KR20050051138A - 박막 증착 방법 및 그 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판에 증착되는 증착막이 증착이 반복됨에 따라 편차없이 균일하게 증착되도록 하고, 하나의 크리스탈 센서를 가능한 한 오래 사용하면서 동시에 크리스탈 센서의 신뢰성을 보장해 줄 수 있도록 하기 위한 것으로, 이를 위하여 복수개의 기판에 동일한 두께의 박막이 형성되도록 반복 증착하고, 동시에 크리스탈 센서에 의해 상기 증착되는 박막의 두께를 측정해 증착량을 결정하는 박막 증착 방법에 있어서, 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 증착량을 변경하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 방법과 이를 이용한 박막 증착 장치를 제공한다.

Description

박막 증착 방법 및 그 장치{Method of vacuum evaporation and apparatus the same}

본 발명은 박막 증착 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 동일한 박막을 반복하여 증착시킬 때에 증착되는 박막들의 두께가 동일하도록 할 수 있는 박막 증착 방법 및 그 장치에 관한 것이다.

기판에 박막을 형성하는 일반적인 방법으로는 진공 증착법, 이온 플래이팅법(ion-plating), 스퍼터링(sputtering)법, CVD법 등이 있다. 이 중, 유기 전계 발광 소자의 유기막 및 음극의 증착에는 진공 증착법이 주로 사용되고 있다.

일반적으로 유기 전계 발광 소자는, 기판 상부에 소정패턴의 양극층이 형성되어 있고 이 양극층 상부에는 홀 수송층, 발광층, 전자 수송층이 순차적으로 형성되며, 상기 전자수송층의 상면에는 상기 양극층과 직교하는 방향으로 소정 패턴의 음극층이 형성되어 있다. 여기에서 홀 수송층, 발광층 및 전자수송층 은 유기 화합물로 이루어진 유기박막들이다.

이러한 유기 전계 발광 소자를 제작함에 있어서, 기판 상에 유기재료로서 내부 절연막, 양극, 음극, 홀 수송층, 전자 수송층 및 유기 발광층 등 여러 박막층들을 형성하여야 하는 데, 이러한 박막층들은 통상 진공 챔버 내에 기판을 장착하고, 이 기판의 표면에 부착시키려는 증착재를 기화시켜, 이 기화된 증착재가 기판의 표면에서 응축해 부착되는 방식의 진공 증착법에 의해 형성된다.

이렇게 통상 사용되는 진공 증착법을 사용하여 유기막 및 음극 등을 형성하는 데, 이 진공 증착법으로는 증착이 반복하여 진행될수록 박막들의 두께에 편차가 발생되는 문제가 있다.

즉, 대개 진공 증착법을 수행하는 증착 장치는 증착되는 막 두께에 편차를 줄이기 위해 크리스탈 센서를 사용한다. 이 크리스탈 센서는 이 크리스탈 센서에 증착되어 부착되는 증착물로 인해 센서의 진동수가 감소하는 것에 의해 막두께를 측정한다. 통상, 크리스탈 센서의 진동수가 감소할수록 막두께는 증대되는 것으로, 이러한 반비례 관계는 선형적으로 나타난다.

그런데, 이러한 크리스탈 센서의 진동수 변화와 막두께 변화의 선형적 관계는 크리스탈 센서에 부착된 증착물의 양이 작을 경우, 즉, 크리스탈 센서를 사용한 횟수가 얼마 되지 않을 경우에는 선형적 반비례관계를 유지해 실제 증착되는 막 두께와 크리스탈 센서가 측정한 막 두께에 편차가 거의 없도록 할 수 있다. 그러나, 크리스탈 센서를 사용한 횟수가 많아 크리스탈 센서에 부착된 증착물의 양이 많을 경우에는 크리스탈 센서의 진동수 감소와 증착되는 막두께와의 관계의 선형성이 보장되지 않게 된다. 즉, 실제 증착되는 막 두께와 크리스탈 센서가 인식하는 막두께에 차이가 나게 되는 것이다. 이에 따라, 실제 증착되는 막 두께는 처음에 증착되는 기판의 막두께와 나중에 증착되는 기판의 막두께에 차이가 나게 된다.

크리스탈 센서를 사용한 증착장치에 있어서 균일한 막두께를 보장하기 위해서는 크리스탈 센서의 선형성이 보장되도록 크리스탈 센서의 교체 주기를 짧게 하는 것이 바람직하나, 이는 양산성이 떨어지는 문제가 있다. 이러한 문제는 특히, 기판에의 밀착력이 상대적으로 낮고, 성막 과정에서 밀도의 변화가 큰 유기박막을 증착함에 있어서 더욱 문제가 된다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판에 증착되는 증착막이 증착이 반복됨에 따라 편차없이 균일하게 증착되도록 하는 박막 증착 방법 및 그 장치를 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은 하나의 크리스탈 센서를 가능한 한 오래 사용하면서 동시에 크리스탈 센서의 신뢰성을 보장해 줄 수 있는 박막 증착 방법 및 그 장치를 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 박막 증착 방법은, 복수개의 기판에 동일한 두께의 박막이 형성되도록 반복 증착하고, 동시에 크리스탈 센서에 의해 상기 증착되는 박막의 두께를 측정해 증착량을 결정하는 박막 증착 방법에 있어서,

상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 증착량을 변경하는 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 증착량은 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 다단계로 변경될 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께는 복수개의 기판에서 서로 다르고, 상기 크리스탈 센서에 의해 측정된 박막의 두께는 서로 동일할 때에 상기 증착량의 변경은 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화를 보정하도록 이루어질 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께는 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 위로 볼록한 포물선을 그리도록 변화되고, 상기 증착량의 변경은 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화에 반대되는 아래로 볼록한 포물선을 그리도록 변화될 수 있다.

상기와 같은 본 발명의 박막 증착 방법에 있어서, 상기 기판에 증착되는 박막은 유기 전계 발광 소자의 유기막일 수 있다.

또한, 전술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 박막 증착 장치는,

내부가 진공으로 유지되는 진공 챔버;

상기 진공 챔버 내에서 증착될 기판을 지지하는 기판 지지부;

상기 진공 챔버 하부에 설치되어, 증착 물질을 수납·가열함에 따라 상기 기판에 박막을 증착시키는 증착원;

상기 기판 지지부에 대응되는 부분에 구비되어 증착되는 박막의 두께를 측정하는 크리스탈 센서;

상기 크리스탈 센서 및 상기 증착원에 연결되어 상기 증착량을 조절하되, 복수개의 기판에 동일한 두께의 박막을 증착시킴에 있어, 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 증착량을 변경시키는 제어부;를 구비한 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 상기 제어부는 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라, 상기 증착량을 다단계로 변경시킬 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제어부는, 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께가 복수개의 기판에서 서로 다르고, 상기 크리스탈 센서에 의해 측정된 박막의 두께가 서로 동일할 때에, 상기 증착량을 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화를 보정하도록 변경시킬 수 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 제어부는, 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께가 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 위로 볼록한 포물선을 그리도록 변화될 때에, 상기 증착량을 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화에 반대되는 아래로 볼록한 포물선을 그리도록 변경시킬 수 있다.

상기 기판에 증착되는 박막은 유기 전계 발광 소자의 유기막일 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 보다 상세하게 설명한다.

우선, 본 발명의 박막 증착 방법을 실시할 수 있는 박막 증착 장치를 설명한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막 증착 장치의 개략적인 구성도로, 본 발명에 따른 박막 증착 장치는 내부가 진공으로 유지되는 진공 챔버(10)를 구비한다. 이 진공 챔버(10)는 일측에 입구(11)와 타측에 출구(12)를 갖도록 할 수 있으며, 상기 입구(11)와 출구(12)를 통해 상기 진공 챔버(10)를 관통하도록 기판 이송 수단(13)이 배설될 수 있다.

상기 기판 이송 수단(13)에는 자체 회전 가능하도록 기판 지지부(14)가 장착될 수 있으며, 증착물질이 증착될 기판(100)은 상기 기판 이송 수단(13)에 의해 진공 챔버(10) 내부로 이송되며, 기판 지지부(14)에 의해 지지되어 챔버 내에 장착된다. 상기 기판 지지부(14)는 상기 기판 이송 수단(13)과 별도로 설치되어 챔버(10) 내부에 장착되도록 할 수도 있다.

