KR101809532B1 - 유기물 증착장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 측면에 따르면, 내부가 밀폐되며, 기판이 내부에 로딩되는 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제1 진공 펌핑부와; 유기물이 수용되며 가열에 따라 상기 유기물이 증발되어 기판을 향하여 유기물 증기를 분출하는 증발원과; 상기 증발원 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제2 진공 펌핑부를 포함하는, 유기물 증착장치가 제공된다.
Description
본 발명은 유기물 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 증발원 내부의 진공압을 떨어뜨려 보다 낮은 온도에서 유기물의 승화가 이루어지도록 하여 증발원 내부의 유기물의 변성을 방지할 수 있는 유기물 증착장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Luminescence Emitting Device: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 애노드 및 캐소드 전극은 금속 박막으로 되어 있다.
유기 전계 발광 소자의 유기 박막은 진공열증착법으로 기판 상에 증착될 수 있는데, 진공열증착법은 물질의 상변화도에 따라 압력이 매우 낮은 상태일 때 낮은 온도에서도 고체가 바로 기체로 승화될 수 있는 원리를 이용하여, 진공챔버 내에 기판을 배치하고 유기물이 채워진 증발원의 도가니를 가열하여 도가니에서 증발되는 유기물 증기를 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
그런데, 유기물의 경우 일정 온도 이상에서 변성을 일으켜 물성이 변화하게 되는데, 유기물 증착 과정에서 도가니의 가열 온도를 정확하게 제어하지 못하여 유기물의 변성 온도 이상으로 가열되는 경우 유기물의 물성이 변화될 수 있다.
본 발명은, 증발원 내부의 진공압을 떨어뜨려 보다 낮은 온도에서 유기물의 승화가 이루어지도록 하여 증발원 내부의 유기물의 변성을 방지할 수 있는 유기물 증착장치를 제공한다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 내부가 밀폐되며, 기판이 내부에 로딩되는 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제1 진공 펌핑부와; 유기물이 수용되며 가열에 따라 상기 유기물이 증발되어 기판을 향하여 유기물 증기를 분출하는 증발원과; 상기 증발원 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제2 진공 펌핑부를 포함하는, 유기물 증착장치가 제공된다.
상기 증발원의 진공압은 상기 진공챔버의 진공압 보다 낮을 수 있다.
상기 제1 진공 펌핑부는, 상기 진공챔버에 연결되어 상기 진공챔버 내부의 공기를 펌핑하는 제1 진공 펌프를 포함할 수 있으며, 상기 제2 진공 펌핑부는, 상기 증발원이 내부에 수용되며, 상기 진공챔버에 결합되는 소스챔버와; 상기 소스챔버에 연결되어 상기 소스챔버 내부의 공기를 펌핑하는 제2 진공 펌프를 포함할 수 있다.
상기 증발원은, 상기 유기물이 수용되는 도가니와; 상기 도가니를 가열하여 상기 유기물을 상기 유기물 증기로 증발시키는 히터부와; 상기 도가니와 연통되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관과 연통되며 상기 확산관 상측에서 연장되어 상기 소스챔버를 관통하여 일단이 상기 진공챔버 내부에 위치하는 분사노즐을 포함하는 노즐부를 포함할 수 있다.
상기 제1 진공 펌프와 상기 제2 진공 펌프는 크라이오 펌프(cryogenic pump)를 포함할 수 있다.
상기 증발원은, 상기 유기물이 수용되는 도가니와; 상기 도가니를 가열하여 상기 유기물을 상기 유기물 증기로 증발시키는 히터부와; 상기 도가니와 연결되어 상기 유기물 증기를 상기 기판을 향하여 분출시키는 노즐부를 포함할 수 있으며, 이 경우, 상기 제2 진공 펌핑부는, 상기 노즐부와 연결될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 증발원 내부의 진공압을 떨어뜨려 보다 낮은 온도에서 유기물의 승화가 이루어지도록 하여 증발원 내부의 유기물의 변성을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 횡단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 종단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 종단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 종단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 종단면도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 본 발명에 따른 유기물 증착장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 횡단면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 종단면도이다.
