CN207596942U - 蒸镀装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了蒸镀装置，该蒸镀装置包括：至少两个蒸镀坩埚；气流混和部件，设置在至少两个蒸镀坩埚的上方，且气流混和部件包括：气流阻隔部，设置在至少两个蒸镀坩埚的上方；分散板，设置在气流阻隔部的上方；以及第一喷嘴，设置在分散板的上方。本实用新型所提出的蒸镀装置，其两个及以上的蒸镀坩埚上方新增了由气流阻隔部、分散板和第一喷嘴组成的气流混和部件，当不同材料从蒸发坩埚中蒸发后，可先在气流混和部件中混合均匀后再沉积到基板表面，如此，在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，从而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示技术制造领域，具体的，本实用新型涉及蒸镀装置。
背景技术
目前，有机发光二极管(OLED)器件主要通过蒸镀设备制作，特别是大世代线有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)面板厂，多采用线性蒸发源蒸发镀膜形成OLED器件结构。其中，常见的线性蒸发源的横剖面结构示意图和蒸发效果示意图可参考图1。
具体的，如图1所示，不同的待蒸发材料分别存在不同的坩埚中，具体例如主材1(Host1)、掺杂物(Dopant)和主材2(Host 2)，在坩埚受热时各种待蒸发材料在不同的温度下变为气态(由固态直接升华为气态，或者由固态先转变成液态再汽化成气态)，然后再由坩埚顶部的喷嘴(Nozzle)喷出，并用角度限制板对蒸发气流的喷射角度进行限制，从而使3种材料混合在一起，并最终在蒸发区域沉积到基板表面形成材料膜层。
但是，由于3种不同材料各自的蒸发角度不同，容易导致蒸发区域不同位置的3种材料的混合比不均匀，而3种材料在蒸发区域的具体浓度分布可参考图2。而这种现象会降低制作的OLED器件的效率，影响良品率。
因此，现阶段的蒸镀设备仍有待改进。
实用新型内容
本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
本实用新型是基于发明人的下列发现而完成的：
本发明人在研究过程中发现，可在蒸发坩埚的顶部增加一个由气流阻隔部、分散板和第一喷嘴组成的气流混和部件，当两个及以上的蒸发坩埚中的不同材料蒸发后，可先在气流混和部件中混合均匀后再沉积到基板表面，如此，在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，从而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。
有鉴于此，本实用新型的一个目的在于提出一种提高多种材料蒸镀的混合均匀性或者保证制作的OLED器件效率的蒸镀装置。
在本实用新型的第一方面，本实用新型提出了一种蒸镀装置。
根据本实用新型的实施例，所述蒸镀装置包括：至少两个蒸镀坩埚；气流混和部件，所述气流混和部件设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方，且所述气流混和部件包括：气流阻隔部，所述气流阻隔部设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方；分散板，所述分散板设置在所述气流阻隔部的上方；以及第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述分散板的上方。
发明人意外地发现，采用本实用新型实施例的蒸镀装置，其两个及以上的蒸镀坩埚上方新增了由气流阻隔部、分散板和第一喷嘴组成的气流混和部件，当不同材料从蒸发坩埚中蒸发后，可先在气流混和部件中混合均匀后再沉积到基板表面，如此，在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，从而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。
另外，根据本实用新型上述实施例的蒸镀装置，还可以具有如下附加的技术特征：
根据本实用新型的实施例，所述蒸镀坩埚的上表面设置有第二喷嘴，且所述气流阻隔部的至少一部分设置在至少两个所述第二喷嘴之间。
根据本实用新型的实施例，所述分散板包括：第一子分散板，所述第一子分散板设置在所述气流阻隔部的上方，且设置有多个第一通孔；第二子分散板，所述第二子分散板设置在所述第一子分散板的上方，且设置有多个第二通孔。
根据本实用新型的实施例，所述多个第一通孔在所述第一子分散板上的分布位置与所述多个第二通孔在所述第二子分散板上的分布位置不同。
根据本实用新型的实施例，所述气流混和部件进一步包括：角度限制板，所述角度限制板设置在所述第一喷嘴的上方。
根据本实用新型的实施例，所述气流混和部件进一步包括：加热器，所述加热器设置在所述气流阻隔部或所述分散板的外侧。
根据本实用新型的实施例，所述气流混和部件进一步包括：结晶探测器，所述结晶探测器设置在所述第二喷嘴和所述分散板之间。
根据本实用新型的实施例，所述至少两个蒸镀坩埚的个数为3个，且用于蒸镀不同材料的所述三个蒸镀坩埚并排设置。
根据本实用新型的实施例，所述蒸镀坩埚为线性蒸发源，且包括多个第二喷嘴。
根据本实用新型的实施例，所述气流混和部件包括多个第一喷嘴。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是现有技术的线性蒸发源的横剖面结构示意图和蒸发效果示意图；
图2是现有技术的三个并排设置的线性蒸发源的蒸发混合曲线；
图3是本实用新型一个实施例的蒸镀装置的横剖面结构示意图；
图4是本实用新型另一个实施例的蒸镀装置的横剖面结构示意图和蒸发效果示意图；
图5是本实用新型另一个实施例的蒸镀装置的纵剖面结构示意图和气流混合示意图。
附图标记
100 蒸镀坩埚
110 第二喷嘴
200 气流混和部件
210 气流阻隔部
220 分散板
221 第一子分散板
2211 第一通孔
222 第二子分散板
2221 第二通孔
230 第一喷嘴
240 角度限制板
250 结晶探测器
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，本技术领域人员会理解，下面实施例旨在用于解释本实用新型，而不应视为对本实用新型的限制。除非特别说明，在下面实施例中没有明确描述具体技术或条件的，本领域技术人员可以按照本领域内的常用的技术或条件或按照产品说明书进行。
在本实用新型的一个方面，本实用新型提出了一种蒸镀装置。参照图3～5，对本实用新型的蒸镀装置进行详细的描述。
根据本实用新型的实施例，参照图3，该蒸镀装置包括：至少两个蒸镀坩埚100和气流混和部件200；其中，气流混和部件200设置在至少两个蒸镀坩埚100的上方，且气流混和部件200可包括气流阻隔部210、分散板220以及第一喷嘴230；气流阻隔部210设置在至少两个蒸镀坩埚100的上方，分散板220设置在气流阻隔部210的上方，而第一喷嘴230设置在分散板220的上方。需要说明的是，本文中所有的“上”具体是指沿着蒸镀的蒸发方向，“下”具体是指背离蒸镀蒸发方向的方向，而“上方”具体是指蒸镀过程中靠近阵列基板的一侧。
发明人经过研究发现，新增气流混和部件200后，从至少两个蒸镀坩埚100中蒸发出的不同材料，先沿着气流阻隔部210向上继续蒸发，在分散板220中充分地进行混合后，再从第一喷嘴230蒸发到阵列基板的蒸发区域。如此，不同材料在气流混和部件200中混合均匀后再沉积到基板表面，从而可使在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，进而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。
根据本实用新型的实施例，蒸镀坩埚100的具体类型不受特别的限制，本领域常用的蒸发源类型均可，只要该类型的蒸镀坩埚100能将待蒸发材料转变成气态即可，本领域技术人员可根据待蒸发材料的具体种类和蒸发区域的具体面积进行相应地选择。在本实用新型的一些实施例中，蒸镀坩埚100可以为线性蒸发源，如此，可使该蒸镀设备更适合于蒸镀制作大尺寸OLED器件。
根据本实用新型的实施例，蒸镀坩埚100的具体结构也不受特别的限制，本领域常用的蒸发源结构均可，只要该结构的蒸镀坩埚100能提供具有一定蒸发方向的蒸发材料即可，本领域技术人员可根据蒸发区域的具体面积进行相应地设计。本实用新型的一些实施例中，参照图4，蒸镀坩埚100的上表面设置有第二喷嘴110，且气流阻隔部210的至少一部分设置在至少两个第二喷嘴110之间。如此，当蒸发材料从不同方向的第二喷嘴110中喷出后，仍可保持相同的向上的蒸发方向，且气流阻隔部210可防止不同蒸镀坩埚的蒸发速率的相互干扰。
根据本实用新型的实施例，气流阻隔部210的具体高度不受特别的限制，本领域技术人员可根据不同蒸发材料的具体蒸发速率进行相应地调整，在此不再赘述。需要说明的是，本文中所有“高度”具体是指沿上下方向上的长度。
根据本实用新型的实施例，分散板220的具体结构不受特别的限制，只要该结构的分散板220能使从两个或以上的蒸镀坩埚100中蒸发出的蒸发材料混合均匀即可，本领域技术人员可根据不同的蒸发材料进行相应的设计。在本实用新型的一些实施例中，参照图4，分散板220可包括第一子分散板221和第二子分散板222；其中，第一子分散板221设置在气流阻隔部210的上方，第二子分散板222设置在第一子分散板221的上方；且参照图5，第一子分散板221设置有多个第一通孔2211，而第二子分散板222设置有多个第二通孔2221。如此，在两个子分散板之间的空间可促进不同蒸发材料的混合，从而使从第一喷嘴230喷出的混合蒸气的均匀性更好。需要说明的是，本文中所有“多个”具体是指两个或两个以上的整数个。
根据本实用新型的实施例，多个第一通孔和多个第二通孔的具体排布方式，都不受特别的限制，本领域技术人员可根据子分散板的具体面积和第一喷嘴230的具体位置进行相应地设计。在本实用新型的一些实施例中，参照图5，多个第一通孔2211在第一子分散板221上的分布位置与多个第二通孔2221在第二子分散板222上的分布位置可以不同，如此，通过第一子分散板221上不同位置的第一通孔2211的不同蒸发材料，其气流(图中虚线箭头显示其流动路线)在两个子分散板之间的空间进行混合后，才能穿过第二子分散板222上的第二通孔2221，从而可进一步促进不同蒸发材料的混合效果，可使从第一喷嘴230喷出的混合蒸气的均匀性更加好。
根据本实用新型的实施例，参照图4，气流混和部件200可进一步包括角度限制板240，该角度限制板240设置在第一喷嘴230的上方。如此，可通过对角度限制板的设计和调整，对该蒸镀设备的蒸发角度进行相应地限制。
根据本实用新型的实施例，气流混和部件200还可进一步包括加热器，而该加热器可以设置在气流阻隔部210或分散板220的外侧。如此，通过加热器可以给整个气流混和部件200进行加热，可保证蒸发材料不会在气流混和部件200中沉积，从而不会降低蒸发材料的使用率。
根据本实用新型的实施例，参照图5，气流混和部件200还可进一步包括结晶探测器250，且结晶探测器250设置在第二喷嘴110和分散板221之间。如此，在气流混和部件200的侧面安装结晶探测器250，可用来监控各个蒸镀坩埚的蒸发速率。在本实用新型的一些实施例中，结晶探测器250到蒸镀坩埚100的距离小于气流阻隔部的高度，如此，可使结晶探测器250更准确地获得单个蒸镀坩埚100的蒸发速率，而不会受到其他蒸镀坩埚100的相互干扰。
根据本实用新型的实施例，所述至少两个蒸镀坩埚100的具体个数不受特别的限制，本领域技术人员可根据待蒸镀形成的膜材组成进行相应地设计和调整。在本实用新型的一些实施例中，所述至少两个蒸镀坩埚100的个数可以为3个，且用于蒸镀不同材料的三个蒸镀坩埚100可以是并排设置。如此，对于常见的OLED器件的层结构，可在3个蒸镀坩埚中分别储存主材(Host 1)、掺杂物(Dopant)和主材2(Host 2)，从而可通过该蒸镀装置制备出混合效果更均匀的OLED器件。
根据本实用新型的实施例，参照图5，每个线性蒸发源的蒸镀坩埚100可以设置有多个第二喷嘴110，且多个第二喷嘴110的具体个数不受特别的限制，本领域技术人员可根据线性蒸发源的具体长度以及每个第二喷嘴110的蒸发面积进行相应地设计，在此不再赘述。
根据本实用新型的实施例，参照图5，该气流混和部件200还可包括多个第一喷嘴110，如此，对于线性蒸发源的蒸镀坩埚100，通过气流混和部件200的充分混合后，再从多个第一喷嘴110喷至阵列基板的蒸镀效果更好，从而可获得大尺寸的蒸镀产品。
综上所述，根据本实用新型的实施例，本实用新型提出了一种蒸镀装置，其两个及以上的蒸镀坩埚上方新增了由气流阻隔部、分散板和第一喷嘴组成的气流混和部件，当不同材料从蒸发坩埚中蒸发后，可先在气流混和部件中混合均匀后再沉积到基板表面，如此，在基板表面蒸镀形成的混合材料的比例相同，从而可保证制作的OLED器件的效率和良品率。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (10)
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：
至少两个蒸镀坩埚；
气流混和部件，所述气流混和部件设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方，且所述气流混和部件包括：
气流阻隔部，所述气流阻隔部设置在所述至少两个蒸镀坩埚的上方；
分散板，所述分散板设置在所述气流阻隔部的上方；以及
第一喷嘴，所述第一喷嘴设置在所述分散板的上方。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀坩埚的上表面设置有第二喷嘴，且所述气流阻隔部的至少一部分设置在至少两个所述第二喷嘴之间。
3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述分散板包括：
第一子分散板，所述第一子分散板设置在所述气流阻隔部的上方，且设置有多个第一通孔；
第二子分散板，所述第二子分散板设置在所述第一子分散板的上方，且设置有多个第二通孔。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个第一通孔在所述第一子分散板上的分布位置与所述多个第二通孔在所述第二子分散板上的分布位置不同。
5.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述气流混和部件进一步包括：
角度限制板，所述角度限制板设置在所述第一喷嘴的上方。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述气流混和部件进一步包括：
加热器，所述加热器设置在所述气流阻隔部或所述分散板的外侧。
7.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述气流混和部件进一步包括：
结晶探测器，所述结晶探测器设置在所述第二喷嘴和所述分散板之间。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述至少两个蒸镀坩埚的个数为3个，且用于蒸镀不同材料的所述三个蒸镀坩埚并排设置。
9.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀坩埚为线性蒸发源，且包括多个第二喷嘴。
10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述气流混和部件包括多个第一喷嘴。
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