CN204058655U - 一种可视升降式单晶炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可视升降式单晶炉，它包括石英坩埚、炉盖、底座和加热器。所述石英坩埚设置于炉体内，且石英坩埚底部设有埚托；所述炉盖上方左右对称位置设有一个凸起与炉盖表面的观察视窗；所述炉盖中心位置设有籽晶杆通道；所述炉盖籽晶杆侧面设有进气口；所述炉体内壁由内向外分别设置有加热器、保温罩和隔热层；所述加热层、保温罩和隔热层的上方设置有导气孔；所述隔热层与炉体内壁之间设有通道；所述炉体内壁下方两侧对称设置有排气孔；所述埚托下方连接支撑有埚杆；所述埚杆另一端与固定于底座上的液压升降机构相连接；所述炉体与底座之间通过钢质骨架连接固定。本实用新型单晶炉具有结构设计合理、操作简单和使用寿命长等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种可视升降式单晶炉。
背景技术
目前，随着科学技术的发展，单晶炉因其人们使用的频繁，所以人们对单晶炉的功能也有越来越高的要求，单晶炉是一种在惰性气体环境中，用加热器将多晶硅等材料融化，从而制造出生长无错位的单晶硅设备，而目前市面上所使用的单晶炉，因其结构设计等问题，坩埚内充填硅料较少，而且在化料过程中，单晶炉内壁容易接触材料液体，造成了炉体内的污染，从而使单晶炉使用寿命减小。
实用新型内容
为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型的目的是提供一种可视升降式单晶炉。
本实用新型是采取以下技术方案来实现的：一种可视升降式单晶炉，它包括石英坩埚、炉盖、底座和加热器，所述石英坩埚设置于炉体内，且石英坩埚底部设有埚托；所述炉盖上方左右对称位置设有一个凸起与炉盖表面的观察视窗；所述炉盖中心位置设有籽晶杆通道；所述炉盖籽晶杆侧面设有进气口；所述炉体内壁由内向外分别设置有加热器、保温罩和隔热层；所述加热层、保温罩和隔热层的上方设置有导气孔；所述隔热层与炉体内壁之间设有通道；所述炉体内壁下方两侧对称设置有排气孔；所述埚托下方连接支撑有埚杆；所述埚杆另一端与固定于底座上的液压升降机构相连接；所述炉体与底座之间通过钢质骨架连接固定；所述观察视窗倾斜60度方向设置与炉盖上表面；所述保温罩为厚度8mm的碳纤维材料制成；所述加热器为石墨加热器。
综上所述本实用新型具有以下有益效果：本实用新型单晶炉具有结构设计合理、操作简单和使用寿命长等优点，所述单晶炉内设置的保温罩其保温性能好，避免晶硅因受热不均而受到损害；所述炉盖上方设置的观察视窗能够对炉内晶体生长进行及时的观察，从而迅速的发现炉内的问题，提高了工作效率。
附图说明
图 1为本实用新型结构示意图；
其中：1、波纹管；2、密封法兰；3、观察视窗；4、炉盖上凸口；5、导气孔；6、炉盖；7、导流筒；8、加热器；9、保温罩；10、隔热层；11、石英坩埚；12、通道；13、排气孔；14、埚托；15、埚杆；16、液压升降机构；17、底座；18、籽晶杆通道；19、进气口；20、钢质骨架。
具体实施方式
如图1所示，一种可视升降式单晶炉，它包括石英坩埚11、炉盖6、底座17和加热器8，所述石英坩埚11设置于炉体内，且石英坩埚11底部设有埚托14；所述炉盖6上方左右对称位置设有一个凸起与炉盖表面的观察视窗3；所述炉盖6中心位置设有籽晶杆通道18；所述炉盖籽晶杆18侧面设有进气口19；所述炉体内壁由内向外分别设置有加热器8、保温罩9和隔热层10；所述加热层8、保温罩9和隔热层10的上方设置有导气孔5；所述隔热层10与炉体内壁之间设有通道12；所述炉体内壁下方两侧对称设置有排气孔13；所述埚托14下方连接支撑有埚杆15；所述埚杆15另一端与固定于底座上的液压升降机构16相连接；所述炉体与底座17之间通过钢质骨架20连接固定。
所述该装置工作时，所述硅料置于坩埚11内，开通加热器，使温度升高，硅料开始熔化，所述炉盖顶部对称设置的观察通道3可以及时发现炉体内的反应情况，一旦出现问题，可以迅速采取有效的解决办法；所述炉体内壁设置的保温罩9和隔热层10，一方面可以有效的保持炉体内的温度，避免炉内温度下降过快；所述的隔热层10可以保护炉壁不受高温气体的腐蚀；所述坩埚11下方设置的液压升降机构16，可以对坩埚11的高度进行调节，并与观察通道3相配合，通过对坩埚11高度的调节，增加坩埚11的空间，使石英坩埚11内装入更多硅料，在化料的过程中，导流筒7与液面不会有接触，使晶体生长有了更好的环境，提高了材料利用率；所述装置在工作过程中，保护气体通过炉盖顶部设置的进气口19进入炉体，经导流筒7进入坩埚11，从而带走产生的一氧化硅挥发物，然后经由导气孔5排出，通过炉体内壁的通道12流入到排气孔13，排出有害气体，该装置能有效的提高工作效率。
以上所述是本实用新型实施例，故凡依本实用新型申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利申请范围内。
Claims (4)
1.一种可视升降式单晶炉，它包括石英坩埚、炉盖、底座和加热器，其特征在于：所述石英坩埚设置于单晶炉内，且石英坩埚底部设有埚托；所述炉盖上方左右对称位置设有一个凸起与炉盖表面的观察视窗；所述炉盖中心位置设有籽晶杆通道；所述炉盖籽晶杆侧面设有进气口；所述炉体内壁由内向外分别设置有加热器、保温罩和隔热层；所述加热层、保温罩和隔热层的上方设置有导气孔；所述隔热层与炉体内壁之间设有通道；所述炉体内壁下方两侧对称设置有排气孔；所述埚托下方连接支撑有埚杆；所述埚杆另一端与固定于底座上的液压升降机构相连接；所述炉体与底座之间通过钢质骨架连接固定。
2.根据权利要求1所述的一种可视升降式单晶炉，其特征在于：所述观察视窗倾斜60度方向设置与炉盖上表面。
3.根据权利要求1所述的一种可视升降式单晶炉，其特征在于：所述由碳纤维材料制成的保温罩厚度为8mm。
4.根据权利要求1所述的一种可视升降式单晶炉，其特征在于：所述加热器为石墨加热器。
Priority Applications (1)
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| CN201420361803.5U CN204058655U (zh) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | 一种可视升降式单晶炉 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN201420361803.5U CN204058655U (zh) | 2014-07-02 | 2014-07-02 | 一种可视升降式单晶炉 |
Publications (1)
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| CN204058655U true CN204058655U (zh) | 2014-12-31 |
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| CN (1) | CN204058655U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111534857A (zh) * | 2020-07-01 | 2020-08-14 | 山东圆坤电子科技有限公司 | 一种产生大温度梯度的炉子 |
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2014
- 2014-07-02 CN CN201420361803.5U patent/CN204058655U/zh not_active Expired - Fee Related
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