배치된 복수의 기판(600)은 모두 동일한 순서대로 증착물질(310)이 증착되어져야 하므로, 타측 기판(600)인 메인셔터(400)가 배치된 기판(600), 즉, Y 기판 역시 제1증착물질(311) - 제2증착물질(312) - 제3증착물질(313) - 제3증착물질(313) - 제2증착물질(312) - 제1증착물질(311)의 순서에 따라 총 6번의 증착이 이루어져야 한다.
하지만, 만약, Y 기판에 메인셔터(400)가 없다고 가정하면, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 이동하는 경우, 즉, 도 4의 C 방향으로 이동하는 경우, Y 기판에는 제3증착물질(313)이 가장 먼저 증착되는데, 이는 증착물질(310)의 증착순서에 위반되는 결과가 발생하게 된다.
여기서, Y 기판에 제1증착물질(311)이 가장 먼저 증착되기 위해서는 소스유닛(300)이 Y 기판의 단부(230)로부터 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)를 향해 이동하면서, 즉, 도 5 내지 도 6의 D방향으로 이동하면서 증착물질(310)을 증착해야 한다.
그러기 위해서는, 우선, X 기판의 증착을 완료하여 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 위치한 소스유닛(300)이 도 4의 C 방향과 같이 Y 기판의 단부(230)로 이동한 후, Y 기판의 단부(230)로부터 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)를 향해 이동하면서 증착을 시작해야 한다.
하지만, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 이동하는 과정에서 제3증착물질(313)부터 Y 기판에 증착될 수 있다.
이를 방지하기 위해 Y 기판에는 메인셔터(400)가 배치되는데, 소스유닛(300)과 Y 기판 사이에 배치된 메인셔터(400)는 소스유닛(300)이 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 이동하는 동안 제3증착물질(313)이 Y 기판에 증착되는 것을 방지하게 된다.
그리고, 소스유닛(300)이 Y 기판의 단부(230)로부터 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)를 향해 이동하면서 증착물질(310)을 제공하는 동안 메인셔터(400)는 Y 기판을 점진적으로 개방하게 된다.
또한, 후술하는 바와 같이, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)를 향해 이동하면서 증착물질(310)을 제공하는 동안 메인셔터(400)는 Y 기판을 점진적으로 폐쇄하게 된다.
이를 통해, 챔버(500) 내부에 복수로 배치되는 모든 기판(600)에 대해 복수의 증착물질(310)이 동일한 순서대로 증착될 수 있게 된다.
한편, 전술한 바와 같이, 소스유닛(300)이 Y 기판에 증착물질(310)을 제공하기 위해서는 먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 메인셔터(400)가 Y 기판을 폐쇄한 상태에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 이동해야 한다.
그리고, 도 5 내지 도 6을 참조하면, 소스유닛(300)이 Y 기판의 단부(230)로 이동한 후, 증착을 위해, 소스유닛(300)이 Y 기판의 단부(230)로부터 스캔 레일(200)의 중심부(210)로 이동하는 경우, 메인셔터(400)는 소스유닛(300)의 이동에 대응되는 속도로 Y 기판을 개방하면서 이동하게 된다.
즉, 메인셔터(400)는 소스유닛(300)과 동일한 방향으로 이동하되, 메인셔터(400)가 소스유닛(300)보다 먼저 구동되도록 마련되므로, 메인셔터(400)가 소스유닛(300)보다 선행되어 이동하면서 Y 기판을 조금씩 점진적으로 개방하게 되면, 소스유닛(300)은 메인셔터(400)보다 다소 늦게 이동하면서 점진적으로 개방되는 공간을 통해 Y 기판에 개방된 범위만큼 증착물질(310)을 제공하게 된다.
그리고, 소스유닛(300)이 도 5 및 도 6의 D 방향으로 Y 기판을 증착한 후, 도 7에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 위치하게 되면, Y 기판에는 제1증착물질(311) - 제2증착물질(312) - 제3증착물질(313)의 순서대로 증착물질(310)이 증착된다.
여기서, 도 7을 참조하여, 소스유닛(300)이 도 5 및 도 6의 D 방향으로 Y 기판을 증착한 후, 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 위치하게 되면, 메인셔터(400)는 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420)가 겹쳐진 상태로 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210) 중 소스유닛(300)의 상부에 위치하게 된다.
즉, 메인셔터(400)가 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210) 중 소스유닛(300)의 상부에 위치하게 되면, 메인셔터(400)가 Y 기판을 완전히 개방하게 된다.
이 후, 소스유닛(300)은 도 8 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 최초 이동방향과 반대방향인 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)측 방향으로, 즉, E 방향으로 이동하면서 Y 기판에 증착물질(310)을 제공하게 된다.
이 때, 메인셔터(400)는 소스유닛(300)보다 시간적으로 나중에 구동이 시작되어 소스유닛(300)의 이동방향과 동일한 방향으로, 소스유닛(300)의 구동에 대응되도록 후행하면서 Y 기판을 점진적으로 폐쇄하게 된다.
여기서, 메인셔터(400)가 소스유닛(300)을 후행하면서 Y 기판을 점진적으로 폐쇄하는 이유는, Y 기판에 다시 증착물질(310)이 제공되는 것을 방지하기 위함이며, 또한, 소스유닛(300)의 대기 시간을 없애 생산성을 향상시키기 위함이다.
즉, 소스유닛(300)이 Y 기판의 단부(230)로부터 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로 이동하면서 Y 기판을 증착한 후, 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 이동하면서 Y 기판을 증착하게 되면, Y 기판에는 제1증착물질(311) - 제2증착물질(312) - 제3증착물질(313) - 제3증착물질(313) - 제2증착물질(312) - 제1증착물질(311)의 순서에 따라 총 6번의 증착이 이루어진다.
이에 따라, Y 기판에 제공된 복수의 증착물질(310)의 증착순서는 X 기판과 동일하게 되며, 여기서, Y 기판의 증착은 완료되어 더이상 증착물질(310)이 Y 기판에 제공되지 않아야 한다.
그런데, 소스유닛(300)이 Y 기판을 증착하는 동안 이미 증착이 완료된 X 기판의 경우, 로봇챔버(520)에 있는 로봇에 의해 다음 기판(600)으로 이동되며, 증착이 시행되어야 하는 증착되지 않은 다른 기판(600)이 X 기판측에 배치된다.
여기서, Y 기판의 증착이 완료된 후, 소스유닛(300)은 Y 기판의 증착 중 교체된 증착되지 않은 X 기판측으로 이동하여 X 기판을 증착할 수 있다.
한편, 소스유닛(300)이 X 기판측으로 이동하기 위해서는 증착이 완료된 Y 기판을 거쳐서 지나가야 하는데, Y 기판은 증착이 완료되었으므로, 소스유닛(300)이 X 기판측으로 이동하는 동안 Y 기판에 증착물질(310)이 더이상 제공되지 않아야 한다.
따라서, 소스유닛(300)이 Y 기판을 거쳐 증착이 필요한 X 기판측으로 이동하는 동안 메인셔터(400)가 Y 기판을 폐쇄하여 증착물질(310)이 Y 기판에 제공되는 것을 방지하게 된다.
한편, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 모두 이동 후에 메인셔터(400)가 구동되기 시작하면, 메인셔터(400)가 Y 기판을 폐쇄하는 시간동안 소스유닛(300)은 Y 기판의 단부(230)에서 구동되지 않는 상태로 대기해야 한다.
그런데, 소스유닛(300)의 대기시간이 길어지면 택트 타임(Tact Time)이 길어져 단위시간당 생산가능한 생산량이 감소될 수 있게 된다.
따라서, 택트 타임(Tact Time) 감소에 따른 생산성의 증가를 위해 메인셔터(400)가 소스유닛(300)의 이동에 후행하면서 Y 기판을 폐쇄하게 된다.
즉, 소스유닛(300)이 Y 기판을 모두 증착하게 되면, 메인셔터(400)도 Y 기판을 모두 폐쇄하게 되므로, 소스유닛(300)은 Y 기판의 단부(230)에 대기할 필요없이 곧바로 X 기판측으로 이동할 수 있으며, 이에 의해, 택트 타임(Tact Time)을 단축하여 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
한편, 전술한 바와 같이, X 기판의 증착 완료 후 Y 기판을 증착하기 위해서는, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 이동할 수 있도록, 메인셔터(400)가 Y 기판을 폐쇄하고 있어야 한다.
여기서, X 기판의 증착을 완료한 후, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)의 중심부(210)에서 대기하지 않고 곧바로 Y 기판으로 이동할 수 있도록, 소스유닛(300)이 X 기판에 증착물질(310)을 제공하는 동안 Y 기판은 메인셔터(400)에 의해 미리 폐쇄될 수 있다.
그리고, 메인셔터(400)는 Y 기판이 아닌 X 기판을 개폐하도록 마련될 수 있으며, 이 경우, 소스유닛(300)은 전술한 바와 공통되는 방식으로 Y 기판을 먼저 증착한 후 X 기판으로 이동하여 X 기판을 증착하도록 마련될 수도 있다.
한편, 증착물질(310)은 전술한 바와 같이, 3개의 증착물질(310)에 한정되는 것은 아니며, 더 많은 수를 포함할 수 있음을 밝혀 둔다.
도 1 내지 도 11을 참조하면, 메인셔터(400)는 제1메인셔터(410)와, 제2메인셔터(420)를 포함할 수 있으며, 여기서, 제1메인셔터(410)는 기판(600)의 하부에 배치되고, 제2메인셔터(420)는 제1메인셔터(410)의 하부에 배치되어 미닫이 형식으로 구동가능하도록 마련될 수 있다.
즉, 도 1, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 메인셔터(400)가 2개의 기판(600) 중 Y 기판을 폐쇄하는 경우, 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420)가 모두 펼쳐진 상태로 Y 기판을 폐쇄할 수 있다.
또는, 메인셔터(400)가 소스유닛(300)의 구동에 대응되도록 후행하면서 Y 기판을 점진적으로 폐쇄할 수도 있고, 메인셔터(400)가 2개의 기판(600) 중 Y 기판을 개방하는 경우, 소스유닛(300)의 구동에 대응되도록 선행하면서 Y 기판을 점진적으로 개방할 수도 있다.
여기서, 메인셔터(400)가 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420)의 2단으로 형성되어 구동되는 경우, 하나의 메인셔터(400)로 이루어질 때보다 공간을 적게 차지할 수 있고, 또한, 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420) 중 필요한 부분만 움직이는 것에 의해 개폐 효과를 얻을 수 있으므로, 에너지 효율측면에서 유리하다.
그리고, 도 11을 참조하면, 메인셔터(400)가 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420)를 포함하는 경우, 필요에 따라, 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420) 모두가 함께 움직일 수도 있고, 또는, 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420) 중 하나만이 움직이도록 마련될 수도 있다.
여기서, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1메인셔터(410)의 단부에는 자성체(421a)에 반응하는 금속재질의 캐치(411)가 설치될 수 있고, 제1메인셔터(410)의 캐치(411)와 맞닿는 제2메인셔터(420)의 일측 단부에는 자성체(421a)가 설치될 수 있다.
그리고, 메인셔터(400)가 기판(600)을 폐쇄하는 경우, 도 11(b)를 참조하면, 먼저, 제1메인셔터(410)가 기판(600)의 하부에서 도 11을 기준으로 좌측으로 이동하여 기판(600)의 일부를 폐쇄하게 되는데, 제1메인셔터(410)의 단부에 설치된 캐치(411)가 제2메인셔터(420)의 일측 단부에 설치된 자성체(421a)와 맞닿게 되면, 자기력에 의해 캐치(411)와 자성체(421a)가 붙게 된 후 함께 움직이게 된다.
이 때, 도 11(c)에 도시된 바와 같이, 제1메인셔터(410)는 도 11을 기준으로 좌측으로 계속 이동하면서 기판(600)을 폐쇄하며, 자기력에 의해 제1메인셔터(410)에 결합된 제2메인셔터(420) 역시 제1메인셔터(410)가 이동하는 방향으로 이동하면서 기판(600)의 다른 일부를 폐쇄하게 된다.
한편, 메인셔터(400)가 기판(600)을 개방하는 경우, 도 11(b)를 참조하면, 먼저, 제1메인셔터(410)가 도 11을 기준으로 우측으로 이동하며, 자기력에 의해 제1메인셔터(410)에 결합된 제2메인셔터(420) 역시 우측으로 이동하게 된다.
여기서, 제2메인셔터(420)의 타측 단부에도 자성체(421b)가 설치될 수 있고, 제2메인셔터(420)의 하부에는 제2메인셔터(420)의 타측 단부에 설치된 자성체(421b)에 결합될 수 있는 캐치(431)가 배치될 수 있다.
즉, 메인셔터(400)가 기판(600)을 개방하여 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420)가 도 11을 기준으로 우측으로 이동할 때, 제2메인셔터(420)의 타측 단부에 설치된 자성체(421b)가 제2메인셔터(420)의 하부에 설치된 캐치(431)에 결합되면, 제2메인셔터(420)는 이동을 멈추게 된다.
그리고, 도 11(a)를 참조하여, 제1메인셔터(410)와 제2메인셔터(420)가 도 11을 기준으로 우측으로 이동할 때, 제2메인셔터(420)가 멈추게 되면, 제2메인셔터(420)에 결합된 제1메인셔터(410)가 제2메인셔터(420)로부터 분리되어 단독으로 움직이게 되며, 결국, 기판(600)을 모두 개방하게 된다.
한편, 금속재질의 캐치(411,431)는 자성체(421a,421b)에 붙을 수 있는 철, 니켈, 코발트 등으로 형성될 수 있다.
도 3 내지 도 11을 참조하면, 제1메인셔터(410) 또는 제2메인셔터(420)를 구동하기 위해, 제1메인셔터(410) 또는 제2메인셔터(420)에는 래크(412,422)가 형성될 수 있다.
즉, 제1메인셔터(410)의 양측면 또는 제2메인셔터(420)의 양측면에 기어 이빨이 형성된 래크(412,422)가 형성될 수 있다.
그리고, 래크(412,422)에 맞물려 구동할 수 있는 피니언(413,423)이 챔버(500) 내부에 설치될 수 있다.
즉, 챔버(500) 내부에 설치된 피니언(413,423)이 연결축을 통해 각종 모터 등의 구동부에 연결되어 구동부로부터 동력을 전달받으며, 구동부로부터 전달받은 동력에 의해 피니언(413,423)이 회전하게 되면, 피니언(413,423)에 맞물려 있는 래크(412,422)가 직선운동을 하게 된다.
이에 의해, 제1메인셔터(410) 또는 제2메인셔터(420)는 직선으로 이동하면서 기판(600)을 개폐할 수 있게 된다.
또는, 제1메인셔터(410) 또는 제2메인셔터(420)를 구동하기 위해, 제1메인셔터(410) 또는 제2메인셔터(420) 일측에는 선형 모터가 설치될 수 있다.
이에 의해, 제1메인셔터(410) 또는 제2메인셔터(420)가 선형 모터에 접촉되지 않으면서도 직선운동이 가능하며, 기판(600)의 개폐가 가능해진다.
여기서, 선형 모터는 비접촉식 선형 모터(LMS : Linear Motor System)일 수 있는데, 비접촉식 선형 모터는 유도 전동기를 축을 따라 절개한 평면상에 전개한 것과 같은 구조로, 고정자와 리액션 레일로 구성되며, 고정자와 리액션 레일이 접촉하지 않고도 직선운동을 하게 된다.
다만, 비접촉식 선형 모터(LMS)의 구체적인 작동 원리나 구조는 이미 공지된 것으로서, 그러한 작동원리나 구조가 본 발명의 주요 내용을 이루는 것은 아니므로 더 이상의 상세한 설명은 생략한다.
한편, 도 3 내지 도 10을 참조하면, 소스유닛(300)의 단부에는 센서(320)가 설치될 수 있다. 여기서, 센서(320)는 소스유닛(300)에서 증착되는 물질의 증착 정도를 측정하기 위해 설치되는 것으로서, 소스유닛(300)의 양 단부 중 적어도 하나에 설치될 수 있다.
이하, 본 발명의 제2실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착방법에 관한 작용 및 효과를 설명한다. 다만, 본 발명의 제1실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착장치(100)에서의 설명과 공통되는 부분은 전술한 설명으로 대체하기로 한다.
도 12는 본 발명의 제2실시예에 따른 OLED 제조용 박막 증착방법에 대한 플로우 차트이다.
도 12를 참조하면, 우선, 하나의 챔버(500) 내부에 소스유닛(300)이 움직일 수 있는 한 쌍의 스캔 레일(200)이 소정 간격으로 상호 이격되어 길이방향으로 배치되되, 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하는 방향으로 배치된다.
여기서, 소스유닛(300)이 스캔 레일(200)의 중심부(210)에 최초 위치하고, 최초 위치에서의 소스유닛(300)을 기준으로, 소스유닛(300)의 일측 및 대향되는 타측에 2개의 기판(600)이 각각 배치되며, 소스유닛(300)이 한 쌍의 스캔 레일(200)을 따라 기판의 전체 증착 진행 방향(W 방향)에 교차하는 방향으로 이동하면서 일측 기판(600)인 X 기판에 증착 물질을 제공하게 된다(S110).
다음, 소스유닛(300)이 X 기판을 증착하는 동안 메인셔터(400)가 타측 기판(600)인 Y 기판을 폐쇄하게 된다(S120).
다음, 소스유닛(300)이 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 X 기판의 단부(220)까지 이동 후, 반대방향인 X 기판의 단부(220)로부터 스캔 레일(200)의 중심부(210)까지 이동하면서 X 기판의 증착을 완료하게 되면, 소스유닛(300)은 메인셔터(400)에 의해 폐쇄되어 있는 Y 기판의 단부(230)로 이동하게 된다(S130).
다음, Y 기판의 단부(230)로 이동한 소스유닛(300)은 Y 기판의 단부(230)로부터 스캔 레일(200)의 중심부(210)로 이동하면서 Y 기판의 증착을 시작하게 된다(S140).
다음, Y 기판의 단부(230)로부터 증착을 시작한 소스유닛(300)의 구동에 대응되도록 메인셔터(400)가 소스유닛(300)에 선행하면서 Y 기판을 점진적으로 개방하게 되며, 점진적으로 개방되는 공간을 통해 소스유닛(300)이 Y 기판에 증착물질(310)을 제공하게 된다(S150).
다음, 소스유닛(300)이 스캔 레일(200)의 중심부(210)까지 이동한 후에는 Y 기판에 대한 최초 이동방향과 반대방향, 즉, 스캔 레일(200)의 중심부(210)로부터 Y 기판의 단부(230)로 이동하면서 Y 기판을 증착하게 되는데, 이 경우, 메인셔터(400)가 소스유닛(300)에 후행하면서 Y 기판을 점진적으로 폐쇄하게 되므로, Y 기판의 증착 완료 후, 소스유닛(300)이 Y 기판의 단부(230)로부터 스캔 레일(200)의 중심부(210)로 다시 이동할 수 있게 된다(S160).
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : OLED 제조용 박막 증착장치 200 : 스캔 레일
300 : 소스유닛 310 : 증착물질
320 : 센서 400 : 메인셔터
411 : 캐치 412 : 래크
413 : 피니언 421 : 자성체
422 : 래크 423 : 피니언
500 : 챔버 510 : 증착챔버
520 : 로봇챔버 530 : 도어
600 : 기판

Claims (22)

  1. 챔버 내부에서 소정 간격으로 이격되어 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 스캔 레일; 및
    상기 한 쌍의 스캔 레일을 따라 이동하되, 기판의 전체 증착 진행 방향에 교차하는 방향으로 이동하면서 기판에 증착물질을 제공하는 소스유닛을 포함하며,
    상기 한 쌍의 스캔 레일 간격 사이의 상부에는 복수의 기판이 배치되고,
    상기 소스유닛과 상기 기판 사이에 배치되며, 상기 소스유닛에서 상기 기판에 증착물질을 제공하는 동안 상기 기판을 점진적으로 개폐하는 메인셔터를 더 포함하되,
    상기 소스유닛은 상기 한 쌍의 스캔 레일의 중심부에 최초 위치하며, 최초 위치에서의 소스유닛을 기준으로, 상기 소스유닛의 일측 및 대향되는 타측에는 2개의 기판이 각각 하나씩 배치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 소스유닛이 상기 2개의 기판 중 일측 기판에 증착물질을 제공하는 동안 타측 기판은 상기 메인셔터에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 소스유닛이 일측 기판의 증착을 완료한 후, 상기 소스유닛은 타측 기판의 단부로 이동하여 상기 타측 기판의 단부로부터 타측 기판의 증착을 시작하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 메인셔터는,
    상기 기판의 하부에 배치되는 제1메인셔터; 및
    상기 제1메인셔터 하부에 배치되는 제2메인셔터를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 메인셔터가 2개의 기판 중 어느 하나의 기판을 폐쇄하는 경우, 상기 제1메인셔터와 상기 제2메인셔터가 모두 펼쳐지는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 타측 기판의 증착을 위해 상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 단부로부터 소정 방향으로 구동되는 경우, 상기 메인셔터가 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 선행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 개방하며, 개방된 공간을 통해 상기 소스유닛의 증착물질이 상기 타측 기판에 제공되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 소정 방향으로 증착물질을 제공한 후, 상기 타측 기판에 대한 최초 이동방향과 반대방향으로 구동하면서 증착물질을 다시 제공하는 경우, 상기 메인셔터는 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 후행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 폐쇄하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 제1메인셔터의 단부에는 자성체에 반응하는 금속재질의 캐치가 설치되고, 상기 제1메인셔터의 캐치와 맞닿는 상기 제2메인셔터의 단부에는 자성체가 설치되며, 상기 메인셔터가 상기 기판을 개폐하는 경우, 상기 캐치와 상기 자성체가 결합하여 함께 움직이는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터를 구동하기 위해, 상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터에는 래크가 형성되어 있고, 챔버 내부에는 상기 래크에 맞물려 구동될 수 있는 피니언이 설치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터를 구동하기 위해, 상기 제1메인셔터 또는 상기 제2메인셔터 일측에는 선형 모터가 설치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  14. 제1항, 제5항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 소스유닛의 단부에는 상기 소스유닛에서 증착되는 물질의 증착 정도를 측정하기 위해 적어도 하나의 센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착장치.
  15. 챔버 내부에서 소정 간격으로 이격되어 길이방향으로 배치되는 한 쌍의 스캔 레일을 따라 소스유닛이 이동하는 단계; 및
    상기 소스유닛이 상기 한 쌍의 스캔 레일을 따라 이동하되, 기판의 전체 증착 진행 방향에 교차하는 방향으로 이동하면서 상기 기판에 증착물질을 제공하는 단계를 포함하며,
    상기 한 쌍의 스캔 레일 간격 사이의 상부에는 복수의 기판이 배치되고, 상기 소스유닛과 상기 기판 사이에 메인셔터가 배치되며, 상기 메인셔터는 상기 소스유닛에서 상기 기판에 증착물질을 제공하는 동안 상기 기판을 점진적으로 개폐하되,
    상기 소스유닛은 상기 한 쌍의 스캔 레일의 중심부에 최초 위치하며, 최초 위치에서의 소스유닛을 기준으로, 상기 소스유닛의 일측 및 대향되는 타측에는 2개의 기판이 각각 하나씩 배치되는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착방법.
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 제15항에 있어서,
    상기 소스유닛이 상기 2개의 기판 중 일측 기판에 증착물질을 제공하는 동안 상기 메인셔터가 타측 기판을 폐쇄하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 소스유닛이 일측 기판의 증착을 완료한 후, 상기 소스유닛은 타측 기판의 단부로 이동하여 상기 타측 기판의 단부로부터 타측 기판의 증착을 시작하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 메인셔터는,
    상기 기판의 하부에 배치되는 제1메인셔터; 및
    상기 제1메인셔터 하부에 배치되는 제2메인셔터를 포함하며,
    상기 메인셔터가 2개의 기판 중 어느 하나의 기판을 폐쇄하는 경우, 상기 제1메인셔터와 상기 제2메인셔터가 모두 펼쳐지는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 타측 기판의 증착을 위해 상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 단부로부터 소정 방향으로 구동되는 경우, 상기 메인셔터가 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 선행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 개방하며, 개방된 공간을 통해 상기 소스유닛의 증착물질이 상기 타측 기판에 제공되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 소스유닛이 상기 타측 기판의 소정 방향으로 증착물질을 제공한 후, 상기 타측 기판에 대한 최초 이동방향과 반대방향으로 구동하면서 증착물질을 다시 제공하는 경우, 상기 메인셔터는 상기 소스유닛의 구동에 대응되도록 후행하면서 상기 타측 기판을 점진적으로 폐쇄하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 제조용 박막 증착방법.
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