KR101646185B1 - 선형 증발 증착 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 선형 증발 증착 장치를 제공한다. 이 선형 증발 증착 장치는 제1 방향으로 연장되고 진공 용기의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 생성하는 도전 도가니부; 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된 노즐 블록; 상기 진공 용기의 내부에서 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열하는 유도 가열 코일; 및 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원을 포함한다. 상기 복수의 관통 노즐은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간과 서로 연통되고 상기 제2 방향을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
Description
본 발명은 선형 증발 증차 장치에 관한 것으로, 더 구체적으로 유도 가열 선형 증발 증착 장치에 관한 것이다.
저분자 유기 EL 박막은 저분자 유기 물질을 담은 도가니를 감싼 열선에 전류를 흘려 가열하고 도가니에 전달된 열이 도가니 내의 유기물질의 온도를 상승시키며 유기물질의 온도가 상승됨에 따라 유기물질이 기체의 형태로 도가니를 빠져나가 기판에 증착되는 방식으로 주로 만들어진다. 이러한 열 증착법에 의한 유기 박막의 제작에는 대부분 점 증발원을 사용해왔다.
점 증발원은 기판에 유기물질이 증착됨에 있어 점 증발원에 가까운 기판 부분은 두껍게 박막이 형성되고 먼 기판 부분은 얇게 형성되어 박막이 균일하게 만들어지지 못한다. 따라서, 기판 중심으로부터 먼 곳에 점 증발원을 설치하고 기판을 회전하는 방법을 사용한다. 하지만 이 경우, 증착 챔버의 크기가 커지고 기판을 잡고 회전해야 하며 박막의 균일성도 원하는 만큼 얻지 못하고 있다. 그리고 점 증발원의 용량이 작고 기판 중심에서 먼 곳에 설치되기 때문에 점 증발원으로부터 분출된 유기물질 기체의 대부분은 기판이 아닌 증착 챔버에 증착되어 유기물 사용의 효율성이 현저히 떨어지게 되므로 잦은 유기 물질의 재충전이 필요하거나 증착 챔버에 다수의 점 증발원을 넣어 복잡한 제어를 통해 돌려가며 사용하는 등의 문제가 있다. 게다가 대면적 기판의 경우, 이들 문제가 더욱 심해진다.
증발원은 분사 홀의 개수 및/또는 배열 등에 따라서 점 소스(point source), 선형 증발원(linear source), 그리고 면 증발원(area source) 등으로 구분될 수 있다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라서 점 소스보다는 선형 증발원이 주목을 받고 있으며, 선형 증발원의 길이는 점차 증가하고 있다. 선형 증발원은 점 소스에 비하여 증착 재료의 효율이 높을 뿐만 아니라 높은 증착 속도의 구현이 가능하기 때문이다. 다만, 선형 증발원은 통상적으로 증발원을 좌우 또는 상하로 스캔하기 위한 스캔 수단이 필요하다. 그리고 선형 증발원은 증착 온도 및 증착 속도의 제어가 어려울 뿐만 아니라 증착 균일성을 얻기가 어려운 단점이 있다. 특히, 대면적의 기판에 대응할 수 있도록 선형 증발원의 길이가 길어질수록 전체적으로 증착 균일성을 달성하기가 더욱 어려워진다.
또한, 점증발원이나 선형 증발원의 교체시에는 고진공의 진공챔버에서 이루어져야 하므로, 교체 후 다시 고진공으로 배기할 때까지 상당한 시간을 필요로 하게 되어 불합리한 점이 있게 된다. 또한, 점 증발원 또는 선형 증발원 증착 물질을 대량의 수납하는 경우, 증착 물질은 열에 의하여 변성될 수 있다. 빈번한 증착 물질의 교체는 경제적으로 비효율적이다. 따라서, 대용량의 유기물을 수납하고, 유기물 증착을 위한 새로운 구조의 선형 증발 장치가 요구된다.
또한, 유기물 증착 장치는 새도우 마스크(shadow mask)를 사용할 수 있고, 미세 패턴을 위하여 직진성을 가지는 새로운 증발원이 요구된다. 그러나, 통상적인 노즐의 경우, 노즐은 증발원으로부 돌출되어 배치되고, 증기의 직진성을 향상하기 위하여 노즐의 종횡비를 증가시키는 경우, 열전도에 의하여 균일한 노즐의 가열이 어렵다. 따라서, 직진성을 향상하기 위한 새로운 선형 노즐 구조가 요구된다.
또한, 노즐을 가열하기 위한 저항성 가열은 온도 균일성을 유지하기 어렵다. 따라서, 새로운 가열 수단이 요구된다.
본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 높은 직진성을 가지고 대면적 기판을 균일하게 증착할 수 있는 유도 가열 선형 증발 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 증착막의 균일도를 향상시킴과 동시에 유기 물질의 사용의 효율성을 향상시키기 위한 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발원을 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 높은 직진성을 가지고 대면적 기판을 균일하게 증착할 수 있고 열 변성없이 대용량의 증착 물질을 수납할 수 있는 유기 발광 소자 박막 제작을 선형 증발 증착 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 증착 박막의 공간적 균일도를 향상시킴과 동시에 유기 물질의 사용의 효율성을 향상시키기 위한 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결하고자 하는 일 기술적 과제는 유도 가열 구조 및 블록형태의 노즐 구조를 채용하여 유도 가열 및 온도 제어가 용이한 유기 발광 소자 박막 제작을 위한 선형 증발 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 제1 방향으로 연장되고 진공 용기의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 생성하는 도전 도가니부; 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된 노즐 블록; 상기 진공 용기의 내부에서 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열하는 유도 가열 코일; 및 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원을 포함한다. 상기 복수의 관통 노즐은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간과 서로 연통되고 상기 제2 방향을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통 노즐은 원기둥 형상이고, 상기 관통 노즐의 종횡비(aspect ratio)는 5 내지 100일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통 노즐은 음의 제2 방향인 중력 방향에 반하여 하향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통 노즐은 상기 양의 제2 방향인 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 상기 도전 도가니부는 상기 제1 방향으로 연장되는 증착 물질 수납 공간을 구비하는 도가니 몸체; 상기 증착 물질 수납 공간의 하부면에서 돌출된 돌출부 및 상기 돌출부를 관통하여 상기 관통 노즐과 각각 정렬되는 가이드 관통홀을 구비하는 증기 가이드부; 상기 증기 가이드부를 덮고 있는 도전 덮개부; 및 상기 도전 덮개부를 덮고 있는 단열 덮개부를 포함할 수 있다. 상기 증기 가이드부는 상기 돌출부와 상기 가이드 관통홀을 연통시키는 가이드 개구부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통 노즐은 상기 양의 제2 방향인 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 상기 도전 도가니부는 상기 제1 방향으로 연장되는 증착 물질 수납 공간을 구비하는 도가니 몸체; 상기 증착 물질 수납 공간의 하부면에서 상기 제1 방향으로 연장되고 음의 제2 방향으로 돌출된 돌출부 및 상기 돌출부를 관통하여 상기 관통 노즐과 각각 정렬되는 가이드 관통홀을 구비하는 증기 가이드부; 상기 제3 방향으로 관통하는 격벽 개구부를 포함하고, 상기 증기 가이드부의 양측에서 상기 제1 방향으로 나란히 연장되는 가이드 격벽; 상기 증기 가이드부를 덮고 있는 도전 덮개부; 및상기 도전 덮개부를 덮고 있는 단열 덮개부를 포함할 수 있다. 상기 증기 가이드부는 상기 돌출부와 상기 가이드 관통홀을 연통시키는 가이드 개구부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통 노즐은 상기 양의 제3 방향인 중력 방향에 대하여 측향식으로 상기 증기를 토출하고, 상기 노즐 블록은 상기 도전 도가니의 상부 측면에서 중력에 수직한 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 복수의 관통 노즐들은 제1 방향으로 나란히 배치된 제1 행, 상기 제1 행의 좌측에 배치된 제2 행, 및 상기 제1 행의 우측에 배치된 제3 행을 포함할 수 있다. 상기 제2 행의 노즐과 상기 제3 행의 노즐은 제2 방향으로 서로 정렬되고, 상기 제1 행의 노즐은 상기 제2 행의 이웃한 노즐들 사이에 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록은 상기 도전 도가니부의 내부에 삽입되도록 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통 노즐들의 단면적의 총합은 상기 제2 방향 및 제3 방향에 의하여 정의된 평면에서 도전 도가니부의 단면적 보다 작을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 노즐 블록의 양단 주위에서 관통 노즐의 밀도가 증가하거나 상기 관통 노즐의 직경이 증가할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록을 감싸는 노즐 유도 가열 코일 및 상기 도전 도가니부를 감싸는 도가니 유도 가열 코일을 포함할 수 있다. 상기 노즐 유도 가열 코일과 상기 도가니 유도 가열 코일은 전기적으로 직렬 연결될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 유도 가열 코일과 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부 사이의 간격은 상기 제1 방향을 따라 연장되면서, 적어도 한번 변경될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 관통 노즐은 상기 증기의 토출 방향으로 진행함에 따라 직경이 점차 증가할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 높은 직진성을 가지고 대면적 기판을 균일하게 증착할 수 있고 열 변성없이 대용량의 증착 물질을 수납할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치는 유도 가열 구조 및 블록 형태의 노즐 구조를 채용하여 유도 가열 및 온도 제어가 용이한 유기 발광 소자 박막을 제공할 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 길이 방향으로 절단한 단면도이다.
도 1c는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 단면도이다.
도 1d는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 유도 가열 코일과 노즐 블록 사이의 간격을 설명하는 평면도이다.
도 1e는 도 1a의 노즐 블록과 도전 도가니부의 분해 사이도이다.
도 1f는 관통 노즐의 배열을 설명하는 평면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2b는 도 2a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 단면도이다.
도 2c는 도 2a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 절단 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 폭 방향을 절단된 단면도이다.
도 3b는 도 3a의 도전 도가니를 설명하는 절단 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 선형 증발 증착 장치를 설명하는 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 5b는 도 5a의 선형 증발 증착 장치를 설명하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 폭 방향의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 관통 노즐의 형상을 나타내는 단면도이다.
도 1b는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 길이 방향으로 절단한 단면도이다.
도 1c는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 단면도이다.
도 1d는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 유도 가열 코일과 노즐 블록 사이의 간격을 설명하는 평면도이다.
도 1e는 도 1a의 노즐 블록과 도전 도가니부의 분해 사이도이다.
도 1f는 관통 노즐의 배열을 설명하는 평면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2b는 도 2a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 단면도이다.
도 2c는 도 2a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 절단 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 폭 방향을 절단된 단면도이다.
도 3b는 도 3a의 도전 도가니를 설명하는 절단 사시도이다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 선형 증발 증착 장치를 설명하는 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 5b는 도 5a의 선형 증발 증착 장치를 설명하는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 폭 방향의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 관통 노즐의 형상을 나타내는 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 유도 가열 선형 증발 증착 장치는 증착 물질을 토출하는 노즐 블록을 유도 가열 방식으로 직접 가열한다. 시변 자기장은 유도 전기장을 생성하고, 유도 전기장은 노즐 블록 및 도전 도가니부를 직접 가열한다. 유도 가열 선형 증발 증착 장치는 증기를 토출하는 노즐 블록과 상기 노즐 블록에 증기를 제공하고 증착 물질을 수납하는 도전 도가니부를 포함할 수 있다.
상기 노즐 블록은 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 관통 노즐은 증기의 직진성을 향상하기 위하여 높은 종횡비(aspect ratio)를 가질 수 있다. 그러나, 통상적인 노즐의 경우, 높은 종횡비를 가지는 경우, 열전도에 의하여 균일한 노즐의 가열이 어렵다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 유도 가열 코일은 높은 종횡비의 노즐을 구비한 노즐 블록 및 도전 도가니를 직접 유도 가열하므로, 공간적인 온도 불균일성을 해소할 수 있다. 또한, 공간적인 온도 구배가 있는 경우에도, 공간 온도 조절부는 공간적으로 유도 전기장의 세기를 조절하여, 공간적인 온도 분포를 제어할 수 있다. 구체적으로, 상기 공간 온도 조절부는 자성체 재질의 요크일 수 있다. 자성체는 자속을 구속하여, 상기 자성체와 상기 유도 가열 코일 사이의 간격을 제어함으로써, 상기 공간 온도 조절부는 유도 전기장의 공간 분포 또는 공간적인 온도 분포를 제어할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 구성요소는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 길이 방향으로 절단한 단면도이다.
도 1c는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 단면도이다.
도 1d는 도 1a의 선형 증발 증착 장치의 유도 가열 코일과 노즐 블록 사이의 간격을 설명하는 평면도이다.
도 1e는 도 1a의 노즐 블록과 도전 도가니부의 분해 사이도이다.
도 1f는 관통 노즐의 배열을 설명하는 평면도이다.
도 1a 내지 도 1f를 참조하면, 선형 증발 증착 장치(100)는 도전 도가니부(160), 노즐 블록(120), 유도 가열 코일(132,134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전 도가니부(160)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(160a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부(160)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(160)를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열한다. 상기 교류 전원(138)은 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(160a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
증착 물질(10)은 유기 발광 다이오드에 사용되는 유기 물질일 수 있다. 구체적으로, 상기 유기 물질은 Tris(8-hydroxyquinolinato)aluminium( Al(C9H6NO)3)를 포함할 수 있다. 상기 유기 물질(10)은 상온에서 분말 형태의 고체이고, 상기 유기 물질은 섭씨 300도 근처에서 승화 또는 증발될 수 있다. 상기 도전 도가니부(160)가 대용량의 증착 물질을 수납하도록 사용될 수 있다.
종래의 선형 증발 증착 장치에서, 도가니는 증착 물질을 수납하고 가열한다. 선형 노즐들은 상기 도가니에 직접 연통된다. 이 경우, 상기 도가니가 위치에 따른 온도 분포를 가지는 경우, 국부적으로 온도가 높은 특정 위치의 증착 물질은 빨리 소모되고, 소모된 영역에서 압력이 감소한다. 불균일한 온도 분포 또는 압력 분포는 균일한 증착을 저해한다. 특히, 종래의 도가니의 가열 수단은 저항성 열선을 사용하고, 상기 저항성 열선은 도가니와의 접촉 상태에 따라 공간적인 온도 차이를 제공할 수 있다. 상기 저항성 열선은 도가니에 재충전을 위하여 분해 결합하기 어렵다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 유도 가열 방식을 이용하고, 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록(120)의 연장 방향(x축 방향)을 따라 연장되면서 상기 도전 도가니부(160) 및/또는 상기 노즐 블록(120)을 감싸도록 배치된다. 이에 따라, 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전 도가니부(160) 및/또는 상기 노즐 블록(120)과 인접하여 배치되어 효율적인 유도 가열을 수행할 수 있다. 상기 유도 가열 코일(132,134)이 상기 진공 용기(144) 내부에 배치됨에 따라, 상기 도전 도가니부(160) 및 상기 노즐 블록(120)의 효율적인 가열이 가능하다. 또한, 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(160)의 구조는 다양하게 변형될 수 있다.
상기 유도 가열 코일(132,134)은 파이프 형상 또는 띠 형상이고, 상기 유도 가열 코일의 내부에 냉매가 흐를 수 있다. 또한, 상기 유도 가열 코일(132,134)에 의한 유도 전기장은 비접촉식으로 상기 도전 도가니부(160) 및 상기 노즐 블록(120)의 외주면을 따라 공간적으로 균일하게 직접 가열한다. 따라서, 접촉에 따른 온도 불균일성이 제거되고, 가열 안정성이 향상되고, 기구적 구성이 간단한다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전 도가니부(160) 및 상기 노즐 블록(120)과 공간적으로 이격되어 배치된다. 지지부(133)는 상기 유도 가열 코일(132,134)을 고정한다. 상기 지지부(133)는 절연체로 형성되고, 상기 지지부(133)는 세라믹 또는 알루미나 재질일 수 있다. 또한, 상기 노즐 블록(120)과 상기 도전 도가니부(160)는 상기 유도 가열 코일(132,134)과 비접촉식으로 배치되어, 분해 및 결합이 용이하다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 노즐 블록(120)은 선형 배열된 복수의 관통 노즐들(122)을 포함할 수 있다. 종래의 선형 노즐은 노즐마다 파이프를 포함한다. 파이프 형상의 노즐은 저항성 가열에 의하여 독립적으로 가열되기 어렵다. 상기 저항성 가열은 접촉에 의한 열전도에 의하여 수행되므로, 종래의 파이프 형상의 노즐은 도가니의 가열에 의하여 열전도를 통하여 간접적으로 가열된다. 따라서, 상기 파이프 형상의 노즐의 독립적인 온도 조절이 어렵다. 이에 따라, 상기 파이프 형상의 노즐은 증착에 의하여 막힐 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 노즐 블록(120)은 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형태이고, 상기 노즐 블록(120)에 복수의 관통 노즐들(122)이 선형 배열된다. 따라서, 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록(120) 전체를 독립적으로 직접 가열할 수 있다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 노즐 블록(120)과 상기 도전 도가니부(160) 사이에 온도 구배(temperature gradient)를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 노즐 블록(120)은 증착에 의한 막힘 현상을 해결할 수 있다. 또한, 상기 노즐 블록(120)의 길이 방향의 온도 분포는 노즐 유도 가열 코일(132)과 상기 노즐 블록(120) 사이의 간격을 조절하여 수행될 수 있다. 예를 들어, 상기 노즐 블록의 중심 부위에서 상기 노즐 유도 가열 코일(132)과 상기 노즐 블록(120) 사이의 간격은 상기 노즐 블록(120)의 가장 자리 부위에서 상기 간격보다 크도록 설계될 수 있다.
상기 공간 온도 조절부(140)는 자성체 재질의 요크일 수 있다. 자성체는 자속을 구속하고, 상기 공간 온도 조절부(140)와 상기 유도 가열 코일(132,134) 사이의 간격을 제어함으로써, 상기 공간 온도 조절부(140)는 유도 전기장의 공간 분포 또는 공간적인 온도 분포를 제어할 수 있다. 상기 공간 온도 조절부(140)는 간격 조절하기 위한 이동 수단을 포함할 수 있다. 상기 공간 온도 조절부(140)는 상기 유도 가열 코일에 대하여 제2 방향으로 이격되어 자속을 구속하도록 배치될 수 있다.
상기 진공 용기(144)는 도전성 물질로 형성될 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 직육면체 구조의 챔버일 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 진공 펌프에 의하여 진공 상태로 배기될 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 내부에 기판 홀더(미도시), 및 상기 기판 홀더에 장착된 기판(146)을 포함할 수 있다. 상기 진공 용기(144)는 상기 기판의 앞면에 배치되어 패터닝을 수행하는 새도우 마스크(shadow mask)를 포함할 수 있다.
상기 기판(146)은 유기 발광 다이오드를 포함하는 유리 기판 또는 플라스틱 기판일 수 있다. 상기 기판(146)은 사각 기판일 수 있다.
상기 선형 증발 증착 장치(100)의 노즐 블록(120)은 중력에 반하여 상향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 구체적으로, 중력 방향(g)은 음의 제2 방향(음의 y축 방향)일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)은 중력에 반하여 상기 진공 용기(144)의 내측 상부에 배치된 기판(146)에 증기를 토출할 수 있다.
상향식 증발 증착 장치의 경우, 관통 노즐(122)은 진공 용기의 상부면을 향하여 증기를 토출하고, 하향식 증발 증착 장치의 경우, 관통 노즐(122)은 진공 용기의 하부면을 향하여 증기를 토출하고, 측향식 증발 증착 장치의 경우, 관통 노즐(122)은 진공 용기의 측면을 향하여 증기를 토출할 수 있다.
상기 도전 도가니부(160)는 전기 전도도가 높은 금속 물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 도전 도가니부(160)는 스테인레스 스틸, 구리, 탄탈, 타이타늄, 텅스텐, 또는 니켈일 수 있다. 상기 도전 도가니부(160)는 상기 제1 방향(x축 방향)으로 연장될 수 있다. 상기 제2 방향(y축 방향)이 중력 방향(g 방향)의 반대 방향일 수 있다. 상기 도전 도가니부(160)는 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형상일 수 있다.
상기 도전 도가니부(160)는 상부면에 제1 방향으로 연장되는 정렬 홈(113)이 배치될 수 있다. 상기 정렬 홈(113)의 내부에는 상기 제1 방향으로 연장되는 관통 슬릿(114)이 배치될 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 정렬 홈(113)에 삽입되어 용접 등의 수단에 의하여 고정될 수 있다. 이에 따라, 상기 도전 도가니부(160)의 증착 물질 수납 공간(160a)의 증기는 상기 관통 슬릿(114) 및 상기 관통 노즐들(122)을 통하여 상기 제2 방향으로 토출될 수 있다.
상기 노즐 블록의 관통 노즐들(122)의 출구는 상기 제2 방향을 향하여 배치될 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형상일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 길이는 수십 센치 미터 수 미터일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 폭은 수 밀리미터 내지 수 센치미터일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 높이는 수 밀리미터 내지 수십 밀리미터일 수 있다. 상기 노즐 블록(120)의 폭은 상기 노즐 블록의 높이보다 작을 수 있다.
상기 노즐 블록(120)은 상기 도전 도가니부(160)의 상부면에 배치되고, 상기 도전 도가니부(160)와 상기 노즐 블록(120)은 일체형으로 형성될 수 있다. 제3 방향(z 축 방향)에서 상기 노즐 블록(120)의 폭은 상기 도전 도가니부(160)의 폭보다 작을 수 있다.
복수의 관통 노즐(122)은 상기 진공 용기 내에서 상부에 배치된 기판(146)에 유기물을 증착하도록 중력 방향에 반하여 상향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다.
바람직하게는, 상기 관통 노즐(122)은 상기 노즐 블록(120)을 관통하는 원기둥 형상일 수 있다. 상기 관통 노즐의 종횡비(aspect ratio)는 5 내지 100일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)의 직경은 수백 마이크로미터 내지 수 밀리미터일 수 있다. 이웃한 관통 노즐(122) 사이의 간격은 상기 관통 노즐의 직경의 1.2 배 내지 5 배일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)의 직경은 증기의 평균 자유 경로보다 작은 것이 바람직할 수 있다. 상기 노즐 블록(120)이 상기 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형태인 경우, 상기 노즐 블록(120)은 전체적으로 가열되고, 상기 관통 노즐들은 전체적으로 균일한 온도를 유지할 수 있다.
상기 관통 노즐들(122)의 단면적의 총합은 상기 도전 도가니부(160)의 폭 방향으로 절단한 단면적보다 작을 수 있다. 이에 따라, 상기 증기는 상기 도전 도가니부 내부에서 공간적으로 일정한 압력을 유지할 수 있다.
상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(160a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향(x축 방향)으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간(160a)의 증기를 토출한다.
상기 관통 노즐들(122)은 제1 방향으로 정렬되어 배치될 수 있다. 상기 관통 노즐은 한 줄, 두 줄, 또는 세 줄로 배치될 수 있다. 세 줄인 경우, 첫 번째 줄과 세 번째 줄은 두 번째 줄과 상기 제1 방향으로 오프셋되어 배치될 수 있다.
상기 관통 노즐들(122)의 밀도는 상기 노즐 블록(120)의 제1 방향의 양단에서 상기 노즐 블록의 중심 부위보다 더 많을 수 있다. 이에 따라, 위치에 따라, 균일한 박막이 증착될 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 관통 노즐(122)의 직경은 상기 노즐 블록의 제1 방향의 양단에서 상기 노즐 블록의 중심 부위보다 더 클 수 있다.
상기 노즐 블록(120)은 상기 도전 도가니부(160)와 동일한 재질로 형성될 수 있다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 도전 도가니부(160)와 용접 기술들에 의하여 일체형으로 제작될 수 있다. 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부에는 온도를 측정하기 위한 온도 측정 수단이 각각 배치될 수 있다. 상기 온도 측정 수단은 열전대일 수 있다. 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(160)는 각각 설정된 온도를 유지하도록 제어될 수 있다.
상기 도전 도가니부(160) 및 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열될 수 있다. 유도 가열을 위하여, 유도 가열 코일(132,134) 및 교류 전원(136)이 사용될 수 있다. 상기 교류 전원(136)의 주파수는 수십 kHz 내지 수 MHz일 수 있다. 유도 가열 코일(132,134)은 상기 교류 전원(136)으로부터 전력을 공급받아 상기 도전 도가니부(160) 및 상기 노즐 블록(120)을 유도 가열할 수 있다.
상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전 도가니부(160) 및 상기 노즐 블록(120)과 절연될 수 있다. 절연을 위하여, 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전 도가니부 및 상기 노즐 블록과 간격을 유지할 수 있다. 지지부(133)는 상기 유도 가열 코일(132,134)을 지지하고 고정할 수 있다. 상기 지지부(133)는 세라믹 또는 알루미나와 같은 절연체로 형성될 수 있다. 상기 유도 가열 코일은 직사각형 단면을 가지는 파이프 형태, 원형 단면을 가지는 파이프 형태, 또는 띠 형태일 수 있다. 상기 유도 가열 코일과 상기 도전 도가니부 및 상기 노즐 블록 사이의 간격은 온도 조절을 위하여 위치에 따라 다르게 설계될 수 있다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 도전 도가니부(160)를 감싸도록 배치되는 도가니 유도 가열 코일(134) 및 상기 노즐 블록(120)을 감싸도록 배치된는 노즐 블록 유도 가열 코일(132)을 포함할 수 있다. 상기 도가니 유도 가열 코일(134) 및 상기 노즐 블록 유도 가열 코일(132)은 직렬 연결될 수 있다.
상기 유도 가열 코일(132,134)과 상기 도전 도가니부 사이의 수직 거리 또는 상기 유도 가열 코일(132,134)과 상기 노즐 블록(120) 사이의 수직 거리는 상기 제1 방향을 따라 진행함에 따라 변경될 수 있다.
열반사부(150)는 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부를 감싸도록 배치될 수 있다. 상기 열반사부(150)은 가열된 노즐 블록의 복사 에너지가 외부로 방출되지 않도록 반사시킬 수 있다. 상기 열반사부(150)는 반사효율이 높은 금속 판재를 절곡하여 제작될 수 있다. 상기 열반사부(150)의 외측에는 냉매가 흐르는 냉각 파이프(152)가 설치될 수 있다.
상기 선형 증발 증착 장치(100)는 상기 노즐 블록(120) 및 상기 노즐 블록에 선형 운동을 제공하는 선형 운동부(170)를 포함할 수 있다. 상기 선형 운동부(170)는 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부(160)에 직선 운동(z축 방향 직선 운동)을 제공할 수 있다. 이에 따라, 직선 운동하는 상기 노즐 블록(120)은 상기 기판(146)이 고정된 상태에서 상기 기판에 모든 면에 균일한 박막을 증착할 수 있다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2b는 도 2a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 단면도이다.
도 2c는 도 2a의 선형 증발 증착 장치의 폭 방향으로 절단한 절단 사시도이다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 선형 증발 증착 장치(200)는 도전 도가니부(260), 노즐 블록(120), 유도 가열 코일(132,134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전 도가니부(260)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(260a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부(260)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(260)를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열한다. 상기 교류 전원(138)은 상기 유도 가열 코일(132,134)에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(260a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
상기 선형 증발 증착 장치(200)의 노즐 블록(120)은 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 구체적으로, 중력 방향(g)은 제2 방향(양의 y축 방향)일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)은 중력 방향으로 상기 진공 용기(144)의 내측 하부에 배치된 기판(146)에 증기를 토출할 수 있다. 상기 관통 노즐은 상기 양의 제2 방향인 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다.
상기 도전 도가니부(260)는 도가니 몸체(264), 증기 가이드부(261), 도전 덮개부(262), 및 단열 덮개부(265)를 포함할 수 있다. 상기 도가니 몸체(264)는 상기 제1 방향으로 연장되는 증착 물질 수납 공간(260a)을 구비할 수 있다. 상기 증기 가이드부(261)는 상기 증착 물질 수납 공간(260a)의 하부면에서 돌출된 돌출부(261a) 및 상기 돌출부(261a)를 관통하여 상기 관통 노즐(122)과 각각 정렬되는 가이드 관통홀(261b)을 구비할 수 있다. 상기 도전 덮개부(262)는 상기 증기 가이드부(261)를 덮을 수 있다. 상기 단열 덮개부(265)는 상기 도전 덮개부(262)를 덮을 수 있다. 상기 증기 가이드부(261)는 상기 돌출부(261a)와 상기 가이드 관통홀(261b)을 연통시키는 가이드 개구부(261c)를 포함할 수 있다. 상기 가이드 관통홀(261b)은 관통 노즐(122)과 정렬될 수 있다.
상기 증기는 상기 가이드 개구부(261c)를 통하여 상기 가이드 관통홀(261b)에 제공될 수 있다. 상기 증기는 상기 가이드 관통홀(261b) 및 상기 관통 노즐(122)을 통하여 토출될 수 있다. 상기 가이드 관통홀(261b)의 직경은 상기 관통 노즐(122)의 직경보다 클 수 있다.
상기 도가니 몸체(264)는 상기 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형상이고, 그 내부에 증착 물질 수납 공간(260a)을 포함할 수 있다. 상기 증착 물질 수납 공간(260a)에는 증착 물질(10)이 수납될 수 있다. 상기 증착 물질(10)은 유기 발광 다이오드에 사용되는 유기 물질일 수 있다. 상기 증착 물질 수납 공간(260a)은 사각통 구조로 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다.
상기 증기 가이드부(261)는 상기 증착 물질 수납 공간(260a)의 하부면에서 제2 방향으로 돌출되고 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다. 상기 증기 가이드부(261)는 상기 도가니 몸체(264)와 일체형으로 형성될 수 있다. 상기 증기 가이드부(261)는 상기 돌출부(261a)를 제2 방향으로 관통하고 제1 방향으로 일정한 간격으로 이격되어 배치된 가이드 관통홀(261b)을 포함할 수 있다. 상기 돌출부(261a)는 상기 증착 물질(10)이 넘쳐 흐르지 않도록 하는 턱으로 기능을 수행할 수 있다. 상기 증기 가이드부(261)는 상기 도가니 몸체와 동일한 재질의 금속으로 형성될 수 있다. 상기 증기 가이드부(261)의 상부면은 제3 방향으로 연장되는 가이드 개구부(261c)을 가질 수 있다. 상기 증기 가이드부(261)의 측면에는 증착 물질로 채워질 수 있다. 상기 증기 가이드부(261) 및 상기 도가니 몸체(264)의 측벽이 유도 가열됨에 따라, 증발되거나 승화된 증착 물질은 상기 가이드 관통홀(261b) 및 관통 노즐(122)을 따라 분사될 수 있다.
상기 도전 덮개부(262)는 전기 전도도가 높은 도전성 물질로 형성될 수 있다. 상기 도전 덮개부는 제1 방향으로 연장되고 절곡된 판 형태일 수 있다. 상기 도전 덮개부(262)는 상기 증기 가이드부(261)를 덮고 도전체로 형성될 수 있다. 상기 도전 덮개부(262)는 유도 전기장 또는 상기 증기 가이드부(261)와 열접촉을 통하여 가열될 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질은 상기 도전 덮개부(262)에 증착되지 않을 수 있다. 대용량의 증착 물질을 수납하는 경우, 상기 도전 덮개부(262)는 상기 증착 물질에 의하여 잠길 수 있다.
상기 도전 덮개부(262)와 상기 증기 가이드부(261)는 서로 결합하여 증기의 이동 통로를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질은 상기 증기 가이드부(261)의 가이드 관통홀(261b)을 통하여 분사될 수 있다. 상기 증기 가이드부(261) 및 상기 도전 덮개부(262)는 섭씨 300도 정도로 가열될 수 있다.
한편, 상기 도전 덮개부(262)가 상기 도전 덮개부(262) 상부의 증착 물질을 가열하지 않도록 단열 덮개부(265)가 상기 도전 덮개부(262) 상부에 배치될 수 있다. 상기 단열 덮개부(265)는 제1 방향으로 연장되는 판 형태일 수 있다. 상기 단열 덮개부(265)는 부도체일 수 있다. 구체적으로, 단열 특성이 양호한, 상기 단열 덮개부(265)는 퀴츠, 다공질의 절연체, 또는 유리 섬유 재질의 단열재일 수 있다.
단열판(267)는 상기 증착 물질 수납 공간(260a)의 측벽을 따라 배치될 수 있다. 상기 증착 물질 수납 공간의 하부 측면은 상기 단열 판이 삽입되도록 홈을 가질 수 있다. 상기 단열판(267)은 퀴츠, 다공질의 절연체, 또는 유리 섬유 재질의 단열재일 수 있다.
상기 단열판(267)과 상기 도가니 몸체(264)의 내벽 사이에는 그루브(groove,264a)가 형성될 수 있다. 상기 그루브(264a)는 상기 단열판(267)와 상기 도가니 몸체(264)의 측벽 사이의 열전달을 최소화시킬 수 있다.
상기 도가니 몸체(264)의 상부면에는 밀봉판(268)과 상기 밀봉판(268)을 압박하는 상판(269)이 배치될 수 있다. 상기 상판(269)은 상기 도가니 몸체와 결합하여 상기 밀봉판(268)을 압박할 수 있다. 이에 따라, 상기 밀봉판에 의하여 상기 증착 물질 수납 공간(260a)은 밀폐될 수 있다. 상기 밀봉판 및 상기 상판은 상기 제1 방향으로 연장되는 판 형상일 수 있다.
도 3a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 폭 방향을 절단된 단면도이다.
도 3b는 도 3a의 도전 도가니를 설명하는 절단 사시도이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 선형 증발 증착 장치(300)는 도전 도가니부(360), 노즐 블록(120), 유도 가열 코일(132,134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전 도가니부(360)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(360a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부(360)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(360)를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열한다. 상기 교류 전원(138)은 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(360a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
상기 선형 증발 증착 장치(300)의 노즐 블록(120)은 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 구체적으로, 중력 방향(g)은 제2 방향(양의 y축 방향)일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)은 중력 방향으로 상기 진공 용기(144)의 내측 하부에 배치된 기판(146)에 증기를 토출할 수 있다. 상기 관통 노즐은 상기 양의 제2 방향인 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다.
상기 도전 도가니부(360)는 도가니 몸체(364), 증기 가이드부(361), 가이드 격벽(366), 도전 덮개부(362), 및 단열 덮개부(366)를 포함할 수 있다.
상기도가니 몸체(364)는 상기 제1 방향으로 연장되는 증착 물질 수납 공간(360a)을 구비할 수 있다. 상기 증기 가이드부(364)는 상기 증착 물질 수납 공간(360a)의 하부면에서 상기 제1 방향으로 연장되고 음의 제2 방향으로 돌출된 돌출부(361a) 및 상기 돌출부(361a)를 관통하여 상기 관통 노즐(122)과 각각 정렬되는 가이드 관통홀(361b)을 구비할 수 있다. 상기 가이드 격벽(366)은 상기 제3 방향으로 관통하는 격벽 개구부(366a)를 포함하고, 상기 증기 가이드부(361)의 양측에서 상기 제1 방향으로 나란히 연장될 수 있다. 상기 도전 덮개부(362)는 상기 증기 가이드부(361)를 덮을 수 있다. 상기 단열 덮개부(365)는 상기 도전 덮개부(362)를 덮을 수 있다. 상기 증기 가이드부(361)는 상기 돌출부(361a)와 상기 가이드 관통홀(361b)을 연통시키는 가이드 개구부(361c)를 포함할 수 있다.
상기 증기는 가이드 개구부(361c)를 통하여 상기 가이드 관통홀(361b)에 제공될 수 있다. 상기 증기는 상기 가이드 관통홀(361b) 및 상기 관통 노즐(122)을 통하여 토출될 수 있다. 상기 가이드 관통홀(361b)의 직경은 상기 관통 노즐(122)의 직경보다 클 수 있다.
상기 도가니 몸체(364)는 상기 제1 방향으로 연장되는 직육면체 형상이고, 그 내부에 증착 물질 수납 공간(360a)을 포함할 수 있다. 상기 증착 물질 수납 공간(360a)에는 증착 물질(10)이 수납될 수 있다. 상기 증착 물질(10)은 유기 발광 다이오드에 사용되는 유기 물질일 수 있다. 상기 증착 물질 수납 공간(360a)은 사각통 구조로 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다.
상기 증기 가이드부(361)는 상기 증착 물질 수납 공간(360a)의 하부면에서 제2 방향으로 돌출되고 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다. 상기 증기 가이드부(361)는 상기 도가니 몸체(364)와 일체형으로 형성될 수 있다. 상기 증기 가이드부(361)는 상기 돌출부(361a)를 제2 방향으로 관통하고 제1 방향으로 일정한 간격으로 이격되어 배치된 가이드 관통홀(361b)을 포함할 수 있다. 상기 증기 가이드부(361)는 상기 돌출부(361a)를 제3 방향으로 형성된 가이드 개구부(361c)를 포함하고, 상기 가이드 개구부(361c)는 상기 가이드 관통홀(361b)과 연통될 수 있다.
상기 돌출부(361a)는 상기 증착 물질(10)이 넘쳐 흐르지 않도록 하는 턱으로 기능을 수행할 수 있다. 상기 증기 가이드부(361)는 상기 도가니 몸체와 동일한 재질의 금속으로 형성될 수 있다. 상기 돌출부(361a)의 상부면은 제3 방향으로 연장되는 가이드 개구부(361c)을 가질 수 있다. 상기 증기 가이드부(361)의 측면에는 증착 물질로 채워질 수 있다. 상기 증기 가이드부(361) 및 상기 도가니 몸체(364)의 측벽이 유도 가열됨에 따라, 증발되거나 승화된 증착 물질은 상기 가이드 관통홀(361b) 및 관통 노즐(122)을 따라 분사될 수 있다.
