KR20060080470A - 트레이의 감지 및 이송장치 - Google Patents

트레이의 감지 및 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 트레이에 관한 것으로, 입상인 트레이가 원활하게 이송되면서 트레이의 진입 및 배출을 감지할 수 있도록 이루어진 트레이의 감지 및 이송장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판 및 마스크가 고착되면서 하단에 봉 형상의 밀착부재가 설치된 입상의 트레이;와, 상기 트레이의 이송을 위해 밀착부재와 밀착되면서 이송로를 형성하는 다수개의 풀리가 구동원에 의해 회전되게 이루어진 이송부와, 상기 트레이의 이송로 상에 센서가 설치되어 트레이의 진입 및 배출을 감지하게 이루어진 감지부가 포함되어 이루어진 이송장치;가 구비된 트레이의 감지 및 이송장치가 제공된다.
본 발명에 따르면, 입상의 트레이가 이동되는 경로의 측방에 비접촉센서가 배치되어 트레이의 유무가 감지되도록 이루어짐으로 인해, 트레이를 감지하기 위한 센서의 손상이 제거되면서 수명이 장기화됨은 물론 교체비용이 저감되고, 트레이의 이송 속도가 상향 조정되어 트레이의 이송 작업시간이 단축되며, 전체 공정의 진행속도가 그만큼 향상되어 시간대비 생산성이 증대되도록 된 것이다.
트레이, 감지장치

Description

트레이의 감지 및 이송장치{Device for sensing and transfering of tray}
도 1은 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 버퍼영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도,
도 2는 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 성막영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 트레이의 감지 및 이송장치가 개략적으로 도시된 사시도이고,
도 4는 도 3에 도시된 감지 및 이송장치의 감지부가 발췌된 일 실시예가 개략적으로 도시된 부분 측면도이며,
도 5는 도 4에 도시된 감지부의 다른 실시예가 개략적으로 도시된 측면도이고,
도 6은 도 5에 도시된 감지장치 및 주변 장치와의 작동관계가 도시된 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100..트레이 감지 및 이송장치 110...이송부,
112...트레이 114...풀리,
120...감지부 122...접촉센서,
124...비접촉센서.
본 발명은 트레이에 관한 것으로, 보다 상세하게는 트레이가 입상인 상태로 이송되면서 트레이의 진입 및 배출을 감지하도록 된 트레이의 감지 및 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 중의 하나인 전계발광 디스플레이 장치는 발광층으로 사용하는 물질에 따라서 무기전계발광 디스플레이 장치와, 유기전계발광 디스플레이 장치로 구분되고, 유기전계발광 디스플레이 장치는 저전압으로 구동이 가능하고, 경량의 박형이면서 시야각이 넓을 뿐만 아니라 응답속도 또한 빠르다는 장점을 구비하고 있기 때문에 각광을 받고 있다.
이러한 유기전계발광 디스플레이 장치의 유기전계 발광소자는 기판 상에 적층식으로 형성되는 양극, 유기물층 및 음극으로 구성된다. 상기 유기물층은 정공과 전자가 재결합하여 여기자를 형성하고 빛을 방출하는 유기 발광층의 유기물층을 포함하고, 또한 정공과 전자를 유기 발광층으로 원활하게 수송하여 발광효율을 향상시키기 위하여 상기 음극과 유기 발광층 사이에 전자 주입층과 전자 수송층의 유기물층을 개재시키면서 양극과 유기 발광층 사이에 정공 주입층과 전자 수송층의 유기물층을 개재시킨다.
상술된 구조로 이루어진 유기전계 발광소자는 일반적으로, 진공증착법, 이온 플레이팅법 및 스퍼터링법 등과 같은 물리기상 증착법 또는 가스 반응에 의한 화학기상 증착법으로 제작된다. 특히, 유기전계 발광소자의 유기물층을 형성하기 위해서는 진공챔버 내에서 유기물질을 증발시켜 형성된 유기기상물질을 증착원에서 분사하여 기판에 증착시키는 진공증착법이 널리 사용된다.
최근에 디스플레이의 대형화에 부응하여 기판의 크기가 대형화되고 있으며, 이러한 대형 기판에 유기물층을 증착하기 위하여 증착원이 진공챔버 내에서 수직 상하방향으로 이동하면서 유기기상물질을 분사하는 증착시스템이 개발되었다.
이러한 증착시스템에는 증착원을 상하방향으로 이동시키는 구동축이 제공되어 있고, 상기 구동축은 구동수단에 의해서 축회전하게 된다. 구동축의 축회전에 의해서 증착원은 수직 상하방향으로 이동하는 동안 유기물질을 증발시킴으로써 형성되는 유기기상물질을 분사하게 된다.
또한, 상기 증착기에서 분사된 물질이 도포되는 기판이 대면적화되면서 기판의 휨현상이 제거되도록 기판과 마스크가 입상의 상태에서 정렬되도록 이루어진 수직 정렬시스템이 연구되고 있다.
상기 기판이 입상인 상태에서 고정되도록 왕복이동되게 설치된 기판트레이홀더에는 상기 기판과 체결되는 체결부재가 돌출 형성되면서 기판트레이와 동일하게 입상으로 배치된 홀더플레이트가 요구된다.
또한, 입상으로 이송되는 기판의 이송속도 및 이송 위치등의 조건을 제어 및 개선하기 위해 기판의 진ㆍ출입이 감지되도록 요구되고 있다.
상기와 같은 요구를 충족하기 위해 안출된 본 발명은, 입상의 트레이가 구동원에 의해 회전되는 다수의 풀리에 의해 이송되면서 트레이의 이송로 상에 설치딘 센서에 의해 트레이의 진ㆍ출입이 감지되도록 이루어짐으로 인해, 센서의 손상이 방지되어 수명이 장기화되면서 교체비용이 저감되고, 트레이의 이송 속도가 현저히 증가하여 이송 작업시간이 단축되도록 된 트레이의 감지 및 이송장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 트레이의 감지 및 이송장치는, 기판 및 마스크가 고착되면서 하단에 봉 형상의 밀착부재가 설치된 입상의 트레이;와, 상기 트레이의 이송을 위해 밀착부재와 밀착되면서 이송로를 형성하는 다수개의 풀리가 구동원에 의해 회전되게 이루어진 이송부와, 상기 트레이의 이송로 상에 센서가 설치되어 트레이의 진입 및 배출을 감지하게 이루어진 감지부가 포함되어 이루어진 이송장치;가 구비되어 이루어진다.
또한, 상기 비접촉 센서는 초음파 센서, 광 센서, 광파이버 센서, 적외선 센서, 자외선 센서, 광섬유 센서 중 선택된 어느 하나인 것이 바람직하다.
또한, 상기 감지부의 센서에 의해 트레이의 진입 및 배출 시점, 이송시간 등 이 데이터화되고, 이 데이터를 토대로 이송부를 제어하는 제어부가 더 포함되어 이루어짐이 바람직하다.
이하, 본 발명에 따른 트레이의 감지 및 이송장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 버퍼영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도이고, 도 2는 본 발명에 따른 진공증착 시스템의 성막영역에 증착원이 위치하고 있는 상태를 나타내는 개략도이다.
도 1을 참조하면, 진공증착 시스템의 진공챔버(10)에는 유기물층을 형성하고자 하는 기판(30)과, 기판(30)의 전방에 위치되는 마스크(40)와, 마스크(40)로부터 소정 간격으로 이격되어 있는 증착원(20)이 설치된다. 마스크(40)와 기판(30)은 얼라인먼트 시스템(미도시)에 의해서 정렬된 상태로 척(50)에 서로 밀착된 상태로 고정된다.
마스크(40)는 기판(30)에 형성하고자 하는 유기물층에 대응하는 패턴이 형성되어 있는 패턴형성부(가상선으로 표시됨)와, 마스크 프레임(미도시)에 용접을 통해서 고정되는 고정부로 구성된다. 이때, 진공챔버(10)는 마스크(40) 및 기판(30)의 설치위치에 대응하는 성막영역(B)과 상기 성막영역(B) 이외의 위치에 대응하는 버퍼영역(A)으로 구분된다.
증착원(20)은 이동수단(미도시)의 작동에 의해서 축회전하는 구동축에 이동가능하게 장착되고, 상기 구동축의 회전방향에 따라서 진공챔버(10) 내에서 수직 상하방향으로 이동한다.
한편, 도 3은 본 발명에 따른 트레이의 감지 및 이송장치가 개략적으로 도시된 사시도이고, 도 4는 도 1에 도시된 감지 및 이송장치의 감지부가 발췌된 일 실시예가 개략적으로 도시된 부분 측면도이며, 도 5는 도 4에 도시된 감지부의 다른 실시예가 개략적으로 도시된 측면도이고, 도 6은 도 5에 도시된 감지장치 및 주변 장치와의 작동관계가 도시된 도면이다.
도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 트레이의 감지 및 이송장치(100)는 기판 및 마스크가 고착된 트레이(112)의 원활한 이송을 위해 트레이(112)의 하면과 접촉되도록 다수의 풀리(114)가 배치된 이송부(110)와, 상기 트레이(112)의 이송 경로 상에 감지센서가 설치되어 트레이(112)의 진ㆍ출입을 감지하도록 이루어진 감지부(120)가 포함되어 이루어진다.
상기 트레이(112)는 하부에 봉 형상의 밀착부재가 안착되도록 트레이(112)의 하측에 다수의 풀리(114)가 위치되도록 이루어지고, 상기 풀리(114)가 회전되면서 트레이(112)가 이송되도록 이루어진다.
상기 감지센서는 도 4 및 도 5에서와 같이, 접촉센서(122) 및 비접촉센서(124) 중 어느 하나가 선택되어 사용됨이 좋다.
상기 감지센서가 접촉센서(122)의 경우, 트레이(112)의 이송을 위해 트레이(112)의 하면과 접촉된 다수의 풀리(114) 사이에 접촉 방식으로 설치된다.
상기 접촉센서(122)는 이송되는 트레이(112)의 전방 하단부가 센서(122)의 헤드부와 접촉되도록 배치되었고, 이 센서(122)의 헤드부 상단면이 트레이(112)의 하면과 동일 평면 또는 약간 높게 배치될 수도 있으며, 센서(122)의 헤드부에 탄성이 부여되어 트레이(112)가 지나가면 초기 위치로 원위치되게 배치될 수도 있었다.
또한, 상기 감지센서가 비접촉센서(124)일 경우, 트레이(112)의 하측에 설치되어 진입하는 트레이(112)의 하면을 감지함으로써 트레이(112)의 진입 및 배출을 감지하게 된다.
또한, 상기 비접촉센서(124)는 트레이(112)의 측면 또는 상면을 감지하도록 설치될 수도 있다.
이때, 상기 비접촉센서(124)가 외부 충격 및 외부환경으로부터 보호되도록 별도의 장착부재(미도시)가 마련됨은 당연하고, 또한 이 장착부재에 의해 비접촉센서(124)가 트레이(112)로부터 측방, 하방 또는 상방의 인접된 위치에 고정될 수 있다.
상기 비접촉센서(124)는 초음파, 전파, 광(光), 적외선, 자외선, 자기(磁氣)등이 포함된 여러 종류의 소재가 이용될 수 있고, 이러한 소재가 이용된 초음파센서, 광센서, 광파이버센서, 광섬유센서, 적외선센서, 자기센서, 자외선센서등이 포함된 여러 종류의 센서 중 어느 하나가 선택되어 사용될 수 있으며, 이 중 초음파센서가 이용됨이 가장 바람직하다.
한편, 상기 비접촉센서(124)의 데이터가 수신되어 트레이(112)의 이동위치 및 이동속도 등을 판독하여 다른 공정들의 작업 속도등을 조정하는 제어장치를 포함하는 제어부(130)가 별도로 구성되고, 이 제어부(130)는 트레이(112)의 이송속도 및 이송위치등을 인지하여 트레이(112)를 이송시키는 이송부(110)을 제어하게 된 다.
이하, 본 발명에 따른 트레이의 감지 및 이송장치의 작용을 간략히 설명한다.
구동원(116)과 연동 설치된 다수의 이송용 풀리(114)에 의해 이송되는 트레이(112)가 소정의 위치에 진입되어 접촉센서(122) 및 비접촉센서(124)에 의해 트레이(112)가 감지되면 제어부(130)가 인지하게 되고, 트레이(112)가 배출되면 접촉센서(122) 및 비접촉센서(124)에 의해 트레이(112)이 벗어남이 감지되며, 이를 제어부(130)가 인지하여 다음 공정이 준비상태로 전환되도록 제어하게 된다.
한편, 상기 트레이(112)의 진입 및 배출이 접촉센서(122) 및 비접촉센서(124)에 의해 감지됨으로 인해, 제어부(130)에 의해 이송부(110)가 제어됨으로써 상기 트레이(112)의 이송속도를 상향 조정하여 전체 공정의 진행속도가 향상되도록 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 트레이를 감지하기 위한 센서의 손상이 제거되면서 수명이 장기화됨은 물론 교체비용이 저감되고, 트레이의 이송 속도가 상향 조정되어 트레이의 이송 작업시간이 단축되며, 전체 공정의 진행속도가 그만큼 향상되어 시간대비 생산성이 증대되는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 기판 및 마스크가 고착된 입상의 트레이 하부가 밀착되면서 이송로를 형성하는 다수개의 풀리가 구동원에 의해 회전되게 이루어진 이송부;
    상기 트레이의 이송로 상에 센서가 설치되어 트레이의 진입 및 배출을 감지하게 이루어진 감지부;
    가 구비되어 이루어진 것을 특징으로 하는 트레이의 감지 및 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 센서는 초음파 센서, 광 센서, 광파이버 센서, 자기 센서, 적외선 센서, 자외선 센서, 광섬유 센서 중 선택된 어느 하나인 비접촉 센서인 것을 특징으로 하는 트레이의 감지 및 이송장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 비접촉 센서는 트레이의 하측에 설치되어 트레이의 하면을 감지하는 것을 특징으로 하는 트레이의 감지 및 이송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 풀리는 각각 구동원의 구동원에 의해 작동되는 것을 특징으로 하는 트레이의 감지 및 이송장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 감지부의 센서에 의해 트레이의 진입 및 배출 시점, 이송시간 등이 데이터화되고, 이 데이터를 토대로 이송부를 제어하는 제어부가 더 포함되어 이루어진 것을 특징으로 하는 트레이의 감지 및 이송장치.
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