CN109554668A - 坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法 - Google Patents

坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法，涉及显示技术领域，主要目的是用于更加方便的清理坩埚喷嘴装置上的凝结物。本发明的主要技术方案为：一种坩埚喷嘴装置，包括：喷嘴本体，所述喷嘴本体具有喷孔，所述喷孔内还套设有围绕所述喷孔内壁一周的套件，所述套件的的径向截面为多边形形状。本发明主要用于进行真空热蒸镀工艺。

Description

坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法。
背景技术
在OLED显示面板的制备工艺中，很多功能层都需要采用真空热蒸镀方式形成，具体的，首先将材料放置坩埚内，然后在真空环境下加热坩埚，使坩埚内的材料气化并从坩埚的喷最出喷出，而喷出后的气态材料遇到温度较低的玻璃板上，就能够在玻璃板上形成有机膜。
然而，材料气体在喷射过程中经过喷嘴时，如果喷嘴的温度不够高，就会使材料气体在喷嘴内进行凝结，这样就会使喷嘴的喷口尺寸越来越小，甚至会发生堵塞现象，严重影响显示面板的生产品质。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例提供一种坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法，主要目的是用于更加方便的清理坩埚喷嘴装置上的凝结物。
为达到上述目的，本发明主要提供如下技术方案：
一方面，本发明实施例提供了一种坩埚喷嘴装置，包括：
喷嘴本体，所述喷嘴本体具有喷孔，所述喷孔的径向截面为多边形形状。
可选地，所述喷孔的径向截面为锯齿圆形形状。
可选地，所述喷孔的径向截面为矩形形状。
可选地，所述喷嘴本体包括支撑部和内套部，所述支撑部具有连接通孔，所述内套部可拆卸的套设于所述连接通孔内，所述内套部围成所述喷孔。
可选地，所述内套部与所述支撑部之间具有间隙。
可选地，所述喷嘴本体上的所述喷孔为多个。
另一方面，本发明实施例还提供一种坩埚，包括：
坩埚本体和所述的坩埚喷嘴装置，所述坩埚本体固定连接于所述坩埚喷嘴装置的喷嘴本体，使所述坩埚本体与所述喷嘴本体围成与所述坩埚喷嘴装置中喷孔连通的容置腔。
可选地，所述坩埚本体与所述喷嘴本体为可拆卸连接。
另一方面，本发明实施例还提供一种清理坩埚喷嘴的方法，用于所述的坩埚喷嘴装置，包括：
调节所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中喷孔的径向截面的面积变大。
可选地，所述调节所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中喷孔的截面面积变大，包括：
若所述坩埚喷嘴装置的喷孔材质的热膨胀系数为正数时，则降低所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中喷孔的截面面积变大；
若所述坩埚喷嘴装置的喷孔材质的热膨胀系数为负数时，则提高所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中喷孔的截面面积变大。
本公开提供了一种坩埚喷嘴装置，用于更加方便的清理坩埚喷嘴装置上的凝结物，而现有技术中，坩埚中的材料气体在喷射过程中经过喷嘴时，如果喷嘴的温度不够高，就会使材料气体在喷嘴内进行凝结，这样就会使喷嘴的喷口尺寸越来越小，甚至会发生堵塞现象，严重影响显示面板的生产品质。与现有技术相比，本公开提供的坩埚喷嘴装置，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体具有喷孔，所述喷孔的径向截面为多边形形状，当喷孔内凝结有材料时，可以通过调节喷孔的温度，使喷孔的截面面积变大，进而可以使凝结在喷孔内壁上的凝结物脱落，以实现快捷方便清理凝结物的作用。
附图说明
图1为本发明一种实施例提供的坩埚喷嘴装置的结构示意图；
图2为本发明一种实施例提供的套件的结构变化状态图；
图3为本发明另一种实施例提供的坩埚喷嘴装置的结构示意图；
图4为本发明另一种实施例提供的套件的结构变化状态图；
图5为本发明一种实施例提供的坩埚的结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的坩埚喷嘴结构、坩埚以及清理喷嘴的方法其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
如图1所示，本公开提供了一种坩埚喷嘴装置，包括：
喷嘴本体1，所述喷嘴本体1具有喷孔2，所述喷孔2内还套设有围绕所述喷孔2内壁一周的套件12，所述套件12的的径向截面为多边形形状。
其中，坩埚喷嘴装置作为坩埚组成的一部分，可以分离于坩埚单独实施，坩埚喷嘴装置内具有喷孔2，喷孔2的一端连通于坩埚腔体，另一端形成喷射口，在实际应用的过程中，可以将材料放置在坩埚腔体内，通过对坩埚加热，使坩埚腔体内的材料气化，而气化后的材料可以经过喷孔2从喷射口喷射出，其中，喷射口可以设置在坩埚的顶部，这样可以减小喷射出的材料洒落。
其中，喷孔的径向截面形状可以为多边形形状，例如：三角形、四边形、六边形等，气态材料在喷射过程中能够流经喷孔2，而气体材料也同样可以凝结在喷孔2的内壁上，使喷孔2的截面面积逐渐减小，而本实施例中，喷孔2内还套设有套件12，使材料可以凝结在套件12上，通过调节套件12的温度可以清理套件12内凝结的材料，具体的：上述套件12内壁材料的热膨胀系数为正数时，提高套件12的温度，使喷孔2的内壁向内收缩，这样套件12的截面面积就会变大，在收缩过程中会使套件12内壁凝结的材料逐步脱落，然后再调节温度，使套件12恢复成原有状态，这样通过温度的调节，就可以实现了对套件12内凝结材料的清理，另外，由于套件12的截面形状为多边形形状，可以使套件12内径的尺寸变化度较大，这样可以使套件12内部上的凝结物更容易的掉落下来，提高了对喷孔2内壁清洁的便利性；上述套件12的横截面为锯齿圆形的筒状结构，也可以为矩形的筒状结构。
其中，上述套件12的内壁可以采用热膨胀系数较大的材质制成，这样可以提高喷孔2在温度调节时截面面积的变化程度，其中，套件12的材料可以选用热膨胀系数为正数的材质构成，例如：金属材料或者为复合材料等，当需要清理凝结物时，只需要降低温度，套件12的截面面积可以变大，进而使套件12上的凝结物脱落；套件12还可以采用膨胀系数为负数的材质，当需要清理凝结物时，只需要提高温度，套件12的截面面积可以变大，进而使套件12上的凝结物脱落，这样不仅可以保证了坩埚的工作温度，还可以去除凝结物，提高了加工品质。
本公开提供了一种坩埚喷嘴装置，用于更加方便的清理坩埚喷嘴装置上的凝结物，而现有技术中，坩埚中的材料气体在喷射过程中经过喷嘴时，如果喷嘴的温度不够高，就会使材料气体在喷嘴内进行凝结，这样就会使喷嘴的喷口尺寸越来越小，甚至会发生堵塞现象，严重影响显示面板的生产品质。与现有技术相比，本公开提供的坩埚喷嘴装置，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体具有喷孔，所述喷孔内还套设有围绕所述喷孔内壁一周的套件，所述套件的的径向截面为多边形形状，当套件内凝结有材料时，可以通过调节套件的温度，使套件的截面面积变大，进而可以使凝结在套件上的凝结物脱落，以实现快捷方便清理凝结物的作用。
本公开的一实施方案中，如图1、图2所示，所述套件12的径向截面为锯齿圆形形状。本实施例中，当套件12内凝结材料时，可以调节套件12内壁的温度，使套件12的内壁收缩，以便内壁上的凝结物可以脱落下来，而套件12内壁的径向截面为锯齿圆形形状，可以使套件12的进行截面的变化程度更高，有助于凝结物的脱落，例如：若套件12内壁材质的热膨胀系数为正数时，可以降低套件12的温度，使套件12的内壁收缩，进而使套件12内壁上的凝结物脱落。
本公开的一实施方案中，如图3、图4所示，所述套件12的径向截面为矩形形状。本实施例中，当套件12内凝结材料时，可以调节套件12内壁的温度，使套件12的内壁收缩，以便内壁上的凝结物可以脱落下来，而套件12内壁的径向截面为矩形形状，其加工起来更加的方便，便于生长，具体的：若套件12内壁材质的热膨胀系数为正数时，可以降低套件12的温度，使套件12的内壁收缩，进而使套件12内壁上的凝结物脱落。
本公开的一实施方案中，如图1所示，所述套件与所述喷嘴本体之间为可拆卸连接。本实施例中，当套件12发生损坏时，可以将套件12与喷嘴本体相互拆开，待将套件12修理后再将套件12安装于喷嘴本体的连接通孔内；另外，由于套件12与喷嘴本体之间可以为可拆卸连接，可以根据工艺要求更换套件12，以提供合适的喷孔2。
本公开的一实施方案中，如图1所示，所述套件的部分或全部与所述喷孔的内壁之间具有间隙。本实施例中，当套件12的温度调节时，由于套件12与支撑部11之间具有间隙，使套件12和支撑部11之间可以分别进行形变，又由于套件12的形状结构较小，套件12相对于支撑部11的形变程度更大，以便可以更好将喷孔2内壁上的凝结物清理。
本公开的一实施方案中，如图5所示，所述喷嘴本体上的喷孔2为多个，每个所述喷孔上均设有所述套件。本实施例中，每个喷射本体上设有多个喷孔2，而每条喷孔2都可以形成一个喷口，这样通过多个喷口进行喷射，可以提高坩埚喷嘴装置的喷射范围以及喷射面积，提高了喷射效率；其中，多个喷孔2的喷口可以在同一平面内，多个喷口可以沿直线方向均匀分布，即相邻两个喷口之间的距离相等，这样可以使喷射效果更加的均匀；多个喷口除了可以沿直线方向分布外，还可以呈矩阵状分布，在此不作具体限定。
另一方面，如图5所示，本公开还提供了一种坩埚，包括：
坩埚本体3和上述的坩埚喷嘴装置，所述坩埚本体3固定连接于所述坩埚喷嘴装置的喷嘴本体1，使所述坩埚本体3与所述喷嘴本体1围成与所述坩埚喷嘴装置中喷孔2连通的容置腔31。
其中，坩埚本体3上可以具有一个容置槽，当坩埚喷嘴装置固定在坩埚本体3上时，可以使坩埚喷嘴装置覆盖于容置槽的槽口并形成了容置腔31，当需要进行蒸镀工艺时，可以将材料放置于容置腔31内，然后对坩埚本体3进行加热，使容置腔31内的材料气化后，通过坩埚喷嘴装置的喷孔2喷出，以实现蒸镀作用；当部分材料气体凝结在套件12的内壁上时，可以降低套件12的温度，根据热胀冷缩的原料，使套件12的内壁收缩，以提高套件12的截面面积，这样就可以使凝结在套件12内壁上的凝结物脱落，以保证蒸镀品质。
本公开提供了一种坩埚，用于更加方便的清理坩埚喷嘴装置上的凝结物，而现有技术中，坩埚中的材料气体在喷射过程中经过喷嘴时，如果喷嘴的温度不够高，就会使材料气体在喷嘴内进行凝结，这样就会使喷嘴的喷口尺寸越来越小，甚至会发生堵塞现象，严重影响显示面板的生产品质。与现有技术相比，本公开提供的坩埚，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体具有喷孔，所述喷孔内还套设有围绕所述喷孔内壁一周的套件，所述套件的的径向截面为多边形形状，当套件内凝结有材料时，可以通过调节套件的温度，使套件的截面面积变大，进而可以使凝结在套件上的凝结物脱落，以实现快捷方便清理凝结物的作用。
本公开提供的一实施方案中，所述坩埚本体3与所述喷嘴本体1为可拆卸连接。本实施例中，当需要向容置腔31内加入材料时，可以将坩埚本体3与喷嘴本体1拆开，将材料放置在容置腔31内，然后在将坩埚本体3与喷嘴本体1固定连接，由于坩埚本体3与喷嘴本体1之间为可拆卸连接，所以可以使放料的过程更加的方便；进一步的，上述坩埚本体3上可以设有第一连接孔，而喷嘴本体1上可以设有第二连接孔，而第一连接孔和第二连接孔相对应，可以通过连接螺栓将第一连接孔和第二连接孔连接，进而使喷嘴本体1与坩埚本体3相互固定，通过本实施例的连接结构，可以使喷嘴本体1与坩埚本体3之间的拆装更加的方便快捷。
另一方面，本公开还提供了一种清理坩埚喷嘴的方法，用于所述的坩埚喷嘴装置，包括：
步骤101、调节所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中喷孔2的径向截面的面积变大。
本公开提供了一种清理坩埚喷嘴的方法，用于更加方便的清理坩埚喷嘴装置上的凝结物，而现有技术中，坩埚中的材料气体在喷射过程中经过喷嘴时，如果喷嘴的温度不够高，就会使材料气体在喷嘴内进行凝结，这样就会使喷嘴的喷口尺寸越来越小，甚至会发生堵塞现象，严重影响显示面板的生产品质。与现有技术相比，本公开提供的清理坩埚喷嘴的方法，包括：调节所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中套件12的径向截面的面积变大，进而可以使凝结在套件12内壁上的凝结物脱落，以实现快捷方便清理凝结物的作用。
进一步的，上述步骤101还包括：
步骤102，若所述坩埚喷嘴装置的套件12材质的热膨胀系数为正数时，则降低所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中套件12的截面面积变大；若所述坩埚喷嘴装置的套件12材质的热膨胀系数为负数时，则提高所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中喷孔2的截面面积变大。
其中，套件12材质的热膨胀系数为正数时，当套件12的温度升高时，套件12的体积将会增大，当套件12的温度降低时，套件12的体积将会减小，当套件12材质的热膨胀系数为负数时，当套件12的温度升高时，套件12的体积将会减小，当套件12的温度降低时，套件12的体积将会增大，根据这一特性，只有套件12的体检减小才可以提高套件12的截面面积，所以若所述坩埚喷嘴装置的套件12材质的热膨胀系数为正数时，则降低所述坩埚喷嘴装置的温度，若所述坩埚喷嘴装置的套件12材质的热膨胀系数为负数时，则提高所述坩埚喷嘴装置的温度，进而才可以保证套件12的截面面积变大，以实现套件12内壁凝结物的清理。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种坩埚喷嘴装置，其特征在于，包括：
喷嘴本体，所述喷嘴本体具有喷孔，所述喷孔内还套设有围绕所述喷孔内壁一周的套件，所述套件的的径向截面为多边形形状。
2.根据权利要求1所述的坩埚喷嘴装置，其特征在于，
所述套件的径向截面为锯齿圆形形状。
3.根据权利要求1所述的坩埚喷嘴装置，其特征在于，
所述套件的径向截面为矩形形状。
4.根据权利要求1所述的坩埚喷嘴装置，其特征在于，
所述套件的部分或全部与所述喷孔的内壁之间具有间隙。
5.根据权利要求1所述的坩埚喷嘴装置，其特征在于，
所述套件与所述喷嘴本体之间为可拆卸连接。
6.根据权利要求1所述的坩埚喷嘴装置，其特征在于，
所述喷嘴本体上的喷孔为多个，每个所述喷孔上均设有所述套件。
7.一种坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体和如权利要求1至6中任一项所述的坩埚喷嘴装置，所述坩埚本体固定连接于所述坩埚喷嘴装置的喷嘴本体，使所述坩埚本体与所述喷嘴本体围成与所述坩埚喷嘴装置中喷孔连通的容置腔。
8.根据权利要求7所述的坩埚，其特征在于，
所述坩埚本体与所述喷嘴本体为可拆卸连接。
9.一种清理坩埚喷嘴的方法，用于如权利要求1至6中任一项所述的坩埚喷嘴装置，其特征在于，包括：
调节所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中套件的径向截面的面积变大。
10.根据权利要求9所述的清理坩埚喷嘴的方法，其特征在于，所述调节所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中喷孔的截面面积变大，包括：
若所述坩埚喷嘴装置的套件材质的热膨胀系数为正数时，则降低所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中套件的截面面积变大；
若所述坩埚喷嘴装置的套件材质的热膨胀系数为负数时，则提高所述坩埚喷嘴装置的温度，使所述坩埚喷嘴装置中套件的截面面积变大。
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