진공 챔버(10) 내부의 상기 기판 지지부(14)가 배치된 반대되는 부분에는 증착물질이 수납, 가열되어 기화됨에 따라 증착이 이루어지는 증착원(20)이 설치된다. 이 증착원(20)은 적어도 하나 이상 설치될 수 있는 것으로, 도면에 나타나지는 않았지만 증착 물질을 수납하는 적어도 하나의 증착 도가니와 이 증착 도가니를 가열하는 별도의 가열 수단을 포함한다. 이 증착원(20)은 별도의 장착대(15)에 설치될 수 있다.

이렇게 구성된 진공 챔버(10)내에는 도 1에서 볼 수 있는 바와 같이, 상기 기판 지지부(14)에 대응되는 부분에 구비되어 증착되는 박막의 두께를 측정하는 크리스탈 센서(30)가 더 구비된다. 이 크리스탈 센서(30)는 상기 증착원(20)으로부터 증착되는 증착물이 상기 기판(100)과 대략 동일한 양으로 증착되도록 상기 증착원(20)으로부터의 거리 및 각도를 조절하여 설치한다.

상기 크리스탈 센서(30)는 증착물의 증착에 의해 박막이 형성됨에 따라 그 주파수가 달라지는 압전체 결정을 이용하여 박막의 두께를 측정하는 것으로, 일반적으로 사용하는 박막 측정용 크리스탈 센서(30)가 사용될 수 있다.

한편, 상기 크리스탈 센서(30) 및 증착원(20)은 별도의 제어부(40)에 연결되어 있는데, 이 제어부(40)는 상기 크리스탈 센서(30)로부터 측정된 박막 두께로부터 상기 증착원(20)의 증착량을 조절하는 기능을 한다.

그리고, 상기 증착원(20)으로부터 상기 기판(100)의 방향으로는 별도의 증착량 조절 수단(50)을 구비해 상기 제어부(40)의 작동에 의해 실제 증착원(20)으로부터 증착되는 증착물의 증착량을 조절하도록 할 수 있다. 상기 증착량 조절 수단(50)은 다양하게 구비될 수 있는 데, 본 발명의 바람직한 일 실시예에 의하면, 상기 증착원(20)의 증착용 도가니 상부에 구비되어 도가니의 개구부를 개폐시키는 셔터(Shutter)부가 될 수 있다.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 있어서, 상기 박막 증착 장치는 기판 이송 수단(13)에 따라 기판(100)을 챔버(10) 내로 이송하며, 증착원(20)으로부터 박막을 기판(100) 상에 증착시킨다. 이러한 증착 공정은 복수개의 기판(100)에 대해 반복하여 수행되는 데, 이 때, 각 기판에 증착되는 박막은 동일한 두께로 할 필요가 있다.

이 때, 본 발명에 있어서, 상기 제어부(40)는 상기 크리스탈 센서(30)에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 비록 크리스탈 센서(30)가 기판의 두께를 동일한 것으로 인식하였다 하더라도, 상기 증착원(20)의 증착량을 변경시켜, 기판(100)에 실제 증착되는 박막의 두께를 균일하도록 한다.

전술한 바와 같이, 복수개의 기판에 반복하여 증착을 진행해, 크리스탈 센서(30)에 증착된 증착물의 양이 많아지면 센서의 진동수 감소와 박막 두께와의 사이의 선형성이 유지되지 않게 된다. 즉, 비록, 크리스탈 센서(30)가 증착되는 박막의 두께를 동일한 것으로 인식하였다 하더라도, 실제 기판(100)에 증착되는 박막의 두께는 크리스탈 센서(30)에 증착되는 증착 물질의 양에 따라 차이가 발생하게 된다.

도 2에는 크리스탈 센서(30)에 증착되는 증착 물질의 양에 따라 실제 기판(100)에 증착된 박막의 두께를 나타내었다. 도 2에서 볼 수 있듯이, 기판(100)에 실제 증착되는 박막의 두께는 크리스탈 센서(30)에 증착되는 증착 물질의 양이 증대됨에 따라 위로 볼록한 포물선을 그리게 된다.

