KR20120013643A - 유기전계발광소자의 증착용 증착원 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계발광소자의 증착용 증착원에 관한 것으로, 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원은 도핑층 형성물질이 내부에 담기며, 특정 토출방향을 가지는 개구부가 각각 구비된 제1 및 제2 선형 증착원과, 상기 제1 및 제2 선형증착원 사이에 또는 상기 제1 및 제2 선형 증착원의 중심부를 가로지르도록 위치하여 상기 선형 증착원의 개구부에서 토출되는 상기 도핑층 형성물질의 각도를 조절하는 제1 각도 조절판 및 제2 각도 조절판을 포함한다.

Description

유기전계발광소자의 증착용 증착원{Source for depositing OLED}

본 발명은 유기전계발광소자의 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기전계발광소자의 증착용 증착원에 관한 것이다.

유기 전계발광소자(organic light emitting diodes, OLED)는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기 발광층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자이다.

유기 전계 발광소자는 플라스틱같은 휠 수 있는(flexible) 투명 기판 상에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel)이나 무기 전계발광(EL) 디스플레이에 비해 10V이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 적으며, 색감이 뛰어나다는 장점이 있다. 또한, 유기 전계발광소자는 녹색, 청색, 적색의 3가지 색을 나타낼 수가 있어 차세대 풍부한 색 디스플레이 소자로 많은 사람들의 관심의 대상이 되고 있다.

유기 전계발광소자의 제조에 이용되는 열적 물리적 기상 증착은 증착재료(예를 들어, 유기물, 전극)의 증거로 기판 표면에 발광층을 형성하는 기술로서, 증착원(deposition source) 내에 수용된 증착재료는 기화온도까지 가열되며, 증착 재료의 증기는 수용된 증착원 밖으로 이동한 후 코팅될 기판 상에서 응축된다.

증착원은 그 형상에 따라 포인트 증착원(point source) 및 선형 증착원(linear source)으로 구분된다.

포인트 증착원은 일반적으로 전체적인 형상이 원통형으로서, 원형의 개구가 형성되어 있다. 또한, 선형 증착원은 육면체의 형상을 가지며, 부재의 길이 방향으로 소정 폭의 개구가 형성되어 있다.

그러나, 선형 증착원의 경우, 선형 증착원의 개구부에서 기판으로 토출되는 물질의 토출각도를 조절할 수 있는 수단이 구비되어 있지 않기 때문에, 기판의 원하는 영역에 물질을 증착하는 것이 용이하지 않은 문제점이 있다.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 선형 증착원의 개구부에서 기판으로 토출되는 물질의 토출각도를 조절할 수 있는 각도 조절판을 구비한 유기전계발광소자의 증착용 증착원을 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원은 도핑층 형성물질이 내부에 담기며, 특정 토출방향을 가지는 개구부가 각각 구비된 제1 및 제2 선형 증착원과, 상기 제1 및 제2 선형증착원 사이에 또는 상기 제1 및 제2 선형 증착원의 중심부를 가로지르도록 위치하여 상기 선형 증착원의 개구부에서 토출되는 상기 도핑층 형성물질의 각도를 조절하는 제1 각도 조절판 및 제2 각도 조절판을 포함한다.

상기 제1 각도 조절판과 제2 각도 조절판은 서로 직교하고, 상기 제1 각도 조절판은 상기 제1 및 제2 선형 증착원의 길이방향인 제1 방향으로 배치되며, 상기 제2 각도 조절판은 상기 상기 제1 및 제2 선형 증착원의 폭방향인 제2 방향으로 배치된다.

상기 제1 각도 조절판은 상기 제1 및 제2 선형 증착원에서 각각 토출되는 도핑층 형성물질의 각도를 조절하고, 상기 제2 각도 조절판은 상기 제1 또는 제2 선형 증착원 중 하나의 선형 증착원에서 토출되는 도핑층 형성물질의 각도를 조절한다.

상기 개구부는 상기 선형 증착원의 하부에서 상부로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성된다.

상기 제2 각도 조절판은 적어도 하나 이상이 형성된다.

이상에서와 같은 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원은 선형 증착원의 개구부에서 기판으로 토출되는 물질의 토출각도를 조절할 수 있는 제1 및 제2 각도 조절판을 구비함으로써, 기판의 원하는 영역에 물질을 증착할 수 있게 되는 효과가 있다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광소자의 증착원 증착원을 도시한 도면
도 2a는 도 1b의 A-A'방향에서 본 물질의 토출방향을 도시한 도면
도 2b는 도 1b의 B-B'방향에서 본 물질의 토출방향을 도시한 도면
도 3a 및 도 3b은 본 발명의 실시예에 따른 마스크를 도시한 도면
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 제2 각도 조절판을 도시한 도면

이하는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원에 대해 설명하고자 한다.

도 1a 및 도 1b는 본 발명의 실시예에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원을 도시한 도면이다.

도 1a는 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원을 도시한 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 평면도이다.

도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원(10)은 특정 토출 방향을 가지는 개구부(13)가 구비되며, 두 개 또는 그 이상이 배치되는 선형 증착원(12a, 12b)과, 상기 선형 증착원(12a)과 선형 증착원(12b)의 사이 또는 상기 선형 증착원(12a, 12b)의 중심부를 가로지르도록 위치하여 상기 선형 증착원(12a, 12b)에서 토출되는 물질의 각도를 조절하는 제1 각도 조절판(14a) 및 제2 각도 조절판(14b)을 구비한다.

상기 선형 증착원(12a, 12b)은 유기전계발광소자의 도핑층을 형성하기 위한 도펀트 물질 또는 호스트 물질이 내부에 담겨 있으며 소정의 폭을 갖는 개구부(13)를 통해 내부에 담겨진 도펀트 물질 또는 호스트 물질을 특정 토출 방향 즉, 상부에 위치한 기판 방향으로 토출하게 된다.

그리고, 선형 증착원(12a, 12b)은 육면체의 형상을 가지며, 개구부(13)는 부재의 하부에서 상부로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성된다.

한편, 유기전계발광소자의 증착용 증착원(10)에는 도펀트 물질 또는 호스트 물질이 각각 담긴 복수 개의 선형 증착원이 구비될 수 있지만, 본 실시예에서는 2개의 선형 증착원(12a, 12b)만 개시하고 있다.

상기 제1 각도 조절판(14a)은 상기 선형 증착원(12a, 12b)에서 토출되는 물질의 각도를 조절하기 위해, 상기 선형 증착원(12a)과 선형 증착원(12b)의 사이에 위치하고, 선형 증착원(12a, 12b)의 길이방향인 제1 방향으로 배치되며, 선형 증착원(12a, 12b)과 동일한 길이를 갖도록 형성된다.

제2 각도 조절판(14b)은 상기 선형 증착원(12a, 12b)에서 토출되는 물질의 각도를 조절하기 위해, 상기 선형 증착원(12a, 12b)의 중심부를 가로지르도록 위치하며, 제1 방향과 직교하도록 선형 증착원(12a, 12b)의 폭방향인 제2 방향으로 배치된다.

또한, 상기 제1 각도 조절판(14a)은 서로 이웃하고 있는 선형 증착원(12a, 12b)들에서 각각 토출되는 물질들의 각도를 조절하여 물질의 토출 방향을 제한하게 되고, 상기 제2 각도 조절판(14b)은 하나의 선형 증착원(12a, 12b)에서 토출되는 물질의 각도를 조절하여 물질의 토출 방향을 제한하게 된다.

도 2a 및 도 2b를 참조하여 본 발명에 따른 선형 증착원(12a, 12b)을 통해 기판상에 도핑층을 형성하는 공정에 대해 보다 상세히 설명하고자 한다.

먼저, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이, 기판(100)상에 마스크(102)를 정렬하고, 마스크(102)가 정렬된 기판(100) 상부면과 선형 증착원(12a, 12b)의 개구부가 마주하도록 배치된다. 이때, 마스크(102)에는 도 3a에 도시된 바와 같은 복수의 슬릿(101)이 구비된다.

이와 같이, 마스크(102)가 정렬된 기판(100) 상에 선형 증착원(12a, 12b)의 개구부를 통해 도펀트 물질 또는 호스트 물질과 같은 물질이 토출되면, 도 2a(도 1b의 A-A'방향에서 본 물질의 토출방향)에 도시된 바와 같이, 제1 각도 조절판(14a)이 없는 상태일 때, 선형 증착원(12a, 12b)의 개구부에서 토출되는 물질이 각도 제한을 받지 않게 되어 물질의 토출방향(점선으로 표시함)을 제한할 수 없게 되므로 기판(100)에 증착되는 물질의 영역을 제한할 수 없게 되지만, 제1 각도 조절판(14a)이 있는 상태이면, 서로 이웃하고 있는 선형 증착원(12a, 12b)의 개구부에서 토출되는 물질이 각도의 제한을 받기 때문에 물질의 토출방향(실선으로 표시함)을 제한할 수 있게 되어 기판(100)에 증착되는 물질의 영역을 제한할 수 있게 된다.

