CN110079769A - 一种蒸发源组件及蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种蒸发源组件及蒸镀装置，该蒸发源组件包括：至少两个并排设置的蒸发源以及角度板组件，角度板组件包括垂直于蒸发源顶面的多个并排设置的固定板，多个固定板中每两个相邻的固定板之间形成一蒸发通道，角度板组件形成的蒸发通道与蒸发源一一对应；每组相互对应的蒸发源与蒸发通道中，蒸发源的喷嘴位于蒸发通道内，且与喷嘴紧邻的固定板上设有朝向蒸发通道内部延伸的遮挡板，且相对于蒸发源的顶面，遮挡板伸入蒸发通道内的自由端高于喷嘴顶端。该蒸发源组件中利用遮挡板限定喷嘴的蒸发角度，减小固定板的厚度，增加了蒸镀材料在角度板组件中的沉积空间，缓解蒸镀材料堵塞喷嘴的问题，增加连续生产时间，提高产能。

Description

一种蒸发源组件及蒸镀装置

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸发源组件及蒸镀装置。

背景技术

目前在OLED生产使用的真空蒸镀机机构中，由于蒸发源中的有机材料蒸镀方向的不确定性，一般都在喷嘴的两侧增加角度板来限制有机材料的方向及沉积角度。而蒸镀时腔室内处于真空状态，在长时间蒸镀过程中，角度板上沉积的材料也会越来越多，当蒸镀时间再增加一些时，角度板上沉积的材料就会与喷嘴接触在一起，导致喷嘴出口处有机材料凝结，导致喷嘴堵塞，影响蒸镀工作，甚至无法进行蒸镀，所以，现有技术中的角度板严重限制了蒸镀机能够连续生产的时间，降低机器的工作效率。

发明内容

本发明公开了一种蒸发源组件及蒸镀装置，该蒸发源组件中利用遮挡板限定蒸发源的喷嘴的蒸发角度，减小固定板的厚度，增加固定板与喷嘴之间的距离，有效增加了蒸镀材料在角度板组件中的沉积空间，可以有效缓解蒸镀材料堵塞喷嘴的问题，且可以增加连续生产时间，提高产能。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种蒸发源组件，包括：至少两个并排设置的蒸发源以及角度板组件，所述角度板组件包括垂直于所述蒸发源顶面的多个并排设置的固定板，所述多个固定板中每两个相邻的固定板之间形成一蒸发通道，且所述角度板组件形成的所述蒸发通道与所述蒸发源一一对应；

每组相互对应的蒸发源与蒸发通道中，所述蒸发源的喷嘴位于所述蒸发通道内，且与所述喷嘴紧邻的固定板上设有朝向所述蒸发通道内部延伸的遮挡板，所述遮挡板用于限定所述喷嘴的蒸发角度，且相对于所述蒸发源的顶面，所述遮挡板伸入蒸发通道内的自由端高于所述喷嘴顶端。

上述蒸发源组件中，包括至少两个并排设置的蒸发源和安装于蒸发源上角度板组件，每个蒸发源顶面会设置有一排喷嘴，即每个蒸发源的顶侧会有多个喷嘴沿一直线分布形成一排喷嘴，至少两个蒸发源并排设置，则会有至少两排喷嘴，且各排喷嘴之间平行，角度板组件包括多个垂直于蒸发源的顶面的固定板，多个固定板并排设置，多个固定板中，每两个相邻的固定板之间可以形成一个蒸发材料通过的蒸发通道，且角度板组件所形成的蒸发通道与蒸发源一一对应，即角度板组件形成的蒸发通道与各排喷嘴一一对应，其中，在每组相互对应的蒸发源与蒸发通道中，蒸发源上的喷嘴位于蒸发通道中，即，两个固定板分别位于蒸发源顶面成排分布的喷嘴两侧，且固定板与喷嘴分布所在的直线平行设置，另外，在与喷嘴紧邻的固定板上设置有朝向蒸发通道内部延伸的遮挡板，且相对于蒸发源的顶面，遮挡板伸入蒸发通道内部的自由端高于喷嘴顶端，用于限定喷嘴的蒸发角度，上述蒸发源组件中，利用遮挡板对蒸发源上喷嘴的蒸发角度进行限定，可以减小固定板的厚度，增大固定板与喷嘴之间的距离，增大角度板组件中用于蒸镀材料沉积的空间，可以有效缓解现有技术中角度板由于蒸镀材料的逐步累积导致角度板上的材料与喷嘴连在一起导致的喷嘴堵塞的问题，且可以有效解决现有角度板由于蒸镀材料沉积空间小而需要定期清理，不能长时间蒸镀的问题，从而可以进一步增加连续生产的时间，提高产能。

