CN207749177U - 一种蒸镀组件 - Google Patents
一种蒸镀组件 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207749177U CN207749177U CN201721401560.3U CN201721401560U CN207749177U CN 207749177 U CN207749177 U CN 207749177U CN 201721401560 U CN201721401560 U CN 201721401560U CN 207749177 U CN207749177 U CN 207749177U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- baffle plate
- vapor deposition
- plate unit
- heating tank
- crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，具体公开了一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽，所述加热槽内安装有坩埚，所述加热槽与坩埚之间还设置有挡板单元，本实用新型通过设置挡板单元遮挡住加热槽与坩埚之间缝隙，有效防止有机材料沉积在缝隙，使得腔体的内部洁净度更高，制备OLED器件的性能更稳定，且挡板单元能够随时拆卸清洗与安装，循环利用率高，使用方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀组件。
背景技术
目前，有机发光二极管(OLED，Organic Light-Emitting Diode)的主流制备工艺是蒸镀技术，蒸镀技术主要是利用热蒸发有机材料的原理，把有机材料填入蒸镀组件中，在真空环境中，升温加热，使固体有机材料熔融挥发或者升华形成气态，有机材料的气体流沉积到玻璃基板上，形成一层层的有机薄膜，从而制备成OLED器件。
现有的蒸镀设备包括蒸镀组件，蒸镀组件中包括腔体（Chamber）和用于盛放有机材料的坩埚，在蒸镀时，现有腔体内设置的挡板无法遮挡住坩埚周边的缝隙，从而导致坩埚周边的有机材料掉落在缝隙深处，使用吸尘器等手段都无法清洁到位，致使腔体内室被污染；还有可能导致掉落后的有机材料靠近坩埚底部加热丝附件，当加热丝被加热时，；累积到附近的有机材料会熔融挥发或者升华形成气态，被蒸镀到基板上，从而导致OLED器件蒸镀失败。
实用新型内容
针对上述技术问题，本实用新型提供了一种能够有效防止有机材料沉积在加热槽与坩埚之间缝隙、提高OLED器件制备稳定性的蒸镀组件。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供的具体方案如下：一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽，所述加热槽内安装有坩埚，所述加热槽与坩埚之间还设置有挡板单元。
优选的，所述挡板单元的顶部设有外边缘，底部向内翻折有凹槽，外边缘便于人手取出挡板单元，凹槽用于接住掉落在缝隙中的有机材料。
优选的，所述挡板单元是N个，所述N为大于等于2的正整数，N个挡板单元拼合组成盆体，根据加热槽与坩埚之间缝隙的大小调整挡板单元的数量，便于拆卸与安装。
优选的，所述凹槽的深度为2~5厘米，根据制备过程中有机材料的增加而加深。
优选的，所述凹槽为V型凹槽，即凹槽的左右两壁具有倾斜度，便于有机材料掉落在凹槽底部。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过设置挡板单元遮挡住加热槽与坩埚之间缝隙，有效防止有机材料沉积在缝隙，使得腔体的内部洁净度更高，制备OLED器件的性能更稳定；且挡板单元能够随时拆卸清洗与安装，循环利用率高，使用方便；挡板单元底部的凹槽深度能够根据实际制备过程中有机材料的增加而加深，使用灵活性大。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2和图3为本实用新型的挡板单元结构示意图；
其中，1为加热槽；2为坩埚；3为挡板单元；4为外边缘；5为凹槽。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的阐述。
如图1~3所示，一种蒸镀组件，包括腔体和设置在腔体内的加热槽，所述加热槽内安装有坩埚，所述加热槽与坩埚之间还设置有挡板单元，本实施例的挡板单元的顶部设有外边缘，底部向内翻折有凹槽，外边缘便于人手取出挡板单元，凹槽用于接住掉落在缝隙中的有机材料，凹槽的深度为2~5厘米，根据制备过程中有机材料的增加而加深。
挡板单元是N个，所述N为大于等于2的正整数，N个挡板单元拼合组成盆体，根据加热槽与坩埚之间缝隙的大小调整挡板单元的数量，便于拆卸与安装，本实施例中挡板单元的数量为2个，拼合组成盆体，完整的围住缝隙；凹槽为V型凹槽，即凹槽的左右两壁具有倾斜度，便于有机材料掉落在凹槽底部，当然，本实用新型的凹槽也可以为U型凹槽或其他结构。
本实施例在具体实施过程中，将坩埚固定在加热槽内后，加热槽与坩埚之间存在有缝隙，将一个挡板单元安装在缝隙中固定住后，再将另一个挡板单元安装上去，两个挡板单元组成一个盆体，挡板单元顶部的外边缘起到一个固定作用，底部的凹槽能够接住掉落下来的有机材料，待蒸镀完成打开腔体时，可以及时取出挡板单元，将掉落的有机材料回收或者清理掉。
本实用新型提供的挡板单元能够循环利用，且拆卸与安装过程方便，能够有效的防止有机材料沉积在加热槽与坩埚缝隙的底部，使得腔体洁净度更高，制备器件性能更加稳定。
最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制，凡在本实用新型的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽（1），所述加热槽（1）内安装有坩埚（2），其特征在于：所述加热槽（1）与坩埚（2）之间还设置有挡板单元（3），所述挡板单元（3）的顶部设有外边缘（4），底部向内翻折有凹槽（5）。
2.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于：所述挡板单元（3）是N个，所述N为大于等于2的正整数，N个挡板单元拼合组成盆体。
3.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于：所述凹槽（5）的深度为2~5厘米。
4.根据权利要求1所述的蒸镀组件，其特征在于：所述凹槽（5）为V型凹槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721401560.3U CN207749177U (zh) | 2017-10-27 | 2017-10-27 | 一种蒸镀组件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721401560.3U CN207749177U (zh) | 2017-10-27 | 2017-10-27 | 一种蒸镀组件 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207749177U true CN207749177U (zh) | 2018-08-21 |
Family
ID=63146393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721401560.3U Active CN207749177U (zh) | 2017-10-27 | 2017-10-27 | 一种蒸镀组件 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207749177U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109082630A (zh) * | 2018-09-06 | 2018-12-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀装置 |
| CN110079769A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-08-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸发源组件及蒸镀装置 |
| CN116121711A (zh) * | 2023-03-30 | 2023-05-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种辅助蒸镀装置和蒸镀坩埚 |
-
2017
- 2017-10-27 CN CN201721401560.3U patent/CN207749177U/zh active Active
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109082630A (zh) * | 2018-09-06 | 2018-12-25 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀装置 |
| CN109082630B (zh) * | 2018-09-06 | 2020-08-07 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 蒸镀装置 |
| CN110079769A (zh) * | 2019-05-30 | 2019-08-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸发源组件及蒸镀装置 |
| CN116121711A (zh) * | 2023-03-30 | 2023-05-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种辅助蒸镀装置和蒸镀坩埚 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN207749177U (zh) | 一种蒸镀组件 | |
| CN205839115U (zh) | 一种坩埚和蒸发装置 | |
| CN104120397B (zh) | 氧化铟锡低温沉积方法及系统 | |
| CN202246836U (zh) | 电阻加热式蒸发源 | |
| CN205774774U (zh) | 一种蒸镀装置 | |
| CN106749132A (zh) | 一种芳香族化合物及其制备方法和应用 | |
| CN103416393B (zh) | 一种植物线虫临时玻片的制作方法 | |
| CN203007469U (zh) | 直拉单晶炉热场装置 | |
| CN106191785B (zh) | 坩埚、蒸镀装置及蒸镀系统 | |
| CN207749178U (zh) | 一种oled蒸镀坩埚 | |
| CN105543784B (zh) | 一种蒸镀系统 | |
| CN109023253A (zh) | 蒸镀设备 | |
| CN105032761A (zh) | 固体混合物分离装置，尤其是虫卵、成虫鳞粉分离器 | |
| KR101229041B1 (ko) | 유기발광소자 제조용 증착장비의 클리닝 장치 및 방법 | |
| CN208928755U (zh) | Oled蒸镀用挡板的干冰清洗装置 | |
| CN109385602A (zh) | 一种新型均匀面形沉积蒸镀装置和方法 | |
| CN104928179B (zh) | 细胞培养箱 | |
| CN204918742U (zh) | 用于改善蒸发源塞孔装置 | |
| CN208746709U (zh) | 一种食用菌保鲜箱 | |
| CN103194724A (zh) | 蒸镀遮罩、蒸镀系统及材料的提纯方法 | |
| CN107858652A (zh) | 一种线性蒸镀源装置 | |
| CN201999985U (zh) | 一种圆形旋转加热装置 | |
| CN205711048U (zh) | 一种单晶炉排气管 | |
| KR20120085377A (ko) | 고효율 광 추출이 가능한 유리기판의 제조방법 및 제조시스템 | |
| CN205258592U (zh) | 真空镀膜机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |