JP5400653B2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5400653B2 JP5400653B2 JP2010031133A JP2010031133A JP5400653B2 JP 5400653 B2 JP5400653 B2 JP 5400653B2 JP 2010031133 A JP2010031133 A JP 2010031133A JP 2010031133 A JP2010031133 A JP 2010031133A JP 5400653 B2 JP5400653 B2 JP 5400653B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- nozzle
- longitudinal direction
- vacuum
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 title claims description 7
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 125
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 124
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 38
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 16
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 16
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 14
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 62
- 239000010408 film Substances 0.000 description 43
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 17
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 15
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 12
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Description
Claims (9)
- 長手方向を有する蒸発源を備え、前記長手方向と垂直なスキャン方向に前記蒸発源を移動させる真空蒸着装置において、
前記蒸発源は前記長手方向に対して複数の異なる形状を有するノズルを備え、
前記ノズルから噴射する蒸気の放射分布は、前記蒸発源の前記長手方向の中央部よりも両端部において狭まった放射分布を有し、
前記ノズルの形状は、前記中央部ではノズルの開口が大きく、前記両端部ではノズルの開口が小さいことを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項1の真空蒸着装置において、
前記ノズルの形状は、前記蒸発源の前記長手方向において、前記中央部におけるノズルの長さは、前記両端部におけるノズルの長さよりも短いことを特徴とする。 - 請求項1の真空蒸着装置において、
前記ノズルは、前記長手方向に長軸、前記スキャン方向に短軸を有する開口を有し、前記蒸発源の前記長手方向における中央部における前記開口の長軸の長さは、前記両端部における前記開口の長軸の長さよりも大きいことを特徴とする。 - 請求項1の真空蒸着装置において、
前記ノズルは、前記蒸発源の前記中央部においては、前記ノズルの開口が形成されている前記蒸発源の面に対して垂直に形成されており、前記両端部において前記ノズルは前記ノズルの開口が形成されている前記蒸発源の面に対して傾斜して形成されていることを特徴とする。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の真空蒸着装置において、
前記蒸発源は、複数の隔壁により複数の区画に分割されており、前記区画毎にノズル、オリフィス、および材料室を有し、それぞれの前記区画におけるコンダクタンスが長手方向に左右対称であることを特徴とする。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の真空蒸着装置において、
前記蒸発源は前記ノズルを挟む形で2枚の整流板を有し、前記2枚の整流板の間隔は、蒸発源の長手方向の中央部では狭く、その両端部で広いことを特徴とする。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の真空蒸着装置において、
前記蒸発源は蒸着材料と前記ノズルを挟む形で2枚の整流板を有し、前記2枚の整流板の間隔は、前記蒸着材料に近い側よりも、前記蒸着材料から遠い側において広いことを特徴とする。 - 請求項6または請求項7の真空蒸着装置において、
前記整流板は、加熱用のヒーターとその輻射熱を遮蔽する反射板を有することを特徴とする。 - 請求項1の真空蒸着装置において、
前記長手方向中央部における前記複数のノズルのピッチは、前記長手方向端部における前記複数のノズルのピッチよりも大きいことを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010031133A JP5400653B2 (ja) | 2010-02-16 | 2010-02-16 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010031133A JP5400653B2 (ja) | 2010-02-16 | 2010-02-16 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011168805A JP2011168805A (ja) | 2011-09-01 |
JP5400653B2 true JP5400653B2 (ja) | 2014-01-29 |
Family
ID=44683219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010031133A Expired - Fee Related JP5400653B2 (ja) | 2010-02-16 | 2010-02-16 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5400653B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101442787B1 (ko) | 2013-02-27 | 2014-09-24 | 공주대학교 산학협력단 | 태양전지용 cigs 박막 제조장치 |