因此，上述蒸发源组件中利用遮挡板限定蒸发源的喷嘴的蒸发角度，减小固定板的厚度，增加固定板与喷嘴之间的距离，有效增加了蒸镀材料在角度板组件中的沉积空间，可以有效缓解蒸镀材料堵塞喷嘴的问题，且可以增加连续生产时间，提高产能。

优选地，所述遮挡板垂直于所述固定板且垂直于所述蒸发源顶面的截面的形状为弧形。

优选地，所述弧形开口朝向背离所述蒸发源的一侧。

优选地，所述遮挡板垂直于所述固定板且垂直于所述蒸发源顶面的截面的形状为折线形。

优选地，所述遮挡板沿垂直于所述蒸发源顶侧的方向位置可调地安装于所述固定板。

优选地，所述遮挡板焊接于所述固定板。

优选地，各所述遮挡板距离所述蒸发源顶面的高度相同。

优选地，每个所述蒸发源的喷嘴两侧的遮挡板距离所述蒸发源顶面的高度不相同。

优选地，所述遮挡板在所述蒸镀源顶面的正投影在垂直于所述固定板的方向的宽度尺寸为所述喷嘴与所述固定板之间的距离的二分之一。

本发明还提供了一种蒸镀装置，包括如上述技术方案提供的任意一种蒸发源组件。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的一种蒸发源组件的结构示意图；

图标：1-蒸发源；2-角度板组件；3-蒸发通道；11-喷嘴；21-固定板；22-遮挡板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明实施例提供了一种蒸发源1组件，包括：至少两个并排设置的蒸发源1以及角度板组件2，角度板组件2包括垂直于蒸发源1顶面的多个并排设置的固定板21，多个固定板21中每两个相邻的固定板21之间形成一蒸发通道3，且角度板组件2形成的蒸发通道3与蒸发源1一一对应；每组相互对应的蒸发源1与蒸发通道3中，蒸发源1的喷嘴11位于蒸发通道3内，且与喷嘴11紧邻的固定板21上设有朝向蒸发通道3内部延伸的遮挡板22，遮挡板22用于限定喷嘴11的蒸发角度，且相对于蒸发源1的顶面，遮挡板22伸入蒸发通道3内的自由端高于喷嘴11的顶端。

上述蒸发源1组件中，包括至少两个并排设置的蒸发源1和安装于蒸发源1上角度板组件2，每个蒸发源1顶面会设置有一排喷嘴11，即每个蒸发源1的顶侧会有多个喷嘴沿一直线分布形成一排喷嘴11，至少两个蒸发源1并排设置，则会有至少两排喷嘴11，且各排喷嘴11之间平行，角度板组件2包括多个垂直于蒸发源1的顶面的固定板21，多个固定板21并排设置，多个固定板21中，每两个相邻的固定板21之间可以形成一个蒸发材料通过的蒸发通道3，且角度板组件2所形成的蒸发通道3与蒸发源1一一对应，即角度板组件2形成的蒸发通道3与各排喷嘴11一一对应，其中，在每组相互对应的蒸发源1与蒸发通道3中，蒸发源1上的喷嘴11位于蒸发通道3中，即，两个固定板21分别位于蒸发源1顶面成排分布的喷嘴11两侧，且固定板21与喷嘴11分布所在的直线平行设置，另外，在与喷嘴11紧邻的固定板21上设置有朝向蒸发通道3内部延伸的遮挡板22，且相对于蒸发源1的顶面，遮挡板22伸入蒸发通道3内部的自由端高于喷嘴11顶端，用于限定喷嘴11的蒸发角度，上述蒸发源1组件中，利用遮挡板22对蒸发源1上喷嘴11的蒸发角度进行限定，可以减小固定板21的厚度，增大固定板21与喷嘴11之间的距离，增大角度板组件2中用于蒸镀材料沉积的空间，可以有效缓解现有技术中角度板由于蒸镀材料的逐步累积导致角度板上的材料与喷嘴11连在一起导致的喷嘴11堵塞的问题，且可以有效解决现有角度板由于蒸镀材料沉积空间小而需要定期清理，不能长时间蒸镀的问题，从而可以进一步增加连续生产的时间，提高产能。

因此，上述蒸发源1组件中利用遮挡板22限定蒸发源1的喷嘴11的蒸发角度，减小固定板21的厚度，增加固定板21与喷嘴11之间的距离，有效增加了蒸镀材料在角度板组件2中的沉积空间，可以有效缓解蒸镀材料堵塞喷嘴11的问题，且可以增加连续生产时间，提高产能。

其中，上述蒸发源1组件中，如图1所示，蒸发源1可以为3个，3个蒸发源1并排设置在一起，需要说明的是，蒸发源1也可以设置4个、5个或其它数量，本实施例不做局限。

具体地，上述蒸发组件中，遮挡板22的形状可以有多种设置方式，如：

方式一：

如图1所示，遮挡板22垂直于固定板21且垂直于蒸发源1顶面的截面的形状为弧形。即，遮挡板22为一弧形板，弧形的一端连接与固定板21，另一端形成固定端。

其中，在上述方式一中，如图2所示，遮挡板22的弧形开口可以朝向背离蒸发源1的一侧，为便于说明，将遮挡板22背离蒸发源1的方向成为上，即，遮挡板22的弧形开口朝上，这样设置，当蒸发源1组件在蒸发过程中使遮挡板22接住从蒸发源1组件上方的蒸镀板或掩膜板上掉落的颗粒杂物，且在蒸镀过程中，蒸发源1组件是需要移动的，弧形开口朝上设置，可以避免掉落在遮挡板22上的颗粒杂物滑落到蒸发通道3内，避免掉落到喷嘴11上堵塞喷嘴11。

如图1所示，遮挡板22的弧形开口也可以朝向蒸发源1的一侧，即，遮挡板22的弧形开口朝下，这样可以增加蒸镀材料在角度板组件2内的沉积空间，可以进一步增加连续生产时间，有利于提高产能。

另外，如图4所示，多个遮挡板22中，可以一部分设置为弧形开口朝上，一部分设置为弧形开口朝下，遮挡板22的弧形开口可以根据实际需求进行设置。

上述方式一中，位于两个相邻的蒸发源1之间的固定板21上的弧形遮挡板22可以设置为一个，遮挡板22的弧形顶端位于固定板21的中间，弧形的两端分别伸入固定板21两侧蒸发通道3内，如图5所示，在侧面看，遮挡板22和固定板21形成一个伞状结构，结构简单，便于设置。

方式二：

如图6所示，遮挡板22垂直于固定板21且垂直于蒸发源1顶面的截面的形状为折线形，即遮挡板22可以为一个折线形板，具体地，如图7所示，遮挡板22垂直于固定板21且垂直于蒸发源1顶面的截面的形状可以为“V”形，或者如图7所示，遮挡板22垂直于固定板21且垂直于蒸发源1顶面的截面的形状为倒“V”形，又或者，如图8所示，可以将一部分遮挡板22设置为“V”形板，另一部分遮挡板22设置为倒“V”形板；其中，将遮挡板22设置为“V”形板，当蒸发源1组件在蒸发过程中使遮挡板22接住从蒸发源1组件上方的蒸镀板或掩膜板上掉落的颗粒杂物，且在蒸镀过程中，蒸发源1组件是需要移动的，弧形开口朝上设置，可以避免掉落在遮挡板22上的颗粒杂物滑落到蒸发通道3内，避免掉落到喷嘴11上堵塞喷嘴11；将遮挡板22设置为倒“V”形板，可以增加蒸镀材料在角度板组件2内的沉积空间，可以进一步增加连续生产时间，有利于提高产能。

需要说明的是，遮挡板22也可以是平板，或者其它形状的遮挡板22，本实施例不做局限。

具体地，上述遮挡板22与蒸发源1顶面的角度可以根据实际需求设置，本实施例不做局限。

上述蒸发源1组件中，遮挡板22与固定板21之间的连接方式可以有多重选择方式，如：

连接方式一：

遮挡板22沿垂直于蒸发源1顶侧的方向位置可调地安装于固定板21，在固定板21朝向蒸发通道3的一侧可以设置垂于蒸发源1顶面的滑槽，遮挡板22朝向固定板21的一端设置有伸入滑槽并与滑槽配合的滑块，另外，在固定板21上位于滑槽的两侧设置多个固定机构，且多个固定机构沿滑槽的延伸方向均匀间隔分布。每个固定结构可以包括垂直于滑槽延伸方向的且与滑槽贯通的横槽以及可以嵌入横槽内的挡板，即，横槽与滑槽可以形成“十”字形凹槽，遮挡板22在竖直方向滑槽内上下移动，挡板插入横槽内，在遮挡板22下方可以使遮挡板22停在固定板21的某个位置，可以使遮挡板22在不同的位置，便于实现对蒸发角度的调节。

连接方式二：

直接将遮挡板22焊接于固定板21。

具体地，对于上述遮挡板22在固定板21上的高度设置，可以设置各遮挡板22距离蒸发源1顶面的高度相同；或者，如图3和图4所示，每个蒸发源1的喷嘴11两侧的遮挡板22距离蒸发源1顶面的高度不相同。需要说明的是，每个遮挡板22在固定板21上的高度可以彼此都不相同，且遮挡板22在固定板21上的高度可以根据实际需求设置，本实施例不做局限。

具体地，遮挡板22在蒸镀源顶面的正投影在垂直于固定板21的方向的宽度尺寸为喷嘴11与固定板21之间的距离的二分之一，设置合适的遮挡板22的宽度，有利于蒸发角度调节，且可以保证足够的蒸镀材料的沉积空间，在不影响蒸镀质量的前提下，有效增加连续生产时间，提高产能。

本发明实施例还提供了一种蒸镀装置，包括如上述实施例中提供的任意一种蒸发源1组件。

显然，本领域的技术人员可以对本发明实施例进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种蒸发源组件，其特征在于，包括：至少两个并排设置的蒸发源以及角度板组件，所述角度板组件包括垂直于所述蒸发源顶面的多个并排设置的固定板，所述多个固定板中每两个相邻的固定板之间形成一蒸发通道，且所述角度板组件形成的所述蒸发通道与所述蒸发源一一对应；

每组相互对应的蒸发源与蒸发通道中，所述蒸发源的喷嘴位于所述蒸发通道内，且与所述喷嘴紧邻的固定板上设有朝向所述蒸发通道内部延伸的遮挡板，所述遮挡板用于限定所述喷嘴的蒸发角度，且相对于所述蒸发源的顶面，所述遮挡板伸入蒸发通道内的自由端高于所述喷嘴顶端。

2.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述遮挡板垂直于所述固定板且垂直于所述蒸发源顶面的截面的形状为弧形。

3.根据权利要求2所述的蒸发源组件，其特征在于，所述弧形开口朝向背离所述蒸发源的一侧。

4.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述遮挡板垂直于所述固定板且垂直于所述蒸发源顶面的截面的形状为折线形。

5.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述遮挡板沿垂直于所述蒸发源顶侧的方向位置可调地安装于所述固定板。

6.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述遮挡板焊接于所述固定板。

7.根据权利要求6所述的蒸发源组件，其特征在于，各所述遮挡板距离所述蒸发源顶面的高度相同。

8.根据权利要求6所述的蒸发源组件，其特征在于，每个所述蒸发源的喷嘴两侧的遮挡板距离所述蒸发源顶面的高度不相同。

9.根据权利要求1所述的蒸发源组件，其特征在于，所述遮挡板在所述蒸镀源顶面的正投影在垂直于所述固定板的方向的宽度尺寸为所述喷嘴与所述固定板之间的距离的二分之一。

10.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的蒸发源组件。