JP6941547B2 - 蒸着装置、蒸着方法及び制御板 - Google Patents
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Description
図1の蒸着装置10は、蒸着源11及び基板固定部12を備える。なお、蒸着装置10は、適切な真空度が維持される真空チャンバ(図示しない)内に配置される。真空チャンバには、真空チャンバ内の気体を排出させて、真空チャンバ内の圧力を低下させる真空ポンプ、真空チャンバ内に一定の気体を注入して、真空チャンバ内の圧力を上昇させるベンティング手段などが備えられていてよい。
本発明の一実施形態に係る蒸着方法は、当該蒸着装置10を用いて蒸着を行う工程を備える。
本発明は上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲でその構成を変更することもできる。例えば、上記実施の形態では、制御板の断面形状は、Y字状としたが、この形状に限定されるものではない。例えば図4に示すように、断面形状がT字状である制御板20であっても同様の効果が得られる。制御板20は、垂直部20aと、この垂直部20aの先端に水平に設けられる水平部20bとを有する。垂直部20a及び水平部20bは、それぞれ平板である。その他、制御板は、噴射される蒸着材の分布を制御可能であればその形状は任意であり、例えば平板状(I字状の断面形状)の制御板を配置してもよい。但し、断面形状がY字状又はT字状の制御板を用いることで、制御板が大型化することを抑制しつつ、良好な蒸着材の分布制御性を発揮することができる。また、傾斜部又は水平部の角度が可変に構成された、T字状又はY字状に自由に変更可能な制御板であってもよい。
図1に記載した構造を有する蒸着装置により、幅925mmの基板に対して真空蒸着を行った。なお、L1=360mm、L2=60mm、θ1=35°、θ2=65°、及び噴射ノズルと基板との距離500mmとした。また、制御板は、高さhが120mm、幅Wが120mm、長さLが297mmの断面形状がY字状のものを用いた。
得られた蒸着膜の膜厚を分光エリプソメーター(Horiba社の「UVISEL M200−VIS−AG−200S」)を用いて測定した。測定結果を示したグラフを図3に示す。
11 蒸着源
12 基板固定部
13 噴射ノズル
13a、13b 内側噴射ノズル
13c、13d 外側噴射ノズル
14 蒸着材収容室
15 拡散室
15A 拡散室の上面
16(16a、16b、16c、16d) 開口面
17b 内側噴射ノズルの先端部分における軸
17d 外側噴射ノズルの先端部分における軸
18 制御板
18a 垂直部
18b 傾斜部
19a、19b 内側噴射ノズルの開口面の中心と制御板の先端とを通る直線
20 制御板
20a 垂直部
20b 水平部
X 基板
Y マスク
Z 蒸着膜
M 複数の噴射ノズルにおける各開口面の中心を結ぶ直線
P、Pa、Pb、Pc、Pd 各噴射ノズルの蒸着量の分布を表す曲線
Q 基板表面の中心
Ra、Rb、Rc、Rd 各噴射ノズルの蒸着流域
S シャドー
L1 一対の内側噴射ノズルの開口面の中心点間の距離
L2 一対の内側噴射ノズルのうちの一方の開口面の中心と、この内側噴射ノズルの外側に配置される外側噴射ノズルの開口面の中心との間の距離
θ1 内側噴射ノズルの開口面の傾斜角
θ2 外側噴射ノズルの開口面の傾斜角
θ1’ 内側噴射ノズルの先端部分の軸の傾斜角
θ2’ 外側噴射ノズルの先端部分の軸の傾斜角
Claims (6)
- 直線状に配置され、蒸着材を噴射する複数の噴射ノズルを有する蒸着源を備え、
上記複数の噴射ノズルが、
対向する向きに傾斜している開口面を有する一対の内側噴射ノズル、及び
上記一対の内側噴射ノズルの外側にそれぞれ配置され、外側に向かって傾斜している開口面を有する一対の外側噴射ノズル
を含み、
上記蒸着源が、上記一対の内側噴射ノズル間に配置され、噴射される蒸着材の分布を制御する制御板をさらに有する蒸着装置。 - 上記制御板の上記複数の噴射ノズルの各開口面の中心を通る法線を含む切断面における断面形状が、Y字状又はT字状である請求項1に記載の蒸着装置。
- 上記制御板が、上記噴射される蒸着材の分布を調整可能に構成されている請求項1又は請求項2に記載の蒸着装置。
- 上記一対の内側噴射ノズルの開口面の中心点間の距離L1が、300mm以上400mm以下、
上記一対の内側噴射ノズルのうちの一方の開口面の中心と、この内側噴射ノズルの外側に配置される外側噴射ノズルの開口面の中心との間の距離L2が、40mm以上120mm以下、
上記一対の内側噴射ノズルの開口面の傾斜角θ1が、30°以上45°以下、
上記一対の外側噴射ノズルの開口面の傾斜角θ2が、50°以上70°以下である請求項1、請求項2又は請求項3に記載の蒸着装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の蒸着装置を用いて蒸着を行う工程を備える蒸着方法。
- 蒸着装置の噴射ノズルから噴射される蒸着材の分布を制御する制御板であって、
断面形状が、2つの傾斜部を有するY字状又は水平部を有するT字状であり、
上記2つの傾斜部のそれぞれの傾斜角及び上記水平部の角度が調整可能に構成されている制御板。
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