KR100645719B1 - 물질증착용 증착원 및 이를 구비한 증착장치 - Google Patents
물질증착용 증착원 및 이를 구비한 증착장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100645719B1 KR100645719B1 KR1020050000964A KR20050000964A KR100645719B1 KR 100645719 B1 KR100645719 B1 KR 100645719B1 KR 1020050000964 A KR1020050000964 A KR 1020050000964A KR 20050000964 A KR20050000964 A KR 20050000964A KR 100645719 B1 KR100645719 B1 KR 100645719B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- heating
- organic
- deposition
- crucible
- divided
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
- H01Q1/27—Adaptation for use in or on movable bodies
- H01Q1/32—Adaptation for use in or on road or rail vehicles
- H01Q1/325—Adaptation for use in or on road or rail vehicles characterised by the location of the antenna on the vehicle
- H01Q1/3275—Adaptation for use in or on road or rail vehicles characterised by the location of the antenna on the vehicle mounted on a horizontal surface of the vehicle, e.g. on roof, hood, trunk
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
- H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
- H01Q1/08—Means for collapsing antennas or parts thereof
- H01Q1/084—Pivotable antennas
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60R—VEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B60R11/00—Arrangements for holding or mounting articles, not otherwise provided for
- B60R2011/0001—Arrangements for holding or mounting articles, not otherwise provided for characterised by position
- B60R2011/0003—Arrangements for holding or mounting articles, not otherwise provided for characterised by position inside the vehicle
- B60R2011/0028—Ceiling, e.g. roof rails
Abstract
Description
Claims (10)
- 격벽에 의해서 구분된 복수개의 분할구역을 갖고, 상기 분할구역 각각에는 유기물질이 저장되어 있는 도가니와;상기 도가니를 가열하는 가열체와;상기 가열체의 가열작용에 의해 상기 유기물질이 증발함으로써 형성되는 유기기상물질이 분사되는 분사노즐부로 이루어진 것을 특징으로 하는 물질증착용 증착원.
- 제1항에 있어서,상기 가열체는 상기 분할구역 각각에 대응하는 복수개의 분할 가열수단으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 물질증착용 증착원.
- 제1항에 있어서,상기 가열체는 열선으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 물질증착용 증착원.
- 진공챔버;상기 진공챔버의 일측에 설치되는 기판과 마스크를 정렬된 상태로 지지하는 척을 갖는 스테이지;상기 진공챔버의 타측에 설치되는 구동축; 및상기 구동축을 따라서 이동가능하도록 설치되는 증착원으로 구성되고,상기 증착원은 격벽에 의해서 구분된 복수개의 분할구역을 갖고, 상기 분할구역 각각에는 유기물질이 저장되어 있는 도가니와; 상기 도가니를 가열하는 가열체와; 상기 가열체의 가열작용에 의해 상기 유기물질이 증발함으로써 형성되는 유기기상물질이 분사되는 분사노즐부로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제4항에 있어서,상기 가열체는 상기 분할구역 각각에 대응하는 복수개의 분할 가열수단으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제5항에 있어서,상기 분할 가열수단에 대한 가열제어를 개별적으로 수행할 수 있는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제4항에 있어서,상기 도가니의 분할구역에 각각 대응하는 상기 분사노즐부 전방에는 상기 분사노즐부로부터 분사되는 유기기상물질의 증착율을 감지하는 복수개의 증착율 감지센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제7항에 있어서,상기 복수개의 증착율 감지센서는 상기 증착원의 양단에 설치되는 한 쌍의 외부 감지센서와, 상기 진공챔버의 내부 바닥면에 고정설치되는 중앙 감지센서로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제8항에 있어서,상기 중앙 감지센서는 상기 진공챔버의 버퍼영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제8항에 있어서,상기 증착율 감지센서는 크리스탈 센서인 것을 특징으로 하는 증착장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050000964A KR100645719B1 (ko) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 물질증착용 증착원 및 이를 구비한 증착장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050000964A KR100645719B1 (ko) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 물질증착용 증착원 및 이를 구비한 증착장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060080482A KR20060080482A (ko) | 2006-07-10 |
KR100645719B1 true KR100645719B1 (ko) | 2006-11-14 |
Family
ID=37171803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050000964A KR100645719B1 (ko) | 2005-01-05 | 2005-01-05 | 물질증착용 증착원 및 이를 구비한 증착장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100645719B1 (ko) |
Cited By (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101193187B1 (ko) | 2009-06-08 | 2012-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치 |
KR101193188B1 (ko) | 2009-06-05 | 2012-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치 |
US8696815B2 (en) | 2009-09-01 | 2014-04-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8790750B2 (en) | 2009-06-24 | 2014-07-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8852687B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8859325B2 (en) | 2010-01-14 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8859043B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8865252B2 (en) | 2010-04-06 | 2014-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8871542B2 (en) | 2010-10-22 | 2014-10-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method |
US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8882922B2 (en) | 2010-11-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8882556B2 (en) | 2010-02-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8882921B2 (en) | 2009-06-08 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8882920B2 (en) | 2009-06-05 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8894458B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-11-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8906731B2 (en) | 2011-05-27 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
US8916237B2 (en) | 2009-05-22 | 2014-12-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film |
US8951610B2 (en) | 2011-07-04 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8968829B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-03-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8973525B2 (en) | 2010-03-11 | 2015-03-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8993360B2 (en) | 2013-03-29 | 2015-03-31 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus |
US9040330B2 (en) | 2013-04-18 | 2015-05-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus |
US9076982B2 (en) | 2011-05-25 | 2015-07-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
US9121095B2 (en) | 2009-05-22 | 2015-09-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9249493B2 (en) | 2011-05-25 | 2016-02-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same |
US9279177B2 (en) | 2010-07-07 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US9388488B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US9450140B2 (en) | 2009-08-27 | 2016-09-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same |
US9593408B2 (en) | 2009-08-10 | 2017-03-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus including deposition blade |
US9748483B2 (en) | 2011-01-12 | 2017-08-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same |
US10246769B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-04-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9174250B2 (en) | 2009-06-09 | 2015-11-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
US8802200B2 (en) | 2009-06-09 | 2014-08-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Method and apparatus for cleaning organic deposition materials |
KR101097311B1 (ko) | 2009-06-24 | 2011-12-21 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 이를 제조하기 위한 유기막 증착 장치 |
KR101117720B1 (ko) | 2009-06-25 | 2012-03-08 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법 |
KR101127578B1 (ko) | 2009-08-24 | 2012-03-23 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
JP5676175B2 (ja) | 2009-08-24 | 2015-02-25 | 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. | 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 |
US8486737B2 (en) | 2009-08-25 | 2013-07-16 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
KR101146982B1 (ko) | 2009-11-20 | 2012-05-22 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치 및 유기 발광 디스플레이 장치 제조 방법 |
KR101673017B1 (ko) | 2010-07-30 | 2016-11-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조 방법 |
KR101678056B1 (ko) | 2010-09-16 | 2016-11-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR20120029166A (ko) | 2010-09-16 | 2012-03-26 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101923174B1 (ko) | 2011-05-11 | 2018-11-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 정전 척, 상기 정전 척을 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR20130004830A (ko) | 2011-07-04 | 2013-01-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
KR20130010730A (ko) | 2011-07-19 | 2013-01-29 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 소스 및 이를 구비한 증착 장치 |
KR20130015144A (ko) | 2011-08-02 | 2013-02-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착원어셈블리, 유기층증착장치 및 이를 이용한 유기발광표시장치의 제조 방법 |
KR20130069037A (ko) | 2011-12-16 | 2013-06-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR102015872B1 (ko) | 2012-06-22 | 2019-10-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
US9461277B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-10-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic light emitting display apparatus |
KR101959974B1 (ko) | 2012-07-10 | 2019-07-16 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
CN103545460B (zh) | 2012-07-10 | 2017-04-12 | 三星显示有限公司 | 有机发光显示装置、有机发光显示设备及其制造方法 |
KR102013315B1 (ko) | 2012-07-10 | 2019-08-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR101632298B1 (ko) | 2012-07-16 | 2016-06-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 평판 표시장치 및 그 제조방법 |
KR102013318B1 (ko) | 2012-09-20 | 2019-08-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치 |
KR101994838B1 (ko) | 2012-09-24 | 2019-10-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR20140050994A (ko) | 2012-10-22 | 2014-04-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조 방법 |
KR102052069B1 (ko) | 2012-11-09 | 2019-12-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR102075525B1 (ko) | 2013-03-20 | 2020-02-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
KR102081284B1 (ko) | 2013-04-18 | 2020-02-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착장치, 이를 이용한 유기발광 디스플레이 장치 제조 방법 및 유기발광 디스플레이 장치 |
KR102107104B1 (ko) | 2013-06-17 | 2020-05-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR102108361B1 (ko) | 2013-06-24 | 2020-05-11 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착률 모니터링 장치, 이를 구비하는 유기층 증착 장치, 증착률 모니터링 방법, 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
KR102162797B1 (ko) | 2013-12-23 | 2020-10-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 |
-
2005
- 2005-01-05 KR KR1020050000964A patent/KR100645719B1/ko active IP Right Grant
Cited By (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9121095B2 (en) | 2009-05-22 | 2015-09-01 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9873937B2 (en) | 2009-05-22 | 2018-01-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US11920233B2 (en) | 2009-05-22 | 2024-03-05 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8916237B2 (en) | 2009-05-22 | 2014-12-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of depositing thin film |
US11624107B2 (en) | 2009-05-22 | 2023-04-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US10689746B2 (en) | 2009-05-22 | 2020-06-23 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8882920B2 (en) | 2009-06-05 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
KR101193188B1 (ko) | 2009-06-05 | 2012-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치 |
US8882921B2 (en) | 2009-06-08 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
KR101193187B1 (ko) | 2009-06-08 | 2012-10-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착 장치 |
US8790750B2 (en) | 2009-06-24 | 2014-07-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9593408B2 (en) | 2009-08-10 | 2017-03-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus including deposition blade |
US8968829B2 (en) | 2009-08-25 | 2015-03-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US9450140B2 (en) | 2009-08-27 | 2016-09-20 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same |
US8696815B2 (en) | 2009-09-01 | 2014-04-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9624580B2 (en) | 2009-09-01 | 2017-04-18 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9224591B2 (en) | 2009-10-19 | 2015-12-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of depositing a thin film |
US8876975B2 (en) | 2009-10-19 | 2014-11-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US10287671B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-05-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US10246769B2 (en) | 2010-01-11 | 2019-04-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8859325B2 (en) | 2010-01-14 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8882556B2 (en) | 2010-02-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8973525B2 (en) | 2010-03-11 | 2015-03-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US9453282B2 (en) | 2010-03-11 | 2016-09-27 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus |
US8865252B2 (en) | 2010-04-06 | 2014-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US9136310B2 (en) | 2010-04-28 | 2015-09-15 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US8894458B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-11-25 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US9279177B2 (en) | 2010-07-07 | 2016-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Thin film deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display device by using the apparatus, and organic light-emitting display device manufactured by using the method |
US9388488B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-07-12 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic film deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8871542B2 (en) | 2010-10-22 | 2014-10-28 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus manufactured by using the method |
US8882922B2 (en) | 2010-11-01 | 2014-11-11 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8852687B2 (en) | 2010-12-13 | 2014-10-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US9748483B2 (en) | 2011-01-12 | 2017-08-29 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition source and organic layer deposition apparatus including the same |
US9249493B2 (en) | 2011-05-25 | 2016-02-02 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same |
US9076982B2 (en) | 2011-05-25 | 2015-07-07 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
US8859043B2 (en) | 2011-05-25 | 2014-10-14 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus and method of manufacturing organic light-emitting display device by using the same |
US8906731B2 (en) | 2011-05-27 | 2014-12-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Patterning slit sheet assembly, organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus, and the organic light-emitting display apparatus |
US8951610B2 (en) | 2011-07-04 | 2015-02-10 | Samsung Display Co., Ltd. | Organic layer deposition apparatus |
US8993360B2 (en) | 2013-03-29 | 2015-03-31 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition apparatus, method of manufacturing organic light emitting display apparatus, and organic light emitting display apparatus |
US9040330B2 (en) | 2013-04-18 | 2015-05-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing organic light-emitting display apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060080482A (ko) | 2006-07-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100645719B1 (ko) | 물질증착용 증착원 및 이를 구비한 증착장치 | |
KR100796148B1 (ko) | 수직이동형 증착시스템 | |
JP4767000B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
KR20070105595A (ko) | 유기박막 증착장치 | |
KR100711885B1 (ko) | 유기 증착원 및 이의 가열원 제어방법 | |
KR101192951B1 (ko) | 진공 증착 장치 | |
KR101359066B1 (ko) | 진공 증착 방법 | |
KR102002849B1 (ko) | 증착 장치 | |
JP2004225058A (ja) | 成膜装置および表示パネルの製造装置とその方法 | |
JP2004214120A (ja) | 有機電界発光素子の製造装置及び製造方法 | |
KR101885245B1 (ko) | 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 | |
US7862855B2 (en) | Controlling effusion cell of deposition system | |
JP4478113B2 (ja) | 加熱容器支持台及びそれを備えた蒸着装置 | |
JP2010037649A (ja) | 有機物蒸着装置 | |
KR101983009B1 (ko) | 증발원 및 이를 구비한 진공 증착 장치 | |
JP2004269948A (ja) | 成膜装置、成膜方法および表示装置の製造方法 | |
KR100646961B1 (ko) | 증착시스템의 증착원의 제어방법 | |
KR100611883B1 (ko) | 증착시스템 및 이에 사용되는 증착두께 측정방법 | |
KR100649200B1 (ko) | 박막 증착장치 | |
KR100732850B1 (ko) | 증착시스템의 증착원의 제어방법 | |
KR101436898B1 (ko) | 증발 소스 및 그를 구비하는 평판표시소자의 증발 장치 | |
KR100709265B1 (ko) | 유기물 증착장치 및 증착 방법 | |
KR20150084297A (ko) | Oled 제조용 인라인 증착장치 | |
KR20140123313A (ko) | 박막증착장치 | |
KR101530027B1 (ko) | Oled 제조용 인라인 증착장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121031 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131031 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141030 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151030 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171101 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181101 Year of fee payment: 13 |