CN205893453U - 一种用于单晶炉的导流筒 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种用于单晶炉的导流筒，包括内导流筒和外导流筒，所述外导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁，所述侧壁的底部具有向所述外导流筒中心的位置延伸的第一支撑部，顶部具有向所述外导流筒的中心的反方向延伸的第二支撑部，所述内导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁且套设于所述外导流筒的内部，所述内导流筒的底部可拆卸式的与所述第一支撑部连接，且所述内导流筒的顶部可拆卸式的与所述第二支撑部连接。本申请提供的上述用于单晶炉的导流筒，能够使同一外导流筒匹配不同大小的内导流筒，从而能拉制不同大小的硅棒。

Description

一种用于单晶炉的导流筒

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产技术领域，更具体地说，涉及一种用于单晶炉的导流筒。

背景技术

单晶硅是光伏行业制备太阳能电池片的一种重要材料。通常制备单晶硅的方法是直拉单晶法，具体步骤如下：首先将块状硅料置于石英坩埚中，在单晶炉内加热到熔点使其熔化，再利用籽晶进行引晶，拉制单晶硅棒。在拉制单晶过程中，为保证长晶环境的稳定，需通入惰性气体作为保护，并通过导流筒对气体进行导流，使气体稳定循环。对于单晶硅的纯度要求极高，需要达到99.9999％以上，其对单晶炉内拉制环境的纯度要求也极高。

导流筒由内导流筒和外导流筒组成，由于通过导流筒的气体为高温气体，因此其需要优良的耐高温性能。现有技术中使用的石墨导流桶，内筒和外筒都是用石墨制成，内导流筒固定在外导流筒里，通常内外导流筒之间还包括固化毡保温层。

然而，现有的导流筒为内外尺寸固定且一一配对，无法有效改变内导流筒尺寸，因此只能拉制单一尺寸的硅棒。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于单晶炉的导流筒，能够使同一外导流筒匹配不同大小的内导流筒，从而能拉制不同大小的硅棒。

本实用新型提供的一种用于单晶炉的导流筒，包括内导流筒和外导流筒，所述外导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁，所述侧壁的底部具有向所述外导流筒中心的位置延伸的第一支撑部，顶部具有向所述外导流筒的中心的反方向延伸的第二支撑部，所述内导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁且套设于所述外导流筒的内部，所述内导流筒的底部可拆卸式的与所述第一支撑部连接，且所述内导流筒的顶部可拆卸式的与所述第二支撑部连接。

优选的，在上述用于单晶炉的导流筒中，所述第一支撑部上设置有调整滑块，所述调整滑块的内侧与所述内导流筒的底部形状相匹配，所述调整滑块上设置有沿所述外导流筒的径向分布的多个第一孔槽，利用穿过所述第一孔槽的第一固定部件实现所述调整滑块与所述第一支撑部的固定。

优选的，在上述用于单晶炉的导流筒中，所述第二支撑部上设置有锁紧滑块，所述锁紧滑块的内侧与所述内导流筒的顶部形状相匹配，所述锁紧滑块上设置有沿所述外导流筒的径向分布的多个第二孔槽，利用穿过所述第二孔槽的第二固定部件实现所述锁紧滑块与所述第二支撑部的固定。

优选的，在上述用于单晶炉的导流筒中，所述内导流筒为石英内导流筒，所述外导流筒为石墨外导流筒。

优选的，在上述用于单晶炉的导流筒中，所述第一固定部件为螺钉。

优选的，在上述用于单晶炉的导流筒中，所述第二固定部件为螺钉。

从上述技术方案可以看出，本实用新型所提供的上述用于单晶炉的导流筒，由于包括内导流筒和外导流筒，所述外导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁，所述侧壁的底部具有向所述外导流筒中心的位置延伸的第一支撑部，顶部具有向所述外导流筒的中心的反方向延伸的第二支撑部，所述内导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁且套设于所述外导流筒的内部，所述内导流筒的底部可拆卸式的与所述第一支撑部连接，且所述内导流筒的顶部可拆卸式的与所述第二支撑部连接，因此能够使同一外导流筒匹配不同大小的内导流筒，从而能拉制不同大小的硅棒。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的第一种用于单晶炉的导流筒的示意图。

具体实施方式

本实用新型的核心思想在于提供一种用于单晶炉的导流筒，能够使同一外导流筒匹配不同大小的内导流筒，从而能拉制不同大小的硅棒。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本申请实施例提供的第一种用于单晶炉的导流筒如图1所示，图1为本申请实施例提供的第一种用于单晶炉的导流筒的示意图。该导流筒包括内导流筒1和外导流筒2，所述外导流筒2具有从顶部向底部渐缩的侧壁，所述侧壁的底部具有向所述外导流筒2中心的位置延伸的第一支撑部201，顶部具有向所述外导流筒2的中心的反方向延伸的第二支撑部202，所述内导流筒1具有从顶部向底部渐缩的侧壁且套设于所述外导流筒2的内部，所述内导流筒1的底部可拆卸式的与所述第一支撑部201连接，且所述内导流筒1的顶部可拆卸式的与所述第二支撑部202连接。

需要说明的是，所述内导流筒1的下部筒身圆弧过渡，有利于气体平稳流动，由于内导流筒与外导流筒为可拆卸式的连接，因此在同一个外导流筒内可以安装具有不同尺寸的内导流筒，以适应不同尺寸单晶的生产。

从上述技术方案可以看出，本申请实施例所提供的上述用于单晶炉的导流筒，由于包括内导流筒和外导流筒，所述外导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁，所述侧壁的底部具有向所述外导流筒中心的位置延伸的第一支撑部，顶部具有向所述外导流筒的中心的反方向延伸的第二支撑部，所述内导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁且套设于所述外导流筒的内部，所述内导流筒的底部可拆卸式的与所述第一支撑部连接，且所述内导流筒的顶部可拆卸式的与所述第二支撑部连接，因此能够使同一外导流筒匹配不同大小的内导流筒，从而能拉制不同大小的硅棒。

本申请实施例提供的第二种用于单晶炉的导流筒，是在上述第一种用于单晶炉的导流筒的基础上，还包括如下技术特征：

继续参考图1，所述第一支撑,201上设置有调整滑块3，所述调整滑块3的内侧与所述内导流筒1的底部形状相匹配，所述调整滑块3上设置有沿所述外导流筒的径向分布的多个第一孔槽，利用穿过所述第一孔槽的第一固定部件5实现所述调整滑块3与所述第一支撑部201的固定。

在这种情况下，当需要更换不同尺寸的内导流筒时，就可以选择相应位置的第一孔槽来固定调整滑块与第一支撑部，利用调整滑块的内侧与内导流筒的上部紧密贴合，进行固定，可见这种方式更容易拆装，工作效率高。

本申请实施例提供的第三种用于单晶炉的导流筒，是在上述第二种用于单晶炉的导流筒的基础上，还包括如下技术特征：

继续参考图1，所述第二支撑部202上设置有锁紧滑块4，所述锁紧滑块4的内侧与所述内导流筒1的顶部形状相匹配，所述锁紧滑块4上设置有沿所述外导流筒1的径向分布的多个第二孔槽，利用穿过所述第二孔槽的第二固定部件6实现所述锁紧滑块4与所述第二支撑部202的固定。

在这种情况下，当需要更换不同尺寸的内导流筒时，就可以选择相应位置的第二孔槽来固定锁紧滑块与第二支撑部，利用锁紧滑块的内侧与内导流筒的下部紧密贴合，进行固定，防止内导流筒掉下，可见这种方式更容易拆装，工作效率高。

本申请实施例提供的第四种用于单晶炉的导流筒，是在上述第一种至第三种用于单晶炉的导流筒中任一种的基础上，还包括如下技术特征：

所述内导流筒为石英内导流筒，所述外导流筒为石墨外导流筒。

一般来说，传统的导流筒使用石墨材料，但石墨表面不光滑，不利于气体的稳定，且石墨强度低，有破裂掉落的分险。内导流筒为锥形的圆筒状，拉制单晶硅的过程中，单晶硅棒处于内导流筒中心位置，由于炉内为大于1500℃的高温环境，杂质的扩散变得十分容易，离单晶硅棒最近的内导流筒所含的杂质容易扩散至硅的表面，影响单晶硅的纯度，降低其质量。而本方案中将内导流筒选择为石英内导流筒，利用石英导热率低的特点，起到一定的保温作用，既能保证氩气的冷却效果，利于降低硅棒氧含量，又能稳定硅棒区域硅液区的温度差，利于稳定生产；且石英具有较高的强度和抗热震性，能避免破裂风险，使用纯度高达99.998％的高纯石英材质，也能满足纯度要求；石英内导流筒内壁十分光滑，有利于气体的稳定流动，能有效控制气体的流量，减少气体对硅液表面的扰动。

本申请实施例提供的第五种用于单晶炉的导流筒，是在上述第二种用于单晶炉的导流筒的基础上，还包括如下技术特征：

所述第一固定部件为螺钉，这种螺钉利用石墨材料或耐高温金属制成。

本申请实施例提供的第六种用于单晶炉的导流筒，是在上述第三种用于单晶炉的导流筒的基础上，还包括如下技术特征：

所述第二固定部件为螺钉，这种螺钉利用石墨材料或耐高温金属制成。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种用于单晶炉的导流筒，其特征在于，包括内导流筒和外导流筒，所述外导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁，所述侧壁的底部具有向所述外导流筒中心的位置延伸的第一支撑部，顶部具有向所述外导流筒的中心的反方向延伸的第二支撑部，所述内导流筒具有从顶部向底部渐缩的侧壁且套设于所述外导流筒的内部，所述内导流筒的底部可拆卸式的与所述第一支撑部连接，且所述内导流筒的顶部可拆卸式的与所述第二支撑部连接。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉的导流筒，其特征在于，所述第一支撑部上设置有调整滑块，所述调整滑块的内侧与所述内导流筒的底部形状相匹配，所述调整滑块上设置有沿所述外导流筒的径向分布的多个第一孔槽，利用穿过所述第一孔槽的第一固定部件实现所述调整滑块与所述第一支撑部的固定。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉的导流筒，其特征在于，所述第二支撑部上设置有锁紧滑块，所述锁紧滑块的内侧与所述内导流筒的顶部形状相匹配，所述锁紧滑块上设置有沿所述外导流筒的径向分布的多个第二孔槽，利用穿过所述第二孔槽的第二固定部件实现所述锁紧滑块与所述第二支撑部的固定。

4.根据权利要求1-3任一项所述的用于单晶炉的导流筒，其特征在于，所述内导流筒为石英内导流筒，所述外导流筒为石墨外导流筒。

5.根据权利要求2所述的用于单晶炉的导流筒，其特征在于，所述第一固定部件为螺钉。

6.根据权利要求3所述的用于单晶炉的导流筒，其特征在于，所述第二固定部件为螺钉。