KR100579406B1 - 수직 이동형 유기물 증착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; 유기물 저장부, 유기물 유도로, 가열 히터, 내부 열 반사판, 외부 냉각판 및 유기물 분사 노즐부로 이루어지며, 상기 기판 상에 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하기 위한 유기물 증착원과; 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.
유기물 증착 장치, 수직 이동

Description

수직 이동형 유기물 증착 장치{Vertical Moving Type Apparatus for Depositing Organic Material}
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도.
도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 평면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도.
(도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명)
100; 수직 이동형 유기물 증착 장치
200; 챔버 300, 500, 600; 유기물 증착원
310; 유기물 저장부 320; 유기물 유도로
330; 가열 히터 340; 내부 열 반사판
350; 외부 냉각판 360; 유기물 분사 노즐
370; 측정 장치 400; 이동 기구
S; 기판 M; 마스크 패턴
본 발명은 유기 반도체 소자 등의 유기 박막 형성을 위한 수직 이동형 유기물 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 전계 발광 소자(OLED, Organic light Emitting Device) 등을 포함하는 유기 반도체 소자의 유기 박막은 크게, 저분자 유기 물질을 진공 중에서 증발시켜 유기 박막을 형성하는 방법과, 고분자 유기 물질을 용제에 용해한 후, 스핀 코팅(spin coating), 딥 코팅(dip coating), 닥터 블레이팅, 잉크젯 프린팅 등을 이용하여 유기 박막을 형성하는 방법이 있다.
상기한 방법 중에서, 진공에서 저분자 유기 물질로 이루어지는 박막을 제작하는 경우에는 형성하고자 하는 형상의 개구부를 가지는 쉐도우 마스크 패턴(shadow mask pattern)을 기판의 앞에 정렬하여, 상기 기판에 유기 물질을 증착함으로써, 상기 기판 상에 유기 박막을 제작하게 된다.
상기한 바와 같은 저분자 유기 물질로 이루어지는 유기 박막의 제조 방법으 로는 점형 유기물 증착원을 이용하는 방법과, 선형 유기물 증착원을 이용하는 방법 등이 있다.
그러나, 상기한 바와 같은 점형 또는 선형의 유기물 증착원을 이용하여 대형 기판 상에 유기 박막을 형성하는 경우에는, 상기 기판과 증발원 사이의 거리가 함께 증가하게 되며, 상기 기판과 증발원 사이의 거리의 증가는 상기 기판 상에 형성되는 유기 박막의 균일성이 저하되는 원인이 된다.
또한, 상기 기판과 증발원 사이의 거리가 증가하게 되면, 상기 증발원에서 증발된 유기물이 상기 기판 이외의 진공 챔버에 증착되어 유기물의 손실이 증가하게 되며, 상기 유기물이 고가인 것을 감안하면, 제조 단가가 증가하는 문제점이 있다.
또한, 유기 박막의 균일성 확보를 위하여 상기 쉐도우 마스크 패턴과 증발원이 소정의 각도를 이루도록 하여 유기 박막을 형성할 수 있다. 이때, 상기 쉐도우 마스크 패턴과 증발원이 소정의 각도를 이루는 경우, 상기 쉐도우 마스크 패턴에 의한 그림자 효과가 발생하여 원하는 형상의 유기 박막을 얻기 어려운 문제점이 있다.
또한, 증발원과 분사 노즐이 일체화되어 있어, 열에 의한 기판 및 마스크 패턴의 열에 의한 변형이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
또한, 대형 기판의 경우 기판의 쳐짐 현상으로 인하여, 기판의 중앙부와 에지부의 박막의 균일성이 다른 문제점이 있다.
또한, 종래의 유기물 증착 장치는 유기물의 균일한 증착을 위하여 기판이 이 동하는 방식을 채택하는데, 이러한 기판이 이동하는 경우 챔버의 크기가 매우 커지는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; 유기물 저장부, 유기물 유도로, 가열 히터, 내부 열 반사판, 외부 냉각판 및 유기물 분사 노즐부로 이루어지며, 상기 기판 상에 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하기 위한 유기물 증착원과; 상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.
상기 유기물 저장부는 다수의 셀로 구분되는 것이 바람직하다.
상기 유기물 유도로는 상기 유기물 저장부에서 증발된 유기물 입자의 이동 경로인 것이 바람직하다.
상기 유기물 유도로는 유기물 입자의 최종 이동 방향을 지면에 -20° 내지 20°의 각도를 유지하도록 하는 것이 바람직하다.
상기 가열 히터는 유기물 저장부 및 유기물 유도로 외부에 설치되어 상기 유기물 저장부 및 유기물 유도로를 가열하는 것이 바람직하다.
상기 내부 열 반사판은 상기 가열 히터보다 외부에 설치되는 것이 바람직하다.
상기 외부 냉각판은 상기 내부 열 반사판의 외부에 위치하여, 상기 유기물 증발부 내부의 열이 외부로 전도되는 것을 방지하는 것이 바람직하며, 상기 외부 냉각판은 냉매를 이용하여 외부 열 반사판을 냉각시키는 것이 바람직하다.
상기 유기물 증착원은 상기 유기물 분사 노즐부의 유기물 분사 방향의 선단에 위치하여 상기 기판 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정하는 측정 센서를 더 구비하는 것이 바람직하다.
상기 유기물에 불순물을 도핑하기 위한 수단을 더 구비할 수도 있다.
또한, 본 발명은 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와; 상기 기판 상에 물질을 증착하여 박막을 형성하며, 증착 물질 저장부, 증착 물질 유도로, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로를 가열하는 가열 히터, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로의 외부에 형성되어 열을 반사시켜주기 위한 내부 열 반사판, 상기 내부 열반사판 외부에 설치되어 상기 내부열 반사판을 냉각시켜 주는 외부 냉각판, 증착 물질 분사 노즐부로 이루어지는 다수의 증착원과; 상기 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.
상기 다수의 증착원은 서로 동일한 유기물을 내포하여, 기판, 특히 대형 기판 상에 균일한 유기 박막을 형성할 수 있다.
또한, 상기 다수의 증착원은 제 1 증착원 및 제 2 증착원으로 이루어지는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 상기 제 1 증착원은 기판 상의 박막의 원재료 증착원이며, 상기 제 2 증착원은 상기 박막의 특성 개선을 위한 불순물을 상기 박막에 포함시키기 위한 불순물 증착원인 것이 바람직하다.
상기 다수의 서로 다른 증착원은 분사 각도가 조절 가능한 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예를 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치는 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치를 설명하기 위한 개략도이다. 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 사시도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)는 상기 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)의 몸체를 이루는 챔버(200)와, 기판(S) 상으로 유기물 입자를 분사시키기 위한 유기물 증착원(300)과, 상기 유기물 층착원(300)을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구(400)를 구비하는 구조로 이루어진다.
상기 챔버(200)는 유기물을 증착하고자 하는 기판(S)을 대략 수직, 바람직하게는 지면과 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 한다. 또한, 상기 챔버(200)는 진공 챔버인 것이 바람직하다.
상기 유기물 증착원(300)은 유기물 저장부(310), 유기물 유도로(320), 가열 히터(330), 내부 열 반사판(340), 외부 냉각판(350), 유기물 분사 노즐부(360) 및 측정 장치(370)로 이루어진다.
상기 유기물 저장부(310)는 상기 기판(S) 상에 형성되는 유기 박막의 원재료인 유기물을 저장하는 부분으로써, 적어도 하나의 셀로 구분되어 지는 도가니로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 유기물 유도로(320)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발된 유기물 입자를 상기 유기물 분사 노즐부(360)로 이송하는 역할을 수행하며, 상기 유기물 입자의 이동 경로를 결정하는 역할을 수행한다. 보다 상세히 설명하면, 상기 유기물 저장부(310)에서 상기 유기물 입자가 상향으로 증발되며, 상기 대략 수직으로 세워진 기판(S) 상에 유기물을 증착하기 위해서는 상기 유기물 입자의 최종 이동 경로가 대략 수평 방향이어야 하므로, 상기 유기물 유도로(320)의 말단은 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하여야 한다. 즉, 상기 유기물 입자의 최종 이동 경로를 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하도록 유도한다. 또한, 상기 유기물 유도로(320)의 중간 부분은 소정 각도로 경사지도록 형성하여, 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되는 유기물 중 일부 클러스터(cluster) 형태의 유기물이 유도로 내벽과 충돌하여 유기물 입자 상태로 부서지도록 함으로써, 상기 클러스터 형태의 유기물 이 자연스럽게 상기 유기물 유도로(320) 내부에서 고르게 혼합되며, 상기 기판(S) 상에 유기물이 뭉쳐서 증착되는 것을 방지하는 역할을 수행한다.
상기 가열 히터(330)는 상기 유기물 저장부(310) 및 유기물 유도로(320) 외부에 설치되어 상기 유기물 저장부(310) 및 유기물 유도로(320)를 가열하는 역할을 수행한다. 즉, 상기 유기물 저장부(310)를 가열하여, 상기 유기물이 유기물의 입자 상태로 증발시키며, 증발된 유기물 입자를 상기 유기물 유도로(320) 내부에서 응축되지 않도록 가열하는 것이다.
상기 내부 열 반사판(340)은 상기 가열 히터(330)보다 외부에 설치되어 상기 유기물 증착원(300)의 열 효율을 증가시키기 위한 것으로, 상기 유기물 증착원(300) 내부의 열용량을 흡수할 수 있도록 다단으로 구성되어 있다.
상기 외부 냉각판(350)은 상기 내부 열 반사판(340)의 외부에 위치하여, 상기 유기물 증착원(300) 내부의 열이 외부로 전도되는 것을 방지한다. 상기 외부 냉각판(350)은 냉매를 이용하여 내부 열 반사판(340)을 냉각시킨다.
상기 유기물 분사 노즐부(360)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되어 상기 유기물 유도로(320)를 통하여 유입되는 유기물 입자를 대략 수직으로 세원진 기판(S) 상으로 분사하며, 상기 유기물 입자가 상기 기판(S) 상에 증착, 분포되는 형태를 결정하는 역할을 수행한다. 또한, 상기 유기물 분사 노즐부(360)는 유기물 입자를 분사시에 분사 각도가 조절 가능한 형태로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 개구된 형태에 따라 유기물 입자가 분사되는 형태가 조절 가능하므로, 상기 유기물 저장부(310) 내의 유기물의 균일한 증발이 가능하도록 제어할 수 있다.
상기 측정 장치(370)는 지면에 70° 내지 110°의 각으로 세워진 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 두께를 측정하는 역할을 수행한다. 또한, 상기 측정 장치(370)는 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 유기물 분사 방향의 선단부에 위치하며, 상기 유기물 분사 노즐부(360)와 일체화되어 있다.
상기 유기물 증착원 이동 기구(400)는 상기 유기물 증착원(300)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 장치이다. 이때, 상기 유기물 증착원 이동 기구(400)는 진공으로 유지되는 상기 챔버(200) 내에서 사용이 적합한 수직 이동 기구로써, 상기 유기물 증착원(300) 중 적어도 상기 유기물 분사 노즐(360)의 이동 속도를 조절할 수 있도록 이송 속도 조절 기구(도면 상에는 미도시)를 더 구비할 수 있다.
도면의 참조 부호 M은 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 형상을 결정하는 마스크 패턴이다.
상기한 바와 같은 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)를 이용하는 유기 박막의 형성 방법은 하기와 같다.
우선, 상기 수직 이동형 유기물 증착 장치(100)의 챔버 내에 기판(S)을 지면에 대략 수직, 바람직하게는 지면과 70° 내지 110의 각도를 유지하도록 장착한다.
그런 다음, 상기 유기물 증착원(300)의 유기물을 수용하고 있는 상기 유기물 저장부(310)를 상기 가열 히터(330)를 통하여 가열한다.
이때, 상기 가열 히터(330)를 통하여 상기 유기물 저장부(310) 도가니 내의 각 셀에 수용되어 있는 유기물이 유기물 입자 상태로 증발하게 된다.
상기 증발된 유기물 입자는 상기 유기물 유도로(320)를 통하여 상기 유기물 분사 노즐부(360)로 유입된다. 이때, 상기 유기물 입자의 이동 경로는 상기 유기물 유도로(320)의 형상에 의하여 결정된다. 상기 유기물 유도로(320)의 말단이 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하므로, 상기 유기물 증착원(300) 내에서의 상기 유기물 입자의 최종 이동 경로는 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지한다. 또한, 상기 유기물 유도로(320)는 상기 유기물 저장부(310)에서 증발되는 유기물 중 완전히 입자 상태로 증발되지 않고, 다수의 유기물 입자가 뭉친 클러스터 형태를 유지하는 유기물이 상기 유기물 유도로(320)의 내벽과 충돌하여 유기물 입자 상태로 부서지도록 함으로써, 상기 기판(S) 상으로 분사되는 유기물 입자의 크기를 균일하게 한다. 또한, 상기 유기물 유도로(320) 외부의 가열 히터(330)는 상기 유기물 유도로(320) 내에서 상기 증발된 유기물 입자가 응축되지 않도록 한다.
상기 유기물 분사 노즐부(360)로 유입된 유기물 입자는 상기 유기물 분사 노즐부(360)를 통하여 상기 기판(S) 상으로 증착되어 유기 박막을 형성한다. 이때, 상기 유기물 증착원 이동 기구(400)를 통하여 상기 유기물 증착원(300)이 수직 방향으로 이동하며, 상기 지면과 70° 내지 110의 각도를 유지하는 기판(S) 상에 유기물 입자가 증착되어 유기 박막을 형성한다. 또한, 상기 유기물 입자는 그 최종 이동 경로가 지면과 -20° 내지 20°의 각도를 유지하므로, 상기 유기물 입자가 상기 유기물 분사 노즐부(360)을 통하여 상기 기판(S)으로 분사될 때, 상기 유기물 입자는 지면과 -20° 내지 20°의 각도로 분사된다. 또한, 상기 유기물 입자가 상기 기판(S) 상으로 증착시에 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 개구된 형태에 따라 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물 입자의 형태가 조절된다.
한편, 상기 유기물 분사 노즐부(360)의 유기물 분사 방향으로 선단부에 설치되어 있는 상기 측정 장치(370)는 상기 유기물을 상기 기판(S) 상에 증착하는 동안, 상기 기판(S) 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 유기물의 증착 두께를 측정한다. 따라서, 상기 측정 장치(370)를 이용하여, 유기 박막을 형성하는 동안 유기물 입자의 증착률 및 유기물 증착 두께를 제어함으로써, 균일한 유기 박막의 두께의 재현성을 실현할 수 있다.
한편, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치의 유기물 증착원을 설명하기 위한 평면도로써, 유기물 저장부 및 상기 유기물 저장부 주변의 가열 히터에 한정하여 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 유기물 저장부(310)는 적어도 하나의 셀(310a)로 구분되며, 각각의 셀(310a)에 유기물을 저장하게 된다. 또한, 가열 히터(330)는 상기 유기물 저장부(310) 주변에 고르게 분포한다.
이것은 유기물 저장부(310)의 상기 유기물을 증발시키는 경우, 상기 유기물 저장부(310)가 하나의 셀로 이루어지면, 상기 유기물 저장부(310) 내부의 온도 분포 차이로 인하여 위치에 따른 유기물 증발률의 차이가 발생하게 된다. 이러한 위치에 따른 증발률의 차이는 균일한 불순물의 주입 및 유기 박막의 균일성을 저하하게 되는데, 상기 유기물 저장부(310)를 다수의 셀(310a)로 구분함으로써, 상기 유기물 저장부(310) 내의 유기물 증발률을 균일하게 할 수 있다.
한편, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직 이동형 유기물 증착 장치 를 설명하기 위한 개략도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기물 증착 장치는 도 1에 도시된 바와 같은 유기물 증착원을 다수개 구비하며, 상기 각 유기물 증착원을 수직으로 이동시키기 위한 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 구조로 이루어진다.
일 예로, 상기 서로 다른 다수의 증착원은 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)으로 이루어지며, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)은 동일한 유기물을 내포하고, 서로 소정 간격 이격되어, 이동하며, 균일한 유기 박막을 기판 상에 증착할 수 있다. 특히, 대형 기판을 적용하여 유기 박막을 증착하는 경우에 보다 유리하다.
또는, 상기 서로 다른 다수의 유기물 증착원은 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)으로 이루어지며, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600) 중 어느 하나의 유기물 증착원 예를 들면, 제 1 유기물 증착원(500)은 유기 박막의 원재료인 유기물을 상기 기판(S) 상으로 분사하는 유기물 증착원이며, 제 2 유기물 증착원(600)은 상기 유기 박막의 특성 개선을 위한 불순물을 상기 유기 박막에 포함시키기 위한 유기물 증착원이다.
이때, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600)은 유기 박막에 유기물을 포함시키기 위하여, 상기 기판(S) 상에 물질을 증착시키기 전에 일정한 영역 내에서 혼합이 되도록 분사 각도의 조절이 가능하다.
가령, 제1 유기물 증착원(500)의 유기물 유도로가 되는 노즐 끝단의 방향을 지면과 평행한 수평선과 θ1 각도를 이루도록 함으로써 노즐에서 분사되는 유기물 입자는 지면과 θ1 의 각도를 이루게 된다. 같은 방식으로 제2 유기물 증착원(600)의 노즐 끝단의 방향을 지면과 평행한 수평선과 θ2각도를 이루도록 함으로써 노즐에서 분사되는 유기물 입자는 지면과 θ2의 각도를 이루게 된다.
또한, 상기 제 1 유기물 증착원(500) 및 제 2 유기물 증착원(600) 분사 노즐의 분사 방향 선단에 각각 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정할 수 있는 측정 장치를 설치함으로써, 상기 기판(S) 상에 불순물을 포함하는 유기 박막을 형성하는 동안 증착률 및 유기물의 두께 제어를 가능하게 하며, 유기 박막에 포함되는 불순물 함량의 제어를 가능하게 한다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 유기물 증착 장치(100)는 상기 기판(S)을 지면과 대략 수직인 θ3각도로 세운 상태에서 유기물 입자를 분사하여 유기 박막을 형성함으로써, 대형 기판의 경우 기판의 쳐짐 형상을 방지하므로, 대형 기판에 적용이 가능하다.
또한, 상기 유기물 저장부(310)와 유기물 분사 노즐부(360)를 분리하여, 상기 기판(S) 및 마스크 패턴(M)의 열에 의한 변형을 방지하며, 상기 기판(S) 상에 유기물의 입자 분포가 균일한 유기 박막을 형성할 수 있다.
또한, 상기 내부 열 반사판(340) 및 외부 냉각판(350)을 통하여 상기 유기물 분사 노즐부(360)를 제외한 외부로 열이 방출되는 것을 방지함으로써, 상기 기판(S) 및 마스크 패턴(M)에 미치는 열 영향을 최소화할 수 있다. 즉, 열에 의한 상기 기판(S) 및 마스크 패턴(M)의 변형을 방지할 수 있다.
또한, 다수의 서로 다른 유기물 증착원을 이용하는 경우에는 상기 유기 박막의 특성을 개선하기 위한 불순물의 주입이 가능하다.
또한, 상기 유기물 증착원 이동 기구(400)를 통하여 상기 유기물 증착원(300, 500, 600)이 이동하며 상기 기판(S) 상에 유기물을 증착하므로, 종래의 유기물 증착원 이동 기구가 없이, 기판을 이동시키는 유기물 증착 장치를 이용하여 유기물을 증착하는 경우에 비하여, 챔버의 크기를 약 75% 이내로 축소하는 것이 가능 하다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 기판을 대략 수직으로 세운 상태에서 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하여 대형 기판에 적용 가능하고 균일한 두께의 유기 박막을 형성할 수 있으며, 유기물 저장부와 유기물 분사 노즐을 분리하여 기판 및 마스크 패턴의 변형을 최소화한 수직 이동형 유기물 증착 장치를 제공할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (16)

  1. 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와;
    유기물 저장부, 유기물 유도로, 가열 히터, 내부 열 반사판, 외부 냉각판 및 유기물 분사 노즐부로 이루어지며, 상기 기판 상에 유기물을 증착하여 유기 박막을 형성하기 위한 유기물 증착원과;
    상기 유기물 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유기물 저장부는 다수의 셀로 구분되어지는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 유기물 유도로는 상기 유기물 저장부에서 증발된 유기물 입자의 이동 경로인 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 유기물 유도로는 유기물 입자의 최종 이동 방향을 지면에 -20° 내지 20°의 각도를 유지하도록 하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 가열 히터는 유기물 저장부 및 유기물 유도로 외부에 설치되어 상기 유기물 저장부 및 유기물 유도로를 가열하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 내부 열 반사판은 상기 가열 히터보다 외부에 설치되는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 외부 냉각판은 상기 내부 열 반사판의 외부에 위치하여, 상기 유기물 증발부 내부의 열이 외부로 전도되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 외부 냉각판은 냉매를 이용하여 외부 열 반사판을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 유기물 증착원은
    상기 유기물 분사 노즐부의 유기물 분사 방향의 선단에 위치하여 상기 기판 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정하는 측정 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 유기물에 불순물을 도핑하기 위한 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  11. 몸체를 이루며, 기판을 지면에 70° 내지 110°의 각도를 유지하도록 하는 챔버와;
    상기 기판 상에 물질을 증착하여 박막을 형성하며, 증착 물질 저장부, 증착 물질 유도로, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로를 가열하는 가열 히터, 상기 증착 물질 저장부 및 증착 물질 유도로의 외부에 형성되어 열을 반사시켜주기 위한 내부 열 반사판, 상기 내부 열반사판 외부에 설치되어 상기 내부열 반사판을 냉각시켜 주는 외부 냉각판, 증착 물질 분사 노즐부로 이루어지는 다수의 유기물 증착원과;
    상기 증착원을 수직 방향으로 이동시킬 수 있는 유기물 증착원 이동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 다수의 유기물 증착원은 동일한 유기물을 증착하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 다수의 유기물 증착원은 제 1 유기물 증착원 및 제 2 유기물 증착원으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제 1 유기물 증착원은 기판 상의 박막의 원재료 증착원이며,
    상기 제 2 유기물 증착원은 상기 박막의 특성 개선을 위한 불순물을 상기 박막에 포함시키기 위한 불순물 증착원인 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  15. 제 11항에 있어서,
    상기 다수의 서로 다른 유기물 증착원은 분사 각도가 조절 가능한 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
  16. 제 11항에 있어서,
    상기 유기물 증착원은
    상기 유기물 분사 노즐부의 유기물 분사 방향의 선단에 위치하여 상기 기판 상에 증착되는 유기물의 증착률 및 증착 두께를 측정하는 측정 센서를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 이동형 유기물 증착 장치.
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