KR100729096B1 - 유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치 - Google Patents

유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 대형 기판 상에 증착되는 유기물층의 균일도를 향상시켜 최종 생산되는 유기 발광 표시장치의 휘도 및 품질을 개선하도록 하는 유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치에 관한 것으로서, 기판을 L1~Ln의 구역으로 세분화하는 제1단계; 유기 증발 증착원을 이동시키며 상기 L1에서 Ln 구역까지 유기물을 증발 증착하면서 각 구역의 증착율을 측정하는 제2단계; 상기 각 구역의 증착율을 수집하여 과다 및 과소 증착 구역을 산정하는 제3단계; 및 상기 유기 증발 증착원을 상기 Ln에서 L1 구역까지 이동시키며 상기 과다 및 과소 증착 구역의 증착율 편차가 보정되도록 유기물을 증발 증착하는 제4단계를 포함한다. 증착율 요동과 증착원의 진동에 의한 증착율 편차를 보정함으로써 대형 기판 상에 증착되는 유기물층의 균일도를 향상시켜 최종 생산되는 유기 발광 표시장치의 휘도 및 품질을 개선할 수 있다.
유기 증발 증착원, 유기물층, 균일도, 유기 발광 표시장치, 휘도

Description

유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치{Deposition method for vaporizing organic and the deposition apparatus for the same}
도 1은 일반적인 유기물 증발 증착 시스템을 나타낸 개략도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 증발 증착 장치를 나타낸 개략도,
도 3은 기판을 L1 ~ Ln까지 구획한 상태를 나타낸 개략도,
도 4a 및 도 4b는 도 2의 유기 증발 증착 장치를 이용하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기물 증발 증착방법을 나타낸 개략도,
도 5a 및 도 5b는 각각 도 4a 및 도 4b에 의해 증착된 유기물층의 증착균일도를 나타낸 개략도,
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 타 실시예에 따른 유기물 증발 증착방법에 의하여 증착된 유기물층의 증착균일도를 나타낸 개략도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1,10...증발 증착원, 20... 증착율 센서,
40... 구역분할센서, 50... 이동수단,
60... 연산부, 80... 제어부,
100...유기 증발 증착 장치, S... 기판.
본 발명은 유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 대형 기판 상에 증착되는 유기물층의 균일도를 향상시켜 최종 생산되는 유기 발광 표시장치의 휘도 및 품질을 개선하도록 하는 유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 증착원이 구비된 증착장치는 각종 전자부품의 박막 증착에 이용되며, 특히 반도체, 엘씨디(LCD), 유기 전계 표시장치 등의 전자 장치 및 표시장치의 박막형성에 주로 사용된다.
상기 유기 전계 발광표시장치는 전자(Electron)주입전극(Cathode)과, 정공(Hole)주입전극(Anode)으로부터 각각 전자와 정공을 발광층(Emitting layer) 내부로 주입시켜, 주입된 전자와 정공이 결합한 여기자(Exiton)가 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광하는 발광표시장치이다.
여기서 유기전계 발광표시장치의 발광효율을 높이기 위해 정공과 전자를 발광층으로 보다 원활하게 수송하여야 하고, 이를 위해 음극과 유기발광층 사이에는 전자수송층(ETL:Electron Transfer Layer)이 배치될 수 있고 양극과 유기발광층 사이에는 전공수송층이 배치될 수 있다.
또한, 양극과 정공수송층 사이에 정공주입층(HIL:Hole Injection Layer)이 배치될 수 있고, 음극과 전자수송층 사이에는 전자주입층(EIL:Electron Injection Layer)이 배치될 수 있다.
기판에 박막을 형성하는 일반적인 방법으로는 진공증착법(Evaporation)과, 이온 플레이팅법(Ion-plation) 및 스퍼터링법(Sputtering)과 같은 물리증착법(PVD)과 가스반응에 의한 화학기상증착법(CVD)등이 있다.
이 중에서 유기전계 발광소자의 유기물층 등의 박막형성에는 진공증착법이 주로 이용된다.
