KR101942471B1 - 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 - Google Patents

증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 증착 장치는 증착 물질을 방출할 수 있는 증착원; 및 증착원의 양측에 배치되며, 증착 물질의 방출 방향 각도를 제한하는 각도 제한부재;를 포함하며, 각도 제한부재는 증착 물질의 방출 방향으로 개구된 내부 공간이 구비된 하우징과, 내부 공간에 일단부가 삽입되고 타탄부가 상기증착 물질의 방출 경로 상에 배치되며, 내부 공간을 따라 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동가능한 슬라이딩 부재를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 따르면 박막 두께를 균일하게 형성시킬 수 있다. 또한 공정 시간이 증가함에 따라 증착 각도가 달라지더라도 이를 보정하여 균일한 박막을 형성할 수 있다. 또한 유기 발광 표시 장치의 각 화소에 걸쳐 균일하게 유기박막을 증착할 수 있어, 각 화소별 휘도 균일도를 높일 수 있다.

Description

증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법{DEPOSITING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY USING THE SAME}
본 발명은 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 각도 제한부재를 이용하여 증착 물질의 방출 방향을 제어하는 증착 장치 및 유기 발광 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
디스플레이 장치들 중, 유기 발광 디스플레이 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.
일반적으로, 유기 발광 디스플레이 장치는 애노드와 캐소드에서 주입되는 정공과 전자가 발광층에서 재결합하여 발광하는 원리로 색상을 구현할 수 있도록, 애노드와 캐소드 사이에 발광층을 삽입한 적층형 구조를 가지고 있다. 그러나, 이러한 구조로는 고효율 발광을 얻기 어렵기 때문에, 각각의 전극과 발광층 사이에 전자 주입층, 전자 수송층, 정공 수송층 및 정공 주입층와 같은 중간층을 선택적으로 추가 삽입하여 사용하고 있다.
유기 발광 표시장치와 같은 평판 표시장치에서 유기물이나 전극으로 사용되는 금속 등은 진공 분위기에서 해당 물질을 증착하여 평판 상에 박막을 형성하는 진공 증착법을 사용한다. 진공 증착법은 진공챔버 내부에 유기 박막을 성막시킬 기판을 위치시키고, 형성될 박막 등의 패턴과 동일한 패턴을 가지는 파인 메탈 마스크(fine metal mask: FMM)를 밀착시킨후, 증착소스 유닛을 이용하여 유기물을 증발 또는 승화시켜 기판에 증착시키는 방법으로 행해진다.
이러한 진공 증착법에서는 증착물질의 특성이나 마스크의 패턴에 따라 분사 각도를 조절할 필요가 있으며, 시간이 경과함에 따라 분사각도가 변화하지 않도록 제어할 필요가 있다.
본 발명의 일측면은 공정 시간이 증가함에 따라 달라지는 증착 각도를 보정하여 균일한 박막을 형성할 수 있는 증착 장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 다른 일측면은 각도 제한부재의 각도를 조정함으로써 일정한 증착 각도를 보장하여 증착되는 박막의 두께를 균일하게 형성할 수 있는 유기 발광 표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 증착 장치는 증착 물질을 방출할 수 있는 증착원; 및 증착원의 양측에 배치되며, 증착 물질의 방출 방향 각도를 제한하는 각도 제한부재;를 포함하며, 각도 제한부재는 증착 물질의 방출 방향으로 개구된 내부 공간이 구비된 하우징과, 내부 공간에 일단부가 삽입되고 타탄부가 상기증착 물질의 방출 경로 상에 배치되며, 내부 공간을 따라 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동가능한 슬라이딩 부재를 포함한다.