마찬가지로, 마스크(102)가 정렬된 기판(100) 상에 선형 증착원(12a, 12b)의 개구부를 통해 도펀트 물질 또는 호스트 물질과 같은 물질이 토출되면, 도 2b(도 1b의 B-B'방향에서 본 물질의 토출방향)에 도시된 바와 같이, 제2 각도 조절판(14b)이 없는 상태일 때, 선형 증착원(12a, 12b)의 개구부에서 토출되는 물질은 토출방향(점선으로 표시함)의 각도가 낮아 기판(100)의 원하는 영역에 증착할 수 없게 되지만, 제2 각도 조절판(14b)가 있는 상태이면, 선형 증착원(12a, 12b)에서 토출되는 물질은 토출방향의 각도가 보다 높아져 기판(100)의 원하는 영역에 증착할 수 있게 된다.

다시 말해, 도 3b에 도시된 바와 같이, 복수 개의 슬릿이 구비된 마스크(102)는 제1 방향(도 3a의 C-C'방향에서 절단했을 때)에서는 돌출면이 존재하지 않아 쉐도우(Shadow)가 생기지 않지만, 제2 방향(도 3a의 D-D'방향에서 절단했을 때)에서는 돌출부(E)가 존재하여 쉐도우가 발생하게 된다.

따라서, 제2 각도 조절판(14b)가 없는 상태일 때, 선형 증착원의 개구부에서 기판(100)으로 토출되는 물질의 토출각도가 낮기 때문에 마스크에 의한 쉐도우로 인해, 기판(100)의 원하는 영역에 증착할 수 없게 되지만, 제2 각도 조절판(14b)이 있는 상태이면, 선형 증착원(12a, 12b)의 개구부에서 기판(100)으로 토출되는 물질의 토출방향의 각도가 보다 높여 마스크에 의한 쉐도우가 발생하더라도 기판(100)의 원하는 영역에 증착할 수 있게 된다.

그리고, 상술한 바와 같은 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원에는 제1 각도 조절판(14a)의 중심부를 가로지르는 하나의 제2 각도 조절판(14b)이 구비되지만, 제1 각도 조절판(14a)을 가로지르는 하나 이상의 제2 각도 조절판이 구비될 수도 있다.

예를 들어, 도 4a에 도시된 바와 같이, 제1 각도 조절판(14a)을 가로지르는 두 개의 제2 각도 조절판(14b)가 구비될 수도 있고, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1 각도 조절판(14a)을 가로지르는 세 개의 제2 각도 조절판(14b)가 구비될 수도 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 유기전계발광소자의 증착용 증착원은 선형 증착원의 개구부에서 기판으로 토출되는 물질의 토출각도를 조절할 수 있는 제1 및 제2 각도 조절판을 구비함으로써, 기판의 원하는 영역에 물질을 증착할 수 있게 된다.

12a, 12b: 선형 증착원 13: 개구부
14a: 제1 각도 조절판 14b: 제2 각도 조절판
100: 기판 102: 마스크

Claims (6)

1. 도핑층 형성물질이 내부에 담기며, 특정 토출방향을 가지는 개구부가 각각 구비된 제1 및 제2 선형 증착원과,
   상기 제1 및 제2 선형증착원 사이에 또는 상기 제1 및 제2 선형 증착원의 중심부를 가로지르도록 위치하여 상기 선형 증착원의 개구부에서 토출되는 상기 도핑층 형성물질의 각도를 조절하는 제1 각도 조절판 및 제2 각도 조절판을 포함하는 유기전계발광소자의 증착용 증착원.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 각도 조절판과 제2 각도 조절판은 서로 직교하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 증착용 증착원.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 제1 각도 조절판은 상기 제1 및 제2 선형 증착원의 길이방향인 제1 방향으로 배치되며, 상기 제2 각도 조절판은 상기 상기 제1 및 제2 선형 증착원의 폭방향인 제2 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 증착용 증착원.
4. 제1 항에 있어서,
   상기 제1 각도 조절판은 상기 제1 및 제2 선형 증착원에서 각각 토출되는 도핑층 형성물질의 각도를 조절하고, 상기 제2 각도 조절판은 상기 제1 또는 제2 선형 증착원 중 하나의 선형 증착원에서 토출되는 도핑층 형성물질의 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 증착용 증착원.
5. 제1 항에 있어서, 상기 개구부는
   상기 선형 증착원의 하부에서 상부로 갈수록 폭이 좁아지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 증착용 증착원.
6. 제1 항에 있어서, 상기 제2 각도 조절판은
   적어도 하나 이상이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 증착용 증착원.
   

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