KR20060085494A - 유기물 증발장치 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 챔버;상기 챔버의 내측에 수직으로 세워진 기판;상기 기판에 이격설치되며, 일면이 개구된 하우징과, 상기 하우징 내부에 위치하며, 내부에 유기물이 저장되고 일면이 개구된 유기물 저장부와, 상기 유기물 저장부와 상기 하우징 사이에 개재된 가열부 및 상기 유기물 저장부의 개구된 부분에 설치되어 상기 유기물 저장부를 밀폐하는 노즐몸체와, 상기 노즐몸체의 입구측에 형성되어 토출방향으로 내경이 커지도록 형성된 다수의 분사유로를 구비한 유기물 분사노즐부로 이루어진 유기물 증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 1항에 있어서,상기 기판은 지면에 대하여 70°내지 110°의 각도를 유지하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 1항에 있어서,상기 분사유로에는 토출방향으로 내경이 확장된 다수의 단차면이 형성된 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 1항에 있어서,상기 분사유로에는 기판이 토출방향으로 내경이 확장된 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 1항에 있어서,상기 노즐몸체의 입구 측에는 상기 유기물 저장부의 유기물이 상기 분사유로 측으로 튀는 것을 방지하도록 하는 튐 방지막을 구비한 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 1항에 있어서,상기 증발원은 유기물의 증착률 및 유기물의 증착 두께를 측정하는 측정장치가 더 추가되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 챔버;상기 챔버의 내측에 수평으로 위치한 기판;상기 기판에 이격설치되며, 일면이 개구된 하우징과, 상기 하우징 내부에 위치하며, 내부에 유기물이 저장되고 일면이 개구된 유기물 저장부와, 상기 유기물 저장부와 상기 하우징 사이에 개재된 가열부 및 상기 유기물 저장부의 개구된 부분에 설치되어 상기 유기물 저장부를 밀폐하는 노즐몸체와, 상기 노즐몸체의 입구측에 형성되어 토출방향으로 내경이 커지도록 형성된 다수의 분사유로를 구비한 유기 물 분사노즐부를 구비한 유기물 증발원을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 7항에 있어서,상기 분사유로에는 토출방향으로 내경이 확장된 다수의 단차면이 형성된 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 7항에 있어서,상기 분사유로에는 기판이 토출방향으로 내경이 확장된 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 7항에 있어서,상기 노즐몸체의 입구 측에는 상기 유기물 저장부의 유기물이 상기 분사유로 측으로 튀는 것을 방지하도록 하는 튐 방지막을 구비한 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
- 제 7항에 있어서,상기 증발원은 유기물의 증착률 및 유기물의 증착 두께를 측정하는 측정장치가 더 추가되는 것을 특징으로 하는 유기물 증발장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050006388A KR100666572B1 (ko) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | 유기물 증발장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050006388A KR100666572B1 (ko) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | 유기물 증발장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060085494A true KR20060085494A (ko) | 2006-07-27 |
KR100666572B1 KR100666572B1 (ko) | 2007-01-09 |
Family
ID=37175187
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020050006388A KR100666572B1 (ko) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | 유기물 증발장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100666572B1 (ko) |
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---|---|---|---|---|
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-01-24 KR KR1020050006388A patent/KR100666572B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Publication date |
---|---|
KR100666572B1 (ko) | 2007-01-09 |
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