본 발명에 따른 증착 장치에 있어서, 증착원은 증착 물질을 분사하는 분사 노즐이 제1 방향으로 선형 배열되는 선형 증착원이며, 각도 제한부재는 제1 방향을 따라 형성되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 증착 장치에 있어서, 증착원은 복수개로 구비되어 제1 방향으로 서로 나란하게 배열되며, 각도 제한 부재는 증착원 사이마다 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 증착 장치에 있어서, 슬라이딩 부재와 연결되어 슬라이딩 부재를 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동시키는 구동부를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 증착 장치에 있어서, 구동부는 증착원의 최외곽에 배치되는 한 쌍의 각도 제한 부재의 슬라이딩 부재가 동일한 거리만큼 전후진 이동하도록 연동하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 증착 장치에 있어서, 구동부는 증착원 사이마다 배치되는 각도 제한 부재의 슬라이딩 부재가 동일한 거리만큼 전후진 이동하도록 연동하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 증착 장치에 있어서, 증착원 사이마다 배치되는 각도 제한 부재의 슬라이딩 부재는 증착 물질의 방출 경로 상에 배치되는 타단부가 증착 물질의 방출 각도와 교차하도록 절곡가능한 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 유기 발광 표시장치의 제조방법은 증착 물질을 방출하는 증착원을 마련하는 단계; 증착원의 양측에 배치되며 증착 물질의 방출 방향으로 개구된 내부 공간이 구비된 하우징과, 내부 공간에 일단부가 삽입되고 타탄부가 증착 물질의 방출 경로 상에 배치되며, 내부 공간을 따라 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동가능한 슬라이딩 부재를 포함하는 각도 제한부재를 마련하는 단계; 증착원 및 각도 제한부재에 대향하도록 기판을 배치하는 단계; 슬라이딩 부재를 증착 물질의 방출 방향으로 전진 또는 후진시켜 증착 물질의 방출 방향 각도를 조정하는 단계; 및 기판에 증착 물질을 방출하여 기판 상에 박막을 형성하는 단계;를 포함한다.
본 발명에 따른 유기 발광 표시장치의 제조방법에 있어서, 증착원은 복수개로 구비되어 제1 방향으로 서로 나란하게 배열되고, 각도 제한 부재는 증착원 사이마다 배치되며, 증착 물질의 방출 방향 각도를 조정하는 단계는 최외곽에 배치되는 한쌍의 각도 제한 부재에 포함된 슬라이딩 부재를 서로 연동시켜 동일한 거리만큼 전후진 이동시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 유기 발광 표시장치의 제조방법에 있어서, 증착원은 복수개로 길이방향으로 서로 나란하게 배열되고, 각도 제한 부재는 증착원 사이마다 배치되며, 증착 물질의 방출 방향 각도를 조정하는 단계는 증착원 사이마다 배치되는 각도 제한 부재의 슬라이딩 부재를 서로 연동시켜 동일한 거리만큼 전후진 이동시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 유기 발광 표시장치의 제조방법에 있어서, 증착 물질은 유기 발광층을 형성하는 유기물질이며, 박막은 유기 발광층인 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예들에 따르면 박막 두께를 균일하게 형성시킬 수 있다. 또한 공정 시간이 증가함에 따라 증착 각도가 달라지더라도 이를 보정하여 균일한 박막을 형성할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면 유기 발광 표시 장치의 각 화소에 걸쳐 균일하게 유기박막을 증착할 수 있어, 각 화소별 휘도 균일도를 높일 수 있다.
그리고 본 발명의 실시예들에 따르면 증착 공정 도중 공정 조건이 변경하더라도 공정의 중단없이 각도 제한부재를 교체할 수 있어 제조 수율이 향상될 수 있다. 또한 제조가 용이하고, 대형 기판 양산 공정에 용이하게 적용될 수 있으며, 제조 수율 및 증착 효율이 향상되는 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치의 사시도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치의 개략적인 측면도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착장치의 개략적인 측면도이다.
이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 증착 장치 및 유기 발광 표시장치 제조방법에 관하여 구체적으로 설명한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 “상에” 있다고 할 때, 이는 다른 부분 “바로 상에” 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함” 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, “~상에”라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치는 증착원(100 : 100a, 100b) 및 한쌍의 각도 제한부재(200 : 200a, 200b)를 포함하여 구성된다.
각 도면에는 설명의 편의를 위해 챔버를 도시하지 않았지만, 도 1의 모든 구성은 적절한 진공도가 유지되는 진공 챔버 내에 배치된다. 이러한 진공 챔버 내에는 증착 장치와, 박막을 형성하고자 하는 기판(S)이 배치된다. 기판(S)은 증착 장치와 대향하여 이격배치되며, 증착 장치와 기판(S)은 서로 상대적으로 이동하면서 증착이 이루어질 수 있다. 증착 장치가 수직 방향으로 증착 물질을 방출하도록 배치되는 경우에는 기판(S)은 증착 장치의 상부에 수평하게 배치될 수 있으며, 증착 장치가 수평 방향으로 증착 물질을 방출하도록 배치되는 경우에는 기판(S)은 수직하게 배치될 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 증착 장치가 진공 챔버 바닥면에 배치되며 그 상측에 기판(S)이 수평(y축 방향)으로 이격배치된 경우로 도시하였으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 기판(S)이 수직(z축 방향)으로 배치되어 증착 장치가 기판에 수평 방향으로 이격배치될 수도 있다.
증착원(100)은 증착 물질을 방출하여 기판(S)에 증착시키는 수단으로서, 그내부에 유기물과 같은 증착 물질을 수납할 수 있는 공간(미도시)이 구비되어 있다. 증착 물질 수납 공간은 열방사성이 우수한 알루미나(Al2O3), 질화알루미늄(AlN)과 같은 세라믹 재질로 형성될 수 있는데, 이에 한정되는 것은 아니며, 열방사성 및 내열성이 우수한 다양한 재질로 이루어질 수 있다. 증착 물질 수납 공간의 외면에는 외면을 밀착하여 둘러싸도록 구성된 히터(미도시)가 구비될 수 있는데, 수납된 증착 물질을 가열하여 기화시키는 기능을 수행한다. 기판(S)과 대향하는 증착원(100) 일측에는 증착원 내부 공간에서 기화 또는 승화된 증착 물질을 분사하는 분사 노즐(110)이 배치된다.
증착 물질을 형성하고자 기판(S)은 직사각형의 판 형상으로 이루어질 수 있는데, 증착원(100)은 증착 물질을 방출하는 분사 노즐(110)이 기판(S)의 한 변에 평행하도록 제1 방향(x축 방향)으로 선형 배열되는 선형 증착원으로 구성될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이 분사 노즐(110)이 1열로 나란히 배치될 수 있는데, 반드시 1열로 한정되는 것은 아니며 분사 노즐(110)이 2열 이상으로 배치될 수도 있다. 또한 증착원은 복수개가 나란히 배치될 수 있는데, 본 실시예에서는 두개의 증착원(100a, 100b)이 나란히 배치되는 것을 예시로 한다.
증착원(100)의 양측에 배치되는 한쌍의 각도 제한부재(200)는 증착원(100)의 분사 노즐(110)으로부터 방출되는 증착 물질의 방출 경로에 형성되어, 분사 노즐(110)의 방출방향을 제한하는 기능을 수행한다. 증착 물질은 방출 방향으로 일직선으로 날아가는 것이 아니라, 방출 방향의 전방으로 넓게 퍼지면서 분사되므로, 분사 노즐(100)의 양측에 각도 제한부재(200)를 배치한다. 각도 제한부재(200)는 하우징(202 : 202a, 202b) 및 슬라이딩 부재(204 : 204a, 204b)를 포함한다. 하우징(202)은 소정 크기의 내부 공간이 형성되어 있으며, 수납공간은 증착 물질이 방출되는 방향으로 개구되어 있다. 슬라이딩 부재(204)는 판상으로 형성되어, 일단부가 하우징(202)의 내부 공간에 삽입되고 타탄부가 증착 물질의 방출 경로 상에 위치하도록 배치된다. 슬라이딩 부재(204)는 내부 공간을 따라 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동가능하다. 증착 물질의 종류, 증착원(100)과 기판(S)과 관계, 진공 챔버 내부 압력 등 공정 조건에 따라 증착 물질이 방출되는 각도를 조정할 필요가 있는데, 슬라이딩 부재(204)의 전후진 이동에 따라 증착 물질이 방출되는 각도를 조정할 수 있다.
증착원(100)이 제1 방향(x축 방향)으로 연장형성되며 분사 노즐(110)이 제1 방향으로 배열되는 경우, 각도 제한 부재(200)는 제1 방향을 따라 연장 형성될 수 있다. 즉, 각도 제한 부재(200)의 하우징(202) 역시 제1 방향으로 연장 형성되며, 슬라이딩 부재(204)도 제1 방향으로 연장된 판상으로 형성될 수 있다.
증착원(100)이 복수개로 구비되어 제1 방향으로 서로 나란하게 배열되는 경우, 각도 제한 부재(200)는 증착원(100)의 양측 뿐 아니라 증착원(100) 사이마다 배치될 수 있다. 예컨대 도 1에 도시된 바와 같이 2개의 증착원(100a, 100b)이 구비되는 경우, 두 증착원(100a, 100b) 사이에 각도 제한부재(210)가 배치될 수 있다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치의 개략적인 측면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 슬라이딩 부재(204a, 204b, 214)가 증착 물질의 방출 방향으로 증착원(100)으로부터 높이 h1만큼 전진이동하여 위치한 경우에는 증착 물질은 슬라이딩 부재(204a, 204b, 214)에 의해 θ1의 방출 각도로 분사되어 기판(S)에 부착된다. 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 슬라이딩 부재(214)가 증착 물질 방출 방향으로 증착원(100)으로부터 높이 h2(h1 > h2)만큼 전진이동하여 위치한 경우에는 증착 물질은 슬라이딩 부재(214)에 의해 θ2(θ1 < θ2)의 방출 각도로 분사되어 기판(S)에 부착된다. 그리고 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 슬라이딩 부재(204a, 204b)가 증착 물질의 방출 방향으로 증착원(100)으로부터 높이 h3(h1 < h3)만큼 전진이동하여 위치한 경우에는 증착 물질은 슬라이딩 부재(204a, 204b)에 의해 θ3(θ1 < θ3)의 방출 각도로 분사되어 기판(S)에 부착된다. 즉, 슬라이딩 부재(204a, 204b, 214)가 증착 물질의 방출 방향으로 이동할수록 증착 물질의 방출 각도는 작아진다. 이와 같이 슬라이딩 부재(204)의 전후진 이동에 따라 증착 물질이 방출되는 각도를 조정할 수 있다.
슬라이딩 부재(204)와 연결되어 슬라이딩 부재(204)를 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동시키는 구동부(미도시)를 더 구비할 수 있다. 구동부는 동력을 발생하여 슬라이딩 부재(204)를 직선 왕복운동시킬 수 있는 구성으로 마련된다. 구동부는 볼 스크류 방식, 실린더 방식, LM 가이드 방식과 같은 다양한 방식으로 슬라이딩 부재(204)를 직선이동시킬 수 있으며, 이에 한정되는 것은 아니다.
복수개의 증착원(100)이 제1 방향으로 서로 나란하게 배열되어 각도 제한 부재(200)가 증착원(100)의 양측 뿐 아니라 증착원(100) 사이마다 배치된 경우에는, 구동부는 증착원(100)의 최외곽에 배치되는 한 쌍의 각도 제한 부재(200a, 200b)의 슬라이딩 부재(204a, 204b)가 동일한 거리만큼 이동하도록 연동하여 구동될 수 있다. 이와 같이 최외곽의 슬라이딩 부재(204a, 204b)가 연동하여 양 증착원(100a, 100b)에서 분사되는 증착 물질의 방출 각도를 대칭적으로 형성함으로써 증착물질이 균일하게 증착될 수 있다. 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이, 최외곽의 슬라이딩 부재(204a, 204b)를 h3에 해당하는 높이만큼 이동시킨 경우에는 증착원의 외곽 방향으로 방출되는 증착 물질은 동일하게 θ3의 방출 각도를 갖고 기판(S)에 증착될 수 있다. 그리고 양 증착원(100a, 100b)에서 분사되는 증착 물질은 y축 방향 중심부를 기준으로 서로 좌우대칭을 형성하면서 방출될 수 있다.
또한 구동부는 증착원(100a, 100b) 사이마다 배치되는 각도 제한 부재(210)의 슬라이딩 부재(214)가 동일한 거리만큼 이동하도록 연동하여 구동될 수 있다. 이와 같이 증착원(100a, 100b) 사이의 슬라이딩 부재(214)가 연동하면, 복수개의 증착원(100a, 100b)에서 분사되는 증착 물질의 방출 각도가 대칭적으로 형성되므로, 증착 물질이 균일하게 증착될 수 있다. 본 실시예에서는 2개의 증착원(100a, 100b)이 형성된 경우로 예시하였으나, 3개 이상의 증착원 형성된 경우에도 2개의 증착원이 형성된 경우와 동일하게 적용될 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착장치의 개략적인 측면도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 증착원(100a, 100b) 사이마다 배치되는 각도 제한 부재(210)의 슬라이딩 부재(216)는 증착 물질의 방출 경로 상에 배치되는 타단부가 슬라이딩 부재(216)의 이동방향과 교차하는 방향(y축)으로 소정 길이만큼 절곡될 수 있다. 슬라이딩 부재(216)의 타단부는 제1 방향을 중심축으로 하여 슬라이딩 부재(216)의 이동방향과 교차하는 방향으로 소정 길이만큼 절곡될 수 있다. 슬라이딩 부재(216)가 절곡되면 인접한 양 증착원(100a, 100b)에서 방출되는 증착 물질의 방출 각도가 서로 상이하게 될 수 있다. 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이 슬라이딩 부재(216)가 우측 증착원(100b) 방향으로 절곡되는 경우에는 좌측 증착원(100a)의 증착 각도(θ5)가 우측 증착원(100b)의 증착 각도(θ4)보다 커지게 된다. 반대로 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 슬라이딩 부재(216)가 좌측 증착원(100a) 방향으로 절곡되는 경우에는 좌측 증착원(100a)의 증착 각도(θ4)가 우측 증착원(100b)의 증착 각도(θ5)보다 작아지게 된다. 또한 슬라이딩 부재(216)의 절곡되는 정도에 따라서 슬라이딩 부재(216)와 인접한 양 증착원(100a, 100b)의 증착 각도의 차이를 조절할 수 있다.
기판(S)에 형성되는 박막의 종류에 따라서는 복수개의 증착원을 통해 각각 서로 다른 증착 물질을 방출하여 기판(S)에 박막을 형성하는 경우가 있는데, 이 때 각 증착원에서 방출되는 증착 물질의 방출 각도를 달리해야 하는 경우가 발생한다. 본 실시예에서와 같이 슬라이딩 부재(214)를 절곡하여 인접한 양 증착원에서 방출되는 증착 물질의 방출 각도를 다르게 할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치의 작동 및 유기 발광 표시장치의 제조방법을 설명한다.
우선, 진공 챔버(미도시) 내에 기판(S)을 인입시키고, 증착 물질을 방출하는 증착원(100)과 대향하도록 기판(S)을 배치시킨다. 또한 한 쌍의 각도 제한부재(200a, 200b)를 증착원(100)의 양측에 각각 배치한다.
진공 챔버 또는 기판(S)의 크기, 기판(S)과 증착원(100) 사이의 거리와 같은 증착 공정의 조건에 따라 증착 물질이 방출되는 각도를 조정할 필요가 있을 수 있는데, 앞서 설명한 바와 같이 슬라이딩 부재(204a, 204b, 214)를 증착 물질의 방출 방향(z축 방향)으로 전진 또는 후진시켜 증착 물질의 방출 방향 각도를 조정한다.
슬라이딩 부재(204a, 204b, 214)의 전진 이동한 거리에 따랄 증착 물질의 방출 방향 각도가 조정된다. 슬라이딩 부재(204a, 204b, 214)가 증착 물질 방출 방향으로 전진할수록 증착 물질의 방출 각도가 작아진다.
증착 물질의 방출 각도를 조정할 때, 증착원(100a, 100b) 사이마다 배치되는 각도 제한 부재(210)의 슬라이딩 부재(214)를 서로 연동시켜 동일한 거리만큼 전후진 이동시키거나, 최외곽에 배치되는 한쌍의 각도 제한 부재에 포함된 슬라이딩 부재를 서로 연동시켜 동일한 거리만큼 전후진 이동시킬 수 있다.
도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 증착원(100a, 100b) 사이마다 배치되는 각도 제한 부재(210)의 슬라이딩 부재(214)가 증착 물질 방출 방향으로 증착원(100)으로부터 높이 h1에서 h2만큼 후진 이동(h1 > h2)한 경우에는 증착 물질은 슬라이딩 부재(214)에 의해 θ1의 방출 각도에서 θ2의 방출 각도로 커진다. 그리고 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 최외곽에 배치되는 한쌍의 각도 제한 부재(210)에 포함된 슬라이딩 부재(214)가 증착 물질의 방출 방향으로 증착원(100)으로부터 높이 h1에서 h3만큼 전진 이동(h1 < h3)한 경우에는 증착 물질은 슬라이딩 부재(204a, 204b)에 의해 θ3(θ1 < θ3)의 방출 각도로 분사되어 기판(S)에 부착된다.
이러한 증착 물질은 유기 발광 표시장치에서 유기 발광층, 즉, R(적색), G(녹색), B(청색)를 나타내는 부화소를 형성하는 유기물질인 것이 바람직하다.
본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 다양한 변형 예와 구체적인 실시 예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.
100a, 100b : 증착원 110a, 110b : 분사 노즐
200a, 200b, 210 : 각도 제한부재 202a, 202b, 212 : 하우징
204a, 204b, 214 : 슬라이딩 부재

Claims (11)

  1. 증착 물질을 방출할 수 있는 증착원; 및
    상기 증착원의 양측에 배치되며, 상기 증착 물질의 방출 방향 각도를 제한하는 각도 제한 부재;
    를 포함하며,
    상기 각도 제한 부재는
    상기 증착 물질의 방출 방향으로 개구된 내부 공간이 구비된 하우징과,
    상기 내부 공간에 일단부가 삽입되고 타단부가 상기 증착 물질의 방출 경로 상에 배치되며, 상기 내부 공간을 따라 상기 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동가능한 슬라이딩 부재
    를 포함하는 증착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 증착원은 상기 증착 물질을 분사하는 분사 노즐이 제1 방향으로 선형 배열되는 선형 증착원이며,
    상기 각도 제한 부재는 상기 제1 방향을 따라 형성되는 증착장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 증착원은 복수개로 구비되어 상기 제1 방향으로 서로 나란하게 배열되며,
    상기 각도 제한 부재는 상기 증착원 사이마다 배치되는 증착장치.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 슬라이딩 부재와 연결되어 상기 슬라이딩 부재를 상기 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동시키는 구동부를 포함하는 증착장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 증착원의 최외곽에 배치되는 한 쌍의 상기 각도 제한 부재의 상기 슬라이딩 부재가 동일한 거리만큼 전후진 이동하도록 연동하는 증착장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 구동부는
    상기 증착원 사이마다 배치되는 상기 각도 제한 부재의 상기 슬라이딩 부재가 동일한 거리만큼 전후진 이동하도록 연동하는 증착장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 증착원 사이마다 배치되는 각도 제한 부재의 슬라이딩 부재는
    상기 증착 물질의 방출 경로 상에 배치되는 상기 타단부가 상기 슬라이딩 부재의 이동방향과 교차하는 방향으로 절곡가능한 증착장치.
  8. 증착 물질을 방출하는 증착원을 마련하는 단계;
    상기 증착원의 양측에 배치되며 상기 증착 물질의 방출 방향으로 개구된 내부 공간이 구비된 하우징과, 상기 내부 공간에 일단부가 삽입되고 타단부가 증착 물질의 방출 경로 상에 배치되며, 상기 내부 공간을 따라 상기 증착 물질의 방출 방향으로 전후진 이동가능한 슬라이딩 부재를 포함하는 각도 제한 부재를 마련하는 단계;
    상기 증착원 및 각도 제한 부재에 대향하도록 기판을 배치하는 단계;
    상기 슬라이딩 부재를 상기 증착 물질의 방출 방향으로 전진 또는 후진시켜 상기 증착 물질의 방출 방향 각도를 조정하는 단계; 및
    상기 기판에 상기 증착 물질을 방출하여 상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 유기 발광 표시장치의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 증착원은 복수개로 구비되어 제1 방향으로 서로 나란하게 배열되고, 상기 각도 제한 부재는 상기 증착원 사이마다 배치되며,
    상기 증착 물질의 방출 방향 각도를 조정하는 단계는
    최외곽에 배치되는 한 쌍의 상기 각도 제한 부재에 포함된 상기 슬라이딩 부재를 서로 연동시켜 동일한 거리만큼 전후진 이동시키는 유기 발광 표시장치의 제조방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 증착원은 복수개로 길이방향으로 서로 나란하게 배열되고, 상기 각도 제한 부재는 상기 증착원 사이마다 배치되며,
    상기 증착 물질의 방출 방향 각도를 조정하는 단계는
    상기 증착원 사이마다 배치되는 상기 각도 제한 부재의 상기 슬라이딩 부재를 서로 연동시켜 동일한 거리만큼 전후진 이동시키는 유기 발광 표시장치의 제조방법.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 증착 물질은 유기 발광층을 형성하는 유기물질이며, 상기 박막은 유기 발광층인 유기 발광 표시장치의 제조방법.
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