도 1 및 도 2에는, 기판(10), 진공챔버(12), 제1 진공 펌핑부(14), 제1 진공 펌프(16), 증발원(18), 도가니(20), 노즐부(22), 히터부(24), 제2 진공 펌핑부(26), 제2 진공 펌프(28), 소스챔버(30), 이송관(32), 확산관(34), 분사노즐(36), 압력홀(38), 게이트밸브(40)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 유기물 증착장치는, 내부가 밀폐되며, 기판(10)이 내부에 로딩되는 진공챔버(12)와; 진공챔버(12)의 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제1 진공 펌핑부(14)와; 유기물이 수용되며 가열에 따라 유기물이 증발되어 기판(10)을 향하여 유기물 증기를 분출하는 증발원(18)과; 증발원(18) 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제2 진공 펌핑부(26)를 포함한다.
진공챔버(12)는 내부가 밀폐되며 기판(10)이 내부로 로딩된다. 진공챔버(12)의 내부는 기화된 유기물의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지된다. 클러스터 증착 시스템의 경우 기판(10)은 진공챔버(12)에 내부에 위치하는 기판로딩부(미도시)에 안착되어 쉐도우 마스크(미도시)와 얼라인이 이루어질 수 있다. 인라인 증착 시스템의 경우에는, 도 2도시된 바와 같이, 진공챔버(12) 내부로 기판(10)이 이송되면서 기판(10)에 대한 증착이 이루어질 수 있다. 이 경우, 진공챔버(12)의 양단에는 진공챔버(12)의 내부를 개폐하는 게이트밸브(40)가 설치되어 게이트밸브(40)의 개폐에 따라 기판(10)이 진공챔버(12) 내부로 출입될 수 있다.
제1 진공 펌핑부(14)는, 진공챔버(12)의 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지한다. 기판(10)에 대한 유기물 증착이 이루어지는 동안 진공챔버(12)의 진공압을 일정하게 유지하기 위하여 제1 진공 펌핑부(14)가 작동된다.
제1 진공 펌핑부(14)는 진공챔버(12)와 연결되는 제1 진공 펌프(16)를 포함한다. 제1 진공 펌프(16)는 진공챔버(12)의 일측에 기류적으로 연결되어 진공챔버(12)의 진공압이 일정하게 유지되도록 진공챔버(12) 내부의 공기를 지속적으로 펌핑한다.
제1 진공 펌프(16)로는 크라이오 펌프(cryogenic pump)가 적용될 수 있다. 크라이오 펌프는, 펌프 내부에 극저온냉각면(cryo panel)을 만들고 그 위에 기체를 냉온응축(cryo-condensation)하거나 냉온흡착(cryo-sorption)하여 용기 내부의 압력을 감소시키는 펌프로서, 진공챔버(12)의 내부를 진공상태로 유지할 수 있다.
증발원(18)의 내부에는 유기물이 수용되며, 증발원(18)의 가열에 따라 유기물이 증발되어 기판(10)을 향하여 유기물 증기를 분출한다. 도 1을 참조하면, 증발원(18)이 상부의 기판(10)에 대향하여 진공챔버(12) 내부의 하부에 위치하며, 증발원(18)이 유기물을 가열함에 따라 고체 상태의 유기물이 승화되면서 유기물 증기로 변하면서 분출되어 기판(10)에 증착된다.
본 실시예에 따른 증발원(18)은, 증발물질이 수용되는 도가니(20)와; 도가니(20)를 가열하여 유기물을 유기물 증기로 증발시키는 히터부(24)와; 도가니(20)와 연통되는 이송관(32)과, 이송관(32)과 연통되도록 이송관(32) 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관(34)과, 확산관(34)과 연통되며 확산관(34) 상측에서 연장되어 길이 방향으로 따라 형성되는 분사노즐(36)을 포함하는 노즐부(22)를 포함한다.
도가니(20)는, 상단이 개방된 용기 형상으로서 그라파이트(graphite) 등의 내화물로 이루어질 수 있으며, 내부에 유기물이 충전된다.
히터부(24)는, 도가니(20)의 외측에 감싸도록 배치되어 도가니(20)를 가열한다. 히터부(24)에 의한 도가니(20)의 가열에 따라 도가니(20) 내부의 유기물이 승화온도이상이 되면 승화되면서 유기물 증기로 상변화가 이루어지게 된다. 이때, 유기물의 승화온도는 증발원(18) 내부의 진공압에 영향을 받게 되는데, 물질의 상변화도에 따르면 진공압이 낮은 경우에는 물질의 승화온도가 낮게 된다.
히터부(24)의 가열에 따라 도가니(20)에서 생성되는 유기물 증기는 노즐부(22)를 통해 기판(10)의 폭 방향으로 확산되면서 기판(10)을 향하여 분출된다. 노즐부(22)에 의해 분출되는 유기물 증기는 기판(10)의 폭 방향으로 대략 선형을 이루어 배출되며, 기판(10)의 길이 방향을 따라 기판(10)이 이동되면서 기판(10) 전체에 대한 유기물 증착이 이루어진다.
이송관(32)은 도가니(20)와 연통되도록 하단이 도가니(20)의 상단에 결합되며, 확산관(34)은 이러한 이송관(32)과 연통되도록 이송관(32)의 상단에 횡방향으로 결합된다. 그리고 확산관(34)의 상측에는 길이 방향을 따라 분사노즐(36)이 다수 형성된다.
이송관(32)은, 길이 방향으로 관통부가 형성된 튜브 형태로서, 하단이 도가니(20)의 개방된 상단과 연통되도록 결합될 수 있다. 도가니(20)에서 분출되는 유기물 증기가 이송관(32)를 통해 확산관(34)으로 안내된다.
확산관(34)은, 내부에 중공부가 마련된 튜브 형태로서, 이송관(32)과 서로 연통되도록 이송관(32)의 상단에 횡방향으로 결합된다. 서로 결합된 이송관(32)과 확산관(34)은 대략 T형 상을 갖게 된다. 확산관(34)의 상단에는 길이 방향을 따라 분사노즐(36)이 형성된다.
제2 진공 펌핑부(26)는, 증발원(18) 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지한다. 제2 진공 펌핑부(26)의 작동에 따라 증발원(18) 내부의 진공압을 낮출 수 있으며 이에 따라 증발원(18) 내부의 유기물의 승화온도를 낮출 수 있어, 낮은 승화온도에서도 유기물의 승화가 가능하게 된다.
통상의 증착장치에는 증발원(18) 내부의 진공압을 낮추기 위한 별도의 진공 펌핑부가 존재하지 않는다. 이 경우, 증발원(18)의 내부는 진공챔버(12)와 기류적으로 연통되어 있기 때문에 진공챔버(12)의 진공압과 동일한 진공압을 갖게 되고, 이러한 진공압에서의 유기물의 승화온도로 유기물의 승화가 이루어진다.
그런데, 본 발명에서는 진공챔버(12)의 진공상태를 유기하기 위한 진공 펌핑부(14) 이외에 증발원(18) 내부의 진공압을 낮추기 위한 별도의 진공 펌핑부(26)를 결합하여 증발원(18) 내부의 진공압을 낮추게 된다.
제2 진공 펌핑부(26)는 증발원(18)의 진공압을 진공챔버(12)의 진공압 보다 낮게 유지되도록 지속적으로 증발원(18) 내부를 펌핑하게 된다. 제2 진공 펌핑부(26)에 의해 증발원(18) 내부의 진공압이 낮아지게 됨에 따라 증발원(18) 내부에 위치하는 유기물의 승화온도를 낮출 수 있다. 유기물의 승화온도가 낮기 때문에 도가니(20)를 가열하는 히터부(24)의 가열온도가 낮아져 유기물의 변성될 가능성을 낮출 수 있다. 예를 들면, 유기물이 변성되는 변성온도가 일정한 진공압에서의 유기물의 승화온도와 비슷한 경우, 히터부(24)의 온도를 정확히 제어하지 못하여 유기물의 가열온도가 유기물의 변성온도 보다 높아지는 경우 유기물이 변성될 수 있었으나, 증발원(18) 내부의 진공압을 낮춰 유기물의 승화온도를 낮춘 경우 유기물의 변성온도와 차이가 이전보다 크게 되어 부정확한 온도제어에 따른 유기물의 변성 가능성을 낮출 수 있다.
본 실시예에 따른 제2 진공 펌핑부(26)는, 증발원(18)이 내부에 수용되며 진공챔버(12)에 결합되는 소스챔버(30)와, 소스챔버(30)에 연결되어 소스챔버(30) 내부의 공기를 펌핑하는 제2 진공 펌프(28)를 포함한다.
소스챔버(30)는 진공챔버(12)와 별도로 내부가 밀폐되는 공간으로서, 내부에 증발원(18)이 전부 또는 일부가 수용되며, 소스챔버(30)의 진공압을 조절하여 증발원(18) 내부의 진공압을 조절하게 된다. 제2 진공 펌프(28)는 소스챔버(30)와 연결되어 소스챔버(30) 내부의 공기를 펌핑한다. 제2 진공 펌프(28)는 소스챔버(30)의 일측에 기류적으로 연결되어 소스챔버(30)의 진공압이 일정하게 유지되도록 소스챔버(30) 내부의 공기를 지속적으로 펌핑한다. 제2 진공 펌프(28)로는, 제1 진공 펌프(16)와 마찬가지로, 크라이오 펌프(cryogenic pump)가 적용될 수 있다.
소스챔버(30)와 증발원(18)의 내부가 기류적으로 연결되기 위해 증발원(18)의 일측에는 소스챔버(30)와 연통되는 압력홀(38)이 형성될 수 있다. 본 실시예에서는 노즐부(22)에 압력홀(38)을 형성하여 노즐부(22)의 내부와 소스챔버(30)가 기류적으로 연결되어, 제2 진공 펌프(28)에 의해 증발원(18) 내부의 진공압을 낮추게 된다.
한편, 소스챔버(30) 내부에 배치되는 증발원(18)에서 생성되는 유기물 증기가 진공챔버(12) 내부로 유입되도록 하기 위하여, 노즐부(22)의 분사노즐(36)은 확산관(34) 상측에서 연장되고 소스챔버(30)를 관통하여 일단이 진공챔버(12) 내부에 위치하도록 구성된다. 이에 따라, 소스챔버(30) 내부의 증발원(18)에서 증발된 유기물 증기가 분사노즐(36)을 통해 증착챔버 내부의 기판(10)에 증착된다.
분사노즐(36)에 의해 증발원(18)의 내부와 진공챔버(12)의 내부가 기류적으로 연결되어 있으나, 소스챔버(30)와 진공챔버(12)에 각각 진공 펌프가 결합되어 있어 각 진공 펌프(16, 28)의 지속적인 작동에 따라 소스챔버(30)와 진공챔버(12) 사이에는 압력구배가 형성될 수 있다. 즉, 상술한 바와 같이, 소스챔버(30)의 진공압이 진공챔버(12)의 진공압 보다 낮게 압력구배를 형성하게 된다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착장치를 간략히 도시한 종단면도이다.
도 3에는, 기판(10), 진공챔버(12), 제1 진공 펌핑부(14), 제1 진공 펌프(16), 증발원(18), 도가니(20), 노즐부(22), 히터부(24), 제2 진공 펌핑부(26), 제2 진공 펌프(28), 이송관(32), 확산관(34), 분사노즐(36), 압력홀(38), 게이트밸브(40)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 유기물 증착장치는 별도의 소스챔버를 두지 않고 제2 진공 펌핑부(26)가 증발원(18)의 노즐부(22)에 직접 연결되어 증발원(18) 내부의 진공압을 떨어뜨리도록 구성한 형태이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 노즐부(22)는, 상술한 바와 같이, 도가니(20)와 연통되는 이송관(32)과, 이송관(32)과 연통되도록 이송관(32) 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관(34)과, 확산관(34)과 연통되며 확산관(34) 상측에서 연장되어 길이 방향으로 따라 형성되는 분사노즐(36)을 포함하는 노즐부(22)를 포함한다.
확산관(34)이 진공챔버(12) 내부에 위치하고 이송관(32)이 진공챔버(12)의 바닥을 관통하도록 노즐부(22)가 배치된 상태에서, 도가니(20)가 탈착가능하게 이송관(32)에 결합된다.
이송관(32)의 진공챔버(12)의 관통부위는 진공챔버(12)가 밀폐되도록 밀봉처리되며, 도가니(20) 및 이송관(32)은 그 내부가 밀폐되도록 확고히 결합된다. 이에 따라, 진공챔버(12), 노즐부(22) 및 도가니(20)의 내부는 서로 연통된 상태에서 외부와 기류적으로 분리된다. 이 상태에서, 진공챔버(12)에는 제1 진공 펌핑부(14)를 연결하고, 증발원(18)의 노즐부(22)에는 제2 진공 펌핑부(26)를 연결하여 펌핑을 진행한다. 증발원(18) 내부의 진공압이 진공챔버(12)의 진공압보다 낮게 압력구배가 발생하도록 진공 펌핑을 진행하게 된다.
이외의 구성요소는 상기의 일 실시예와 동일하거나 유사하므로 그 설명을 생략한다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
10: 기판 12: 진공챔버
14; 제1 진공 펌핑부 16: 제1 진공 펌프
18: 증발원 20: 도가니
22: 노즐부 24: 히터부
26: 제2 진공 펌핑부 28: 제2 진공 펌프
30: 소스챔버 32: 이송관
34: 확산관 36: 분사노즐
38: 압력홀 40: 게이트밸브
14; 제1 진공 펌핑부 16: 제1 진공 펌프
18: 증발원 20: 도가니
22: 노즐부 24: 히터부
26: 제2 진공 펌핑부 28: 제2 진공 펌프
30: 소스챔버 32: 이송관
34: 확산관 36: 분사노즐
38: 압력홀 40: 게이트밸브
Claims (6)
- 내부가 밀폐되며, 기판이 내부에 로딩되는 진공챔버와;
상기 진공챔버의 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제1 진공 펌핑부와;
유기물이 수용되며 가열에 따라 상기 유기물이 증발되어 기판을 향하여 유기물 증기를 분출하는 증발원과;
상기 증발원 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제2 진공 펌핑부를 포함하되,
상기 제1 진공 펌핑부는,
상기 진공챔버에 연결되어 상기 진공챔버 내부의 공기를 펌핑하는 제1 진공 펌프를 포함하고,
상기 제2 진공 펌핑부는,
상기 증발원이 내부에 수용되며, 상기 진공챔버에 결합되는 소스챔버와;
상기 소스챔버에 연결되어 상기 소스챔버 내부의 공기를 펌핑하는 제2 진공 펌프를 포함하며,
상기 증발원은,
상기 유기물이 수용되는 도가니와;
상기 도가니를 가열하여 상기 유기물을 상기 유기물 증기로 증발시키는 히터부와;
상기 도가니와 연통되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관과 연통되며 상기 확산관 상측에서 연장되어 상기 소스챔버를 관통하여 일단이 상기 진공챔버 내부에 위치하는 분사노즐과, 상기 소스챔버와 기류적으로 연결되는 압력홀을 포함하는 노즐부를 포함하며,
상기 기판에 대한 상기 유기물 증기의 증착이 이루어지는 동안 상기 제1 진공 펌프와 상기 제2 진공 펌프의 작동에 따라 상기 증발원의 진공압은 상기 진공챔버의 진공압 보다 낮게 유지되는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착장치.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 제1 진공 펌프와 상기 제2 진공 펌프는 크라이오 펌프(cryogenic pump)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착장치.
- 내부가 밀폐되며, 기판이 내부에 로딩되는 진공챔버와;
상기 진공챔버의 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제1 진공 펌핑부와;
유기물이 수용되며 가열에 따라 상기 유기물이 증발되어 기판을 향하여 유기물 증기를 분출하는 증발원과;
상기 증발원 내부를 펌핑하여 진공상태로 유지하는 제2 진공 펌핑부를 포함하되,
상기 제1 진공 펌핑부는,
상기 진공챔버에 연결되어 상기 진공챔버 내부의 공기를 펌핑하는 제1 진공 펌프를 포함하고,
상기 증발원은,
상기 유기물이 수용되는 도가니와;
상기 도가니를 가열하여 상기 유기물을 상기 유기물 증기로 증발시키는 히터부와;
상기 도가니와 연통되는 이송관과, 상기 이송관과 연통되도록 상기 이송관 상단에 횡방향으로 결합되는 확산관과, 상기 확산관과 연통되며 상기 확산관 상측에서 연장되어 소스챔버를 관통하여 일단이 상기 진공챔버 내부에 위치하는 분사노즐과, 상기 소스챔버와 기류적으로 연결되는 압력홀을 포함하는 노즐부를 포함하고,
상기 제2 진공 펌핑부는,
상기 노즐부와 연결되며,
상기 기판에 대한 상기 유기물 증기의 증착이 이루어지는 동안 상기 제1 진공 펌프와 제2 진공 펌프의 작동에 따라 상기 증발원의 진공압은 상기 진공챔버의 진공압 보다 낮게 유지되는 것을 특징으로 하는, 유기물 증착장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150181756A KR101809532B1 (ko) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 유기물 증착장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150181756A KR101809532B1 (ko) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 유기물 증착장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20170073173A KR20170073173A (ko) | 2017-06-28 |
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ID=59280501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150181756A KR101809532B1 (ko) | 2015-12-18 | 2015-12-18 | 유기물 증착장치 |
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| Country | Link |
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| KR (1) | KR101809532B1 (ko) |
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-
2015
- 2015-12-18 KR KR1020150181756A patent/KR101809532B1/ko active IP Right Grant
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|---|---|
| KR20170073173A (ko) | 2017-06-28 |
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