CN104099571A (zh) * | 2013-04-01 | 2014-10-15 | 上海和辉光电有限公司 | 蒸发源组件和薄膜沉积装置和薄膜沉积方法 |
KR102053249B1 (ko) * | 2013-05-02 | 2020-01-09 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증착 소스 및 그것을 포함하는 증착 장치 |
KR102182114B1 (ko) * | 2013-12-16 | 2020-11-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 증발장치 |
KR102307431B1 (ko) * | 2015-01-22 | 2021-09-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 복수의 모듈을 갖는 증착원 |
KR101699168B1 (ko) * | 2015-07-22 | 2017-01-31 | 주식회사 야스 | 쉐도우 효과를 방지하기 위한 선형증발원용 차단판 |
JP2019044253A (ja) * | 2017-09-07 | 2019-03-22 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 蒸着マスク、蒸着マスクの作製方法、および表示装置の製造方法 |
WO2019171545A1 (ja) * | 2018-03-08 | 2019-09-12 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | 成膜装置、蒸着膜の成膜方法および有機el表示装置の製造方法 |
CN113574202B (zh) * | 2019-05-13 | 2022-12-02 | 株式会社爱发科 | 蒸镀单元及具有该蒸镀单元的真空蒸镀装置 |
US20220145443A1 (en) * | 2019-05-13 | 2022-05-12 | Ulvac, Inc. | Vapor deposition unit and vacuum vapor deposition apparatus provided with vapor deposition unit |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100784953B1 (ko) * | 2006-05-23 | 2007-12-11 | 세메스 주식회사 | 다수의 도가니를 이용한 유기발광소자 박막 제작을 위한선형증발원 |
JP2008208443A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-11 | Sony Corp | 蒸着成膜装置、蒸着成膜方法、および表示装置の製造方法 |
-
2010
- 2010-02-16 JP JP2010031133A patent/JP5400653B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011168805A (ja) | 2011-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5400653B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP6239286B2 (ja) | 蒸着装置およびこれを用いた有機発光表示装置の製造方法 | |
JP4440837B2 (ja) | 蒸発源及びこれを採用した蒸着装置 | |
KR100623730B1 (ko) | 증발원 어셈블리 및 이를 구비한 증착 장치 | |
JP5492120B2 (ja) | 蒸発源および蒸着装置 | |
US20070119849A1 (en) | Heater and vapor deposition source having the same | |
KR102046441B1 (ko) | 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 | |
JP2005044592A (ja) | 蒸着用マスク、この蒸着用マスクを用いた成膜方法及びこの蒸着用マスクを用いた成膜装置 | |
JP2004107764A (ja) | 薄膜形成装置 | |
JP6186447B2 (ja) | Oled照明デバイス製造方法及び装置 | |
KR20140006499A (ko) | 증착 장치 | |
KR20160112293A (ko) | 증발원 및 이를 포함하는 증착장치 | |
TWI576456B (zh) | 沉積裝置與使用其製造有機發光二極體顯示器之方法 | |
US9303317B2 (en) | Deposition apparatus | |
KR102039684B1 (ko) | 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법 | |
CN107735509B (zh) | 蒸镀源、蒸镀装置和蒸镀膜制造方法 | |
KR20160090988A (ko) | 복수의 모듈을 갖는 증착원 | |
JP2010159454A (ja) | 成膜装置、成膜方法 | |
CN211665166U (zh) | 一种oled蒸镀坩埚 | |
KR101480141B1 (ko) | 유기재료 사용효율 증대를 위한 증발원 | |
JP2013209696A (ja) | 真空蒸着装置およびその蒸着源 | |
JP2013209696A6 (ja) | 真空蒸着装置およびその蒸着源 | |
TW201925499A (zh) | 蒸鍍裝置、蒸鍍方法和控制板 | |
JP2020521039A (ja) | 蒸発した材料を堆積させるための蒸発源、真空堆積システム、及び蒸発した材料を堆積させるための方法 | |
KR20150086781A (ko) | 대용량 증발원 및 이를 포함하는 증착장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130416 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131001 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131025 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |