KR101514210B1

KR101514210B1 - 박막 증착장치

Info

Publication number: KR101514210B1
Application number: KR1020130110824A
Authority: KR
Inventors: 강병두; 이춘식; 조광희; 이동호
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2013-09-16
Filing date: 2013-09-16
Publication date: 2015-04-22
Also published as: KR20150031531A

Abstract

박막 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치는, 기판에 증착물질을 제공하는 소스(source)가 복수 개 마련된 소스 어셈블리; 소스 어셈블리의 상부에 배치되되, 복수의 소스를 선택적으로 개폐하는 소스 개폐유닛; 및 소스 개폐유닛에 연결되되, 소스에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하는 증착물질 검출유닛을 포함하며, 소스 개폐유닛은, 복수의 소스 중 하나는 기판 방향으로 증착물질을 제공하고, 복수의 소스 중 다른 하나는 증착물질 검출유닛 방향으로 증착물질을 제공하도록, 복수의 소스를 선택적으로 개폐한다.

Description

박막 증착장치{THIN LAYERS DEPOSITION APPARATUS}

본 발명은, 박막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판에 대한 증착정밀도를 향상시킬 수 있는 박막 증착장치에 관한 것이다.

정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광 받고 있다.

이러한 평판표시소자에는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.

이 중에서 유기전계 발광소자는, 예컨대 OLED는 빠른 응답속도, 기존의 LCD보다 낮은 소비 전력, 경량성, 별도의 백라이트(back light) 장치가 필요 없어서 초박형으로 만들 수 있는 점, 고휘도 등의 매우 좋은 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 소자로 각광받고 있다.

이러한 유기전계 발광소자는 기판 위에 양극 막, 유기 박막, 음극 막을 순서대로 증착하고, 양극과 음극 사이에 전압을 걸어 유기 박막에 에너지 차이를 형성하여 발광하게 하는 원리이다.

다시 말해, 주입되는 전자와 정공(hole)이 재결합하며, 남는 여기 에너지가 빛으로 발생되는 것이다. 이때 유기 물질의 도펀트의 양에 따라 발생하는 빛의 파장을 조절할 수 있으므로 풀 칼라(full color)의 구현이 가능하다.

도 1은 유기전계 발광소자의 구조도이다.

도 1에서 도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 기판 상에 애노드(anode), 정공 주입층(hole injection layer), 정공 운송층(hole transfer layer), 발광층(emitting layer), 전자 운송층(electron transfer layer), 전자 주입층(electron injection layer), 캐소드(cathode) 등의 막이 순서대로 적층되어 형성된다.

여기서, 애노드는 면 저항이 작고 투과성이 좋은 ITO(Indium Tin Oxide)가 주로 사용되고, 유기 박막은 발광 효율을 높이기 위하여 정공 주입층, 정공 운송층, 발광층, 전자 운송층, 전자 주입층의 다층으로 구성되며, 발광층으로 사용되는 유기물질은 Alq3, TPD, PBD, m-MTDATA, TCTA 등이 사용된다. 그리고, 캐소드는 LiF-Al 금속막이 사용된다.

그리고, 유기 박막이 공기 중의 수분과 산소에 매우 약하므로 소자의 수명(life time)을 증가시키기 위해 봉합하는 봉지막이 최상부에 형성된다.

한편, 도 1에서 도시한 바와 같이, 유기전계 발광소자는 구동 시 정공이 애노드로부터 발광층으로 주입되고, 전자는 캐소드로부터 발광층으로 주입된다.

발광층으로 주입된 정공과 전자는 결합하여 엑시톤(exciton)을 생성하고, 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 전이하면서 빛을 방출하게 된다.

이러한 유기전계 발광소자는 구현하는 색상에 따라 단색 또는 풀 칼라(full color) 유기전계 발광소자로 구분된다.

한편, 유기전계 발광소자는, 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나누어질 수 있다.

풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 대형 OLED를 제작하는 방식으로는 FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과 LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 있다.

마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작하는 경우에는 공정챔버 내부에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 마스크를 향해 증착물질을 분사하여 기판에 증착물질을 증착시키는 수평식 상향 증착공법이 널리 적용되고 있다.

수평식 상향 증착공법은, 공정챔버의 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인한 후 합착시켜 수평상태에서 대형기판에 유기물을 증착하는 방법이다.

한편, 기판에 대한 증착공정을 수행함에 있어서, 소스(source)에서 제공되는 증착물질의 양이 기판에 박막을 형성하는데 필요한 양을 충족하지 못하거나, 필요 이상의 많은 양인 경우에, 기판에 증착된 박막의 두께 등과 같은 증착정밀도가 저하되는 문제점이 있다.

따라서, 기판에 제공되는 증착물질의 양을 검출하여 기판에 대한 증착정밀도를 향상시키는 연구가 필요하다.

[문헌1] 대한민국 공개특허 10-2010-0066682(삼성모바일디스플레이 주식회사) 2010.06.18 공개

따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 기판에 대한 증착정밀도를 향상시킬 수 있는 박막 증착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 증착물질을 제공하는 소스(source)가 복수 개 마련된 소스 어셈블리; 상기 소스 어셈블리의 상부에 배치되되, 상기 복수의 소스를 선택적으로 개폐하는 소스 개폐유닛; 및 상기 소스 개폐유닛에 연결되되, 상기 소스에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하는 증착물질 검출유닛을 포함하며, 상기 소스 개폐유닛은, 상기 복수의 소스 중 하나는 상기 기판 방향으로 증착물질을 제공하고, 상기 복수의 소스 중 다른 하나는 상기 증착물질 검출유닛 방향으로 증착물질을 제공하도록, 상기 복수의 소스를 선택적으로 개폐하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치가 제공될 수 있다.

상기 증착물질 검출유닛은, 일단부가 상기 소스 개폐유닛에 연결되되, 상기 소스 개폐유닛에 의해 개방된 상기 소스에서 제공되는 증착물질의 이동경로를 안내하는 증착물질 이동배관; 및 상기 증착물질 이동배관의 타단부에 인접하게 배치되되, 상기 증착물질 이동배관을 따라 이동된 상기 증착물질의 증착정도를 검출하는 증착물질 검출센서부를 포함할 수 있다.

상기 증착물질 검출유닛은, 상기 소스에서 제공되는 상기 증착물질이 상기 증착물질 이동배관의 내벽에 부착되어 파티클을 이룬 후 상기 소스로 유입되는 것을 방지하도록, 상기 증착물질 이동배관의 내부에 마련되어 상기 증착물질을 증착하는 증착물질 증착부를 더 포함할 수 있다.

상기 증착물질 증착부는, 상기 증착물질 이동배관의 내벽에 설치된 복수의 공극을 갖는 다공부재일 수 있다.

상기 다공부재는, 복수의 공극을 구비한 메시(mesh) 형상으로 형성될 수 있다.

상기 증착물질 검출유닛은, 상기 소스에서 제공되는 상기 증착물질이 상기 증착물질 이동배관의 내벽에 부착되어 파티클을 이룬 후 상기 증착물질 이동배관의 내벽을 따라 낙하되는 경우에 상기 파티클이 상기 소스로 유입되는 것을 방지하도록, 상기 증착물질 이동배관의 내벽에서 이격되게 마련된 격벽을 더 포함하며, 상기 증착물질 이동배관의 내벽과 상기 격벽 사이에 상기 파티클이 포집될 수 있다.

상기 소스 개폐유닛은, 상기 복수의 소스의 개구부를 덮는 소스 덮개부를 포함하며, 상기 소스 덮개부는, 상기 복수의 소스 중 하나의 소스와 상기 증착물질 이동배관이 연통되도록 상기 증착물질 이동배관이 연결되는 위치에 형성된 제1 개구부; 및 상기 복수의 소스 중 상기 기판방향으로 증착물질을 제공하는 다른 소스의 위치에 대응되는 위치에 형성된 제2 개구부를 포함할 수 있다.

상기 소스 개폐유닛은, 상기 소스 덮개부에 설치되어, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부를 슬라이딩 개폐하는 슬라이딩 셔터를 더 포함할 수 있다.

상기 슬라이딩 셔터는, 상기 소스 덮개부에 설치되어, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부의 위치에 대응되는 위치에 상기 소스가 위치한 경우에 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부를 슬라이딩 개폐하는 슬라이딩 플레이트; 및 상기 소스 덮개부에 설치되되, 상기 슬라이딩 플레이트에 연결되어, 상기 슬라이딩 플레이트가 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부를 슬라이딩 개폐하도록 상기 슬라이딩 플레이트를 이동시키는 플레이트 이동부를 포함할 수 있다.

상기 슬라이딩 셔터는, 상기 소스 덮개부에 설치되어 제1 개구부 및 제2 개구부의 위치에 대응되는 위치에 상기 소스가 접근하는 것을 감지하는 감지센서를 더 포함할 수 있다.

상기 복수의 소스는, 동심원을 형성하도록 배치되며, 상기 제1 개구부 및 제2 개구부는, 동심원을 형성하는 상기 복수의 소스에 대응하여 동심원을 형성하도록 배치될 수 있다.

상기 소스 어셈블리를 지지하며, 상기 소스 개폐유닛에 대해 상기 소스 어셈블리를 상대 회전시키는 스테이지 유닛을 더 포함하며, 상기 스테이지 유닛은, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부의 위치에 대응되게 상기 복수의 소스를 회전시킬 수 있다.

상기 스테이지 유닛은, 상기 소스 어셈블리가 안착되는 스테이지; 및 상기 스테이지의 하부에 배치되되, 상기 스테이지에 회전축이 연결되어 상기 스테이지를 상기 소스 개폐유닛에 대해 상대 회전시키는 스테이지 구동부를 포함할 수 있다.

상기 스테이지 유닛은, 상기 스테이지와 상기 스테이지 구동부 사이에 배치되어 상기 스테이지를 접촉지지하는 베어링부재를 더 포함할 수 있다.

상기 기판에 대한 증착공간을 형성하며, 상기 소스 어셈블리와 상기 소스 개폐유닛 및 상기 증착물질 검출유닛을 수용하는 공정챔버; 및 상기 공정챔버의 내부에 마련되어 상기 기판을 상기 소스 어셈블리 방향으로 이송하는 기판 이송유닛을 더 포함하며, 상기 기판 이송유닛은, 상기 기판을 지지하되, 상기 소스 어셈블리 방향으로 이송되는 기판 캐리어; 및 상기 기판 캐리어가 안착되되, 상기 소스 어셈블리 방향으로 길게 배치되어 상기 기판 캐리어를 상기 소스 어셈블리 방향으로 이송하는 캐리어 이송부를 포함할 수 있다.

상기 캐리어 이송부는, 상기 소스 어셈블리의 상부에 배치되되, 상기 소스 어셈블리 방향으로 길게 배치된 LM 가이드 레일; 상기 기판 캐리어에 연결되되, 상기 LM 가이드 레일을 따라 이송되는 LM 블록; 및 상기 LM 블록을 상기 LM 가이드 레일을 따라 이송시키는 LM 구동부를 포함할 수 있다.

상기 기판은, 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Display Diodes)용 기판일 수 있다.

본 발명의 실시예는, 소스에서 제공되는 증착물질을 검출하는 증착물질 검출유닛을 마련함으로써, 기판에 형성된 박막의 두께 등 기판에 대한 증착공정을 수행함에 있어 기판에 대한 증착정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 유기전계 발광소자의 구조도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치를 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착장치를 개략적으로 나타내는 구조도이다.
도 4는 도 2의 A 방향에서 바라본 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 어셈블리, 소스 개폐유닛, 스테이지 유닛 및 증착물질 검출유닛의 결합상태를 나타내는 사시도이다.
도 6은 도 5의 B 방향에서 바라본 도면이다.
도 7은 도 5의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착물질 이동배관을 나타내는 단면도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

이하에서 설명될 기판은, 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판 표시소자에 사용되는 기판을 포함한다..

본 실시예에서는 기판을 수평되게 배치하고, 기판의 하부에서 기판 방향으로 증착물질을 제공하여 기판에 대한 증착공정을 수행하는 수평식 상향 증착방식을 적용하였으나, 이에 한정되지 않고 기판을 수직되게 혹은 비스듬히 경사지게 세워 배치한 후 기판에 증착물질을 제공하는 수직식 증착방식이 적용되는 경우에도 본 발명의 권리범위가 적용될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치는, 기판에 증착물질을 제공하는 복수의 소스 중 어느 하나의 소스에서 제공되는 증착물질의 양 등을 검출한 후, 해당 소스를 이용하여 기판에 대한 증착공정을 수행하도록 함으로써, 기판에 대한 증착정밀도를 향상시키고 아울러 기판에 박막을 형성함에 있어 수율을 향상시킬 수 있다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치에 대해 상세하게 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치를 개략적으로 나타내는 구조도이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 증착장치를 개략적으로 나타내는 구조도이고, 도 4는 도 2의 A 방향에서 바라본 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치를 나타내는 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 소스 어셈블리, 소스 개폐유닛, 스테이지 유닛 및 증착물질 검출유닛의 결합상태를 나타내는 사시도이고, 도 6은 도 5의 B 방향에서 바라본 도면이고, 도 7은 도 5의 평면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착물질 이동배관을 나타내는 단면도이다.

도 2 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치는, 기판(G)에 대한 증착공간을 형성하는 공정챔버(100)와, 기판(G)에 증착물질을 제공하는 소스(source)가 복수 개 마련된 소스 어셈블리(300)와, 공정챔버(100)의 내부에 마련되어 기판(G)을 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송하는 기판 이송유닛(200)과, 소스 어셈블리(300)의 상부에 배치되되 복수의 소스(310)를 선택적으로 개폐하는 소스 개폐유닛(400)과, 소스 어셈블리(300)를 지지하며 소스 개폐유닛(400)에 대해 소스 어셈블리(300)를 상대 회전시키는 스테이지 유닛(500)과, 소스 개폐유닛(400)에 연결되되 소(310)스에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하는 증착물질 검출유닛(600)을 포함한다.

여기서, 증착물질의 증착정도는, 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 양 및 소스에서 제공되는 증착물질이 기판(G)에 부착되는 정도를 포함한다.

도 2를 참조하면, 공정챔버(100)는 기판(G)에 대한 증착물질을 증착하는 증착공정이 진행되는 공간을 형성한다.

증착공정이 진행되는 동안, 공정챔버(100)의 내부는 기판(G)에 대한 증착공정이 신뢰성 있게 진행될 수 있도록 진공상태를 유지한다.

이를 위해, 공정챔버(100)의 일측에는 공정챔버(100)의 내부를 진공분위기로 유지하기 위한 진공모듈(미도시)이 설치될 수 있다.

도시되지는 않았으나, 진공모듈은 진공배관들을 통해 공정챔버(100)와 연결될 수 있으며, 진공펌프, 압력센서, 압력 조절밸브 등을 포함한다.

그리고, 공정챔버(100)의 일측에는 기판(G) 또는 기판(G)이 안착된 기판 캐리어(210)가 반입되는 기판 유입구(미도시)와, 공정챔버(100)의 내부에 반입된 기판(G) 또는 기판 캐리어(210)가 외부로 반출되는 기판 유출구(미도시)가 설치된다.

그리고, 기판 유입구 및 기판 유출구에는 게이트 밸브(미도시)가 각각 설치되어 기판 유입구 및 기판 유출구를 개폐한다.

그리고, 본 실시예에서 공정챔버(100)의 내부로 반입된 기판(G)은, 기판 캐리어(210)에 안착된 후 후술할 공정챔버(100)의 내부에 배치된 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송된다.

기판(G)이 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송된 후, 소스 어셈블리(300)에 마련된 복수의 소스(310) 중 적어도 어느 하나의 소스(310)에서 기판(G)에 증착물질을 제공함으로써, 기판(G)에 대한 증착공정이 이뤄진다.

따라서, 본 실시예에서는 공정챔버(100)의 내부에서 소스 어셈블리(300) 방향으로 기판(G)을 이송하기 위한 기판 이송유닛(200)이 마련된다.

도 2 내지 도 4을 참조하면, 기판 이송유닛(200)은, 기판(G)을 지지하되 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송되는 기판 캐리어(210)와, 기판 캐리어(210)가 안착되되 소스 어셈블리(300) 방향으로 길게 배치되어 기판 캐리어(210)를 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송하는 캐리어 이송부(250,250a)를 포함한다.

본 실시예에서 기판(G)은 기판 캐리어(210)의 상부에 안착되어 지지되며, 기판 캐리어(210)에는 하부에 배치된 소스 어셈블리(300)에 마련된 복수의 소스(310) 중 적어도 하나 이상의 소스(310)로부터 제공되는 증착물질이 기판(G)에 도달될 수 있도록 관통홀(211)이 형성된다.

그리고, 기판(G)과 기판 캐리어(210)의 상면 사이 또는 기판 캐리어(210)의 관통홀(211)이 형성된 하부에 마스크(M)가 부착될 수 있다.

그리고, 기판 캐리어(210)는 캐리어 이송부(250,250a)에 의해 소스 어셈블리(300)의 상부로 이송된다.

캐리어 이송부(250)는 기판 캐리어(210)와 직접적으로 접촉하여 기판 캐리어(210)를 지지하되 기판 캐리어(210)를 이송하는 역할을 한다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서 캐리어 이송부(250)는, 소스 어셈블리(300)의 상부에 배치되되 소스 어셈블리(300) 방향으로 길게 배치된 LM 가이드 레일(251)과, 일측이 기판 캐리어(210)에 연결되되 LM 가이드 레일(251)을 따라 이송되는 LM 블록(253)과, LM 블록(253)을 LM 가이드 레일(251)을 따라 이송시키는 LM 구동부(미도시)를 포함한다.

또한, 도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 캐리어 이송부(250a)는, 기판 캐리어(210)가 안착되되 소스 어셈블리(300) 방향으로 상호 이격되게 배치되어 기판 캐리어(210)를 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송하는 복수의 회전체(250a)와, 복수의 회전체(250a) 중 적어도 어느 하나에 연결되어 회전력을 제공하는 회전체 구동부(미도시)를 포함한다.

복수의 회전체(250a)는 공정챔버(100)의 내부에 배치되고, 기판 캐리어(210)와 직접적으로 접촉하여 기판 캐리어(210)를 지지하되 그 자체가 회전함에 따라 기판 캐리어(210)를 이송하는 역할을 한다.

그리고, 회전체(250a)는 롤러 타입(roller type)으로 기판 캐리어(210)의 양측부가 안착되는 이송롤러로 구성될 수 있다.

즉, 이송롤러인 회전체(250a)가 소스 어셈블리(300) 방향을 따라 소정간격 이격되고 상호 평행되게 배치된다.

그리고, 이송롤러의 외주면에는 기판 캐리어(210)가 미끄러지는 것을 개선하기 위해 마찰계수가 높은 재질의 띠(미도시)를 설치할 수 있다. 이러한 띠는 기판 캐리어(210)와의 마찰력을 증대시켜 기판 캐리어(210)의 미끄러짐을 개선할 수 있다.

그리고, 회전체 구동부는 회전체에 회전력을 전달하는 역할을 하다.

회전체 구동부는 복수의 회전체(250a) 중 적어도 어느 하나에 연결되어 회전력을 제공하는 구동모터를 포함할 수 있으나, 이에 한정되지 않고 회전체(250a)를 회전시켜 기판 캐리어(210)를 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송할 수 있는 것이면 어느 것이든 사용가능하다.

상기와 같이, 기판 캐리어(210)는 LM 타입 또는 회전체 타입의 캐리어 이송부(250,250a)에 의해 소스 어셈블리(300) 방향으로 이송된 후, 소스 어셈블리(300)에 마련된 소스(310)에서 기판(G)으로 증착물질을 제공하여 기판(G)에 박막을 증착한다.

그리고, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 소스 어셈블리(300)는, 기판(G)에 대한 증착물질을 제공하는 역할을 한다.

본 실시예에 따른 소스 어셈블리(300)는, 기판(G)에 박막을 형성하도록 증착물질을 제공하는 복수의 소스(source,310)와, 복수의 소스(310)가 수용된 본체부(330)를 포함한다.

복수의 소스(310) 각각에는 증착물질이 증기형태로 기판(G)에 분사되도록 진공펌프(미도시)가 연결될 수 있다. 여기서, 진공펌프는 터보펌프일 수 있다.

그리고, 진공펌프의 후방에는 기판에 증착되지 않은 물질을 공정챔버(100)의 내부에서 외부로 배출할 때 필터링할 수 있도록 필터부재(미도시)가 연결될 수 있다.

그리고, 본체부(330)는 소스 어셈블리(300)의 외관을 형성하는 부분으로서, 본체부(330)의 내부에 복수의 소스(310)가 수용된다.

도 7을 참조하면, 복수의 소스(310)는 본체부(330)에 동심원을 형성하도록 배치된다. 이는 기판(G)에 대한 증착공정을 수행함에 있어서, 후술할 스테이지 유닛(400)으로 본체부(330)를 소스 개폐유닛(500)에 대해 상대 회전시켜 복수의 소스(310)를 순차로 사용하기 위함이다.

그리고, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 소스 개폐유닛(400)은, 소스 어셈블리(300)에 마련된 복수의 소스(310)를 선택적으로 개폐하는 역할을 한다.

소스 개폐유닛(400)은, 복수의 소스(310)의 개구부를 덮는 소스 덮개부(410)를 포함한다.

소스 덮개부(410)는, 동심원을 형성하는 복수의 소스(310)의 상부에 배치되어 복수의 소스(310)의 개구부를 덮는다.

이때, 복수의 소스(310)가 동심원을 형성하므로, 소스 덮개부(410)도 복수의 소스(310)의 상부를 덮는 원형 평판 형상으로 형성될 수 있다.

그리고, 소스 덮개부(410)에는 복수의 소스(310)의 개구부와 연통되는 적어도 하나 이상의 개구부(411,413)가 마련된다.

본 실시예에서는 복수의 소스(310) 중 어느 하나의 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 양 등 증착물질의 증착정도를 검출한 후, 해당 소스(310)를 회전시켜 기판(G)에 증착물질을 제공하여 증착공정을 수행하도록 한다.

따라서, 도 7을 참조하면, 소스 덮개부(410)는, 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 양 등 증착물질의 증착정도를 검출하는 증착물질 검출유닛(600)과 복수의 소스(310) 중 하나의 소스(310)가 연통되도록 증착물질 검출유닛(600)이 연결되는 위치에 형성된 제1 개구부(411)와, 복수의 소스(310) 중 기판(G) 방향으로 증착물질을 제공하는 다른 소스(310)의 위치에 대응되는 위치에 형성된 제2 개구부(413)를 포함한다.

즉, 소스 덮개부(410)에는 증착물질 검출유닛(600)과 하나의 소스(310)의 개구부를 연통되게 하는 제1 개구부(411)와, 제1 개구부(411)로부터 이격되게 배치되며 기판(G) 방향으로 증착물질을 제공하는 다른 소스(310)의 개구부와 연통되는 제2 개구부(413)가 형성된다.

이처럼, 제1 개구부(411)와 제2 개구부(413)는 상호 이격되게 배치되며, 복수의 소스(310) 중 어느 하나의 소스(310)에서 제1 개구부(411)를 통해 증착물질 검출유닛(600)으로 증착물질을 제공하며, 증착물질 검출유닛(600)을 거친 소스(310)는 회전되어 제2 개구부(413)의 위치에 배치된 후 기판(G)에 증착물질을 제공한다.

그리고, 복수의 소스(310)는 동심원을 형성하므로, 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)도 복수의 소스(310)에 대응하여 동심원을 형성하도록 배치된다.

그리고, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 소스 개폐유닛(400)은, 증착물질 검출유닛(600) 및 기판(G)에 대한 증착물질의 분사를 제어할 수 있도록 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 슬라이딩 개폐하는 슬라이딩 셔터(430)를 더 포함한다.

슬라이딩 셔터(430)는, 소스 덮개부(410)에 설치되어 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 위치에 대응되는 위치에 각각 소스(310)가 위치한 경우에 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 슬라이딩 개폐하는 슬라이딩 플레이트(431)와, 소스 덮개부(410)에 설치되되 슬라이딩 플레이트(431)에 연결되어 슬라이딩 플레이트(431)가 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 슬라이딩 개폐하도록 슬라이딩 플레이트(431)를 이동시키는 플레이트 이동부(433)를 포함한다.

슬라이딩 셔터(430)는, 소스 덮개부(410)에 설치되어 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 위치에 대응되는 위치에 소스(310)가 접근하는 것을 감지하는 감지센서(미도시)를 더 포함한다.

감지센서는 소스(310)가 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 하부에 접근하거나, 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 하부에서 멀어지는 것을 감지한다.

이는, 소스(310)가 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)에 접근하는 경우에 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 개방하고, 소스(310)가 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)에서 멀어지는 경우에 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 폐쇄하여 증착물질의 분사를 제어하기 위함이다.

본 실시예에서 감지센서는 소스 덮개부(410)에 설치되어 소스(310)의 접근 및 이격을 감지할 수 있는 것이면 어느 것이든 사용가능하다.

그리고, 슬라이딩 플레이트(431)는 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)에 소스(310)가 접근함에 따라 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 개방 및 폐쇄하는 역할을 하며, 플레이트 이동부(433)는 슬라이딩 플레이트(431)를 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 슬라이딩 개폐하도록 슬라이딩 플렝이트를 이동시키는 동력을 제공하는 역할을 한다.

슬라이딩 플레이트(431)는 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)에 인접하게 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 개방 및 폐쇄할 수 있도록 마련된다.

슬라이딩 플레이트(431)는 판형으로 형성되어 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 개방 및 폐쇄할 수 있으나, 이에 한정되지 않고 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 개방 및 폐쇄할 수 있는 것이면 어느 것이든 사용가능하다. 그리고, 슬라이딩 플레이트(431)는 얇은 금속 또는 플라스틱 판형으로 형성될 수 있다.

그리고, 플레이트 이동부(433)는, 슬라이딩 플레이트(431)에 대응하여 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)에 인접하게 마련된다.

여기서, 플레이트 이동부(433)는, 슬라이딩 플레이트(431)에 결합되어 신장 및 수축함에 따라 슬라이딩 플레이트(431)를 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413) 방향으로 이동시킬 수 있는 액츄에이터로 구성될 수 있다.

상기와 같은 슬라이딩 셔터(430)의 동작을 살펴보면 다음과 같다.

제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 하부 각각에 소스(310)가 배치되는 않은 경우, 슬라이딩 플레이트(431)는 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 폐쇄한 상태를 유지하며 증착물질이 소스 덮개부(410)의 외부로 분사되는 것을 방지한다.

그리고, 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 하부 각각에 소스(310)가 배치된 경우, 플레이트 이동부(433)는 슬라이딩 플레이트(431)를 이동시켜 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 개방하고, 증착물질이 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)를 경유하여 증착물질 검출유닛(600) 및 기판(G)으로 분사되도록 한다.

이와 같은, 슬라이딩 플레이트(431)에 의한 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 개폐는, 소스 덮개부(410)에 설치된 감지센서에 의해 소스(310)가 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)에 접근 및 이격됨에 따라 수행된다.

그리고, 도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 스테이지 유닛(500)은, 소스 어셈블리(300)를 지지하며, 소스 개폐유닛(400)에 대해 소스 어셈블리(300)를 상대 회전시키는 역할을 한다.

스테이지 유닛(500)은, 소스 어셈블리(300)가 안착되는 스테이지(510)와, 스테이지(510)의 하부에 배치되되 스테이지(510)에 회전축(531)이 연결되어 스테이지(510)를 소스 개폐유닛(400)에 대해 상대 회전시키는 스테이지 구동부(530)와, 스테이지(510)와 스테이지 구동부(530) 사이에 배치되어 스테이지(510)를 접촉지지하는 베어링부재(550)를 포함한다.

스테이지(510)는, 소스 어셈블리(300)가 안착되는 부분으로 소스 어셈블리(300)의 저면을 지지한다.

그리고, 스테이지 구동부(530)는, 스테이지(510)를 회전시켜 소스 어셈블리(300)를 소스 개폐유닛(400)에 대해 상대 회전시킨다.

이때, 스테이지 구동부(530)는 다이렉트 드라이브 모터(Direct drive motor; 이하, "DD 모터"라 함,532)를 사용하여 스테이지(510)와 회전축(531)을 직접결합하였으나, 회전축(531)과 스테이지(510)를 별도의 결합부재(미도시)를 사용하여 연결할 수도 있다.

DD 모터(532)는 회전 구동력을 직접 스테이지(510)에 전달하므로, 에너지 손실없이 DD 모터(532)를 제어하여 직접적으로 스테이지(510)의 회전운동을 제어할 수 있다.

또한, 본 실시예에서 DD 모터(532)는, 벨트 구동방식과 달리 스테이지(510)를 회전시키는 별도의 구동요소를 생략할 수 있어, 그 구성이 간단하다.

그리고, DD 모터(532)에 의해 스테이지(510)를 회전하는 경우에 있어, 스테이지(510)의 하부를 지지함과 아울러 원활한 회전을 위해, 스테이지(510)와 DD 모터(532) 사이에는 스테이지(510)와 구름접촉하는 베어링부재(550)를 설치할 수 있다.

베어링부재(550)의 복수의 볼은 DD 모터(532)의 회전축(531)으로부터 수평방향으로 소정간격 이격되어 배치되며, 동심원 형상을 형성한다.

또한, 소스 어셈블리(300)가 안착된 스테이지(510)를 DD 모터(532)로 회전시켜 각각의 제1 개구부(411) 및 제2 개구부(413)의 위치에 정확히 소스(310)가 위치되도록 할 수 있으며, 기판(G)에 대한 증착공정을 수행함에 있어 복수의 소스(310)를 순차로 사용할 수 있도록 한다.

전술한 바와 같이, DD 모터(532)로 소스 어셈블리(300)를 소스 개폐유닛(400)에 대해 상대 회전시켜, 복수의 소스(310) 중 하나의 소스(310)는 증착물질의 증착정도를 검출하도록 제1 개구부(411)를 통해 증착물질을 증착물질 검출유닛(600)으로 제공하고, 복수의 소스(310) 중 다른 하나의 소스(310)는 기판(G)에 박막을 증착하도록 제2 개구부(413)를 통해 증착물질을 기판(G)에 제공한다.

도 5 내지 도 8을 참조하면, 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하는 데 있어, 본 실시예에 따른 증착물질 검출유닛(600)은, 일단부가 소스 개폐유닛(400)에 연결되되 소스 개폐유닛(400)에 의해 개방된 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 이동경로를 안내하는 증착물질 이동배관(610)과, 증착물질 이동배관(610)의 타단부에 인접하게 배치되되 증착물질 이동배관(610)을 따라 이동된 증착물질의 증착정도를 검출하는 증착물질 검출센서부(미도시)를 포함한다.

증착물질 이동배관(610)은 소스(310)에서 제공되는 증착물질을 증착물질 검출센서부로 안내하는 역할을 하며, 증착물질 검출센서부는 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하는 역할을 한다.

증착물질 이동배관(610)은 증착물질이 관통할 수 있도록 중공관 형상으로 형성된다.

그리고, 증착물질 이동배관(610)의 일단부는 제1 개구부(411)에 연결되고 타단부는 증착물질 검출센서부에 인접하게 배치된다. 따라서, 소스(310)에서 제공되는 증착물질이 제1 개구부(411) 및 증착물질 이동배관(610)을 순차로 경유하여 증착물질 검출센서부에 도달된다.

본 실시예에서는 복수의 소스(310)가 동심원 형상으로 배치되므로, 증착물질 이동배관(610)은 기판(G)에 대한 증착공정을 수행하는 소스(310)의 상부에 배치되는 기판(G) 또는 기판 캐리어(210)에 간섭되지 않도록 일정각도 경사지게 배치된다.

한편, 증착물질이 증착물질 이동배관(610)을 따라 이동되므로, 증착물질 이동배관(610)의 내벽에 증착물질이 부착될 수 있으며, 장시간 사용으로 인해 증착물질 이동배관(610)의 내벽에 부착된 증착물질은 파티클을 이룬 후 증착물질 이동배관(610)의 내벽을 따라 하부로 낙하될 수 있으며, 낙하된 파티클은 제1 개구부(411)를 통해 소스(310)로 재유입될 수 있다.

이처럼, 낙하된 파티클이 소스(310)에 재유입되는 경우 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 양을 제어하기 어려워지고, 이에 따라 기판(G)에 대한 증착정밀도를 저하시키게 된다.

따라서, 본 실시예에 따른 증착물질 검출유닛(600)은, 소스(310)에서 제공되는 증착물질이 증착물질 이동배관(610)의 내벽에 부착되어 파티클을 이룬 후 소스(310)로 유입되는 것을 방지하도록, 증착물질 이동배관(610)의 내부에 마련되어 증착물질을 증착하는 증착물질 증착부(630)를 더 포함한다.

증착물질 증착부(630)는, 소스(310)에서 제공되는 증착물질이 다시 소스(310)로 재유입되는 것을 방지하는 역할을 한다. 즉, 소스(310)에서 제공되는 증착물질이 증착물질 이동배관(610)의 내부에 마련된 증착물질 증착부(630)에 부착됨으로써, 증착물질이 소스(310)로 재유입되는 것을 방지한다.

도 8을 참조하면, 본 실시예에서 증착물질 증착부(630)는, 증착물질 이동배관(610)의 내벽에 설치된 복수의 공극을 갖는 다공부재(630)로 구성된다. 그리고, 다공부재(630)는 복수의 공극을 구비한 그물모양의 메시(mesh) 형상으로 형성된다.

입자가 큰 증착물질은 메시 형상의 다공부재(630)에 부착 및 포획되며, 다공부재(630)는 증착물질을 부착 및 흡착하는 표면적이 크기 때문에 다공부재(630)는 증착물질을 부착하는 부착능력을 향상시킬 수 있다.

한편, 증착물질을 부착 및 흡착하는 다공부재(630)의 부착능력을 초과하는 경우에 증착물질이 증착물질 이동배관(610)의 내벽을 따라 낙하할 수 있다.

따라서, 본 실시예에 따른 증착물질 검출유닛(600)은, 소스(310)에서 제공되는 증착물질이 증착물질 이동배관(610)의 내벽 또는 다공부재(630)에 부착되어 파티클을 이룬 후 증착물질 이동배관(610)의 내벽을 따라 낙하되는 경우에, 파티클이 소스(310)로 유입되는 것을 방지하도록 증착물질 이동배관(610)의 내벽에서 이격되게 마련된 격벽(650)을 더 포함한다.

격벽(650)은 증착물질 이동배관(610)의 내벽에서 증착물질 이동배관(610)의 중심부 방향으로 소정거리 이격되게 마련되며, 증착물질 이동배관(610)의 내벽을 따라 낙하되는 파티클은 증착물질 이동배관(610)의 내벽과 격벽(650) 사이에 포집된다.

이처럼, 증착물질 이동배관(610)의 내부에 격벽(650)을 더 마련함으로써, 증착물질이 파티클을 이루어 소스(310)에 재유입되어 기판(G)에 대한 증착정밀도가 저하되는 것을 방지할 수 있다.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.

소스(310)에서 제공되는 증착물질의 증착정도가 기판(G)에 대한 증착정밀도 및 수율을 향상시키는 데 중요한 요소를 차지한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 박막 증착장치는, 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하는 한편 기판(G)에 대한 증착공정을 동시에 수행한다.

증착물질을 제공하는 소스 어셈블리(300)에는 복수의 소스(310)가 마련되며, 복수의 소스(310) 중 어느 하나의 소스(310)에서 기판(G)에 증착물질을 제공하여, 기판(G)에 대한 증착공정을 수행한다. 그리고, 복수의 소스(310) 중 다른 하나의 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 증착정도는 증착물질 검출유닛(600)에 의해 검출된다.

본 실시예에서 복수의 소스(310)는 동심원 형상으로 배치되며, 도 7에서 도시한 바와 같이, 증착물질 검출유닛(600)은 증착물질 이동배관(610)이 연결된 소스 덮개부(410)의 하부에 배치된 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하고, 증착물질 이동배관(610)의 오른편에 배치된 소스(310)는 증착물질을 기판(G)방향으로 분사하여 기판(G)에 대한 증착공정을 수행한다.

즉, 기판(G)에 대한 증착공정을 수행하는 동안, 나중에 사용될 소스(310)에서 제공되는 증착물질의 증착정도를 검출하고, 검출이 끝난 소스(310)는 스테이지 유닛(500)에 의해 회전되어 다음 기판(G)에 대한 증착공정을 수행하게 된다.

상기한 바와 같은 동작을 반복하여 복수의 소스(310)를 순차로 기판(G)에 대한 증착공정에 사용한다.

한편, 증착물질의 증착정도를 검출함에 있어, 증착물질 이동배관(610)을 장시간 사용하는 경우에 증착물질 이동배관(610)의 내벽에 증착물질이 부착된 후 파티클을 이루어 다시 소스(310)에 유입될 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 증착물질 이동배관(610)의 내벽에 증착물질을 부착 및 흡착하는 복수의 공극을 갖는 다공부재(630)가 마련된다.

또한, 다공부재(630)에 부착 및 흡착된 증착물질이 증착물질 이동배관(610)을 따라 낙하될 수 있으므로, 증착물질 이동배관(610)의 내벽에서 증착물질 이동배관(610)의 중심부 방향으로 이격된 위치에 격벽(650)이 더 마련된다.

따라서, 다공부재(630)에 부착 및 흡착된 증착물질이 낙하되는 경우에도 증착물질 이동배관(610)의 내벽과 격벽(650) 사이에 포획되므로, 증착물질이 다시 소스(310)로 유입되는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.

100: 공정챔버 200: 기판 이송유닛
300: 소스 어셈블리 310: 소스
400: 소스 개폐유닛 410: 소스 덮개부
411: 제1 개구부 413: 제2 개구부
500: 스테이지 유닛 510: 스테이지
530: 스테이지 구동부 531: 회전축
550: 베어링부재 600: 증착물질 검출유닛
610: 증착물질 이동배관 650:증착물질 증착부
670: 격벽

Claims

기판에 증착물질을 제공하는 소스(source)가 복수 개 마련된 소스 어셈블리;
상기 소스 어셈블리의 상부에 배치되되, 상기 복수의 소스를 선택적으로 개폐하는 소스 개폐유닛; 및
일단부가 상기 소스 개폐유닛에 연결되어 상기 소스 개폐유닛에 의해 개방된 상기 소스에서 제공되는 증착물질의 이동경로를 안내하는 증착물질 이동배관과, 상기 증착물질 이동배관의 타단부에 인접하게 배치되어 상기 증착물질 이동배관을 따라 이동된 상기 증착물질의 증착정도를 검출하는 증착물질 검출센서부를 포함하는 증착물질 검출유닛을 포함하며,
상기 소스 개폐유닛은,
상기 복수의 소스 중 하나는 상기 기판 방향으로 증착물질을 제공하고, 상기 복수의 소스 중 다른 하나는 상기 증착물질 검출유닛 방향으로 증착물질을 제공하도록, 상기 복수의 소스를 선택적으로 개폐하는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
삭제
제1항에 있어서,
상기 증착물질 검출유닛은,
상기 소스에서 제공되는 상기 증착물질이 상기 증착물질 이동배관의 내벽에 부착되어 파티클을 이룬 후 상기 소스로 유입되는 것을 방지하도록, 상기 증착물질 이동배관의 내부에 마련되어 상기 증착물질을 증착하는 증착물질 증착부를 더 포함하는 박막 증착장치.
제3항에 있어서,
상기 증착물질 증착부는,
상기 증착물질 이동배관의 내벽에 설치된 복수의 공극을 갖는 다공부재인 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
제4항에 있어서,
상기 다공부재는, 복수의 공극을 구비한 메시(mesh) 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 증착물질 검출유닛은,
상기 소스에서 제공되는 상기 증착물질이 상기 증착물질 이동배관의 내벽에 부착되어 파티클을 이룬 후 상기 증착물질 이동배관의 내벽을 따라 낙하되는 경우에 상기 파티클이 상기 소스로 유입되는 것을 방지하도록, 상기 증착물질 이동배관의 내벽에서 이격되게 마련된 격벽을 더 포함하며,
상기 증착물질 이동배관의 내벽과 상기 격벽 사이에 상기 파티클이 포집되는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 소스 개폐유닛은,
상기 복수의 소스의 개구부를 덮는 소스 덮개부를 포함하며,
상기 소스 덮개부는,
상기 복수의 소스 중 하나의 소스와 상기 증착물질 이동배관이 연통되도록 상기 증착물질 이동배관이 연결되는 위치에 형성된 제1 개구부; 및
상기 복수의 소스 중 상기 기판방향으로 증착물질을 제공하는 다른 소스의 위치에 대응되는 위치에 형성된 제2 개구부를 포함하는 박막 증착장치.
제7항에 있어서,
상기 소스 개폐유닛은,
상기 소스 덮개부에 설치되어, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부를 슬라이딩 개폐하는 슬라이딩 셔터를 더 포함하는 박막 증착장치.
제8항에 있어서,
상기 슬라이딩 셔터는,
상기 소스 덮개부에 설치되어, 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부의 위치에 대응되는 위치에 상기 소스가 위치한 경우에 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부를 슬라이딩 개폐하는 슬라이딩 플레이트; 및
상기 소스 덮개부에 설치되되, 상기 슬라이딩 플레이트에 연결되어, 상기 슬라이딩 플레이트가 상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부를 슬라이딩 개폐하도록 상기 슬라이딩 플레이트를 이동시키는 플레이트 이동부를 포함하는 박막 증착장치.
제9항에 있어서,
상기 슬라이딩 셔터는,
상기 소스 덮개부에 설치되어 제1 개구부 및 제2 개구부의 위치에 대응되는 위치에 상기 소스가 접근하는 것을 감지하는 감지센서를 더 포함하는 박막 증착장치.
제7항에 있어서,
상기 복수의 소스는, 동심원을 형성하도록 배치되며,
상기 제1 개구부 및 제2 개구부는, 동심원을 형성하는 상기 복수의 소스에 대응하여 동심원을 형성하도록 배치된 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
제7항에 있어서,
상기 소스 어셈블리를 지지하며, 상기 소스 개폐유닛에 대해 상기 소스 어셈블리를 상대 회전시키는 스테이지 유닛을 더 포함하며,
상기 스테이지 유닛은,
상기 제1 개구부 및 상기 제2 개구부의 위치에 대응되게 상기 복수의 소스를 회전시키는 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.
제12항에 있어서,
상기 스테이지 유닛은,
상기 소스 어셈블리가 안착되는 스테이지; 및
상기 스테이지의 하부에 배치되되, 상기 스테이지에 회전축이 연결되어 상기 스테이지를 상기 소스 개폐유닛에 대해 상대 회전시키는 스테이지 구동부를 포함하는 박막 증착장치.
제13항에 있어서,
상기 스테이지 유닛은,
상기 스테이지와 상기 스테이지 구동부 사이에 배치되어 상기 스테이지를 접촉지지하는 베어링부재를 더 포함하는 박막 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 기판에 대한 증착공간을 형성하며, 상기 소스 어셈블리와 상기 소스 개폐유닛 및 상기 증착물질 검출유닛을 수용하는 공정챔버; 및
상기 공정챔버의 내부에 마련되어 상기 기판을 상기 소스 어셈블리 방향으로 이송하는 기판 이송유닛을 더 포함하며,
상기 기판 이송유닛은,
상기 기판을 지지하되, 상기 소스 어셈블리 방향으로 이송되는 기판 캐리어; 및
상기 기판 캐리어가 안착되되, 상기 소스 어셈블리 방향으로 길게 배치되어 상기 기판 캐리어를 상기 소스 어셈블리 방향으로 이송하는 캐리어 이송부를 포함하는 박막 증착장치.
제15항에 있어서,
상기 캐리어 이송부는,
상기 소스 어셈블리의 상부에 배치되되, 상기 소스 어셈블리 방향으로 길게 배치된 LM 가이드 레일;
상기 기판 캐리어에 연결되되, 상기 LM 가이드 레일을 따라 이송되는 LM 블록; 및
상기 LM 블록을 상기 LM 가이드 레일을 따라 이송시키는 LM 구동부를 포함하는 박막 증착장치.
제1항에 있어서,
상기 기판은,
유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Display Diodes)용 기판인 것을 특징으로 하는 박막 증착장치.