CN204874270U - 用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉 - Google Patents

用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉 Download PDF

Info

Publication number
CN204874270U
CN204874270U CN201520595890.5U CN201520595890U CN204874270U CN 204874270 U CN204874270 U CN 204874270U CN 201520595890 U CN201520595890 U CN 201520595890U CN 204874270 U CN204874270 U CN 204874270U
Authority
CN
China
Prior art keywords
furnace
quartz glass
synthetic quartz
deposition furnace
spindle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201520595890.5U
Other languages
English (en)
Inventor
黄若杰
刘建元
周轶
商春利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HUBEI FEILIHUA QUARTZ GLASS CO Ltd
Original Assignee
HUBEI FEILIHUA QUARTZ GLASS CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HUBEI FEILIHUA QUARTZ GLASS CO Ltd filed Critical HUBEI FEILIHUA QUARTZ GLASS CO Ltd
Priority to CN201520595890.5U priority Critical patent/CN204874270U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN204874270U publication Critical patent/CN204874270U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Abstract

本实用新型涉及一种立式沉积炉,具体涉及一种用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉。该立式沉积炉包括沉积炉体、炉膛和烟囱,炉膛外围的沉积炉体上设置有环形烟道,环形烟道与炉膛之间的沉积炉体上呈十字交叉状设置有风道,环形烟道与炉膛之间通过风道连通。该立式沉积炉改善了二氧化硅沉积环境,并能充分利用热能,有效保持炉温,提高沉积效率。解决了现有炼熔炉在石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外,致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下,导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破,同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题。特别适用于生产大尺寸合成石英玻璃锭使用。

Description

用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉
技术领域
本实用新型涉及立式沉积炉,具体涉及用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉。
背景技术
在合成石英玻璃熔制过程中,由石英锭慢降设备夹持的石英底锭从熔炉底部伸入沉积炉内的氢氧喷灯焦点处,并停留在此处接受氢氧火焰高温软化,为即将由下料装置输入并经过喷灯熔化的合成后的石英微粒与其粘结做好准备,当底锭表面软化状态达到能与熔化的石英微粒充分熔合时,慢降设备的机械臂牵引底锭旋转并下降,开始合成石英玻璃锭的熔制过程。在这一过程中,由于现有沉积炉的结构原因,其生产过程中产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外,致使合成石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下,导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破;同时也影响着合成石英玻璃锭的产品质量。
发明内容
本实用新型的目的在于,提供一种结构简单,实用性好,以解决现有沉积炉在合成石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外,致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下,导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破;同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题的用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉。
本实用新型是通过如下的技术方案来实现上述目的的:
该用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉,包括沉积炉体、炉膛和烟囱,其特征在于:炉膛外围的沉积炉体上设置有环形烟道,环形烟道与炉膛之间的沉积炉体上呈十字交叉状设置有风道,环形烟道与炉膛之间通过风道连通,沉积炉体的外侧设置有抽风管,抽风管与环形烟道连通,所述的抽风管为U型体,抽风管上安装有烟囱。
本实用新型与现有技术相比的有益效果在于:
该用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉结构简单,实用性好,工作过程中产生的废气和废料能及时均匀的排除炉外;从而改善了二氧化硅沉积环境,并能充分利用热能,有效保持炉温,提高沉积效率,同时还能使能耗降低,达到节约能源的目的。解决了现有沉积炉在合成石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外,致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下,导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破,同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题。特别适用于生产合成大尺寸石英玻璃锭使用。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图,
图2为本实用新型的截面结构示意图。
图中:1、沉积炉体,2、炉膛,3、烟囱,4、环形烟道,5、风道,6、抽风管。
具体实施方式
该用于生产大尺寸石英玻璃锭的立式沉积炉包括沉积炉体1、炉膛2和烟囱3。炉膛2外围的沉积炉体1上设置有环形烟道4,环形烟道4与炉膛2之间的沉积炉体1上呈十字交叉状设置有风道5,环形烟道4与炉膛2之间通过风道5连通,沉积炉体1的外侧设置有U型体的抽风管6,抽风管6与环形烟道4连通。
该立式沉积炉的抽风管6上安装有烟囱3;工作过程中,氢气和氧气在燃烧器中燃烧产生水蒸气后与燃烧器下料管中气态四氯化硅反应产生二氧化硅微粒。二氧化硅微粒在该立式沉积炉中的沉积砣面上沉积形成石英玻璃锭。这一过程中,产生的废气和废料通过风道5、环形烟道4、抽风管6和烟囱3及时均匀的排除炉外;从而改善了二氧化硅的沉积环境,使热能能充分利用,并有效保持炉温,提高沉积效率。同时还能使能耗降低,达到节约能源的目的。
由于该立式沉积炉的炉膛2上均布有风道5,且风道5与环形烟道4连通,从而使生产过程中的废气和废料得以及时均匀的排除炉外;进而使石英玻璃锭生长效率与生长周期得到显著提高;解决了现有熔炉在石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外,致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下,导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破,同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题。
采用该立式沉积炉生产合成石英玻璃锭,其沉积速率为500-600克/每小时,可生产重量达600公斤以上,直径在600-700毫米的石英玻璃锭。相比现有工艺生产效率可提高1-1.5倍。特别适用于生产大尺寸石英玻璃锭使用。

Claims (1)

1.用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉,包括沉积炉体(1)、炉膛(2)和烟囱(3),其特征在于:炉膛(2)外围的沉积炉体(1)上设置有环形烟道(4),环形烟道(4)与炉膛(2)之间的沉积炉体(1)上呈十字交叉状设置有风道(5),环形烟道(4)与炉膛(2)之间通过风道(5)连通,沉积炉体(1)的外侧设置有抽风管(6),抽风管(6)与环形烟道(4)连通,所述的抽风管(6)为U型体,抽风管(6)上安装有烟囱(3)。
CN201520595890.5U 2015-08-10 2015-08-10 用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉 Active CN204874270U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201520595890.5U CN204874270U (zh) 2015-08-10 2015-08-10 用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201520595890.5U CN204874270U (zh) 2015-08-10 2015-08-10 用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN204874270U true CN204874270U (zh) 2015-12-16

Family

ID=54818667

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201520595890.5U Active CN204874270U (zh) 2015-08-10 2015-08-10 用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN204874270U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106810056A (zh) * 2017-03-20 2017-06-09 无锡市孚艾科技有限公司 一种高纯石英生产装置
CN107417074A (zh) * 2017-08-28 2017-12-01 长飞光纤光缆股份有限公司 一种石英锭的制备方法、装置及系统

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106810056A (zh) * 2017-03-20 2017-06-09 无锡市孚艾科技有限公司 一种高纯石英生产装置
CN106810056B (zh) * 2017-03-20 2022-11-15 杭州永通智造科技有限公司 一种高纯石英生产装置
CN107417074A (zh) * 2017-08-28 2017-12-01 长飞光纤光缆股份有限公司 一种石英锭的制备方法、装置及系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204874270U (zh) 用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉
CN202329128U (zh) 多温区管式炉
CN104131339A (zh) 一种多晶硅片的制备方法
CN103115491A (zh) 多温区管式炉
CN101864591B (zh) 一种改进的800型硅单晶炉热场系统
CN104389020A (zh) 焰熔法快速生长刚玉系蓝宝石晶体材料的工艺及设备
CN202671705U (zh) 一种布气型制备低碳低氧硅锭的坩埚炉
CN103936283B (zh) 焊接式单层水晶玻璃杯及其焊接工艺
CN206680383U (zh) 光纤预制棒的喷灯
CN202671714U (zh) 一种制备低碳低氧硅锭的盖板改进结构
CN206486622U (zh) 一种用于gt多晶炉铸造g7多晶硅锭的装置
CN204848633U (zh) 制备合成石英玻璃砣的沉积炉
CN208618005U (zh) 一种太阳能单晶热场隔热装置
CN106115770A (zh) 一种环保型氧化锌制备方法
CN203159236U (zh) 一种采用微波加热的工业硅炉外精炼抬包
CN202543037U (zh) 一种气相沉积合成炉
CN201605350U (zh) 一种用于单晶炉降低拉晶功率的热场装置
CN202849589U (zh) 一种单晶炉装置
CN202304415U (zh) 烧结机炉膛温度控制系统
CN202561724U (zh) 一种新型蒸汽加热炉
CN202688502U (zh) 一种制备低碳低氧硅锭的盖板布气结构
CN203021302U (zh) 还原炉电极石英绝缘构件
CN203212609U (zh) 真空冶炼炉
CN202415746U (zh) 铸锭炉
CN201908152U (zh) 一种改进的直拉单晶炉

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant