CN205711048U - 一种单晶炉排气管 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉排气管，属于单晶炉技术领域，包括管体，所述管体采用碳/碳复合材料制备。本实用新型能够减少内壁挥发物附着，强度高，不易损坏，不对成晶产生负面影响，使用寿命长。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域。
背景技术
现有技术中的单晶炉排气口处安装的排气管均采用石墨材质，然而在实际的生产实践中，石墨材质的排气口易碎、强度低，且反复急热、急冷使用时容易开裂，导致使用寿命比较短。炉内化料和等经状态下时刻在产生硅蒸气和氧化物，极易沾附到排气口内壁上造成堵塞，而且在取下排气口进行清理时很难清理干净，用力过大就会将石墨材质的排气口损坏，因此，很大程度降低了排气口的使用寿命。在实际的生产中，石墨材质的排气口的使用寿命一般在一个月之内，非常短。另外，石墨材质的排气口经常出现由于废气孔碎片卡到管道内影响抽空造成成晶困难的问题。
因此，如何提供一种减少内壁挥发物附着，高强度，不易损坏，不影响成晶，提高使用寿命的单晶炉排气管，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题，是提供一种单晶炉排气管，其能够减少内壁挥发物附着，强度高，不易损坏，不对成晶产生负面影响，使用寿命长。
为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：
一种单晶炉排气管，包括管体，所述管体采用碳/碳复合材料制备。
作为优选，在所述管体的内表面上喷涂有氮化硅。
作为优选，还包括上盖，所述管体呈L形，L形的管体的竖直管位于炉体内，水平管穿过炉体的侧壁，所述上盖位于竖直管的上端，所述上盖下方的竖直管的侧壁上设有进气口。
作为优选，所述竖直管和水平管均为圆形管。
作为优选，所述进气口的数量为3，沿竖直管的周向均匀分布。
作为优选，所述上盖为圆形。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于：现有技术的单晶炉排气口处安装的排气管均采用石墨材质，然而在实际的生产实践中，石墨材质的排气口易碎、强度低，且反复急热、急冷使用时容易开裂，导致使用寿命比较短。炉内化料和等经状态下时刻在产生硅蒸气和氧化物，极易沾附到排气口内壁上造成堵塞，而且在取下排气口进行清理时很难清理干净，用力过大就会将石墨材质的排气口损坏，因此，很大程度降低了排气口的使用寿命；在实际的生产中，石墨材质的排气口的使用寿命一般在一个月之内，非常短；另外，石墨材质的排气口经常出现由于废气孔碎片卡到管道内影响抽空造成成晶困难的问题。本实用新型的管体采用碳碳（C/C）复合材料制备，C/C复合材料具有强度高、整体性强、不易损坏、外壁不易吸硅等特点。更换新型C/C复合材料的排气管后不会再出现由于清炉工具将排气管损坏的问题,有效避免将损坏的排气管抽到管道内造成成晶困难、炉内反气等现象，减少内壁挥发物附着，使用寿命也大大增加，仅需一次性投入，节约成本。
附图说明
图1为本实用新型一个实施例的结构示意图；
各图号名称为：1—管体，1-1—竖直管，1-2—水平管，2—上盖，3—进气口，4—氮化硅。
具体实施方式
下面结合附图及一个实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
本实用新型包括管体1，所述管体1采用碳/碳（C/C）复合材料制备。
原因是，C/C复合材料是新材料领域中重点研究和开发的一种新型超高温材料，它具有以下显著特点：(1)密度小(<2.0 g/cm )，仅为镍基高温合金的1/4，陶瓷材料的1/2，这一点对许多结构或装备要求轻型化至关重要；(2)高温力学性能极佳，温度升高至2200℃，其强度不仅不降低，甚至比在室温时还高，这是其他结构材料所无法比拟的；(3)抗烧蚀性能良好，烧蚀均匀，可以用于3000℃以上高温短时间烧蚀的环境中，如火箭发动机喷管、喉衬等；(4)摩擦、磨损性能优异，其摩擦系数小，性能稳定，是各种耐磨和摩擦部件的最佳候选材料；(5)具有其他复合材料的特征，如高强度、高模量、高疲劳度和蠕变性能等。
使用C/C复合材料的排气管有以下优点：（1）降低了由于排气管坏堵管道影响成晶现象；（2）提高排气管的使用寿命；（3）减少排气管内壁挥发物的附着现象。
进一步的，在所述管体1的内表面上喷涂有氮化硅4。
氮化硅的强度很高，尤其是热压氮化硅，是世界上最坚硬的物质之一，它极耐高温，强度一直可以维持到1200℃的高温而不下降，受热后不会熔成融体，一直到1900℃才会分解，并有惊人的耐化学腐蚀性能，能耐几乎所有的无机酸和30%以下的烧碱溶液，也能耐很多有机酸的腐蚀；同时又是一种高性能电绝缘材料。
进一步的，本排气管还包括上盖2，所述管体1呈L形，L形的管体1的竖直管1-1位于炉体内，水平管1-2穿过炉体的侧壁，所述上盖2位于竖直管1-1的上端，所述上盖2下方的竖直管1-1的侧壁上设有进气口3。
采用整体为 L 形的异型管做排气管，排气管的竖直管（集气端）1-1开口在炉体内竖直向上设置，可以减少排气管堵塞的几率，阻止漏硅时高温熔硅直接流入不锈钢管道，有效保护不锈钢炉底。在对竖直管1-1的内部进行清理时，可以直接将上盖2拿下进行清理，清理方便、简单、快捷。
进一步的，所述竖直管1-1和水平管1-2均为圆形管；所述上盖2为圆形；所述进气口3的数量为3，沿竖直管1-1的周向均匀分布。
本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
Claims (6)
1.一种单晶炉排气管，其特征在于：包括管体（1），所述管体（1）采用碳/碳复合材料制备。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管，其特征在于：在所述管体（1）的内表面上喷涂有氮化硅（4）。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管，其特征在于：还包括上盖（2），所述管体（1）呈L形，L形的管体（1）的竖直管（1-1）位于炉体内，水平管（1-2）穿过炉体的侧壁，所述上盖（2）位于竖直管（1-1）的上端，所述上盖（2）下方的竖直管（1-1）的侧壁上设有进气口（3）。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉排气管，其特征在于：所述竖直管（1-1）和水平管（1-2）均为圆形管。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉排气管，其特征在于：所述进气口（3）的数量为3，沿竖直管（1-1）的周向均匀分布。
6.根据权利要求4所述的一种单晶炉排气管，其特征在于：所述上盖（2）为圆形。
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Cited By (1)
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| CN109797426A (zh) * | 2019-03-11 | 2019-05-24 | 上海新昇半导体科技有限公司 | 一种拉晶装置 |
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2016
- 2016-05-20 CN CN201620462627.3U patent/CN205711048U/zh not_active Expired - Fee Related
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