이 진공증착법에 사용되는 일반적인 유기물 증발 증착 시스템을 나타낸 개략도가 도 1에 도시되어 있다.
도 1을 참조하면, 일반적인 유기 증발 증착원(1)은 기판(S)의 하부에 위치되어 이에 수납된 유기물을 가열하여 이를 증발시킴으로써 기판(S) 상에 유기물층을 형성하도록 구성된다.
유기 증발 증착원(1)에서 증발되어 나오는 유기물은 유기 증발 증착원(1)의 토출구에서부터 코사인 법칙에 따라 증발된 유기물 양의 분포를 가진다.
그러나, 이러한 유기 증발 증착원(1)은, 점차 대형화되며 고정세화되어가는 유기 발광소자의 기판(S) 상에 균일한 증착을 하기에는 다소 무리가 따른다.
이에 따라, 대형화된 유기 발광소자를 제작하기 위하여, 유기 증발 증착원(1) 혹은 기판(S)을 왕복이동시키면서 증착을 수행하거나, 다수의 유기 증발 증착원(1)을 채용하여 기판(S) 상에 증착을 수행한다.
상기와 같은 방법 중 특히 유기물 증발 증착원(1)을 왕복이동시키면서 증착 하는 기술이 널리 이용되고 있는 추세이다.
그러나, 이와 같은 유기물 증발 증착원(1)의 왕복이동시에는, 종래의 증착원 고정방식은 증착원 배치에 따라 균일도가 결정되고 증착율의 요동에 따른 증착균일도의 영향이 없었던 것과는 달리, 증착율 요동의 발생과 왕복이동에 따른 이동수단의 진동으로 인한 증착 불균일화가 발생하더라도 이를 보정할 수 있는 방법이 부재하였다.
따라서, 이와 같은 증착 불균일이 존재하는 기판으로써 최종적으로 제조되는 유기 발광 표시장치의 휘도 및 품질에 악영향을 끼치고, 이의 해결과제가 유기 발광 표시장치의 대형화 추세에 요구되어 왔다.
본 발명은 상기된 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 증착율 요동과 증착원의 진동에 의한 증착율 편차를 보정함으로써 대형 기판 상에 증착되는 유기물층의 균일도를 향상시켜 최종 생산되는 유기 발광 표시장치의 휘도 및 품질을 개선하도록 하는 유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기물 증발 증착방법은, 기판을 L1 ~ Ln의 구역으로 세분화하는 제1단계; 상기 L1 ~ Ln로 세분화된 기판을 L1에서부터 Ln까지 각 구역의 증착율을 측정하면서 유기 증발 증착원으로써 증발 증착하 는 제2단계; 상기 L1 ~ Ln의 각 구역에서의 측정된 증착율 중 과다 및 과소 증착구역을 산정하는 제3단계; 및 상기 L1 ~ Ln로 세분화된 기판을 Ln에서부터 L1까지 증발 증착하면서 상기 과다 및 과소 증착구역을 보정하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제2단계, 상기 제3단계 및 상기 제4단계가 순차적으로 반복순환될 수 있으며, 제4단계 이후에, 상기 Ln ~ L1의 각 구역에서의 측정된 증착율 중 과다 및 과소 증착구역을 산정하는 제5단계; 및 상기 L1 ~ Ln로 세분화된 기판을 L1에서부터 Ln까지 증발 증착하면서 상기 과다 및 과소 증착구역을 보정하는 제6단계;가 더 포함되고, 상기 제6단계 이후에, 상기 제3단계, 상기 제4단계, 상기 제5단계 및 상기 제6단계가 순차적으로 반복순환될 수도 있다.
또한, 상기 과다 및 과소 증착구역의 보정은 상기 유기 증발 증착원의 속도를 조절함으로써 제어하며, 상기 유기 증발 증착원의 속도는 상기 과다 증착구역에서는 신속하고, 상기 과소 증착구역에서는 지둔하도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 과다 및 과소 증착구역의 보정은 상기 유기 증발 증착원의 가열온도를 조절함으로써 제어하며, 상기 유기 증발 증착원의 가열온도는 상기 과다 증착구역에서는 하강하고, 상기 과소 증착구역에서는 상승하도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 과다 및 과소 증착구역의 보정은 상기 유기 증발 증착원의 상기 기판과의 간격을 조절함으로써 제어하며, 상기 유기 증발 증착원과 상기 기판과의 간격은 상기 과다 증착구역에서는 원접하고, 상기 과소 증착구역에서는 근접하도록 제어할 수 있다.
이때, 상기 증착율 측정은 상기 유기 증발 증착원의 선단에 장착되는 증착율 측정장치로써 이루어진다.
본 발명에 따른 유기 증발 증착 장치는 유기물이 그 내부에 수납되어 가열에 의한 증발이 이루어지도록 구성되는 유기 증발 증착원; 상기 유기 증발 증착원이 그 내부에 장착되는 챔버; 상기 챔버 내에서 상기 유기 증발 증착원의 상기 노즐부에 증착되는 면이 대향되도록 상기 유기 증발 증착원의 상기 노즐부에서 소정간격 이격되어 배치되는 기판; 상기 기판에 대하여 상기 유기 증발 증착원이 상기 기판의 전장방향으로 왕복이동가능하도록 하는 이동수단; 상기 이동수단에 장착되며, 상기 유기 증발 증착원이 이동하는 상기 기판의 전장방향에 대하여 L1 ~ Ln의 구역으로 세분화하도록 구성되는 구역분할센서; 상기 유기 증발 증착원에 장착되어 상기 증발되는 유기물의 양을 감지하는 증착율 센서; 상기 증착율 센서 및 상기 구역분할센서와 연결구성되어 각 구역에 해당하는 증착율을 산출하도록 구성된 연산부; 및 상기 연산부에서 산출된 증착율 정보를 반영하도록 하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제어부는 상기 이동수단과 연결구성되어 상기 이동수단의 이동속도를 조절하도록 구성되며, 상기 제어부는 상기 유기 증발 증착원에 연결구성되 어 상기 유기 증발 증착원에 수납된 상기 유기물의 증발을 가열로써 조절하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 이동수단 또는 상기 유기 증발 증착원에 연결구성되어 상기 유기 증발 증착원과 상기 기판과의 간격을 조절하도록 구성되며, 상기 연산부는, 상기 구역분할센서를 통한 해당 Lx 구역에 대하여 상기 증착율 센서를 통한 해당 증착율을 각각 산출하여, L1 ~ Ln 구역에서의 평균 증착율을 연산하고, 상기 평균 증착율에 과다 또는 과소한 증착율을 가지는 해당 Lx 구역의 정보를 상기 제어부에 송출하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 증발 증착 장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 증발 증착 장치를 나타낸 개략도이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기 증발 증착 장치(100)는 유기물이 그 내부에 수납되어 가열에 의한 증발이 이루어지도록 구성되는 유기 증발 증착원(10); 상기 유기 증발 증착원(10)이 그 내부에 장착되는 챔버(90); 상기 챔버(90) 내에서 상기 유기 증발 증착원(10)의 상기 노즐부에 증착되는 면이 대향되도록 상기 유기 증발 증착원(10)의 상기 노즐부에서 소정간격 이격되어 배치되는 기판(S); 상기 기판(S)에 대하여 상기 유기 증발 증착원(10)이 상기 기판(S)의 전장방향으로 왕복이동가능하도록 하는 이동수단(50); 상기 이동수단(50)에 장착되며, 상기 유기 증발 증착원(10)이 이동하는 상기 기판(S)의 전장방향에 대하여 L1 ~ Ln의 구역으로 세분화하도록 구성되는 구역분할센서(40); 상기 유기 증발 증착원(10)에 장착되어 상기 증발되는 유기물의 양을 감지하는 증착율 센서(20); 상기 증착율 센서(20) 및 상기 구역분할센서(40)와 연결구성되어 각 구역에 해당하는 증착율을 산출하도록 구성된 연산부(60); 및 상기 연산부(60)에서 산출된 증착율 정보를 반영하도록 하는 제어부(80);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 2를 참조하면, 유기 증발 증착 장치(100)는 유기물이 그 내부에 수납되어 가열에 의한 증발이 이루어지도록 구성되는 유기 증발 증착원(10)을 포함한다. 이 유기 증발 증착원(10)은 챔버(90) 내부에 수용되며, 이 유기 증발 증착원(10)에 대향되어, 더 상세하게는, 유기 증발 증착원(10)에서 증발된 유기물이 토출되어 나오는 노즐부에 대향되도록 기판(S)이 배치된다.
기판(S)은 장방형으로 구성되며, 기판(S) 상의 대향하는 어느 두 변에 대하여 유기 증발 증착원(10)이 이 두 변 사이를 왕복가능하도록 유기 증발 증착원(10)에는 이동수단(50)이 구비된다. 바람직하게는, 이 이동수단(50)은 기판(S)의 장변과 평행하도록 이루어지며, 더 바람직하게는, 기판(S)의 장변길이보다 더 큰, 즉 장변의 양 끝보다 더 긴 이동경로를 가진다.
이동수단(50)에는 구역분할센서(40)가 구비된다. 이 구역분할센서(40)는 도 3에 도시된 바와 같이, 해당 피증착 기판(S)에 대한 크기 정보를 내재하고, 이에 부합되도록 기판(S)을 L1 ~ Ln의 구역으로 세분화한다. 여기서, n은 임의의 1보다 큰 자연수로서 기판(S)의 크기와 장치(100)의 세부구성에 따라 다른 값을 가진다.
또한, 유기 증발 증착원(10)에는 이에 연결장착되어 증발되는 유기물의 양을 감지하도록 하는 증착율 센서(20)가 구비된다. 이 증착율 센서(20)는 통상의 증착율 측정수단으로서 구성될 수 있다.
증착율 센서(20)로써 측정된 증착율 정보는 연산부(60)로 송출된다. 이 연산부(60)는 또한 구역분할센서(40)와도 연결구성되어, 기판(S) 전체 즉, L1 ~ Ln에서의 평균 증착율을 연산하여 이에 대한 편차를 가지는 해당 구역(Lx; 여기서, x는 1에서 n까지의 자연수 중 어느 하나인 미지수)에서의 과다 또는 과소 증착율을 산출할 수 있다.
연산부(60)에서 수집된 해당 구역별 증착율 정보는 제어부(80)로 송출된다. 이 제어부(80)는 연산부(60)에서 산출된 증착율 정보를 토대로 증착율 편차를 나타내는 구간에 대하여 이를 보정할 수 있도록 이동수단(50) 및/또는 유기 증발 증착원(10)과 연결구성된다.
즉, 제어부(80)는 이동수단(50)과 연결되어 이동수단(50)의 속도를 조절할 수 있다. 이동수단(50)의 속도를 제어부(80)로써 제어함으로써 미증착 영역에 대해서는 지둔한 속도로써 증착을 할 수 있고, 과증착 영역에 대해서는 신속한 속도로 증착하여 기판(S) 전면적에 대한 증착율을 평준화시킬 수 있다.
또한, 제어부(80)는 유기 증발 증착원(10)과 연결되어 이의 가열온도를 조절할 수 있다. 이또한, 미증착 영역에 대해서는 가열온도를 상승시키고, 과증착 영역에 대해서는 가열온도를 하강하여 기판(S) 전면적에 대한 증착율을 균일화할 수 있다.
더욱이, 제어부(80)는 유기 증발 증착원(10) 또는 이동수단(50)과 연결되어 유기 증발 증착원(10), 더 상세하게는, 유기 증발 증착원(10)의 노즐부와 기판(S) 사이의 간격을 조절할 수 있도록 구성되어, 미증착 영역에 대해서는 증착원(10)과 기판(S)과의 간격을 근접하도록 하고, 과증착 영역에 대해서는 증착원(10)과 기판(S)과의 간격을 원접하도록 함으로써 기판(S) 상의 유기물 균일증착을 도모할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기물 증발 증착방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 4a 및 도 4b는 도 2의 유기 증발 증착 장치를 이용하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유기물 증발 증착방법을 나타낸 개략도이며, 도 5a 및 도 5b는 각각 도 4a 및 도 4b에 의해 증착된 유기물층의 증착균일도를 나타낸 개략도이다.
본 발명에 따른 유기물 증발 증착방법은, 기판을 L1 ~ Ln의 구역으로 세분화하는 제1단계; 상기 L1 ~ Ln로 세분화된 기판을 L1에서부터 Ln까지 각 구역의 증착율을 측정하면서 유기 증발 증착원으로써 증발 증착하는 제2단계; 상기 L1 ~ Ln의 각 구역에서의 측정된 증착율 중 과다 및 과소 증착구역을 산정하는 제3단계; 및 상기 L1 ~ Ln로 세분화된 기판을 Ln에서부터 L1까지 증발 증착하면서 상기 과다 및 과소 증착구역을 보정하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 4a 및 도 4b에서와 같이, 유기 증발 증착원(10)은 이동수단(50)으로써 구역분할센서(40)에 의하여 기판(S) 전장에 대해 L1 ~ Ln으로 세분화된 영역을 L1에서부터 Ln까지 이동하면서 증발 증착을 수행하게 된다.
이때, 각 영역 즉, Lx에서의 증착율 정보는 연산부(60)에서 수집된다. 일 예로, 도 5a에 과증착 영역으로서의 L3과 미증착 영역으로서의 Ln -1이 도시되어 있다. 이 전체 L1 ~ Ln까지의 증착율 중 편차를 나타내는 L3와 Ln -1에서의 영역 정보와 증착율 정보가 연산부(60)에서 산출되고, 이 정보는 제어부(80)로 송출되게 된다. 도 5a에서의 화살표는 유기 증발 증착원(10)의 이동수단(50)에 의한 진행방향을 나타낸다.
이후, 도 4b에서와 같이, 유기 증발 증착원(10)은 이동수단(50)으로써 Ln에서부터 L1까지 이동하면서 증발 증착을 수행하게 된다.
이때, 도 5b에서와 같이, 과증착 영역으로서의 L3과 미증착 영역으로서의 Ln -1이 제어부(80)로써 보정된다. 도 5b에서의 화살표 또한 유기 증발 증착원(10)의 이동수단(50)에 의한 진행방향을 나타낸다.
유기 증발 증착원(10)이 이동수단(50)에 의하여 Ln에서부터 L1까지 이동된 뒤, 다시 L1에서부터 Ln까지 이동하여 증발 증착을 수행하면서 상기와 같은 과정이 증착 종료시까지 반복 수행될 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 타 실시예에 따른 유기물 증발 증착방법에 의하여 증착된 유기물층의 증착균일도를 나타낸 개략도이다.
도 6a를 참조하면, 유기 증발 증착원(10)이 Ln에서부터 L1까지 이동되면서 증발 증착을 수행할 시에, 이 역시 증착율 요동이나 이동수단(50)의 진동에 의한 증착율 편차가 발생될 수 있다.
이때에도 또한, 각 영역 즉, Lx에서의 증착율 정보는 연산부(60)에서 수집된다. 여기서의 일 예로, 도 6a에 과증착 영역으로서의 L3이 도시되어 있다. 이 전체 Ln에서부터 L1까지의 증착율 중 편차를 나타내는 L3에서의 영역 정보와 증착율 정보가 연산부(60)에서 산출되고, 이 정보는 제어부(80)로 송출되게 된다. 도 6a에서의 화살표는 유기 증발 증착원(10)의 이동수단(50)에 의한 진행방향을 나타낸다.
이후, 도 6b에서와 같이, 유기 증발 증착원(10)은 이동수단(50)으로써 L1에서부터 Ln까지 이동하면서 증발 증착을 수행하게 된다.
이때, 도 6b에서와 같이, 과증착 영역으로서의 L3이 제어부(80)로써 보정된다. 도 6b에서의 화살표 또한 유기 증발 증착원(10)의 이동수단(50)에 의한 진행방 향을 나타낸다.
유기 증발 증착원(10)이 이동수단(50)에 의하여 L1에서부터 Ln까지 이동된 뒤, 다시 Ln에서부터 L1까지 이동하여 증발 증착을 수행하면서 상기와 같은 과정이 증착 종료시까지 반복 수행될 수 있다.
상술된 유기물 증발 증착방법에서의 과도 또는 과소 증착영역에 대한 보정은, 제어부(80)를 통하여 이루어지며, 이를 위하여 제어부(80)는 이동수단(80) 및/또는 유기 증발 증착원(10)을 제어할 수 있도록 연결구성된다.
즉, 제어부(80)는 이동수단(50)과 연결되어 이동수단(50)의 속도를 조절할 수 있다. 이동수단(50)의 속도를 제어부(80)로써 제어함으로써 미증착 영역에 대해서는 지둔한 속도로써 증착을 할 수 있고, 과증착 영역에 대해서는 신속한 속도로 증착하여 기판(S) 전면적에 대한 증착율을 평준화시킬 수 있다.
또한, 제어부(80)는 유기 증발 증착원(10)과 연결되어 이의 가열온도를 조절할 수 있다. 이또한, 미증착 영역에 대해서는 가열온도를 상승시키고, 과증착 영역에 대해서는 가열온도를 하강하여 기판(S) 전면적에 대한 증착율을 균일화할 수 있다.
더욱이, 제어부(80)는 유기 증발 증착원(10) 또는 이동수단(50)과 연결되어 유기 증발 증착원(10), 더 상세하게는, 유기 증발 증착원(10)의 노즐부와 기판(S) 사이의 간격을 조절할 수 있도록 구성되어, 미증착 영역에 대해서는 증착원(10)과 기판(S)과의 간격을 근접하도록 하고, 과증착 영역에 대해서는 증착원(10)과 기 판(S)과의 간격을 원접하도록 함으로써 기판(S) 상의 유기물 균일증착을 도모할 수 있다.
본 명세서에서는 이동수단(50)의 속도, 유기 증발 증착원(10)의 가열온도 및 기판(S)과 유기 증발 증착원(10)의 거리를 각각 독립적 제어변수로써 기술하였지만, 사용되는 장치의 사양, 당업자의 기술수준에 의한 실험적 변수 또는 요구되는 막의 물성 등에 따라 복합적으로 제어할 수 있다.
또한, 본 명세서에서는 증착율 센서(20)를 유기 증발 증착원(10)에 연결구성하여 이와 동시에 이동가능하도록 구성하였지만, 해당 구간별 증착율 측정이 가능한 다른 구성을 채택할 시에 유기 증발 증착원(10)과 독립적으로 배치되는 증착율 측정수단의 구성 또한 가능하다.
상기 내용은 본 발명의 바람직한 실시예를 단지 예시한 것으로 본 발명이 속하는 분야의 당업자는 첨부된 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 요지로부터 벗어나지 않고 본 발명에 대한 수정 및 변경을 가할 수 있다는 것을 인식하여야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기물 증발 증착방법 및 이를 위한 유기 증발 증착 장치에 의하여, 증착율 요동과 증착원의 진동에 의한 증착율 편차를 보정함으로써 대형 기판 상에 증착되는 유기물층의 균일도를 향상시켜 최종 생산되는 유기 발광 표시장치의 휘도 및 품질을 개선할 수 있다.

Claims (16)

  1. 기판을 L1~Ln의 구역으로 세분화하는 제1단계;
    유기 증발 증착원을 이동시키며 상기 L1에서 Ln 구역까지 유기물을 증발 증착하면서 각 구역의 증착율을 측정하는 제2단계;
    상기 각 구역의 증착율을 수집하여 과다 및 과소 증착 구역을 산정하는 제3단계; 및
    상기 유기 증발 증착원을 상기 Ln에서 L1 구역까지 이동시키며 상기 과다 및 과소 증착 구역의 증착율 편차가 보정되도록 유기물을 증발 증착하는 제4단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2단계, 상기 제3단계 및 상기 제4단계가 순차적으로 반복순환되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  3. 제1항에 있어서,
    제4단계 이후에,
    상기 Ln ~ L1의 각 구역에서 측정된 증착율을 수집하여 과다 및 과소 증착 구역을 산정하는 제5단계; 및
    상기 유기 증발 증착원을 상기 L1에서 Ln 구역까지 이동시키며 상기 과다 및 과소 증착 구역의 증착율 편차가 보정되도록 유기물즐 증발 증착하는 제6단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제6단계 이후에,
    상기 제3단계, 상기 제4단계, 상기 제5단계 및 상기 제6단계가 순차적으로 반복순환되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 과다 및 과소 증착 구역의 증착율 편차는 상기 유기 증발 증착원의 이동속도를 조절함로써 보정되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 유기 증발 증착원의 이동속도는 상기 과다 증착 구역에서는 신속하고, 상기 과소 증착 구역에서는 지둔하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 과다 및 과소 증착 구역의 증착율 편차는 상기 유기 증발 증착원의 가열온도를 조절함으로써 보정되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 유기 증발 증착원의 가열온도는 상기 과다 증착구역에서는 하강하고, 상기 과소 증착구역에서는 상승하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  9. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 과다 및 과소 증착구역의 증착율 편차는 상기 유기 증발 증착원과 상기 기판과의 간격을 조절함으로써 보정되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 유기 증발 증착원과 상기 기판과의 간격은 상기 과다 증착구역에서는 원접하고, 상기 과소 증착구역에서는 근접하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 증착율 측정은 상기 유기 증발 증착원의 선단에 장착되는 증착율 측정 장치로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기물 증발 증착방법.
  12. 내부에 유기물이 수납되고, 가열에 의해 증발된 유기물이 노즐부를 통해 토출되는 유기 증발 증착원;
    상기 유기 증발 증착원이 그 내부에 장착되는 챔버;
    상기 유기 증발 증착원의 노즐부와 증착되는 면이 대향되도록 이격되어 배치되는 기판;
    상기 기판을 전장 방향에 대하여 L1 ~ Ln의 구역으로 세분화하는 구역분할센서;
    상기 L1 ~ Ln 구역으로 상기 유기 증발 증착원을 왕복 이동시키기 위한 이동수단;
    상기 유기 증발 증착원에 장착되어 상기 증발되는 유기물의 양을 감지하는 증착율 센서;
    상기 증착율 센서에 의해 각 구역에서 감지된 증착율을 수집하여 과다 및 과소 증착 구역을 산출하는 연산부; 및
    상기 과다 및 과소 증착 구역의 증착율 편차가 보정되도록 상기 유기물을 증발 증착하기 위한 제어부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 증발 증착 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 이동수단과 연결구성되어 상기 이동수단의 이동속도를 조절하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 증발 증착 장치.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 유기 증발 증착원에 연결구성되어 상기 유기 증발 증착원의 가열온도를 조절하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 증발 증착 장치.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 이동수단 또는 상기 유기 증발 증착원에 연결구성되어 상기 유기 증발 증착원과 상기 기판과의 간격을 조절하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 증발 증착 장치.
  16. 제12항에 있어서,
    상기 연산부는 상기 각 구역에서 감지된 증착율을 수집하여 평균 증착율을 연산하고, 상기 평균 증착율과의 편차에 따라 상기 과다 및 과소 증착 구역을 산출하는 것을 특징으로 하는 유기 증발 증착 장치.
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