도 2에서 가로축은 크리스탈 센서에 증착된 증착 물질의 양을 나타낸 것으로, 이는 크리스탈 센서의 주파수 감소량을 단위별로 나타낸 것이다. 즉, 크리스탈 센서에 유기물이 증착되면 센서의 주파수가 초기 고유주파수로부터 점차로 감소하게 되는 데, 이를 일정한 범위별로 단위화한 것이 도 2의 수치가 된다. 도 2의 가로축에서 0은 크리스탈 센서에 증착 물질이 거의 증착되지 않았을 때의 단계를 나타낸다.

도 2에서 세로축은 정규화된 막두께를 나타낸 것으로, 상기 증착 장치에 소정 두께의 박막을 증착하도록 명하고, 주기적으로 기판을 투입하여 막두께를 측정했을 때에 가장 두꺼운 막두께를 1로 하여 그 비를 나타낸 것이다.

따라서, 본 발명에서는 이러한 실제 증착되는 막 두께의 편차를 없애기 위하여, 상기 도 2와 반대되도록 증착량을 변경시켜 기판(100)에 실제 증착된 박막의 두께 변화를 보정하도록 하였다.

즉, 도 3에서 볼 수 있는 바와 같이, 기존의 방식대로 크리스탈 센서가 읽어들인 박막의 두께값에 따라 증착량을 변경시키지 않은 경우(Ⅰ)와 달리, Ⅱ 및 Ⅲ의 경우와 같이, 증착량을 크리스탈 센서에 증착되는 증착 물질의 양에 따라 도 2와 반대되는 아래로 볼록한 포물선이 되도록 변경시키는 것이다.

이러한 증착량의 변경은 크리스탈 센서에 증착되는 증착 물질의 양에 따라 변경시켜, Ⅲ의 경우와 같이, 도 2의 포물선에 반대되는 포물선을 그리도록 하는 것이 바람직하나, 이 경우에는 장치의 제어가 실제 양산 과정에서 어려워질 수 있으므로, 생산성이 오히려 떨어질 수 있다.

따라서, 본 발명에서는 이러한 증착량의 변경을 단계적으로 행하도록 할 수 있다. 도 3에서 Ⅱ의 경우는 증착량의 변경을 3단계에 걸쳐 행한 경우를 나타낸다.

이렇게 제어부에 의한 증착량의 변경은 도 1에서 볼 때, 제어부(40)에 연결된 증착량 변경 수단(50)인 셔터부를 작동시킴에 의해 이루어질 수 있다. 이러한 증착량의 변경은 또한, 별도의 증착량 변경 수단(50)을 사용하지 않고, 증착원의 가열 수단 등의 가열 조건 등을 변경시켜 행할 수도 있다.

상기와 같은 증착량의 변경을 행함에 따라 실제 기판에 증착되는 박막의 두께는 도 4와 같이, 나타날 수 있다.

즉, 도 4에서 볼 수 있듯이, 증착되는 증착량을 도 3의 Ⅰ의 경우처럼 변경없이 유지할 경우에는 Ⅰ'와 같이, 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양에 따라 박막 두께에는 편차가 발생하게 된다. 한편, 도 3의 Ⅱ의 경우와 같이, 3단계에 걸쳐 증착량을 보정할 경우에는 Ⅱ'와 같은 모양의 박막 두께를 얻을 수 있다. 이 경우에는 박막 두께가 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양에 따라 다소 편차를 갖기는 하나, 대체적으로는 균일한 박막 두께를 얻을 수 있음을 알 수 있다. Ⅳ'의 경우에는 증착량을 5단계로 보정한 경우인 데, 이 경우에도 대체적으로 균일한 박막 두께를 얻을 수 있게 된다.

상기와 같은 박막 증착 방법 및 그 장치는 유기 전계 발광 소자의 유기막 등에 사용될 수 있다. 즉, 애노우드와 캐소오드 사이에 개재되는 유기막을 형성하는 유기 재료로서, 구리 프탈로시아닌(CuPc: copper phthalocyanine), N,N-디(나프탈렌-1-일)-N,N'-디페닐-벤지딘(N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine:NPB), 트리스-8-하이드록시퀴놀린알루미늄(tris-8-hydroxyquinoline aluminum)(Alq3) 등의 증착에 사용될 수 있다.

뿐만 아니라, 이 밖에도 캐소오드 전극의 증착에도 적용될 수 있음은 물론이다.

이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 박막 증착 방법 및 그 장치에 의하면 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 크리스탈 센서의 교체 주기를 가능한 한 길게 할 수 있음과 동시에, 복수개의 기판에 반복하여 증착하는 증착 박막의 두께 편차를 줄일 수 있다.

둘째, 유기 전계 발광 소자의 유기막 편차를 줄임으로써 생산성을 더욱 증대시킬 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 박막 증착 장치의 구성도,

도 2는 증착량의 보정 없이 증착한 경우의 크리스탈 센서의 사용 횟수에 따른 실제 증착된 박막 두께와의 관계를 나타낸 그래프,

도 3은 본 발명에 따라 증착량을 보정할 때의 크리스탈 센서의 사용 횟수에 따른 증착량의 관계를 나타낸 그래프,

도 4는 본 발명에 따라 증착량을 보정한 경우의 크리스탈 센서의 사용 횟수에 따른 실제 증착된 박막 두께와의 관계를 나타낸 그래프.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

10: 진공챔버 11: 입구

12: 출구 13: 기판 이송 수단

14: 기판 지지부 20: 증착원

30: 크리스탈 센서 40: 제어부

50: 증착량 조절 수단 100: 기판

Claims (10)

1. 복수개의 기판에 동일한 두께의 박막이 형성되도록 반복 증착하고, 동시에 크리스탈 센서에 의해 상기 증착되는 박막의 두께를 측정해 증착량을 결정하는 박막 증착 방법에 있어서,

   상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 증착량을 변경하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 증착량은 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 다단계로 변경되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 방법.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께는 복수개의 기판에서 서로 다르고, 상기 크리스탈 센서에 의해 측정된 박막의 두께는 서로 동일할 때에 상기 증착량의 변경은 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화를 보정하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 증착 방법.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께는 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 위로 볼록한 포물선을 그리도록 변화되고, 상기 증착량의 변경은 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화에 반대되는 아래로 볼록한 포물선을 그리도록 변화되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 방법.
5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 기판에 증착되는 박막은 유기 전계 발광 소자의 유기막인 것을 특징으로 하는 박막 증착 방법.
6. 내부가 진공으로 유지되는 진공 챔버;

   상기 진공 챔버 내에서 증착될 기판을 지지하는 기판 지지부;

   상기 진공 챔버 하부에 설치되어, 증착 물질을 수납·가열함에 따라 상기 기판에 박막을 증착시키는 증착원;

   상기 기판 지지부에 대응되는 부분에 구비되어 증착되는 박막의 두께를 측정하는 크리스탈 센서;

   상기 크리스탈 센서 및 상기 증착원에 연결되어 상기 증착량을 조절하되, 복수개의 기판에 동일한 두께의 박막을 증착시킴에 있어, 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 증착량을 변경시키는 제어부;를 구비한 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 제어부는 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라, 상기 증착량을 다단계로 변경시키는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
8. 제 6항에 있어서,

   상기 제어부는, 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께가 복수개의 기판에서 서로 다르고, 상기 크리스탈 센서에 의해 측정된 박막의 두께가 서로 동일할 때에, 상기 증착량을 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화를 보정하도록 변경시키는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 제어부는, 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께가 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 위로 볼록한 포물선을 그리도록 변화될 때에, 상기 증착량을 상기 크리스탈 센서에 증착되는 증착물질의 양이 증대됨에 따라 상기 기판에 실제 증착된 박막의 두께 변화에 반대되는 아래로 볼록한 포물선을 그리도록 변경시키는 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.
10. 제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 기판에 증착되는 박막은 유기 전계 발광 소자의 유기막인 것을 특징으로 하는 박막 증착 장치.