CN207749178U - 一种oled蒸镀坩埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，具体公开了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构，本实用新型的密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起，通过改善坩埚盖板和坩埚主体的咬合方式，提高坩埚的气密性，解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸气泄漏问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，尤其涉及一种OLED蒸镀坩埚。
背景技术
随着AMOLED的飞速发展，所蒸镀的基板尺寸越来越大，蒸发源由最初的点源发展到目前的线源，而坩埚是线源重要组成部件之一，材料在坩埚中被加热蒸发并形成一定的蒸气压，再通过Nozzle孔以一定的速率蒸镀到玻璃基板上，所以坩埚的密封性是坩埚性能的一个重要体现。然而在实际蒸镀生产技术中，由于坩埚盖板和坩埚主体存在缝隙，气密性较差，有机材料蒸气通过缝隙扩散到蒸发源外围，下次如果使用其它材料，这些附着在蒸发源上的材料可能会蒸发出来，造成材料的交叉污染，影响产品性能。
实用新型内容
针对上述技术问题，本实用新型提供了一种提高坩埚的气密性，解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸汽泄漏问题的OLED蒸镀坩埚。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供的具体方案如下：一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构。
优选的，所述的密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起，盖板凹槽与主体凸起相配合，使得坩埚主体与盖板之间的气密效果好。
优选的，所述的密封结构包括设在盖板上的盖板凸起和设置在坩埚主体上且与盖板凸起相对应的主体凹槽，盖板凸起与主体凹槽相配合，使得坩埚主体与盖板之间的气密效果好。
优选的，所述的密封结构包括设在盖板上的盖板螺丝孔和设置在坩埚主体上且与盖板螺丝孔相对应的主体螺丝孔，所述盖板螺丝孔和主体螺丝孔内穿设有螺丝，起到很好的气密效果，有效防止有机材料蒸汽泄漏。
优选的，所述坩埚主体为长方体结构，所述盖板为长方形板，该结构有利于有机材料的蒸发。
优选的，所述密封结构还包括设置在主体凸起上的密封条，起到更好的气密效果。
优选的，所述密封结构还包括设置在盖板凸起上的密封条，起到更好的气密效果。
优选的，所述盖板上设有喷嘴，喷嘴的数量为至少两个，且喷嘴与喷嘴之间为等间距排列，起到更加均匀的蒸镀效果。
进一步优选的，所述盖板上设有把手，便于取下盖板。
进一步优选的，所述坩埚主体包括相互结合的内壁和外壁，所述内壁的导热率大于外壁的导热率，可以保证热量快速的被传递，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀的蒸发。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过在坩埚主体和盖板上设置气密性的密封结构，该密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起；或是包括设在盖板上的盖板凸起和设置在坩埚主体上且与盖板凸起相对应的主体凹槽；或是包括设在盖板上的盖板螺丝孔和设置在坩埚主体上且与盖板螺丝孔相对应的主体螺丝孔，所述盖板螺丝孔和主体螺丝孔内穿设有螺丝；本实用新型通过上述方式改善坩埚盖板和坩埚主体的咬合方式，提高坩埚的气密性，解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸气泄漏问题，起到很好的气密效果；且坩埚主体包括相互结合的内壁和外壁，内壁的导热率大于外壁的导热率，可以保证热量快速的被传递，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀的蒸发。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型坩埚主体结构示意图；
图3为本实用新型盖板结构示意图；
其中，1为坩埚主体；11为主体凸起；12为主体凹槽；13为主体螺丝孔；2为盖板；21为盖板凹槽；22为盖板凸起；23为盖板螺丝孔；3为喷嘴。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的阐述。
实施例一：如图1~3所示，一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构。
本实施例中，坩埚主体为长方形结构，盖板为长方形板，该结构有利于有机材料的蒸发，当然，实际应用过程中，也可以是其他结构的坩埚主体，此处并不限制于长方形结构，密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起，盖板凹槽与主体凸起相配合，使得坩埚主体与盖板之间的气密效果好。
为了达到更好的气密效果，本实施例还在主体凸起上设置有密封条，提高主体凸起与盖板凹槽之间的紧密性，起到更好的气密效果。
实施例二：如图1~3所示，一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构。
本实施例中，密封结构包括设在盖板上的盖板凸起和设置在坩埚主体上且与盖板凸起相对应的主体凹槽，盖板凸起与主体凹槽相配合，使得坩埚主体与盖板之间的气密效果好，盖板凸起在盖板上的位置并不做限制，当然，主体凹槽在坩埚主体上的位置也不做限制，此处盖板凸起与主体凹槽的位置能起到相应配合即可。
为了达到更好的气密效果，本实施例还在盖板凹槽上设置有密封条，提高盖板凸起与主体凹槽之间的紧密性，起到更好的气密效果。
实施例三：如图1~3所示，一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构。
本实施例中，密封结构包括设在盖板上的盖板螺丝孔和设置在坩埚主体上且与盖板螺丝孔相对应的主体螺丝孔，所述盖板螺丝孔和主体螺丝孔内穿设有螺丝，起到很好的气密效果，有效防止有机材料蒸汽泄漏，具体的，对于盖板螺丝孔、主体螺丝孔的数量并不做限制，可根据实际生产需求进行设置。
实施例四：如图1~3所示，一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构。
本实施例中，密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起，以及设在盖板上的盖板凸起和设置在坩埚主体上且与盖板凸起相对应的主体凹槽，其中，盖板凹槽与主体凸起相配合，盖板凸起与主体凹槽相配合，使得坩埚主体与盖板之间的气密效果好，需要说明的是，盖板凹槽和盖板凸起在盖板上的位置并不做限制，当然，主体凸起和主体凹槽在坩埚主体上的位置也不做限制，此处盖板凹槽与主体凸起、盖板凸起与主体凹槽的位置能起到相应配合即可。
作为一种优选的方案，本实用新型的密封结构还包括设在盖板上的盖板螺丝孔和设置在坩埚主体上且与盖板螺丝孔相对应的主体螺丝孔，所述盖板螺丝孔和主体螺丝孔内穿设有螺丝，起到很好的气密效果，有效防止有机材料蒸汽泄漏，具体的，对于盖板螺丝孔、主体螺丝孔的数量并不做限制，可根据实际生产需求进行设置。
本实施例提供的OLED蒸镀坩埚能达到更好的气密效果，有效解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸汽泄漏问题。
实施例五：本实施例与实施例四类似，进一步的，如图1所示，盖板上设有喷嘴，喷嘴的数量为至少两个，且喷嘴与喷嘴之间为等间距排列，起到更加均匀的蒸镀效果。
为了便于取下盖板提高生产效率，本实施例的盖板上设有把手（图中未显示）。
值得注意的是，本实施例的坩埚主体包括相互结合的内壁和外壁，内壁的导热率大于外壁的导热率，可以保证热量快速的被传递，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀的蒸发。如，外壁可以由Ti材料形成，Ti材料形成的外壁可以满足坩埚主体的强度要求，使得坩埚主体在高温条件下不变形；内壁可以由Cu、Ag和Al中的一种材料或它们的组合，Cu、Ag和Al材料的导热性好，形成的内壁可以保证热量被快速的传递，使得某个位置的温度偏差将迅速的传导到其他区域，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀的蒸发。
本实用新型提供的OLED蒸镀坩埚，通过改善坩埚盖板和坩埚主体的咬合方式，提高坩埚的气密性，解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸气泄漏问题，起到很好的气密效果；且坩埚主体包括相互结合的内壁和外壁，内壁的导热率大于外壁的导热率，可以保证热量快速的被传递，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀的蒸发。
最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对本实用新型保护范围的限制，凡在本实用新型的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体（1）和与之扣合的盖板（2），其特征在于：在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构，所述的密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽（21）、设置在坩埚主体（1）上且与盖板凹槽（21）相对应的主体凸起（11），密封结构还包括设在盖板（2）上的盖板凸起（22）和设置在坩埚主体（1）上且与盖板凸起（22）相对应的主体凹槽（12），密封结构还包括设在盖板（2）上的盖板螺丝孔（23）和设置在坩埚主体（1）上且与盖板螺丝孔（23）相对应的主体螺丝孔（13），所述盖板螺丝孔（23）和主体螺丝孔（13）内穿设有螺丝。
2.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于：所述
坩埚主体（1）为长方体结构，所述盖板（2）为长方形板。
3.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于：所述密封结构还包括设置在主体凸起（11）上的密封条。
4.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于：所述密封结构还包括设置在盖板凸起（22）上的密封条。
5.根据权利要求1所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于：所述盖板（2）上设有喷嘴（3）。
6.根据权利要求1~5任一项所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于：所述盖板（2）上设有把手。
7.根据权利要求1~5任一项所述的OLED蒸镀坩埚，其特征在于：所述坩埚主体（1）包括相互结合的内壁和外壁，所述内壁的导热率大于外壁的导热率。
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Publications (1)
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| CN207749178U true CN207749178U (zh) | 2018-08-21 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109554668A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-04-02 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法 |
| CN111676453A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-09-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀坩埚 |
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2017
- 2017-11-24 CN CN201721590427.7U patent/CN207749178U/zh active Active
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