KR20140055721A - 증발원 및 이를 구비한 증착장치 - Google Patents

증발원 및 이를 구비한 증착장치 Download PDF

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KR20140055721A
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Abstract

증발원 및 이를 구비한 증착장치가 개시된다. 기판에 기화된 유기물이 증착되도록 상기 기화된 유기물을 분출하는 증발원으로서, 외측확산관과; 상기 외측확산관의 내부에 길이 방향으로 배치되는 내측확산관과; 일단이 상기 외측확산관과 연통되는 외측이송관과; 일단이 상기 외측확산관을 관통하여 상기 내측확산관과 연통되는 내측이송관과; 상기 외측확산관과 연통되는 외측노즐관 및 상기 외측노즐관의 내부에 위치되며 상기 내측확산관과 연통되는 내측노즐관을 포함하는 노즐부와; 상기 외측이송관의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제1 유기물을 분출하는 제1 도가니; 및 상기 내측이송관의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제2 유기물을 분출하는 제2 도가니를 포함하는 증발원이 제공된다.

Description

증발원 및 이를 구비한 증착장치{Evaporation source and Apparatus for deposition having the same}
본 발명은 증발원 및 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 호스트 유기물과 도펀트의 유기물을 균질하게 섞어 기판에 증착될 수 있도록 하는 증발원 및 증착장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착될 수 있다.
진공열증착방법은 진공의 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 유기물이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
한편, 기판에 호스트 유기물과 도펀트 유기물을 동시에 증착하는 경우도 있는데, 이는 기판에 증착되는 호스트 유기물이 발광하고, 그 발광하는 빛을 도펀트 유기물이 흡수하여 다시 발광함으로써 다양한 색상이 구현되는 원리를 이용하기 위함이다.
진공열증착방법에 관한 종래의 기술로는, 대한민국 공개특허공보 2004-0043360 "다증발원을 이용한 동시증착에서 균일하게 혼합된 박막의 증착을 위한 증발 영역조절 장치"를 들 수 있는데, 여기에서는 " 유기 전계 발광소자의 도핑 층(layer)의 제작에 필요한 증발원에 있어서, 도핑에 필요한 물질을 증착하는 도펀트(dopant) 물질과 호스트(host) 물질이 기판의 동일 영역에 도달하도록 하고, 여러 개의 증발원에서 토출된 물질들이 서로 상호간섭을 일으키지 않도록 하기 위한 기술"이 소개되어 있다.
그러나, 상기 기술에 의하면, 기화된 호스트 유기물과 도펀트 유기물이 방출되는 노즐이 서로 이격되어 있어 호스트 유기물과 도펀트 유기물을 정밀하게 섞는 것이 어렵고, 호스트 유기물과 도펀트 유기물이 기판의 동일 영역에 도달하도록 제어하는 것이 현실적으로 매우 어렵다.
이에 따라 기판의 제조공정과정에서 불량율이 높고, 균질하게 섞으면서 증착하기 위해 많은 제어변수를 고려해야 하는 문제가 있다.
대한민국 공개특허공보 제2004-0043360호(2004.05.24)
본 발명은 물리적으로 호스트 유기물과 도펀트의 유기물을 균질하게 섞어 기판에 증착될 수 있도록 하는 증발원 및 이를 구비한 증착장치가 제공된다.
또한, 호스트 유기물과 도펀트 유기물의 균질도를 온도 분위기를 이용하여 제어할 수 있는 증발원 및 이를 구비한 증착장치가 제공된다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판에 기화된 유기물이 증착되도록 상기 기화된 유기물을 분출하는 증발원으로서, 외측확산관과; 상기 외측확산관의 내부에 길이 방향으로 배치되는 내측확산관과; 일단이 상기 외측확산관과 연통되는 외측이송관과; 일단이 상기 외측확산관을 관통하여 상기 내측확산관과 연통되는 내측이송관과; 상기 외측확산관과 연통되는 외측노즐관 및 상기 외측노즐관의 내부에 위치되며 상기 내측확산관과 연통되는 내측노즐관을 포함하는 노즐부와; 상기 외측이송관의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제1 유기물을 분출하는 제1 도가니; 및 상기 내측이송관의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제2 유기물을 분출하는 제2 도가니를 포함하는 증발원이 제공된다.
독립적으로 해당 지점의 분위기 온도가 제어되도록 상기 외측확산관, 상기 내측확산관, 상기 외측이송관 및 상기 내측이송관 각각에 마련되는 복수의 가열부를 더 포함할 수 있다.
상기 복수의 가열부는, 상기 외측노즐관 및 상기 내측노즐관 각각에 마련되는 가열부를 포함할 수 있다.
상기 외측확산관과 상기 내측확산관은 상기 기판에 대향하여 수평하게 배치되고, 상기 외측이송관과 상기 내측이송관은 상기 외측확산관과 상기 내측확산관의 하방에 각각 배치되며, 상기 외측노즐관과 상기 내측노즐관은 상기 외측확산관과 상기 내측확산관의 상방에 각각 배치될 수 있다.
상기 가열부는, 상기 외측이송관, 상기 외측확산관, 상기 외측노즐관의 순서로 분위기 온도가 높아지도록 가열하고, 상기 내측이송관, 상기 내측확산관, 상기 내측노즐관의 순서로 분위기 온도가 높아지도록 가열할 수 있다.
상기 가열부는, 상기 제1 도가니, 상기 외측이송관, 상기 외측확산관으로 구성된 유로의 온도가 상기 제2 도가니, 상기 내측이송관, 상기 내측확산관으로 구성된 유로의 온도보다 높아지도록 가열할 수 있다.
상기 외측확산관과 상기 내측확산관의 단부는 기밀되며, 기밀된 상기 단부에 각각 상기 외측확산관과 상기 내측확산관에 대응되는 센싱구가 형성될 수 있다.
상기 제1 도가니에서는 호스트(HOST) 유기물이 기화되며, 상기 제2 도가니에서는 도펀트(DOPANT) 유기물이 기화될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 유기 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 상기 기판이 내부에 안착되는 진공 챔버와; 상기 기판에 대향하여 배치되는 상기 증발원을 포함하는 증착장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따른 증발원 및 증착장치는, 물리적으로 호스트 유기물과 도펀트의 유기물을 균질하게 섞어 기판에 증착될 수 있도록 한다.
또한, 호스트 유기물과 도펀트 유기물의 균질도를 온도 분위기를 이용하여 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 단면도.
도 3은 도 2의 A-A' 선을 따라 절개한 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 구비한 증착장치를 설명하기 위한 도면.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 증발원 및 이를 구비한 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 단면도이며, 도 3은 도 2의 A-A'선에 따라 절개한 단면도이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원을 구비한 증착장치를 설명하기 위한 도면이다. 도 1 내지 도 4에는, 외측확산관(100), 외측이송관(120), 제1 도가니(140), 내측확산관(200), 내측이송관(220), 제2 도가니(240), 노즐부(300), 외측노즐관(310), 내측노즐관(320), 센싱구(101, 201), 가열히터(142, 242), 열선(501, 502, 503, 504), 진공챔버(600), 기판(610), 안착부(620), 센싱부(630)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 증발원은, 기판(610)에 기화된 유기물이 증착되도록 상기 기화된 유기물을 분출하는 증발원으로서, 외측확산관(100)과; 상기 외측확산관(100)의 내부에 길이 방향으로 배치되는 내측확산관(200)과; 일단이 상기 외측확산관(100)과 연통되는 외측이송관(120)과; 일단이 상기 외측확산관(100)을 관통하여 상기 내측확산관(200)과 연통되는 내측이송관(220)과; 상기 외측확산관(100)과 연통되는 외측노즐관(310) 및 상기 외측노즐관(310)의 내부에 위치되며 상기 내측확산관(200)과 연통되는 내측노즐관(320)을 포함하는 노즐부(300)와; 상기 외측이송관(120)의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제1 유기물을 분출하는 제1 도가니(140); 및 상기 내측이송관(220)의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제2 유기물을 분출하는 제2 도가니(240)를 포함하는 증발원을 포함한다.
먼저, 제1 도가니(140)와 제2도가니(240)에서는 서로 다른 종류의 유기물이 가열되어 기상으로 기화 또는 승화되거나, 동일한 종류의 유기물이 가열되어 기상으로 기화 또는 승화될 수 있다.
각각의 도가니(140, 240)에는 유기물을 가열하기 위한 가열히터(142, 242)가 마련되는데, 서로 다른 종류의 유기물을 가열하여 기상으로 기화 또는 승화시키는 경우, 각 가열히터(142, 242)에서는 서로 다른 온도로 운전이 되도록 할 수 있다. 일 예로, 제1 도가니(140)에서는 호스트(HOST) 유기물이 기화되고, 제2도가니(240)에서는 도펀트(DOPANT) 유기물이 기화되도록 서로 기화점이 다른 호스트 유기물과 도펀트의 유기물을 최적의 온도로 가열하여 기화된 두 유기물의 확산속도를 조절함으로써 기판(610)에 원하는 농도로 증착이 되도록 할 수 있다.
제1 도가니(140)의 상단에는 외측이송관(120)이 연결되고, 제2도가니(240)의 상단에는 내측이송관(220)이 연결된다.
외측이송관(120) 및 내측이송관(220)의 상단에는 각각 외측확산관(100)과 내측확산관(200)이 연결된다. 이 때, 외측확산관(100) 및 외측확산관(100)의 내부에 길이 방향으로 배치되는 내측확산관(200)은 다중관 형식으로 구성된다. 이에 따라, 외측확산관(100)의 내부에 배치되는 내측확산관(200)과 내측이송관(220)이 서로 연결되기 위하여 내측이송관(220)은 외측확산관(100)을 관통하여 일단이 내측확산관(200)에 연결된다.
외측이송관(120)은 일단이 외측확산관(100)과 연통되며 타단이 제1 도가니(140)와 연결되어, 제1 도가니(140)에서 분출되는 기화된 제1 유기물을 외측확산관(100)에 공급하도록 한다.
또한 내측이송관(220)은 일단이 상기 외측확산관(100)을 관통하여 내측확산관(200)과 연통되고 타단이 제2도가니(240)와 연결되어, 제2 도가니(240)에서 분출되는 기화된 제2 유기물을 내측확산관(200)에 공급하도록 한다.
외측확산관(100) 및 내측확산관(200)에는 노즐부(300)가 마련되는데, 노즐부(300)는, 외측확산관(100)과 연통되는 외측노즐관(310) 및 외측노즐관(310)의 내부에 위치되며 내측확산관(200)과 연통되는 내측노즐관(320)으로 구성되어 다중관 형태를 갖는다.
이와 같이 노즐부(300)가 다중관 형태로 구성됨으로써 동일한 지점에서 기화된 제1 유기물 및 제2 유기물이 분출되기 때문에 분출 후 기판(610) 도달 과정에서 제1 유기물 및 제2 유기물이 서로 균일하게 섞이게 된다. 또한, 외측노즐관(310) 및 내측노즐관(320)에서의 기판(610)과의 거리가 거의 동일하기 때문에 기화된 제1 유기물 및 제2 유기물이 동일 영역에 도달하여 균일한 유기 박막을 얻을 수 있다.
즉, 제1 유기물과 제2 유기물은 서로의 독립된 경로를 따라 기화되어 확산된 후 기판(610)에 증착될 때에는 한 지점에서 균질하게 섞이며 분출되어 기판(610) 상에 증착되도록 하는 것이다.
복수의 가열부(500)는 외측확산관(100), 내측확산관(200), 외측이송관(120) 및 내측이송관(220) 각각에 마련되어 독립적으로 해당 지점의 분위기 온도가 제어되도록 함으로써 유기물별로 원하는 확산의 속도와 입자의 상태를 제어할 수 있도록 한다. 그리고, 가열부(500)는, 외측노즐관(310) 및 내측노즐관(320) 각각에도 마련될 수 있다.
구체적으로, 상기 외측확산관(100)과 내측확산관(200)은 기판(610)을 따라 수평하게 배치되며, 외측이송관(120)과 내측이송관(220)은 외측확산관(100)과 내측확산관(200)의 하방에 배치되고, 노즐부(300)는 외측확산관(100)과 내측확산관(200)의 상방에 배치되도록 함으로써 기화된 유기물이 자연스럽게 상승되며 확산되고 노즐부(300)을 통해 토출되어 기판(610)에 증착되도록 한다.
가열부(500)는 외측이송관(120), 외측확산관(100), 외측노즐관(310)의 순서로 분위기 온도가 높아지도록 가열하고, 내측이송관(220), 내측확산관(200), 내측노즐관(320)의 순서로 분위기 온도가 높아지도록 가열함으로써, 기화된 유기물이 위로 올라갈수록 점차 온도가 높아져 자연스럽게 확산되며 상방으로 충분히 공급되도록 할 수 있다.
본 실시예에 따른 증발원은 다소 복잡한 유로를 형성하는바, 이러한 온도의 협조제어를 통해 유기물이 자연스럽게 기화되어 상승되며 증착되도록 하는 것이 매우 중요하다.
한편, 가열부(500)는 외측이송관(120)이 제1 도가니(140)보다 온도가 높고, 내측이송관(220)이 제2 도가니(240)보다 온도가 높게 가열할 수 있다. 즉, 각 도가니(140, 240)에 마련된 별도의 가열히터(142, 242)와도 협조제어를 함으로써 기화된 유기물이 자연스럽게 상방으로 이송될 수 있도록 한다.
결국, 가열부(500)는 '제1 도가니(140)-외측이송관(120)-외측확산관(100)'으로 구성된 유로(a)의 온도가 '제2 도가니(240)-내측이송관(220)-내측확산관(200)'으로 구성된 유로(b)의 온도보다 높아지도록 가열하도록 함으로써 서로 종류가 다른 유기물의 확산속도와 입자상태를 원하는 대로 제어할 수 있다.
호스트 유기물이 도펀트 유기물보다 기화점이 높은 경우, '제1 도가니(140)-외측이송관(120)-외측확산관(100)'으로 구성된 유로(a)의 온도가 '제2 도가니(240)-내측이송관(220)-내측확산관(200)'으로 구성된 유로(b)의 온도보다 높아지도록 가열하는 것이고, 또한 도가니(140, 240), 이송관(120, 220), 확산관(100, 200), 노즐부(300)의 순서로 분위기 온도가 높아지도록 가열함으로써 유기물이 자연스럽게 상승되며 확산되고 증착되도록 하는 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 증착장치의 A-A선을 따라 절개한 단면도로서, 도시된 바와 같이 가열부(500)는 외측확산관(100), 내측확산관(200), 외측이송관(120), 내측이송관(220) 및 노즐부(300)에 각각 독립적으로 온도 제어가 이루어지도록 마련된 열선일 수 있다.
즉, 도가니(140)측에는 별도의 가열히터(142)가 마련되고, 외측확산관(100), 내측확산관(200), 이송관(120), 노즐부(300)에 각각 열선(501, 502, 503, 504)이 구비됨으로써 각각의 열선의 온도제어를 통해 각 지점에서의 기화된 유기물의 확산속도를 결정할 수 있게 된다. 특히, 이러한 확산속도의 제어는 유기물의 종류에 따라 달리 정할 수 있다는 점이 매우 큰 장점이라고 할 수 있다.
그리고 노즐부(300)에서도 마찬가지로 외측노즐관(310)과 내측노즐관(320)의 열선(504, 505)의 온도를 달리함으로써 최종적인 기화의 직전까지 확산속도를 제어하는 것도 가능하다.
상기와 같은 온도제어를 통해 제1 유기물과 제2 유기물을 서로 최적의 조건에서 기화 또는 승화시킨 후 확산의 속도와 입자의 상태를 원하는 대로 만들어내고 나중에 이를 한번에 섞으며 원하는 비율과 상태로 기판(610)에 증착할 수 있게 되는 것이다.
따라서, 이러한 과정을 통해 온도의 조절만으로도 쉽게 균질한 증착상태를 구현할 수 있게 됨으로써 공정 불량도가 현저히 떨어지고 제어과정이 비교적 용이하게 이루어지며, 대상 유기물의 종류가 변화하더라도 쉽게 적응이 가능하게 된 것이다.
한편, 외측확산관(100)과 내측확산관(200)의 단부는 기밀될 수 있으며, 기밀된 단부에 각각 외측확산관(100)과 내측확산관(200)에 연통되는 센싱구(101, 201)가 형성될 수 있다. 이러한 센싱구(101, 201)을 통하여 외측확산관(100)과 내측확산관(200)에서 분출되는 제1 유기물과 제2 유기물의 확산속도를 쉽게 측정할 수 있게 한다. 그리고, 노즐부(300)는 외측확산관(100)과 내측확산관(200)의 상방에서 길이방향으로 복수 개 배치되도록 함으로써 기판(610) 상에 유기물이 증착되는 지점을 다수 형성하여 공정효율을 상승시키는 것도 가능하다.
도 4는 본 실시예에 따른 증발원을 구비하는 증착장치를 설명하기 위한 도면으로서, 증착장치는, 기판(610)이 내부에 안착되는 진공챔버(600)와, 기판(610)에 대향하여 배치되는 증발원을 포함한다.
진공챔버(600)의 내부는 기화된 유기물의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(610)이 진공챔버(600)의 안착부(620)에 의해 안착된다. 기판(610)의 대향하는 위치에는 본 실시예에 따른 증발원이 배치되고 가열히터(142, 242)의 도가니의 가열에 따라 유기물의 증착이 이루어진다.
제1 도가니(140)에 호스트 유기물이 수용되고, 제2 도가니(240)에 도펀트 유기물이 수용된 상태에서 각 도가니에 연결된 가열히터(142, 242)에 의해 각 도가니(140, 240)를 가열하면, 일정 온도에서 호스트 유기물 및 도펀트 유기물이 기화되면서 도가니에서 분출된다.
가열히터(142, 242)에 의한 지속적인 가열로 각 도가니(140, 240)의 온도가 각 유기물의 기화점 또는 승화점에 도달하면 각 유기물이 기화 또는 승화되면서 호스트 유기물 및 도펀트 유기물이 각 도가니에서 분출된다.
제1 도가니(140)에서 분출되는 호스트 유기물은 외측이송관(120), 외측확산관(100)을 거쳐 외측노즐관(310)으로 분출되고, 이와 동시에 제2 도가니(240)에서 분출되는 도펀트 유기물은 내측이송관(220), 내측확산관(200)을 거쳐 외측노즐관(310)의 내부에 있는 내측노즐관(320)에서 분출된다. 외측노즐관(310)과 내측노즐관(320)에서 분출되는 호스트 유기물과 도펀트 유기물은 기판(610)으로의 도달과정에서 서로 섞여 기판(610)에 증착된다.
외측확산관(100)과 내측확산관(200)에 대응되는 센싱구(101, 201)에서 각각 분출되는 호스트 유기물과 도펀트 유기물은 센싱구(101, 201)에 대향하여 배치되는 센싱부(630)를 통해 지속적으로 모니터링하면서 기판(610)에 대한 호스트 유기물 및 도펀트 유기물의 증착속도를 측정하게 된다.
본 실시예에 따른 증발원은, 서로 다른 증발입자를 동시에 증착하는 경우 각 증발입자에 대한 증발입자의 양을 정밀하게 측정할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
전술한 실시예 외의 많은 실시예들이 본 발명의 특허청구범위 내에 존재한다.
100 : 외측확산관 120 : 외측이송관
200 : 내측확산관 220 : 내측이송관
300 : 노즐부 310 : 외측노즐관
320 : 내측노즐관 500 : 가열부

Claims (9)

  1. 기판에 기화된 유기물이 증착되도록 상기 기화된 유기물을 분출하는 증발원으로서,
    외측확산관과;
    상기 외측확산관의 내부에 길이 방향으로 배치되는 내측확산관과;
    일단이 상기 외측확산관과 연통되는 외측이송관과;
    일단이 상기 외측확산관을 관통하여 상기 내측확산관과 연통되는 내측이송관과;
    상기 외측확산관과 연통되는 외측노즐관 및 상기 외측노즐관의 내부에 위치되며 상기 내측확산관과 연통되는 내측노즐관을 포함하는 노즐부와;
    상기 외측이송관의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제1 유기물을 분출하는 제1 도가니; 및
    상기 내측이송관의 타단에 연결되며, 가열에 따라 기화된 제2 유기물을 분출하는 제2 도가니를 포함하는 증발원.
  2. 제1항에 있어서,
    독립적으로 해당 지점의 분위기 온도가 제어되도록 상기 외측확산관, 상기 내측확산관, 상기 외측이송관 및 상기 내측이송관 각각에 마련되는 복수의 가열부를 더 포함하는, 증발원
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 가열부는,
    상기 외측노즐관 및 상기 내측노즐관 각각에 마련되는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 증발원.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 외측확산관과 상기 내측확산관은 상기 기판에 대향하여 수평하게 배치되고,
    상기 외측이송관과 상기 내측이송관은 상기 외측확산관과 상기 내측확산관의 하방에 각각 배치되며,
    상기 외측노즐관과 상기 내측노즐관은 상기 외측확산관과 상기 내측확산관의 상방에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 증발원.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 가열부는,
    상기 외측이송관, 상기 외측확산관, 상기 외측노즐관의 순서로 분위기 온도가 높아지도록 가열하고,
    상기 내측이송관, 상기 내측확산관, 상기 내측노즐관의 순서로 분위기 온도가 높아지도록 가열하는 것을 특징으로 하는, 증발원.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 가열부는,
    상기 제1 도가니, 상기 외측이송관, 상기 외측확산관으로 구성된 유로의 온도가 상기 제2 도가니, 상기 내측이송관, 상기 내측확산관으로 구성된 유로의 온도보다 높아지도록 가열하는 것을 특징으로 하는 증발원.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 외측확산관과 상기 내측확산관의 단부는 기밀되며, 기밀된 상기 단부에 각각 상기 외측확산관과 상기 내측확산관에 대응되는 센싱구가 형성되는 것을 특징으로 하는 증발원.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 도가니에서는 호스트(HOST) 유기물이 기화되며, 상기 제2 도가니에서는 도펀트(DOPANT) 유기물이 기화되는 것을 특징으로 하는 증발원.
  9. 기판에 유기 박막을 형성하기 위한 증착장치로서,
    상기 기판이 내부에 안착되는 진공 챔버와;
    상기 기판에 대향하여 배치되는 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 따른 증발원을 포함하는, 증착장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102016011319A1 (de) 2015-12-14 2017-06-14 Martin Sachse Lösungsprinzip und Verfahren sowie EUV-Laserbearbeitungssystem insbesondere zum Herstellen von Bauelementen mit Strukturen im Nanometerbereich wie organischer Elektronik und elektrischer Bauelemente
CN108866515A (zh) * 2018-06-25 2018-11-23 成都中建材光电材料有限公司 一种薄膜太阳能电池吸收层的沉积掺杂装置
US10854815B2 (en) 2018-07-30 2020-12-01 Samsung Display Co., Ltd. Method and apparatus for manufacturing display apparatus
KR102702668B1 (ko) 2024-01-16 2024-09-05 (주)이랑텍 버닝방지 탄소나노튜브 rf 필터

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