JP2004214120A - 有機電界発光素子の製造装置及び製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 21
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 183
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims abstract description 173
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims abstract description 123
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 67
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 46
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 17
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 16
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【課題】有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させるにあたって、有機材料の膜厚制御をリアルタイムに正確に行えるようにする。
【解決手段】有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に用いられる有機電界発光素子の製造装置の構成として、有機材料を蒸発させる蒸発源１と、この蒸発源１から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限するとともに、蒸発源１から蒸発した有機材料を通過させる開口Ｈ１を有する制限部材５（５Ａ，５Ｂ）と、制限部材５の開口Ｈ１を通過した有機材料の蒸着速度を検出する膜厚計８と、この膜厚計８による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源１からの有機材料の蒸発量を制御する制御装置１１とを備える。
【選択図】 図１
【解決手段】有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に用いられる有機電界発光素子の製造装置の構成として、有機材料を蒸発させる蒸発源１と、この蒸発源１から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限するとともに、蒸発源１から蒸発した有機材料を通過させる開口Ｈ１を有する制限部材５（５Ａ，５Ｂ）と、制限部材５の開口Ｈ１を通過した有機材料の蒸着速度を検出する膜厚計８と、この膜厚計８による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源１からの有機材料の蒸発量を制御する制御装置１１とを備える。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機電界発光素子（有機ＥＬ素子：ＥＬはエレクトロルミネッセンスの略）の製造装置及び製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
近年、平面型の表示装置として、有機電界発光素子を用いたものが注目されている。有機電界発光素子を用いた表示装置（以下、「有機ＥＬディスプレイ」とも記す）は、バックライトが不要な自発光型のディスプレイであるため、視野角が広い、消費電力が少ないなどの利点を有している。
【０００４】
このような有機ＥＬディスプレイに用いられる有機電界発光素子は、一般に、有機材料からなる有機層（有機ＥＬ層）を上下から電極（陽極及び陰極）で挟み込んだ構造となっている。そして、陽極に正の電圧、陰極に負の電圧をそれぞれ印加することにより、有機層に対して、陽極から正孔を注入する一方、陰極から電子を注入することにより、有機層で正孔と電子が再結合して発光する仕組みになっている。
【０００５】
有機電界発光素子の有機層は、通常、正孔（ホール）注入層、正孔輸送層、発光層、電荷注入層等といった３〜５層の積層構造となっている。各々の層を形成する有機材料は、耐水性が低くてウェットプロセスを利用できない。そのため、有機層を形成する場合は、真空薄膜形成技術を利用した真空蒸着法により、有機電界発光素子の素子基板（通常はガラス基板）に各層を順に形成して所望の積層構造を得ている。また、カラー化への対応として、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色成分に対応する３種類の有機材料を、それぞれ異なる画素位置に蒸着して有機層を形成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような有機層を備える有機電界発光素子を製造する場合、有機層の各層ごとに蒸発源から蒸発させる有機材料を変更するとなると、有機層の成膜処理に時間がかかるため、有機電界発光素子を製造する際のタクトタイムが長くなってしまう。
【０００７】
そこで本出願人は、有機電界発光素子の素子基板上に複数の蒸発源を用いて薄膜層を順に積層することにより、複数層からなる有機層を得る技術を提案している。図３はこの技術を適用した有機電界発光素子の製造装置の構成例を示す概略図である。図示した製造装置は、３つの蒸発源１，２，３と、基板搬送装置４と、制限部材５，６，７と、３つの膜厚計（検出器）８，９，１０と、制御装置１１とを備えて構成されている。蒸発源、制限部材及び膜厚計の個数は、所望する有機層の積層数などに応じて増減する。
【０００８】
蒸発源１は、蒸着材料となる第１の有機材料を蒸発させるための加熱源とものである。また、蒸発源２は、蒸着材料となる第２の有機材料を蒸発させるための加熱源となるもので、蒸発源３は、蒸着材料となる第３の有機材料を蒸発させるための加熱源となるものである。第１の有機材料、第２の有機材料及び第３の有機材料は、それぞれ異なる種類の有機材料（蛍光物質等）からなる。各々の蒸発源１，２，３は、図の奥行き方向にライン状に延びるように形成された、いわゆるライン型蒸発源であって、例えば、高融点金属からなるヒータに通電して蒸着材料（有機材料）を加熱蒸発させる抵抗加熱蒸発源によって構成される。
【０００９】
図４に上記蒸発源１，２，３に適用されるライン型蒸発源の具体的な構成例を示す。ライン型蒸発源１００にはそのライン長手方向に複数（多数）の吹き出しノズル１０１が設けられている。ライン型蒸発源１００での加熱によって蒸発した有機材料は各々の吹き出しノズル１０１から放出されて素子基板１２に蒸着されるようになっている。このライン型蒸発源１００は、基板移動方向とほぼ直交する方向（プロセス方向）の辺の長さを十分にカバーするだけの蒸着幅を有する。そのため、ライン型蒸発源１００を用いることにより、素子基板１２の全幅にわたって均一な膜厚分布が得られる。
【００１０】
基板搬送装置４は、有機電界発光素子のベース基板となる素子基板（ガラス基板）１２を搬送するもので、駆動源となる搬送モータ１３と、この搬送モータ１３の回転によって駆動されるコンベア１４とを用いて構成されている。この基板搬送装置４は、素子基板１２の相対応する二辺部を複数のローラで載置状態に支持しつつ、各々のローラの回転によって素子基板１２を矢印方向（右方向）に搬送することにより、蒸発源のライン長手方向（図の奥行き方向）と直交するプロセス方向（図の左右方向）で、各々の蒸発源１，２，３と素子基板１２との相対位置を可変する。また、基板搬送装置４で搬送される素子基板１２は、プロセス方向において３つの蒸発源１，２，３と対向する位置を順に通過するように矢印方向（図の左方向）に移動する。
【００１１】
制限部材５は、蒸発源１から蒸発する第１の有機材料の飛散範囲を制限するために、蒸発源１に対応して設けられたものである。また、制限部材６は、蒸発源２から蒸発する第２の有機材料の飛散範囲を制限するために、蒸発源２に対応して設けられたもので、制限部材７は、蒸発源３から蒸発する第３の有機材料の飛散範囲を制限するために、蒸発源３に対応して設けられたものである。制限部材５は、プロセス方向で蒸発源１を挟むように当該蒸発源１の両側に配置された２枚の制限板（ステンレス鋼、アルミニウム等の金属板）５Ａ，５Ｂによって構成されている。また、各々の制限板５Ａ，５Ｂは、蒸発源１のライン長手方向の全域にわたって、当該蒸発源１をプロセス方向で挟むように配置されている。これに対して、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料は、図中波線で示すように２枚の制限板５Ａ，５Ｂの端部間を通過してコンベア１４側に飛散する。そのため、２枚の制限板５Ａ，５Ｂの対向距離を増減すると、これに応じて第１の有機材料の飛散範囲も増減することになる。同様に、制限部材６は、プロセス方向で蒸発源２を挟むように当該蒸発源２の両側に配置された２枚の制限板６Ａ，６Ｂによって構成され、制限部材７は、プロセス方向で蒸発源３を挟むように当該蒸発源３の両側に配置された２枚の制限板７Ａ，７Ｂによって構成されている。
【００１２】
膜厚計８は、素子基板１２に第１の有機材料を蒸着するときの膜厚をモニタするために、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料の蒸着速度を検出するものである。この膜厚計８は、蒸発源１のほぼ直上位置にコンベア１４を介して配置されている。同様に、膜厚計９は、素子基板１２に第２の有機材料を蒸着するときの膜厚をモニタするために、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の蒸着速度を検出するもので、蒸発源２のほぼ直上位置にコンベア１４を介して配置されている。また、膜厚計９は、素子基板１２に第３の有機材料を蒸着するときの膜厚をモニタするために、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の蒸着速度を検出するもので、蒸発源３のほぼ直上位置にコンベア１４を介して配置されている。各々の膜厚計８，９，１０は、例えば、公知の水晶発振式や光学式などの膜厚計によって構成される。
【００１３】
以上の蒸発源１，２，３、基板搬送装置４、制限部材５，６，７及び膜厚計８，９，１０は、いずれも図示しない真空チャンバー内に配置される。
【００１４】
制御装置１１は、各々の膜厚計８，９，１０で検出した有機材料の蒸着速度に基づいて、それぞれに対応する蒸発源１，２，３からの単位時間当たりの有機材料の蒸発量を制御することにより、素子基板１２に蒸着される膜厚が所望の膜厚となるように制御するものである。この制御装置１１では、３つの蒸発源１，２，３ごとに有機材料の蒸発量を個別に制御する。制御装置１１による蒸発量の制御は、例えば、各々の蒸発源１，２，３が抵抗加熱蒸発源であるとすると、この蒸発源のヒータに対する通電量（すなわち蒸発源での有機材料の加熱温度）を調整（増減）することにより行う。
【００１５】
上記構成からなる製造装置を用いて実際に有機層を形成する場合は、基板搬送装置４のコンベア１４に適度な間隔をあけて素子基板１２を載せ、搬送モータ１３の駆動により素子基板１２を矢印方向に移動させる。これにより、素子基板１２は、３つの蒸発源１，２，３と対向する位置を順に通過することになる。すなわち、素子基板１２は、最初に蒸発源１の上を通過し、次に、蒸発源２の上を通過し、次いで、蒸発源３の上を通過する。
【００１６】
その際、蒸発源１で第１の有機材料を、蒸発源２で第２の有機材料を、蒸発源３で第３の蒸発源をそれぞれ蒸発させることにより、搬送モータ１３の駆動によってコンベア１４上を移動する素子基板１２の一面（図の下面）に、第１の有機材料、第２の有機材料及び第３の有機材料が順に蒸着される。
【００１７】
このように有機層を形成するにあたって、制御装置１１は、膜厚計８による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源１からの有機材料の蒸発量を制御することにより、第１の有機材料からなる薄膜層の膜厚を制御する。また、制御装置１１は、膜厚計９による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源２からの有機材料の蒸発量を制御することにより、第２の有機材料からなる薄膜層の膜厚を制御する一方、膜厚計１０による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源３からの有機材料の蒸発量を制御することにより、第３の有機材料からなる薄膜層の膜厚を制御する。
【００１８】
ここで、上記有機電界発光素子の製造装置においては、各々の膜厚計８，９，１０で有機材料の蒸着速度を検出するにあたり、実際に素子基板１２に有機材料を蒸着している状態では、蒸発源１，２，３から蒸発した有機材料が素子基板１２で遮られるため、蒸発源１，２，３の上を素子基板１２が通過する前か、通過した後でないと、蒸着速度の検出を行うことができない。したがって、素子基板１２に有機材料を蒸着している最中は、実質的に制御装置１１による膜厚の制御が中断された状態（蒸発源の上を素子基板１２が通過し始める直前の状態に蒸発源の加熱温度等の設定値を保持）となるため、その間に蒸着速度の変動が生じると所望の膜厚が得られなくなる。また、蒸着速度を検出するうえでは、必ず基板相互に十分な間隔をあけて素子基板１２を搬送する必要がある。この点は生産性の観点から好ましくない。
【００１９】
また、有機膜の特性向上を目的として、複数の蒸発源から蒸発させた２種以上の有機材料を混合して素子基板に蒸着させる場合は、それらの有機材料が混ざり合った真空雰囲気中でそれぞれに対応する膜厚計を用いて蒸着速度を検出することになる。そのため、クロストークによる検出精度の低下を招く恐れがある。
【００２０】
さらに、蒸着速度の検出に用いられる膜厚計は、一般に、温度依存性を有するのに対し、上記製造装置では、蒸発源からの放射熱に直接晒される場所（蒸発源のほぼ直上位置）に膜厚計が設けられている。通常、蒸発源は数百度の高温状態で使用されるため、蒸発源からの放射熱量は相当量になる。したがって、上記製造装置の場合は、蒸発源からの放射熱の影響で蒸着速度の検出値が変動する、いわゆる温度ドリフトが発生してしまう。また、蒸発源の上を素子基板１２が通過するたびに、蒸発源からの放射熱が素子基板１２で遮られるため、膜厚計は蒸発源からの放射熱に断続的に晒されることになる。したがって、温度ドリフトの発生が避けられない状況にあった。
【００２１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その主たる目的は、有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させるにあたって、有機材料の膜厚制御をリアルタイムに正確に行えるようにすることにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る有機電界発光素子の製造装置は、有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に用いられる有機電界発光素子の製造装置であって、有機材料を蒸発させる蒸発源と、この蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限するとともに、蒸発源から蒸発した有機材料を通過させる開口を有する制限部材と、この制限部材の開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出する検出手段とを備えるものである。
【００２３】
この有機電界発光素子の製造装置においては、蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限する制限部材に開口を設け、この開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出手段で検出することにより、素子基板に有機材料を蒸着している最中でも、有機材料の蒸着速度を検出することが可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本実施形態においては、先述した有機電界発光素子の製造装置の構成要素と同様の構成部分に同じ符号を付し、重複する説明は極力省略することとする。
【００２５】
図１は本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の基本構成を示す概略図である。図示した有機電界発光素子の製造装置は、真空蒸着法によって有機層（有機ＥＬ層）を成膜するものであって、その特徴とするところは、制限部材５の構成とこれに対応した膜厚計８の配置状態にある。すなわち、蒸発源１に対応して設置された制限部材５は一対の制限板５Ａ，５Ｂによって構成され、このうちの一方の制限板５Ａに膜厚モニタ用の開口Ｈ１が形成されている。
【００２６】
上記開口Ｈ１は、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料を通過させるためのもので、例えば、５〜１０ｍｍの孔径で制限板５Ａを貫通する状態に形成されている。また、開口Ｈ１は、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料の進行方向（飛散する方向）に沿うように、蒸発源１の斜め上方に所定の角度をもって斜めに穿孔されている。さらに、ライン型蒸発源である蒸発源１のライン長手方向（図の奥行き方向）においては、制限板５Ａの複数（例えば、３〜５個）の箇所にわたって開口Ｈ１が設けられている。
【００２７】
これに対して、蒸発源１のライン長手方向においては、上述のように制限板５Ａの複数（例えば、３〜５個）の箇所に設けられた開口Ｈ１ごとに膜厚計８が設置されている。このように一つの蒸発源に対して複数の膜厚計を設置した構成とすることにより、各々の膜厚計の測定結果を平均化した平均データを蒸着速度の検出結果として採用できるため、一つの膜厚計だけで測定する場合に比較して、膜厚測定の精度や信頼性を高めることができる。
【００２８】
図２は本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の全体構成を示す概略図である。図示した有機電界発光素子の製造装置の構成では、３つの蒸発源１，２，３が並列配置されており、このうち、２つの蒸発源２，３に関しては、これに対応する制限部材６７が、それらの蒸発源２，３の間に設置された第１制限板６７Ａと、それらの蒸発源２，３の外側に設置され且つ膜厚モニタ用の開口Ｈ２，Ｈ３を有する一対の第２制限板６７Ｂ，６７Ｃとによって構成されている。
【００２９】
第１制限板６７Ａは、プロセス方向で２つの蒸発源２，３のほぼ中間位置に配置され、第２制限板６７Ｂ，６７Ｃは、プロセス方向で第１制限板６７Ａからそれぞれ等距離を隔てた位置に配置されている。これにより、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の飛散範囲は、その両側に位置する第１制限板６７Ａと第２制限板６７Ｂによって制限され、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の飛散範囲は、その両側に位置する第１制限板６７Ａと第２制限板６７Ｃによって制限される構成となっている。また、第２制限板６７Ｂに形成された開口Ｈ２は、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料を通過させるためのもので、第２制限板６７Ｃに形成された開口Ｈ３は、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料を通過させるためのものである。各々の開口Ｈ２，Ｈ３の具体的な形成条件等については、上記制限板５Ａに設けられた開口Ｈ１と同様である。
【００３０】
上記２つの蒸発源２，３は、プロセス方向で互いに隣り合うように配置され、それぞれ異なる種類の有機材料（第２の有機材料，第３の有機材料）を蒸発させたときに、それらの有機材料を真空雰囲気中で混合した状態で素子基板１２に蒸着させるものである。具体的には、搬送モータ１３の駆動によってコンベア１４上をプロセス方向に移動する素子基板１２に対する有機材料の蒸着範囲として、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の飛散範囲を制限板６７Ａ，６７Ｂで制限したときの第２の有機材料の蒸着範囲と、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の飛散範囲を制限板６７Ａ，６７Ｃで制限したときの第３の有機材料の蒸着範囲とが互いに交差するように、２つの蒸発源２，３とこれに対応する各々の制限板６７Ａ，６７Ｂ，６７Ｃとの相対位置が調整（設定）されている。
【００３１】
さらに、一対の第２制限板６７Ｂ，６７Ｃの外側には、２つの蒸発源２，３に対応する膜厚計９，１０が設けられている。このうち、膜厚計９は、第２制限板６７Ｂに設けられた開口Ｈ２を通過した第２の有機材料の蒸着速度を検出するもので、膜厚計１０は、第２制限板６７Ｃに設けられた開口Ｈ３を通過した第３の有機材料の蒸着速度を検出するものである。これらの膜厚計９，１０は、第１制限板６７Ａの設置位置を基準にほぼ線対称な位置関係で配置されている。すなわち、膜厚計９は、蒸発源２の上方ではなく、蒸発源２の側方となる制限板６７Ｂの外側で、蒸発源２の中心部と開口Ｈ２の中心部とを結ぶ中心線の延長線上に、蒸発源２と対向する状態で配置されている。同様に、膜厚計１０は、蒸発源３の上方ではなく、蒸発源３の側方となる制限板６７Ｃの外側で、蒸発源３の中心部と開口Ｈ３の中心部とを結ぶ中心線の延長線上に、蒸発源３と対向する状態で配置されている。また、各々の膜厚計９，１０は、上記膜厚計８と同様に、それぞれに対応する蒸発源２，３のライン長手方向に複数設置されている。
【００３２】
続いて、上記構成の製造装置を用いて行われる有機電界発光素子の製造方法について説明する。先ず、基板搬送装置４のコンベア１４に間隔をあけずに（詰めて）素子基板１２を載せ、搬送モータ１３の駆動により素子基板１２を矢印方向に移動させる。これにより、素子基板１２は、３つの蒸発源１，２，３と対向する位置を順に通過することになる。
【００３３】
その際、蒸発源１で第１の有機材料を、蒸発源２で第２の有機材料を、蒸発源３で第３の蒸発源をそれぞれ蒸発させることにより、搬送モータ１３の駆動によってコンベア１４上を移動する素子基板の一面（図の下面）に、第１の有機材料と、第２の有機材料及び第３の有機材料を混合した混合材料とが順に蒸着される。その結果、素子基板１２上には、第１の有機材料からなる薄膜層と、第２の有機材料及び第３の有機材料の混合材料からなる薄膜層とを積層した積層構造を有する有機層が形成される。
【００３４】
このように素子基板１２に有機材料を蒸着させて有機層を形成するにあたり、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料を、制限板５Ａに形成した開口Ｈ１を通過させるとともに、この開口Ｈ１を通過した第１の有機材料の蒸着速度を膜厚計８で検出し、この検出結果に基づいて蒸発源１からの第１の有機材料の蒸発量を制御装置１１で制御することにより、基板搬送装置４によって搬送される素子基板１２の位置に関係なく、蒸発源１から蒸発する第１の有機材料の蒸着速度を膜厚計８で連続的に検出することができる。そのため、制御装置１１では、素子基板１２に第１の有機材料を蒸着している最中でも、膜厚制御を中断することなく、膜厚計８で検出された蒸着速度に基づいて蒸発源１からの蒸発量をリアルタイムに制御することができる。この効果は、第２の有機材料及び第３の有機材料の混合材料を素子基板１２に蒸着させる場合も同様に得られる。
【００３５】
また、蒸発源１と膜厚計８との間に制限板５Ａが介在し、この制限板５Ａによって蒸発源１からの放射熱が遮られるため、膜厚計８を使って蒸着速度を検出する際の温度ドリフトを抑制することができる。同様に、蒸発源２と膜厚計９との間には制限板６７Ｂが介在し、蒸発源３と膜厚計１０との間には制限板６７Ｃが介在するため、膜厚計９，１０を使って蒸着温度を検出する際の温度ドリフトを抑制することもできる。
【００３６】
さらに、基板搬送装置４においては、間隔をあけずに素子基板１２を並べて搬送できるため、有機材料を蒸着する際の処理効率を高めることができる。また、蒸発源１，２，３の上方に膜厚計を設置する必要がなくなるため、その分の設置スペースの削減により、真空チャンバーの高さ寸法を縮小して真空チャンバーの容積を減少させることができる。これにより、排気速度ならびに真空度を高めることが可能となる。
【００３７】
また、第２の有機材料と第３の有機材料を混合した混合材料を素子基板１２に蒸着させる場合に、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の蒸着速度と、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の蒸着速度とを、それぞれクロストーク無しで膜厚計９，１０により個別に検出することができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限する制限部材に開口を設け、この開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出手段で検出する構成としたので、素子基板に有機材料を蒸着している最中でも、有機材料の蒸着速度を検出することができる。これにより、素子基板に蒸着される有機材料の膜厚をリアルタイムに制御することが可能となる。その結果、有機材料の膜厚を、より高精度に制御することができる。また、蒸発源と検出手段との間に制限部材が介在し、この制限部材によって蒸発源からの放射熱が遮られるため、検出手段で蒸着速度を検出する際の温度ドリフトを抑制することができる。また、複数の蒸発源を並列配置したインライン方式の装置構成を採用した場合は、各々の蒸発源と素子基板との相対位置に関係なく、各々の蒸発源から蒸発した有機材料の蒸着速度を常時検出し、この検出結果に基づいて各々の蒸発源からの有機材料の蒸発量をリアルタイムに制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の基本構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の全体構成を示す概略図である。
【図３】有機電界発光素子の製造装置の構成例を示す概略図である。
【図４】ライン型蒸発源の具体的な構成例を示す図である。
【符号の説明】
１，２，３…蒸発源、４…基板搬送装置、５，６，７，６７…制限部材、５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，６７Ａ，６７Ｂ，６７Ｃ…制限板、８，９，１０…膜厚計、１１…制御装置、１２…素子基板、１３…搬送モータ、１４…コンベア
【発明の属する技術分野】
本発明は、有機電界発光素子（有機ＥＬ素子：ＥＬはエレクトロルミネッセンスの略）の製造装置及び製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
近年、平面型の表示装置として、有機電界発光素子を用いたものが注目されている。有機電界発光素子を用いた表示装置（以下、「有機ＥＬディスプレイ」とも記す）は、バックライトが不要な自発光型のディスプレイであるため、視野角が広い、消費電力が少ないなどの利点を有している。
【０００４】
このような有機ＥＬディスプレイに用いられる有機電界発光素子は、一般に、有機材料からなる有機層（有機ＥＬ層）を上下から電極（陽極及び陰極）で挟み込んだ構造となっている。そして、陽極に正の電圧、陰極に負の電圧をそれぞれ印加することにより、有機層に対して、陽極から正孔を注入する一方、陰極から電子を注入することにより、有機層で正孔と電子が再結合して発光する仕組みになっている。
【０００５】
有機電界発光素子の有機層は、通常、正孔（ホール）注入層、正孔輸送層、発光層、電荷注入層等といった３〜５層の積層構造となっている。各々の層を形成する有機材料は、耐水性が低くてウェットプロセスを利用できない。そのため、有機層を形成する場合は、真空薄膜形成技術を利用した真空蒸着法により、有機電界発光素子の素子基板（通常はガラス基板）に各層を順に形成して所望の積層構造を得ている。また、カラー化への対応として、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色成分に対応する３種類の有機材料を、それぞれ異なる画素位置に蒸着して有機層を形成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このような有機層を備える有機電界発光素子を製造する場合、有機層の各層ごとに蒸発源から蒸発させる有機材料を変更するとなると、有機層の成膜処理に時間がかかるため、有機電界発光素子を製造する際のタクトタイムが長くなってしまう。
【０００７】
そこで本出願人は、有機電界発光素子の素子基板上に複数の蒸発源を用いて薄膜層を順に積層することにより、複数層からなる有機層を得る技術を提案している。図３はこの技術を適用した有機電界発光素子の製造装置の構成例を示す概略図である。図示した製造装置は、３つの蒸発源１，２，３と、基板搬送装置４と、制限部材５，６，７と、３つの膜厚計（検出器）８，９，１０と、制御装置１１とを備えて構成されている。蒸発源、制限部材及び膜厚計の個数は、所望する有機層の積層数などに応じて増減する。
【０００８】
蒸発源１は、蒸着材料となる第１の有機材料を蒸発させるための加熱源とものである。また、蒸発源２は、蒸着材料となる第２の有機材料を蒸発させるための加熱源となるもので、蒸発源３は、蒸着材料となる第３の有機材料を蒸発させるための加熱源となるものである。第１の有機材料、第２の有機材料及び第３の有機材料は、それぞれ異なる種類の有機材料（蛍光物質等）からなる。各々の蒸発源１，２，３は、図の奥行き方向にライン状に延びるように形成された、いわゆるライン型蒸発源であって、例えば、高融点金属からなるヒータに通電して蒸着材料（有機材料）を加熱蒸発させる抵抗加熱蒸発源によって構成される。
【０００９】
図４に上記蒸発源１，２，３に適用されるライン型蒸発源の具体的な構成例を示す。ライン型蒸発源１００にはそのライン長手方向に複数（多数）の吹き出しノズル１０１が設けられている。ライン型蒸発源１００での加熱によって蒸発した有機材料は各々の吹き出しノズル１０１から放出されて素子基板１２に蒸着されるようになっている。このライン型蒸発源１００は、基板移動方向とほぼ直交する方向（プロセス方向）の辺の長さを十分にカバーするだけの蒸着幅を有する。そのため、ライン型蒸発源１００を用いることにより、素子基板１２の全幅にわたって均一な膜厚分布が得られる。
【００１０】
基板搬送装置４は、有機電界発光素子のベース基板となる素子基板（ガラス基板）１２を搬送するもので、駆動源となる搬送モータ１３と、この搬送モータ１３の回転によって駆動されるコンベア１４とを用いて構成されている。この基板搬送装置４は、素子基板１２の相対応する二辺部を複数のローラで載置状態に支持しつつ、各々のローラの回転によって素子基板１２を矢印方向（右方向）に搬送することにより、蒸発源のライン長手方向（図の奥行き方向）と直交するプロセス方向（図の左右方向）で、各々の蒸発源１，２，３と素子基板１２との相対位置を可変する。また、基板搬送装置４で搬送される素子基板１２は、プロセス方向において３つの蒸発源１，２，３と対向する位置を順に通過するように矢印方向（図の左方向）に移動する。
【００１１】
制限部材５は、蒸発源１から蒸発する第１の有機材料の飛散範囲を制限するために、蒸発源１に対応して設けられたものである。また、制限部材６は、蒸発源２から蒸発する第２の有機材料の飛散範囲を制限するために、蒸発源２に対応して設けられたもので、制限部材７は、蒸発源３から蒸発する第３の有機材料の飛散範囲を制限するために、蒸発源３に対応して設けられたものである。制限部材５は、プロセス方向で蒸発源１を挟むように当該蒸発源１の両側に配置された２枚の制限板（ステンレス鋼、アルミニウム等の金属板）５Ａ，５Ｂによって構成されている。また、各々の制限板５Ａ，５Ｂは、蒸発源１のライン長手方向の全域にわたって、当該蒸発源１をプロセス方向で挟むように配置されている。これに対して、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料は、図中波線で示すように２枚の制限板５Ａ，５Ｂの端部間を通過してコンベア１４側に飛散する。そのため、２枚の制限板５Ａ，５Ｂの対向距離を増減すると、これに応じて第１の有機材料の飛散範囲も増減することになる。同様に、制限部材６は、プロセス方向で蒸発源２を挟むように当該蒸発源２の両側に配置された２枚の制限板６Ａ，６Ｂによって構成され、制限部材７は、プロセス方向で蒸発源３を挟むように当該蒸発源３の両側に配置された２枚の制限板７Ａ，７Ｂによって構成されている。
【００１２】
膜厚計８は、素子基板１２に第１の有機材料を蒸着するときの膜厚をモニタするために、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料の蒸着速度を検出するものである。この膜厚計８は、蒸発源１のほぼ直上位置にコンベア１４を介して配置されている。同様に、膜厚計９は、素子基板１２に第２の有機材料を蒸着するときの膜厚をモニタするために、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の蒸着速度を検出するもので、蒸発源２のほぼ直上位置にコンベア１４を介して配置されている。また、膜厚計９は、素子基板１２に第３の有機材料を蒸着するときの膜厚をモニタするために、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の蒸着速度を検出するもので、蒸発源３のほぼ直上位置にコンベア１４を介して配置されている。各々の膜厚計８，９，１０は、例えば、公知の水晶発振式や光学式などの膜厚計によって構成される。
【００１３】
以上の蒸発源１，２，３、基板搬送装置４、制限部材５，６，７及び膜厚計８，９，１０は、いずれも図示しない真空チャンバー内に配置される。
【００１４】
制御装置１１は、各々の膜厚計８，９，１０で検出した有機材料の蒸着速度に基づいて、それぞれに対応する蒸発源１，２，３からの単位時間当たりの有機材料の蒸発量を制御することにより、素子基板１２に蒸着される膜厚が所望の膜厚となるように制御するものである。この制御装置１１では、３つの蒸発源１，２，３ごとに有機材料の蒸発量を個別に制御する。制御装置１１による蒸発量の制御は、例えば、各々の蒸発源１，２，３が抵抗加熱蒸発源であるとすると、この蒸発源のヒータに対する通電量（すなわち蒸発源での有機材料の加熱温度）を調整（増減）することにより行う。
【００１５】
上記構成からなる製造装置を用いて実際に有機層を形成する場合は、基板搬送装置４のコンベア１４に適度な間隔をあけて素子基板１２を載せ、搬送モータ１３の駆動により素子基板１２を矢印方向に移動させる。これにより、素子基板１２は、３つの蒸発源１，２，３と対向する位置を順に通過することになる。すなわち、素子基板１２は、最初に蒸発源１の上を通過し、次に、蒸発源２の上を通過し、次いで、蒸発源３の上を通過する。
【００１６】
その際、蒸発源１で第１の有機材料を、蒸発源２で第２の有機材料を、蒸発源３で第３の蒸発源をそれぞれ蒸発させることにより、搬送モータ１３の駆動によってコンベア１４上を移動する素子基板１２の一面（図の下面）に、第１の有機材料、第２の有機材料及び第３の有機材料が順に蒸着される。
【００１７】
このように有機層を形成するにあたって、制御装置１１は、膜厚計８による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源１からの有機材料の蒸発量を制御することにより、第１の有機材料からなる薄膜層の膜厚を制御する。また、制御装置１１は、膜厚計９による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源２からの有機材料の蒸発量を制御することにより、第２の有機材料からなる薄膜層の膜厚を制御する一方、膜厚計１０による蒸着速度の検出結果に基づいて蒸発源３からの有機材料の蒸発量を制御することにより、第３の有機材料からなる薄膜層の膜厚を制御する。
【００１８】
ここで、上記有機電界発光素子の製造装置においては、各々の膜厚計８，９，１０で有機材料の蒸着速度を検出するにあたり、実際に素子基板１２に有機材料を蒸着している状態では、蒸発源１，２，３から蒸発した有機材料が素子基板１２で遮られるため、蒸発源１，２，３の上を素子基板１２が通過する前か、通過した後でないと、蒸着速度の検出を行うことができない。したがって、素子基板１２に有機材料を蒸着している最中は、実質的に制御装置１１による膜厚の制御が中断された状態（蒸発源の上を素子基板１２が通過し始める直前の状態に蒸発源の加熱温度等の設定値を保持）となるため、その間に蒸着速度の変動が生じると所望の膜厚が得られなくなる。また、蒸着速度を検出するうえでは、必ず基板相互に十分な間隔をあけて素子基板１２を搬送する必要がある。この点は生産性の観点から好ましくない。
【００１９】
また、有機膜の特性向上を目的として、複数の蒸発源から蒸発させた２種以上の有機材料を混合して素子基板に蒸着させる場合は、それらの有機材料が混ざり合った真空雰囲気中でそれぞれに対応する膜厚計を用いて蒸着速度を検出することになる。そのため、クロストークによる検出精度の低下を招く恐れがある。
【００２０】
さらに、蒸着速度の検出に用いられる膜厚計は、一般に、温度依存性を有するのに対し、上記製造装置では、蒸発源からの放射熱に直接晒される場所（蒸発源のほぼ直上位置）に膜厚計が設けられている。通常、蒸発源は数百度の高温状態で使用されるため、蒸発源からの放射熱量は相当量になる。したがって、上記製造装置の場合は、蒸発源からの放射熱の影響で蒸着速度の検出値が変動する、いわゆる温度ドリフトが発生してしまう。また、蒸発源の上を素子基板１２が通過するたびに、蒸発源からの放射熱が素子基板１２で遮られるため、膜厚計は蒸発源からの放射熱に断続的に晒されることになる。したがって、温度ドリフトの発生が避けられない状況にあった。
【００２１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その主たる目的は、有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させるにあたって、有機材料の膜厚制御をリアルタイムに正確に行えるようにすることにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る有機電界発光素子の製造装置は、有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に用いられる有機電界発光素子の製造装置であって、有機材料を蒸発させる蒸発源と、この蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限するとともに、蒸発源から蒸発した有機材料を通過させる開口を有する制限部材と、この制限部材の開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出する検出手段とを備えるものである。
【００２３】
この有機電界発光素子の製造装置においては、蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限する制限部材に開口を設け、この開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出手段で検出することにより、素子基板に有機材料を蒸着している最中でも、有機材料の蒸着速度を検出することが可能となる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本実施形態においては、先述した有機電界発光素子の製造装置の構成要素と同様の構成部分に同じ符号を付し、重複する説明は極力省略することとする。
【００２５】
図１は本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の基本構成を示す概略図である。図示した有機電界発光素子の製造装置は、真空蒸着法によって有機層（有機ＥＬ層）を成膜するものであって、その特徴とするところは、制限部材５の構成とこれに対応した膜厚計８の配置状態にある。すなわち、蒸発源１に対応して設置された制限部材５は一対の制限板５Ａ，５Ｂによって構成され、このうちの一方の制限板５Ａに膜厚モニタ用の開口Ｈ１が形成されている。
【００２６】
上記開口Ｈ１は、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料を通過させるためのもので、例えば、５〜１０ｍｍの孔径で制限板５Ａを貫通する状態に形成されている。また、開口Ｈ１は、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料の進行方向（飛散する方向）に沿うように、蒸発源１の斜め上方に所定の角度をもって斜めに穿孔されている。さらに、ライン型蒸発源である蒸発源１のライン長手方向（図の奥行き方向）においては、制限板５Ａの複数（例えば、３〜５個）の箇所にわたって開口Ｈ１が設けられている。
【００２７】
これに対して、蒸発源１のライン長手方向においては、上述のように制限板５Ａの複数（例えば、３〜５個）の箇所に設けられた開口Ｈ１ごとに膜厚計８が設置されている。このように一つの蒸発源に対して複数の膜厚計を設置した構成とすることにより、各々の膜厚計の測定結果を平均化した平均データを蒸着速度の検出結果として採用できるため、一つの膜厚計だけで測定する場合に比較して、膜厚測定の精度や信頼性を高めることができる。
【００２８】
図２は本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の全体構成を示す概略図である。図示した有機電界発光素子の製造装置の構成では、３つの蒸発源１，２，３が並列配置されており、このうち、２つの蒸発源２，３に関しては、これに対応する制限部材６７が、それらの蒸発源２，３の間に設置された第１制限板６７Ａと、それらの蒸発源２，３の外側に設置され且つ膜厚モニタ用の開口Ｈ２，Ｈ３を有する一対の第２制限板６７Ｂ，６７Ｃとによって構成されている。
【００２９】
第１制限板６７Ａは、プロセス方向で２つの蒸発源２，３のほぼ中間位置に配置され、第２制限板６７Ｂ，６７Ｃは、プロセス方向で第１制限板６７Ａからそれぞれ等距離を隔てた位置に配置されている。これにより、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の飛散範囲は、その両側に位置する第１制限板６７Ａと第２制限板６７Ｂによって制限され、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の飛散範囲は、その両側に位置する第１制限板６７Ａと第２制限板６７Ｃによって制限される構成となっている。また、第２制限板６７Ｂに形成された開口Ｈ２は、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料を通過させるためのもので、第２制限板６７Ｃに形成された開口Ｈ３は、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料を通過させるためのものである。各々の開口Ｈ２，Ｈ３の具体的な形成条件等については、上記制限板５Ａに設けられた開口Ｈ１と同様である。
【００３０】
上記２つの蒸発源２，３は、プロセス方向で互いに隣り合うように配置され、それぞれ異なる種類の有機材料（第２の有機材料，第３の有機材料）を蒸発させたときに、それらの有機材料を真空雰囲気中で混合した状態で素子基板１２に蒸着させるものである。具体的には、搬送モータ１３の駆動によってコンベア１４上をプロセス方向に移動する素子基板１２に対する有機材料の蒸着範囲として、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の飛散範囲を制限板６７Ａ，６７Ｂで制限したときの第２の有機材料の蒸着範囲と、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の飛散範囲を制限板６７Ａ，６７Ｃで制限したときの第３の有機材料の蒸着範囲とが互いに交差するように、２つの蒸発源２，３とこれに対応する各々の制限板６７Ａ，６７Ｂ，６７Ｃとの相対位置が調整（設定）されている。
【００３１】
さらに、一対の第２制限板６７Ｂ，６７Ｃの外側には、２つの蒸発源２，３に対応する膜厚計９，１０が設けられている。このうち、膜厚計９は、第２制限板６７Ｂに設けられた開口Ｈ２を通過した第２の有機材料の蒸着速度を検出するもので、膜厚計１０は、第２制限板６７Ｃに設けられた開口Ｈ３を通過した第３の有機材料の蒸着速度を検出するものである。これらの膜厚計９，１０は、第１制限板６７Ａの設置位置を基準にほぼ線対称な位置関係で配置されている。すなわち、膜厚計９は、蒸発源２の上方ではなく、蒸発源２の側方となる制限板６７Ｂの外側で、蒸発源２の中心部と開口Ｈ２の中心部とを結ぶ中心線の延長線上に、蒸発源２と対向する状態で配置されている。同様に、膜厚計１０は、蒸発源３の上方ではなく、蒸発源３の側方となる制限板６７Ｃの外側で、蒸発源３の中心部と開口Ｈ３の中心部とを結ぶ中心線の延長線上に、蒸発源３と対向する状態で配置されている。また、各々の膜厚計９，１０は、上記膜厚計８と同様に、それぞれに対応する蒸発源２，３のライン長手方向に複数設置されている。
【００３２】
続いて、上記構成の製造装置を用いて行われる有機電界発光素子の製造方法について説明する。先ず、基板搬送装置４のコンベア１４に間隔をあけずに（詰めて）素子基板１２を載せ、搬送モータ１３の駆動により素子基板１２を矢印方向に移動させる。これにより、素子基板１２は、３つの蒸発源１，２，３と対向する位置を順に通過することになる。
【００３３】
その際、蒸発源１で第１の有機材料を、蒸発源２で第２の有機材料を、蒸発源３で第３の蒸発源をそれぞれ蒸発させることにより、搬送モータ１３の駆動によってコンベア１４上を移動する素子基板の一面（図の下面）に、第１の有機材料と、第２の有機材料及び第３の有機材料を混合した混合材料とが順に蒸着される。その結果、素子基板１２上には、第１の有機材料からなる薄膜層と、第２の有機材料及び第３の有機材料の混合材料からなる薄膜層とを積層した積層構造を有する有機層が形成される。
【００３４】
このように素子基板１２に有機材料を蒸着させて有機層を形成するにあたり、蒸発源１から蒸発した第１の有機材料を、制限板５Ａに形成した開口Ｈ１を通過させるとともに、この開口Ｈ１を通過した第１の有機材料の蒸着速度を膜厚計８で検出し、この検出結果に基づいて蒸発源１からの第１の有機材料の蒸発量を制御装置１１で制御することにより、基板搬送装置４によって搬送される素子基板１２の位置に関係なく、蒸発源１から蒸発する第１の有機材料の蒸着速度を膜厚計８で連続的に検出することができる。そのため、制御装置１１では、素子基板１２に第１の有機材料を蒸着している最中でも、膜厚制御を中断することなく、膜厚計８で検出された蒸着速度に基づいて蒸発源１からの蒸発量をリアルタイムに制御することができる。この効果は、第２の有機材料及び第３の有機材料の混合材料を素子基板１２に蒸着させる場合も同様に得られる。
【００３５】
また、蒸発源１と膜厚計８との間に制限板５Ａが介在し、この制限板５Ａによって蒸発源１からの放射熱が遮られるため、膜厚計８を使って蒸着速度を検出する際の温度ドリフトを抑制することができる。同様に、蒸発源２と膜厚計９との間には制限板６７Ｂが介在し、蒸発源３と膜厚計１０との間には制限板６７Ｃが介在するため、膜厚計９，１０を使って蒸着温度を検出する際の温度ドリフトを抑制することもできる。
【００３６】
さらに、基板搬送装置４においては、間隔をあけずに素子基板１２を並べて搬送できるため、有機材料を蒸着する際の処理効率を高めることができる。また、蒸発源１，２，３の上方に膜厚計を設置する必要がなくなるため、その分の設置スペースの削減により、真空チャンバーの高さ寸法を縮小して真空チャンバーの容積を減少させることができる。これにより、排気速度ならびに真空度を高めることが可能となる。
【００３７】
また、第２の有機材料と第３の有機材料を混合した混合材料を素子基板１２に蒸着させる場合に、蒸発源２から蒸発した第２の有機材料の蒸着速度と、蒸発源３から蒸発した第３の有機材料の蒸着速度とを、それぞれクロストーク無しで膜厚計９，１０により個別に検出することができる。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限する制限部材に開口を設け、この開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出手段で検出する構成としたので、素子基板に有機材料を蒸着している最中でも、有機材料の蒸着速度を検出することができる。これにより、素子基板に蒸着される有機材料の膜厚をリアルタイムに制御することが可能となる。その結果、有機材料の膜厚を、より高精度に制御することができる。また、蒸発源と検出手段との間に制限部材が介在し、この制限部材によって蒸発源からの放射熱が遮られるため、検出手段で蒸着速度を検出する際の温度ドリフトを抑制することができる。また、複数の蒸発源を並列配置したインライン方式の装置構成を採用した場合は、各々の蒸発源と素子基板との相対位置に関係なく、各々の蒸発源から蒸発した有機材料の蒸着速度を常時検出し、この検出結果に基づいて各々の蒸発源からの有機材料の蒸発量をリアルタイムに制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の基本構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施形態に係る有機電界発光素子の製造装置の全体構成を示す概略図である。
【図３】有機電界発光素子の製造装置の構成例を示す概略図である。
【図４】ライン型蒸発源の具体的な構成例を示す図である。
【符号の説明】
１，２，３…蒸発源、４…基板搬送装置、５，６，７，６７…制限部材、５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ，７Ａ，７Ｂ，６７Ａ，６７Ｂ，６７Ｃ…制限板、８，９，１０…膜厚計、１１…制御装置、１２…素子基板、１３…搬送モータ、１４…コンベア
Claims (7)
- 有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に用いられる有機電界発光素子の製造装置であって、
有機材料を蒸発させる蒸発源と、
前記蒸発源から蒸発した有機材料の飛散範囲を制限するとともに、前記蒸発源から蒸発した有機材料を通過させる開口を有する制限部材と、
前記制限部材の前記開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出する検出手段と
を備えることを特徴とする有機電界発光素子の製造装置。 - 前記検出手段によって検出された前記有機材料の蒸着速度に基づいて、前記蒸発源からの有機材料の蒸発量を制御する制御手段を具備する
ことを特徴とする請求項１記載の有機電界発光素子の製造装置。 - 前記蒸発源は、ライン状に形成されたものであって、
前記蒸発源のライン長手方向と直交するプロセス方向で前記蒸発源と前記素子基板との相対位置を可変する可変手段を備える
ことを特徴とする請求項１記載の有機電界発光素子の製造装置。 - 前記ライン状の蒸発源は、前記プロセス方向に複数並べて設けられ、
前記可変手段は、前記複数の蒸発源と対向する位置を順に通過するように、前記プロセス方向で前記蒸発源と前記素子基板との相対位置を可変する
ことを特徴とする請求項３記載の有機電界発光素子の製造装置。 - 前記制御手段は、前記複数の蒸発源ごとに前記蒸発量を個別に制御する
ことを特徴とする請求項４記載の有機電界発光素子の製造装置。 - 前記複数の蒸発源のうち、前記プロセス方向で隣り合う２つの蒸発源は、それぞれ異なる種類の有機材料を混合した状態で前記素子基板に蒸着させるものであって、
前記２つの蒸発源に対応する前記制限部材は、前記２つの蒸発源の間に設置された第１制限板と、前記２つの蒸発源の外側に設置され且つ前記開口を有する一対の第２制限板とによって構成され、
前記２つの蒸発源に対応する前記検出手段は、前記一対の第２制限板の外側に設けられるとともに、前記第１制限板の設置位置を基準にほぼ線対称な位置に配置された一対の検出器によって構成されている
ことを特徴とする請求項４記載の有機電界発光素子の製造装置。 - 有機電界発光素子の素子基板に有機材料を蒸着させる際に、
蒸発源から蒸発した有機材料の拡散範囲を制限する制限部材に前記蒸発源から蒸発した有機材料を通過させる開口を設け、この開口を通過した有機材料の蒸着速度を検出して、前記蒸発源からの有機材料の蒸発量を制御する
ことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003001770A JP2004214120A (ja) | 2003-01-08 | 2003-01-08 | 有機電界発光素子の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003001770A JP2004214120A (ja) | 2003-01-08 | 2003-01-08 | 有機電界発光素子の製造装置及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004214120A true JP2004214120A (ja) | 2004-07-29 |
Family
ID=32819703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003001770A Pending JP2004214120A (ja) | 2003-01-08 | 2003-01-08 | 有機電界発光素子の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004214120A (ja) |
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