CN211665166U - 一种oled蒸镀坩埚 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部具有开口，还包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述开口上，所述喷嘴的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小，所述喷嘴的内腔通过所述开口与所述坩埚本体连通，所述喷嘴的内腔用于作为坩埚本体内的待蒸镀物的喷出通道。上述技术方案的喷嘴使坩埚无需使用限制板来调节蒸镀角，从而避免开腔更换并清洗制限板，这样能够使待蒸镀物以较大的程度均匀地镀到基板上。提高了OLED蒸镀坩埚的稼动率，降低OLED蒸镀坩埚的使用成本，提高成膜质量。

Description

一种OLED蒸镀坩埚

技术领域

本实用新型涉及OLED技术领域，尤其涉及一种OLED蒸镀坩埚。

背景技术

有机电致发光显示装置(英文全称Organic Light Emitting Display，简称OLED)是主动发光显示装置，具有高对比度、广视角、低功耗、体积更薄等优点，有望成为下一代主流平板显示技术。请参阅图1和图2，在蒸镀成膜过程中，通过加热蒸镀源中的待蒸镀物(如有机材料等)，使其气化而从顶端喷嘴处喷出并穿过设有开口图案的金属掩膜板，最终在基板上沉积成目标膜层。其中，金属掩膜板的开口图案边缘存在一个缺口，缺口具有蒸镀角，使得蒸镀源内的有机材料蒸镀至基板上存在着53°左右的蒸镀角，为了搭配精细金属掩膜板的蒸镀角，坩埚本体上喷嘴的两侧会设置制限板，以便进一步减小阴影效应，提高成膜质量。

此外，目前坩埚包括坩埚本体和喷嘴，蒸镀源顶部的喷嘴大多为圆孔开口，虽在喷嘴附近设置加热源(Top温度)，以便减小塞孔的风险，但坩埚喷嘴附近的Top温度与坩埚底部的Bottom温度相近时，易出现塞孔现象，影响到正常的蒸镀速率，使得蒸镀的时间变长。

实用新型内容

为此，需要提供一种OLED蒸镀坩埚，解决坩埚需要使用限制板来调节蒸镀角的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部具有开口，还包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述开口上，所述喷嘴的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小，所述喷嘴的内腔通过所述开口与所述坩埚本体连通，所述喷嘴的内腔用于作为坩埚本体内的待蒸镀物的喷出通道。

进一步地，所述坩埚本体的上方设置有金属掩膜板，所述金属掩膜板具有开口图案，所述金属掩膜板正对所述喷嘴方向，开口图案顶部边缘具有蒸镀角，所述金属掩膜板的开口图案及缺口用于让坩埚本体内的待蒸镀物穿过并在基板上形成图案。

进一步地，所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角和蒸镀角的大小相同。

进一步地，坩埚本体外还包括基板，所述基板设置在所述坩埚本体的上方，所述基板用于沉积经所述喷嘴喷出的坩埚本体内的待蒸镀物，所述基板正对所述喷嘴方向。

进一步地，所述喷嘴为锥台结构，所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角为53度。

进一步地，所述喷嘴为截面是方形的锥台结构。

进一步地，所述喷嘴的内腔壁上设置有石墨烯涂层。

进一步地，所述开口为多个，所述喷嘴为多个，多个所述开口上分别设置有多个所述喷嘴。

进一步地，所述多个开口间距相同且处在一条直线上。

区别于现有技术，上述技术方案的喷嘴使坩埚无需使用限制板来调节蒸镀角，从而避免开腔更换并清洗制限板，这样能够使待蒸镀物以较大的程度均匀地镀到基板上。提高了OLED蒸镀坩埚的稼动率，降低OLED蒸镀坩埚的使用成本，提高成膜质量。

附图说明

图1为背景技术所述OLED蒸镀坩埚的结构示意图；

图2为背景技术所述坩埚本体和限制板的结构示意图；

图3为本实施例所述坩埚本体和喷嘴的结构示意图；

图4为本实施例所述坩埚本体和喷嘴的剖面结构示意图；

图5为本实施例所述基板、目标膜层和金属掩膜板的剖面结构示意图；

图6为本实施例所述OLED蒸镀坩埚的结构示意图。

附图标记说明：

1、基板；

2、目标膜层；

3、坩埚本体；

4、喷嘴；

5、金属掩膜板；

51、开口图案；

52、缺口；

6、限制板。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1至图6，本实施例包括一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体3，所述坩埚本体3的顶部具有开口，所述坩埚本体用于盛放待蒸镀物，一般情况下，待蒸镀物可以是金属或有机材料等待蒸镀的材料。为了放置待蒸镀物到坩埚中，坩埚可以设置加料口或者设置可打开的上盖，而后开口设置在上盖上。坩埚还包括喷嘴4，所述喷嘴4设置在所述开口上，所述喷嘴4的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小，即形成类似锥台形的结构。锥台形的截面可以是圆形、方形，喷嘴锥台形的结构可参阅图3和图4。所述喷嘴4的内腔通过所述开口与所述坩埚本体3连通，所述喷嘴4的内腔用于作为坩埚本体3内的待蒸镀物的喷出通道。在现有技术中，金属掩膜板5上的开口图案顶部边缘处具有蒸镀角(在下文会进行说明)，为了搭配金属掩膜板5的蒸镀角，一般采用在坩埚本体3的两侧设置限制板6对待蒸镀物起到限制引导的作用，减小由于金属掩膜板5的斜切角引起的阴影效应。类似锥形结构的喷嘴使坩埚无需使用限制板来调节蒸镀角，从而避免经常开腔更换并清洗制限板。并可以够使待蒸镀物以较大的程度均匀地镀到基板上，提高了OLED蒸镀坩埚的稼动率，降低OLED蒸镀坩埚的使用成本，提高成膜质量。

在某些实施例中，坩埚本体的上方设置有金属掩膜板5，所述金属掩膜板5正对所述喷嘴4方向，所述金属掩膜板5具有开口图案51，所述开口图案51用于使坩埚本体3内的待蒸镀物穿过并形成图案。待蒸镀物从坩埚本体气化后，从坩埚本体3顶端的喷嘴4处喷出并穿过开口图案51处的金属掩膜板5，最终在基板上沉积成目标膜层2。开口图案处51的边缘上具有缺口52，缺口52也为蒸镀角，蒸镀角使得开口图案的口径变大，让坩埚本体3内的待蒸镀物以更大的程度蒸镀至基板上。

请参阅图5，在本实施例中，为了让喷嘴的侧壁与坩埚本体的顶端之间的夹角与金属掩膜板上的蒸镀角进行配合，调整喷嘴的侧壁与坩埚本体的顶部之间的夹角和所述缺口的侧壁与蒸镀角相等。所以，所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角和所述缺口的侧壁与所述金属掩膜板的蒸镀角的大小相同。一般的情况下，坩埚本体的顶端与水平面相平，开口图案处51的边缘上具有缺口52的角度为53度，于是使喷嘴的侧壁与坩埚本体的顶部之间的夹角也为53度，或者允许角度误差为2度至3度上下。在某些情况下，开口图案处51的边缘上存在50度、51度、或者其它角度的蒸镀角，喷嘴的侧壁与坩埚本体的顶部之间的夹角也相应地与蒸镀角相等，或者也允许角度误差2度至3度上下。

在本实施例中，为了减小待蒸镀物在蒸镀时附着在喷嘴的内腔上，避免出现喷嘴塞孔的现象，所述喷嘴的内腔壁上设置有石墨烯涂层。石墨烯涂层具有良好的导热性能和低摩擦系数，良好的导热性使加热装置的热量可传导到喷嘴处，使喷嘴处具有较高的温度，使待蒸镀物的蒸汽在坩埚本体内部上升到喷嘴处时尽可能减少温度损失。避免喷嘴处的温度低引起该处的待蒸镀物冷却，冷却后会回流至坩埚本体内。当再次被加热蒸发时，会以大分子或分子团的形式进行蒸镀，影响到膜层的均匀性，并且经过一次加热蒸发的材料，往往会部分变性，再次蒸镀这些回流材料会使影响产品的良率。所以喷嘴的内腔壁上设置有石墨烯涂层可以减少待蒸镀物冷却的可能性，避免喷嘴堵塞。低摩擦系数可以使待蒸镀物不易附着在石墨烯涂层上，也可避免喷嘴堵塞。

在某些实施例中，所述开口为多个，所述喷嘴为多个，多个所述开口上分别设置有多个所述喷嘴。多个所述开口和多个所述喷嘴同时进行蒸镀，所述多个开口间距相同且处在一条直线上，可以提高蒸镀的效率。当然，所述多个开口的间距也可以不相同，且任意设置。

请参阅图6，在某些实施例中，坩埚本体的上方设置有基板1，所述基板1为待蒸镀物的待制作区域，所述基板1用于装载经所述喷嘴喷出的坩埚本体内的待蒸镀物，待蒸镀物在基板1上形成目标膜层2，所述基板1一般与水平面相平，所述基板1正对所述喷嘴4方向。

在某些实施例中，坩埚是用于蒸镀材料(待蒸镀物)的盛放设备，当然在坩埚本体外还包括加热装置，加热装置可以是电阻加热源、电子束加热源、激光加热源和高频感应加热源等，加热装置用于加热所述坩埚本体。当然，当坩埚本体为多个时，蒸发源也为多个，或者一个加热装置上可加热多个坩埚本体。或者在其它一些实施例中，所述加热装置为加热板、红外线热板对坩埚本体进行加热的形式。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚本体，所述坩埚本体的顶部具有开口，其特征在于，还包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述开口上，所述喷嘴的横截面积由喷嘴顶部至底部逐渐减小，所述喷嘴的内腔通过所述开口与所述坩埚本体连通，所述喷嘴的内腔用于作为坩埚本体内的待蒸镀物的喷出通道；所述坩埚本体的上方设置有金属掩膜板，所述金属掩膜板具有开口图案，所述金属掩膜板正对所述喷嘴方向，开口图案顶部边缘具有蒸镀角，所述金属掩膜板的开口图案及缺口用于让坩埚本体内的待蒸镀物穿过并在基板上形成图案。

2.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角和蒸镀角的大小相同。

3.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚，其特征在于，坩埚本体外还包括基板，所述基板设置在所述坩埚本体的上方，所述基板用于沉积经所述喷嘴喷出的坩埚本体内的待蒸镀物，所述基板正对所述喷嘴方向。

4.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴为锥台结构，所述喷嘴的侧壁与所述坩埚本体的顶部之间形成的夹角为53度。

5.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴为截面是方形的锥台结构。

6.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴的内腔壁上设置有石墨烯涂层。

7.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀坩埚，其特征在于，所述开口为多个，所述喷嘴为多个，多个所述开口上分别设置有多个所述喷嘴。

8.根据权利要求7所述的一种OLED蒸镀坩埚，其特征在于，多个所述开口间距相同且处在一条直线上。

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