KR101537288B1

KR101537288B1 - 진공 챔버

Info

Publication number: KR101537288B1
Application number: KR1020140001048A
Authority: KR
Inventors: 김민웅; 박의선; 오준혁
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2014-01-06
Filing date: 2014-01-06
Publication date: 2015-07-17
Also published as: KR20150081507A

Abstract

진공 챔버가 개시된다. 본 발명에 따른 진공 챔버는, 내부에 진공 공간이 마련되는 챔버 본체와, 챔버 본체에 상대이동 가능하게 결합되어 챔버 본체를 개폐하며 진공 공간에서 중량물을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부를 구비하는 도어유닛과, 도어유닛에 지지되며 중량물에 연결되는 케이블이 진공 공간에 노출되지 않도록 케이블을 차폐하는 덕트유닛을 포함한다.

Description

진공 챔버{VACCUM CHAMBER}

본 발명은, 진공 챔버에 관한 것으로서, 내부에 케이블을 배치할 수 있으며 유지보수가 용이한 진공 챔버에 관한 것이다.

정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.

이러한 평판표시소자에는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.

이 중에서 유기전계 발광소자는, 예컨대 OLED는 빠른 응답속도, 기존의 LCD보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 소자로 각광받고 있다.

이러한 유기전계 발광소자는, 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막이 순서대로 증착되어 제작되며, 양극과 음극 사이에 발생된 에너지 차이에 의해 스스로 발광한다.

다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.

도 1은 유기전계 발광소자의 구조도이다.

도 1에서 도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.

여기서, 애노드는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용되고, 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성되며, 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 사용된다. 그리고, 캐소드는 LiF-Al 금속막이 사용된다.

그리고, 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.

한편, 도 1에서 도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 구동 시 정공이 애노드로부터 발광층으로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층으로 주입된다.

발광층으로 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.

이러한 유기전계 발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계 발광소자로 구분된다.

한편, 이러한 유기전계 발광소자는 증착물질이 기판에 증착되는 증착공정을 거쳐 제작되는데, 이러한 증착공정은 일반적으로 진공 챔버의 내부에서 이루어진다.

이러한 진공 챔버의 내부에는 증착물질을 제공하는 증착소스, 증착물질을 감지하는 센서 및 증착소스와 센서를 이동시키는 모터 등이 배치된다.

이러한 센서와 모터 등은 케이블(전선)을 통해 진공 챔버 외부에 마련되는 제어부와 연결되는데, 케이블이 진공 챔버 내부의 진공 상태에 노출되는 경우 케이블에 손상이 발생될 수 있으며, 케이블에서의 아웃가스(outgas)에 의해 진공 챔버의 진공상태를 유지하기 어려운 문제점이 있다.

또한 상술한 증착소스, 센서 및 모터 등이 챔버 내부에 배치되므로 유지보수 작업이 불편한 문제점이 있다.

따라서, 진공 챔버의 내부에 배치되는 케이블을 진공 상태에 노출시키지 않으며 유지보수가 간편한 진공 챔버의 개발이 필요한 실정이다.

특허공개공보 제10-2008-0114289호 (두산메카텍 주식회사), 2008.12.31.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 내부에 배치되는 케이블을 진공 상태에 노출시키지 않으며 유지보수가 간편한 진공 챔버를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 진공 공간이 마련되는 챔버 본체; 상기 챔버 본체에 상대이동 가능하게 결합되어 상기 챔버 본체를 개폐하며, 상기 진공 공간에서 중량물을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부를 구비하는 도어유닛; 및 상기 도어유닛에 지지되며, 상기 중량물에 연결되는 케이블이 상기 진공 공간에 노출되지 않도록 상기 케이블을 차폐하는 덕트유닛을 포함하는 진공 챔버가 제공될 수 있다.

상기 도어유닛은, 도어유닛 본체부; 상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 도어유닛 본체부를 이동시키는 도어유닛용 구동부; 및 상기 챔버 본체에 일측이 연결되고 상기 도어유닛 본체부에 타측이 연결되며, 상기 도어유닛 본체부의 이동을 가이드하는 도어유닛 가이드부를 포함할 수 있다.

상기 도어유닛 가이드부는, 길이가 신축 가능한 텔레스코픽 타입 가이드부로 이루어질 수 있다.

상기 텔레스코픽 타입 가이드부는, 상기 챔버 본체에 마련된 제1 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 가이드부; 및 상기 제1 가이드부의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상면부에 상기 도어유닛 본체부가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일이 마련되는 제2 가이드부를 포함할 수 있다.

상기 중량물은 상호 이격되어 배치되는 제1 중량물 및 제2 중량물을 포함하고, 상기 케이블은 상기 제1 중량물에 연결되는 제1 케이블 및 상기 제2 중량물에 연결되는 제2 케이블을 포함하며, 상기 덕트유닛은, 상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 제1 케이블 및 상기 제2 케이블을 수용하는 게이트 덕트부; 상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제1 케이블을 수용하며, 상기 제1 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제1 케이블의 이동을 안내하는 제1 가이드 덕트부; 및 상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제2 케이블을 수용하며, 상기 제2 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제2 케이블의 이동을 안내하는 제2 가이드 덕트부를 포함할 수 있다.

상기 제1 가이드 덕트부는, 상기 게이트 덕트부에 연결되는 제1 고정몸체; 상기 제1 중량물에 연결되는 제2 고정몸체; 및 상기 제1 고정몸체와 상기 제2 고정몸체를 연결하며, 상기 제1 고정몸체 및 상기 제2 고정몸체에 회동가능하게 결합되는 회동 몸체부를 포함할 수 있다.

상기 회동 몸체부는, 상기 제1 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제1 회동축이 마련되는 제1 회동몸체; 상기 제1 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제1 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제2 회동축이 마련되는 제2 회동몸체; 및 상기 제2 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제2 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제3 회동축과 상기 제3 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되며 상기 제2 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제4 회동축이 마련되는 제3 회동몸체를 포함할 수 있다.

상기 제1 회동축과 상기 제3 회동축은 동일 중심축선 상에 배치되며, 상기 제2 회동축과 상기 제4 회동축은 동일 중심축선 상에 배치될 수 있다.

상기 제2 가이드 덕트부는, 상기 게이트 덕트부에 회동 가능하게 연결되는 제1 가이드 박스; 상기 제2 중량물에 연결되는 제2 중량물용 연결박스; 상기 제1 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되는 제2 가이드 박스; 및 상기 제2 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2 중량물용 연결박스에 연결되는 제3 가이드 박스를 포함할 수 있다.

상기 중량물 이동부는, 상기 제1 중량물 및 상기 제2 중량물을 지지하는 지지 플레이트; 상기 도어유닛 본체부에 지지되는 받침 플레이트; 상기 받침 플레이트에 회동 가능하게 연결되고 상기 지지 플레이트에 회동가능하게 연결되며, 상기 지지 플레이트를 지지하는 지지링크; 및 상기 지지 플레이트에 지지되며, 상기 지지링크를 회동시키는 링크용 회동 구동부를 포함할 수 있다.

상기 지지 플레이트는, 하면부에는 마련되는 플레이트용 엘엠 가이드; 및 상기 플레이트용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 플레이트용 엘엠 블록을 포함할 수 있다.

상기 받침 플레이트는, 도어유닛용 엘엠 가이드; 및 상기 도어유닛용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 도어유닛용 엘엠 블록을 포함할 수 있다.

상기 링크용 회동 구동부는, 상기 플레이트용 엘엠 블록에 연결되는 이동나사;

상기 이동나사가 치합되는 볼 스크류; 및 상기 볼 스크류를 회전시키며, 제2 중량물용 연결박스에 연결되는 링크용 구동모터를 포함할 수 있다.

상기 플레이트용 엘엠 가이드는 상호 이격되어 배치되는 제1 플레이트용 엘엠 가이드와 제2 플레이트용 엘엠 가이드를 포함하고, 상기 플레이트용 엘엠 블록은 제1 플레이트용 엘엠 가이드와 제2 플레이트용 엘엠 가이드 각각에 연결되는 제1 플레이트용 엘엠 블록과 제2 플레이트용 엘엠 블록을 포함하고, 상기 이동나사는 제1 플레이트용 엘엠 블록과 제2 플레이트용 엘엠 블록 각각에 연결되는 제1 이동나사와 제2 이동나사를 포함하고, 상기 볼 스크류는 상기 제1 이동나사에 치합되는 제1 볼 스크류와 상기 제1 볼스크류에 연결되며, 상기 제2 이동나사에 치합되는 제2 볼 스크류를 포함하며, 상기 제1 볼스크류와 제2 볼 스크류는 서로 반대방향의 스크류 방향을 가질 수 있다.

상기 케이블은, 상기 링크용 구동모터에 연결되는 제3 케이블을 더 포함하며, 상기 제3 케이블은, 상기 제2 중량물용 연결박스와 상기 제2 가이드 덕트부에 수용될 수 있다.

본 발명의 실시예들은, 도어유닛에 지지되는 덕트유닛이 케이블을 차폐함으로써 케이블이 진공상태에 노출되는 것을 방지할 수 있으며, 도어유닛이 챔버 본체에 대하여 상대이동됨으로써 도어유닛의 이동에 의해 중량물 및 중량물 이동부가 챔버 본체의 외부로 노출되어 유지보수가 용이하다.

도 1은 도 1은 유기전계 발광소자의 구조도이다.
도 2는 본 발명에 따른 진공 챔버가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3는 도 2의 진공 챔버가 개방된 상태가 도시된 도면이다.
도 4는 도 3의 도어유닛이 도시된 도면이다.
도 5는 도 2의 도어유닛의 사시도이다.
도 6은 도 5의 제1 가이드 덕트부가 도시된 도면이다.
도 7은 도 6의 제1 가이드 덕트부가 제1 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이다.
도 8은 도 6의 제2 가이드 덕트부가 제2 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이다.
도 9는 도 6의 중량물 이동부가 도시된 도면이다.
도 10은 도 9의 링크용 회동 구동부가 도시된 도면이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 2는 본 발명에 따른 진공 챔버가 개략적으로 도시된 도면이고, 도 3는 도 2의 진공 챔버가 개방된 상태가 도시된 도면이며, 도 4는 도 3의 도어유닛이 도시된 도면이고, 도 5는 도 2의 도어유닛의 사시도이며, 도 6은 도 5의 제1 가이드 덕트부가 도시된 도면이고, 도 7은 도 6의 제1 가이드 덕트부가 제1 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이며, 도 8은 도 6의 제2 가이드 덕트부가 제2 중량물의 이동에 따라 형상이 가변된 상태가 도시된 도면이고, 도 9는 도 6의 중량물 이동부가 도시된 도면이며, 도 10은 도 9의 링크용 회동 구동부가 도시된 도면이다.

도 2 내지 도 10에 도시된 바와 같이 진공 챔버는 내부에 진공 공간이 마련되는 챔버 본체(100)와, 챔버 본체(100)에 상대이동 가능하게 결합되어 챔버 본체(100)를 개폐하며 진공 공간에서 중량물(W1,W2)을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부(400)를 구비하는 도어유닛(200)과, 도어유닛(200)에 지지되며 중량물(W1,W2)에 연결되는 케이블(미도시)이 진공 공간에 노출되지 않도록 케이블(미도시)을 차폐하는 덕트유닛(300)을 포함한다.

본 실시예에서는 진공 챔버를 기판에 대한 증착공정이 수행되는 공정 챔버로 설명하는데, 이에 본 발명의 권리범위가 제한되는 것은 아니며, 내부를 진공 상태로 형성하는 다양한 진공 챔버가 본 발명의 진공 챔버에 해당될 수 있다.

이러한 본 실시예에 따른 진공 챔버는, 덕트유닛(300)이 케이블(미도시)을 차폐하여 케이블(미도시)을 진공상태에 노출시키지 않으며, 도어유닛(200)이 챔버 본체(100)에 대하여 상대이동됨으로써 도어유닛(200)의 이동에 의해 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)가 챔버 본체(100)의 외부로 노출되어 유지보수가 용이하다.

본 실시예에서 챔버 본체(100)의 내부에서는 기판(미도시)에 대한 증착공정이 수행된다.

증착 공정의 신뢰성을 위해 증착 공정이 이루어지는 동안 챔버 본체(100)의 내부에는 진공 공간이 형성된다. 이를 위해 챔버 본체(100)에는 진공모듈(미도시)이 구비된다.

이러한 진공모듈(미도시)은, 진공펌프(미도시), 압력센서(미도시) 및 압력 조절밸브(미도시) 등을 포함한다.

또한, 챔버 본체(100)에는 기판(S)이 인입 및 인출되는 기판출입부(미도시)가 마련된다.

본 실시예에서 중량물(W1,W2)은, 증착물질(미도시)을 제공하는 증착소스(미도시), 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)을 포함한다. 본 실시예에서 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)은 증착소스(미도시)에서 기판(미도시)으로 분사되는 증착물질(미도시)을 감지하는 감지센서로 이루어진다.

증착소스(미도시)는, 증착물질을 제공하며, 기판(미도시)의 아래쪽에 배치된다. 이러한 증착소스는, 증착 공정 시 중량물 이동부(400)에 의해 기판쪽으로 이동된다.

본 실시예에서 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)은 상호 이격되어 배치되고, 증착소스는 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2) 사이에 배치된다.

도어유닛(200)은, 챔버 본체(100)에 상대이동 가능하게 결합되어 챔버 본체(100)를 개폐하며, 진공 공간에서 중량물(W1,W2)을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부(400)를 구비한다.

이러한 도어유닛(200)은, 도어유닛 본체부(210)와, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며 도어유닛 본체부(210)를 이동시키는 도어유닛용 구동부(220)와, 챔버 본체(100)에 연결되며 도어유닛 본체부(210)의 이동을 가이드하는 도어유닛 가이드부(230)를 포함한다.

도어유닛 본체부(210)는, 챔버 본체(100)에 대하여 접근 및 이격되는 방향으로 이동되어 챔버 본체(100)를 개폐한다. 또한 도어유닛 본체부(210)는 중량물 이동부(400)를 지지한다.

도어유닛용 구동부(220)는, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며 도어유닛 본체부(210)를 이동시킨다. 이러한 도어유닛용 구동부(220)는 도어유닛 이동용 구동모터(미도시)와, 도어유닛 이동용 구동모터에 연결되어 구동력을 전달받는 이동 휠(221)을 포함한다.

도어유닛 가이드부(230)는, 챔버 본체(100)에 연결되며, 도어유닛 본체부(210)의 이동을 가이드한다. 이러한 도어유닛 가이드부(230)는, 길이가 신축 가능한 텔레스코픽 타입 가이드부(230)로 이루어진다.

텔레스코픽 타입 가이드부(230)는, 챔버 본체(100)에 마련된 제1 가이드레일(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 가이드부(231)와, 제1 가이드부(231)의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일(R2)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며 상면부에 도어유닛 본체부(210)가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일(R3)이 마련되는 제2 가이드부(232)를 포함한다.

제1 가이드부(231)는, 챔버 본체(100)에 마련된 제1 가이드레일(미도시)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 제2 가이드부(232)는, 제1 가이드부(231)의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일(R2)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결된다. 또한 제2 가이드부(232)의 상면부에는 도어유닛 본체부(210)가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일(R3)이 마련된다.

본 실시예에 따른 진공 챔버는, 길이가 신축 가능한 도어유닛 가이드부(230)에 의해 공간활용도를 극대화할 수 있다.

또한 본 실시예에 따른 도어유닛(200)은, 챔버 본체(100)의 개방 시 도어유닛 본체부(210)가 챔버 본체(100)에서 이격되어 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)를 챔버 본체(100) 외부로 노출시킴으로써, 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)의 유지보수를 용이하게 한다.

중량물 이동부(400)는, 도어유닛(200)에 지지되며, 중량물(W1,W2)을 업/다운(up/down) 이동시킨다. 설명의 편의를 위해 중량물 이동부(400)에 대해서는 후술한다.

한편, 덕트유닛(300)은 도어유닛(200)에 지지되며, 중량물(W1,W2)에 연결되는 케이블(미도시)이 진공 공간에 노출되지 않도록 케이블(미도시)을 차폐한다. 이러한 덕트유닛(300)의 내부는 대기압 상태이다.

본 실시예에서 케이블(미도시)은, 제1 중량물(W1)에 연결되는 제1 케이블(미도시), 제2 중량물(W2)에 연결되는 제2 케이블(미도시) 및 후술할 링크용 구동모터(443)에 연결되는 제3 케이블(미도시)을 포함한다. 이러한 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)은 챔버 본체(100) 외부에 배치되며 도어유닛(200)에 연결되는 케이블베어(cableveyor, 미도시)에 연결된다. 또한 이러한 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)은 후술할 지지 플레이트(410)의 이동 시 지지 플레이트(410)를 따라 이동된다.

본 실시예에서 덕트유닛(300)은, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며 제1 케이블(미도시) 및 제2 케이블(미도시)을 수용하는 게이트 덕트부(310)와, 게이트 덕트부(310)에 연결되어 제1 케이블(미도시)을 수용하며 제1 중량물(W1)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제1 케이블(미도시)의 이동을 안내하는 제1 가이드 덕트부(320)와, 게이트 덕트부(310)에 연결되어 제2 케이블(미도시)을 수용하며, 제2 중량물(W2)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제2 케이블(미도시)의 이동을 안내하는 제2 가이드 덕트부(330)를 포함한다.

게이트 덕트부(310)는, 도어유닛 본체부(210)에 결합되며, 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)을 내부에 수용한다.

제1 가이드 덕트부(320)는, 게이트 덕트부(310)에 연결되고, 제1 케이블(미도시)을 수용하며, 제1 중량물(W1)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제1 케이블(미도시)의 이동을 안내한다. 제1 가이드 덕트부(320)는 내부는 게이트 덕트부(310)의 내부에 연통된다.

이러한 제1 가이드 덕트부(320)는, 게이트 덕트부(310)에 연결되는 제1 고정몸체(321)와, 제1 중량물(W1)에 연결되는 제2 고정몸체(322)와, 제1 고정몸체(321)와 제2 고정몸체(322)를 연결하며 제1 고정몸체(321) 및 제2 고정몸체(322)에 회동가능하게 결합되는 회동 몸체부(323)를 포함한다.

제2 고정몸체(322)는 제1 중량물(W1)에 결합되어 제1 케이블(미도시)이 연결되는 제1 중량물(W1)의 연결단자(미도시)가 진공에 노출되지 않도록 차폐한다.

회동 몸체부(323)는, 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 회동되어 형상이 가변된다. 이러한 회동 몸체부(323)는, 제1 고정몸체(321)에 회동 가능하게 결합되는 제1 회동축(S1)이 마련되는 제1 회동몸체(324)와, 제1 회동몸체(324)에 회동 가능하게 결합되며 제1 회동축(S1)의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제2 회동축(S2)이 마련되는 제2 회동몸체(325)와, 제2 회동몸체(325)에 회동 가능하게 결합되며 제2 회동축(S2)의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제3 회동축(S3)과 제3 회동축(S3)의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되며 제2 고정몸체(322)에 회동 가능하게 결합되는 제4 회동축(S4)이 마련되는 제3 회동몸체(326)를 포함한다.

이러한 제1 내지 제3 회동몸체(324, 325, 326)와 제1 내지 제4 회동축(S1, S2, S3, S4)의 내부는 중공되며 상호 연통된다.

본 실시예에서 제1 회동축(S1)과 제3 회동축(S3)은 동일 중심축선 상에 배치되며, 제2 회동축(S2)과 제4 회동축(S4)은 동일 중심축선 상에 배치된다. 여기서 제1 회동축(S1)과 제3 회동축(S3)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 회동축(S2)과 제4 회동축(S4)과는 다른 중심축선 상에 배치된다.

이와 같이 본 실시예에 따른 제1 가이드 덕트부(320)는, 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 의한 제1 케이블(미도시)의 이동을 안내 시 회동 몸체부(323)의 회동구조를 통해 형상이 가변됨으로써, 공간활용도를 극대화할 수 있다.

한편, 제2 가이드 덕트부(330)는, 게이트 덕트부(310)에 연결되어 제2 케이블(미도시)을 수용하며, 제2 중량물(W2)에 연결되어 제1 중량물(W1)의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 제2 케이블(미도시)의 이동을 안내한다. 또한 제2 가이드 덕트부(330)의 내부는 게이트 덕트부(310)의 내부에 연통된다.

이러한 제2 가이드 덕트부(330)는, 게이트 덕트부(310)에 회동 가능하게 연결되는 제1 가이드 박스(331)와, 제2 중량물(W2)에 연결되는 제2 중량물용 연결박스(332)와, 제1 가이드 박스(331)에 회동 가능하게 연결되는 제2 가이드 박스(333)와, 제2 가이드 박스(333)에 회동 가능하게 연결되며 제2 중량물용 연결박스(332)에 연결되는 제3 가이드 박스(334)를 포함한다.

이러한 제1 내지 제3 가이드 박스(331,333, 334)와 제2 중량물용 연결박스(332)는 내부가 중공되며 상호 연통된다.

제2 중량물용 연결박스(332)는, 제2 중량물(W2)에 결합되어 제2 케이블(미도시)이 연결되는 제2 중량물(W2)의 연결단자(미도시)가 진공에 노출되지 않도록 차폐한다.

이와 같이 본 실시예에 따른 제2 가이드 덕트부(330)는, 제2 중량물(W2)의 업/다운(up/down)에 의한 제2 케이블(미도시)의 이동을 안내 시 제1 가이드 박스(331) 및 제2 가이드 박스(333)의 회동을 통해 형상이 가변됨으로써, 공간활용도를 극대화할 수 있다.

한편, 중량물 이동부(400)는, 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)을 지지하는 지지 플레이트(410)와, 도어유닛 본체부(210)에 지지되는 받침 플레이트(420)와, 받침 플레이트(420)에 회동 가능하게 연결되고 지지 플레이트(410)에 회동가능하게 연결되며 지지 플레이트(410)를 지지하는 지지링크(430)와, 지지 플레이트(410)에 지지되며 지지링크(430)를 회동시키는 링크용 회동 구동부(440)를 포함한다.

본 실시예에서 지지링크(430)는 서로 반대방향으로 회동되는 한 쌍의 지지링크(430)가 1조를 이루어 힌지축(H)에 회전 가능하게 결합된다. 또한 본 실시예에서 지지 플레이트(410)를 안정적으로 지지하기 위해 2개조의 지지링크(430)들(총 4개의 지지링크(430))이 지지 플레이트(410)를 지지한다.

받침 플레이트(420)는, 도어유닛용 엘엠 가이드(421)와, 도어유닛용 엘엠 가이드(421)를 따라 슬라이딩 이동되며 지지링크(430)가 회동가능하게 결합되는 도어유닛용 엘엠 블록(422)을 포함한다. 본 실시예에서 도어유닛용 엘엠 블록(422)은 서로 반대방향으로 이동되는 한 쌍의 도어유닛용 엘엠 블록(422) 2개조(총 4개의 도어유닛용 엘엠 블록)로 마련된다.

지지 플레이트(410)는, 하면부에는 마련되는 플레이트용 엘엠 가이드(411a,411b)와, 플레이트용 엘엠 가이드(411a,411b)를 따라 슬라이딩 이동되며 지지링크(430)가 회동가능하게 결합되는 플레이트용 엘엠 블록(412a, 412b)을 포함한다.

본 실시예에서 플레이트용 엘엠 블록(412a, 412b)은, 서로 반대방향으로 이동되는 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b) 2개조(총 4개의 플레이트용 엘엠 블록)로 마련된다.

이러한 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b) 각각은, 제1 플레이트용 엘엠 가이드(411a)와 제2 플레이트용 엘엠 가이드(411b) 각각에 슬라이딩 이동가능하게 연결된다.

링크용 회동 구동부(440)는, 지지 플레이트(410)에 지지되며, 지지링크(430)를 회동시킨다. 이러한 링크용 회동 구동부(440)는, 플레이트용 엘엠 블록(412a, 412b)에 연결되는 이동나사(441a, 441b)와, 이동나사(441a, 441b)가 치합되는 볼 스크류(442a, 442b)와, 볼 스크류(442a, 442b)를 회전시키며 제2 중량물용 연결박스(332)에 연결되는 링크용 구동모터(443)를 포함한다.

본 실시예에서 이동나사(441a, 441b)는, 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b) 각각에 연결되는 제1 이동나사(441a)와 제2 이동나사(441b)로 마련된다.

또한 볼 스크류(442a, 442b)는, 제1 이동나사(441a)에 치합되는 제1 볼 스크류(442a)와, 제1 볼 스크류(442a)에 연결되며 제2 이동나사(441b)에 치합되는 제2 볼 스크류(442b)로 마련된다. 여기서 제1 볼 스크류(442a)와 제2 볼 스크류(442b)는 서로 반대방향의 스크류 방향을 갖는다.

따라서 볼 스크류(442a, 442b)의 회전에 의해 제1 이동나사(441a)와 제2 이동나사(441b)는 서로 반대방향으로 이동되고, 그에 따라 제1 이동나사(441a)와 제2 이동나사(441b)에 각각 연결된 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b)도 상호 반대방향으로 이동된다.

이러한 제1 플레이트용 엘엠 블록(412a)과 제2 플레이트용 엘엠 블록(412b)의 이동에 의해 한 쌍의 지지링크(430)가 회동되고 그에 따라 지지 플레이트(410)가 업/다운(up/down)된다.

한편, 링크용 구동모터(443)는 제2 중량물용 연결박스(332)에 연결된다. 본 실시예에서 제2 중량물용 연결박스(332)는, 게이트 덕트부(310)와 제2 가이드 덕트부(330)에 수용되는 제3 케이블(미도시)을 수용한다.

이러한 제2 중량물용 연결박스(332)는, 링크용 구동모터(443)에 결합되어 제3 케이블(미도시)이 연결되는 링크용 구동모터(443)의 연결단자(미도시)가 진공에 노출되지 않도록 차폐한다.

본 실시예에서, 링크용 구동모터(443)가 지지 플레이트(410)의 업/다운(up/down)에 따라 이동되는 제2 중량물용 연결박스(332)를 통해 제3 케이블(미도시)에 연결되며 이러한 링크용 구동모터(443)가 지지 플레이트(410)에 지지되어 지지 플레이트(410)의 업/다운(up/down)에 따라 이동됨으로써, 링크용 구동모터(443)에 연결되는 제3 케이블(미도시)을 위해 별도의 차폐부재를 구비할 필요가 없어 공간활용도가 극대화된다.

이하에서 본 실시예에 따른 진공 챔버의 작동을 도어유닛(200)을 위주로 설명한다.

먼저 증착 공정을 위해 챔버 본체(100)가 폐쇄된 상태에서, 기판(미도시)에 대한 증착을 위해 지지 플레이트(410)가 기판(미도시)쪽으로 상승한다.

이때 지지 플레이트(410)에 지지되는 제1 중량물(W1), 제2 중량물(W2) 및 링크용 구동모터(443)도 지지 플레이트(410)를 따라 이동되고, 그에 따라 제1 중량물(W1), 제2 중량물(W2) 및 링크용 구동모터(443)에 연결된 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)도 이동된다.

이러한 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)은 제1 가이드 덕트부(320)와 제2 가이드 덕트부(330)에 의해 안내된다. 또한 제1 가이드 덕트부(320)와 제2 가이드 덕트부(330)는 제1 중량물(W1) 및 제2 중량물(W2)의 이동에 따라 형상이 가변되어 제1 중량물(W1), 제2 중량물(W2) 및 링크용 구동모터(443)의 이동에 무관하게 제1 케이블(미도시), 제2 케이블(미도시) 및 제3 케이블(미도시)을 진공에 노출시키지 않는다.

다음, 유지보수를 위해 챔버 본체(100)를 개방 시, 도어유닛(200)이 챔버 본체(100)에 대하여 상대이동되어 도어유닛(200)에 지지되는 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)를 챔버 본체(100)의 외부로 노출시킨다.

이와 같이 본 실시예에 따른 진공 챔버는, 도어유닛(200)에 지지되는 덕트유닛(300)이 케이블(미도시)을 차폐함으로써 케이블(미도시)이 진공상태에 노출되는 것을 방지할 수 있으며, 도어유닛(200)이 챔버 본체(100)에 대하여 상대이동됨으로써 도어유닛(200)의 이동에 의해 중량물(W1,W2) 및 중량물 이동부(400)가 챔버 본체(100)의 외부로 노출되어 유지보수가 용이하다.

이상 도면을 참조하여 본 실시예에 대해 상세히 설명하였지만 본 실시예의 권리범위가 전술한 도면 및 설명에 국한되지는 않는다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 챔버 본체 200: 도어유닛
210: 도어유닛 본체부 220: 도어유닛용 구동부
221: 이동 휠 230: 도어유닛 가이드부
231: 제1 가이드부 232: 제2 가이드부
300: 덕트유닛 310: 게이트 덕트부
320: 제1 가이드 덕트부 321: 제1 고정몸체
322: 제2 고정몸체 323: 회동 몸체부
324: 제1 회동몸체 325: 제2 회동몸체
326: 제3 회동몸체 330: 제2 가이드 덕트부
331: 제1 가이드 박스 332: 제2 중량물용 연결박스
333: 제2 가이드 박스 334: 제3 가이드 박스
400: 중량물 이동부 410: 지지 플레이트
411a: 제1 플레이트용 엘엠 가이드
411b: 제2 플레이트용 엘엠 가이드
412a: 제1 플레이트용 엘엠 블록
412b: 제2 플레이트용 엘엠 블록
420: 받침 플레이트 421: 도어유닛용 엘엠 가이드
422: 도어유닛용 엘엠 블록 430: 지지링크
440: 링크용 회동 구동부 441a: 제1 이동나사
441b: 제2 이동나사 442a: 제1 볼 스크류
442b: 제2 볼 스크류 443: 링크용 구동모터
W1: 제1 중량물 W2: 제2 중량물
R1: 제1 가이드레일 R2: 제2 가이드레일
R3: 제3 가이드레일 S1: 제1 회동축
S2: 제2 회동축 S3: 제3 회동축
S4: 제4 회동축 H: 힌지축

Claims

내부에 진공 공간이 마련되는 챔버 본체;
상기 챔버 본체에 상대이동 가능하게 결합되어 상기 챔버 본체를 개폐하며, 상기 진공 공간에서 중량물을 업/다운(up/down) 이동시키는 중량물 이동부를 구비하는 도어유닛; 및
상기 도어유닛에 지지되며, 상기 중량물에 연결되는 케이블이 상기 진공 공간에 노출되지 않도록 상기 케이블을 차폐하는 덕트유닛을 포함하는 진공 챔버.
제1항에 있어서,
상기 도어유닛은,
도어유닛 본체부;
상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 도어유닛 본체부를 이동시키는 도어유닛용 구동부; 및
상기 챔버 본체에 일측이 연결되고 상기 도어유닛 본체부에 타측이 연결되며, 상기 도어유닛 본체부의 이동을 가이드하는 도어유닛 가이드부를 포함하는 진공 챔버.
제2항에 있어서,
상기 도어유닛 가이드부는, 길이가 신축 가능한 텔레스코픽 타입 가이드부인 진공 챔버.
제3항에 있어서,
상기 텔레스코픽 타입 가이드부는,
상기 챔버 본체에 마련된 제1 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제1 가이드부; 및
상기 제1 가이드부의 상면부에 마련되는 제2 가이드레일에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 상면부에 상기 도어유닛 본체부가 슬라이딩 이동 가능하게 연결되는 제3 가이드레일이 마련되는 제2 가이드부를 포함하는 진공 챔버.
제2항에 있어서,
상기 중량물은 상호 이격되어 배치되는 제1 중량물 및 제2 중량물을 포함하고,
상기 케이블은 상기 제1 중량물에 연결되는 제1 케이블 및 상기 제2 중량물에 연결되는 제2 케이블을 포함하며,
상기 덕트유닛은,
상기 도어유닛 본체부에 결합되며, 상기 제1 케이블 및 상기 제2 케이블을 수용하는 게이트 덕트부;
상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제1 케이블을 수용하며, 상기 제1 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제1 케이블의 이동을 안내하는 제1 가이드 덕트부; 및
상기 게이트 덕트부에 연결되어 상기 제2 케이블을 수용하며, 상기 제2 중량물에 연결되어 상기 제1 중량물의 업/다운(up/down)에 따라 형상이 가변되어 상기 제2 케이블의 이동을 안내하는 제2 가이드 덕트부를 포함하는 진공 챔버.
제5항에 있어서,
상기 제1 가이드 덕트부는,
상기 게이트 덕트부에 연결되는 제1 고정몸체;
상기 제1 중량물에 연결되는 제2 고정몸체; 및
상기 제1 고정몸체와 상기 제2 고정몸체를 연결하며, 상기 제1 고정몸체 및 상기 제2 고정몸체에 회동가능하게 결합되는 회동 몸체부를 포함하는 진공 챔버.
제6항에 있어서,
상기 회동 몸체부는,
상기 제1 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제1 회동축이 마련되는 제1 회동몸체;
상기 제1 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제1 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제2 회동축이 마련되는 제2 회동몸체; 및
상기 제2 회동몸체에 회동 가능하게 결합되며 상기 제2 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되는 제3 회동축과 상기 제3 회동축의 가상의 중심축선에서 이격된 위치에 배치되며 상기 제2 고정몸체에 회동 가능하게 결합되는 제4 회동축이 마련되는 제3 회동몸체를 포함하는 진공 챔버.
제7항에 있어서,
상기 제1 회동축과 상기 제3 회동축은 동일 중심축선 상에 배치되며, 상기 제2 회동축과 상기 제4 회동축은 동일 중심축선 상에 배치되는 진공 챔버.
제6항에 있어서,
상기 제2 가이드 덕트부는,
상기 게이트 덕트부에 회동 가능하게 연결되는 제1 가이드 박스;
상기 제2 중량물에 연결되는 제2 중량물용 연결박스;
상기 제1 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되는 제2 가이드 박스; 및
상기 제2 가이드 박스에 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2 중량물용 연결박스에 연결되는 제3 가이드 박스를 포함하는 진공 챔버.
제9항에 있어서,
상기 중량물 이동부는,
상기 제1 중량물 및 상기 제2 중량물을 지지하는 지지 플레이트;
상기 도어유닛 본체부에 지지되는 받침 플레이트;
상기 받침 플레이트에 회동 가능하게 연결되고 상기 지지 플레이트에 회동가능하게 연결되며, 상기 지지 플레이트를 지지하는 지지링크; 및
상기 지지 플레이트에 지지되며, 상기 지지링크를 회동시키는 링크용 회동 구동부를 포함하는 진공 챔버.
제10항에 있어서,
상기 지지 플레이트는,
하면부에는 마련되는 플레이트용 엘엠 가이드; 및
상기 플레이트용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 플레이트용 엘엠 블록을 포함하는 진공 챔버.
제10항에 있어서,
상기 받침 플레이트는,
도어유닛용 엘엠 가이드; 및
상기 도어유닛용 엘엠 가이드를 따라 슬라이딩 이동되며, 상기 지지링크가 회동가능하게 결합되는 도어유닛용 엘엠 블록을 포함하는 진공 챔버.
삭제
삭제
삭제