상기 가이드 격벽(366)은 상기 증착 물질 수납 공간의 하부면에서 상기 제1 방향으로 연장될 수 있다. 상기 가이드 격벽은 상기 돌출부(361a)의 양측에 배치될 수 있다. 상기 가이드 격벽(366)은 가이드 격벽 개구부(366a)를 통하여 상기 증기를 상기 가이드 개구부(361c)에 제공할 수 있다.
상기 도전 덮개부(362)는 전기 전도도가 높은 도전성 물질로 형성될 수 있다. 상기 도전 덮개부(362)는 제1 방향으로 연장되는 판 형태일 수 있다. 상기 도전 덮개부(362)는 상기 증기 가이드부(361)를 덮고 도전체로 형성될 수 있다. 상기 도전 덮개부(362)는 유도 전기장 또는 상기 증기 가이드부(361)와 열접촉을 통하여 가열될 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질은 상기 도전 덮개부(362)에 증착되지 않을 수 있다. 대용량의 증착 물질을 수납하는 경우, 상기 도전 덮개부(362)는 상기 증착 물질에 의하여 잠길 수 있다. 상기 도전 덮개부(362)는 상기 제1 방향으로 연장되는 덮개판(362a) 및 상기 덮개판(362a)의 하부면에서 상기 제1 방향으로 연장되도록 배치된 덮개 격벽(362b)을 포함할 수 있다. 상기 덮개 격벽은 제3 방향으로 개방된 덮개 격벽 개구부(362c)를 포함할 수 있다.
상기 도전 덮개부(362)와 상기 증기 가이드부(361)는 서로 결합하여 증기의 이동 통로를 제공할 수 있다. 이에 따라, 상기 증착 물질은 상기 증기 가이드부(361)의 가이드 관통홀(361b)을 통하여 분사될 수 있다. 상기 증기 가이드부(361) 및 상기 도전 덮개부(362)는 섭씨 300도 정도로 가열될 수 있다.
한편, 상기 도전 덮개부(362)가 상기 도전 덮개부(362) 상부의 증착 물질을 가열하지 않도록 단열 덮개부(365)가 상기 도전 덮개부(362) 상부에 배치될 수 있다. 상기 단열 덮개부(365)는 제1 방향으로 연장되는 판 형태일 수 있다. 상기 단열 덮개부(365)는 부도체일 수 있다. 구체적으로, 단열 특성이 양호한, 상기 단열 덮개부(365)는 퀴츠, 다공질의 절연체, 또는 유리 섬유 재질의 단열재일 수 있다.
단열판(367)는 상기 증착 물질 수납 공간(360a)의 측벽을 따라 배치될 수 있다. 상기 증착 물질 수납 공간의 하부 측면은 상기 단열 판이 삽입되도록 홈을 가질 수 있다. 상기 단열판(367)은 퀴츠, 다공질의 절연체, 또는 유리 섬유 재질의 단열재일 수 있다.
상기 단열판(367)과 상기 도가니 몸체(364)의 내벽 사이에는 그루브(groove,364a)가 형성될 수 있다. 상기 그루브(364a)는 상기 단열판(367)와 상기 도가니 몸체(364)의 측벽 사이의 열전달을 최소화시킬 수 있다.
상기 도가니 몸체(364)의 상부면에는 밀봉판(368)과 상기 밀봉판(368)을 압박하는 상판(369)이 배치될 수 있다. 상기 상판(369)은 상기 도가니 몸체와 결합하여 상기 밀봉판(368)을 압박할 수 있다. 이에 따라, 상기 밀봉판에 의하여 상기 증착 물질 수납 공간(360a)은 밀폐될 수 있다. 상기 밀봉판 및 상기 상판은 상기 제1 방향으로 연장되는 판 형상일 수 있다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 선형 증발 증착 장치를 설명하는 단면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 선형 증발 증착 장치(400)는 도전 도가니부(460), 노즐 블록(120), 유도 가열 코일(132,134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전 도가니부(460)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(460a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부(460)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(460)를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열한다. 상기 교류 전원(138)은 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(460a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간(460a)의 증기를 토출한다.
상기 관통 노즐(122)은 상기 양의 제3 방향인 중력 방향(g)에 대하여 측향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 상기 중력 방향은 상기 제3 방향이고, 상기 노즐 블록(120)은 상기 도전 도가니(460)의 상부 측면에서 중력에 수직한 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다.
도 5a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 사시도이다.
도 5b는 도 5a의 선형 증발 증착 장치를 설명하는 단면도이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 선형 증발 증착 장치(500)는 도전 도가니부(560), 노즐 블록(120), 유도 가열 코일(134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전 도가니부(560)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(560a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부(560)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 유도 가열 코일(134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(560)를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열한다. 상기 교류 전원(138)은 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(560a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
상기 노즐 블록(120)은 상기 도전 도가니부(560)의 내부에 삽입되도록 배치될 수 있다. 상기 노즐 블록의 상부면은 상기 도전 도가니부(560)의 상부면과 일치할 수 있다. 이 경우, 유도 가열 코일(132)은 상기 도전 도가니부(560)을 감싸도록 배치될 수 있다.
상기 선형 증발 증착 장치(500)의 노즐 블록(120)은 중력에 반하여 상향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 구체적으로, 중력 방향(g)은 음의 제2 방향(음의 y축 방향)일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)은 중력에 반하여 상기 진공 용기(144)의 내측 상부에 배치된 기판(146)에 증기를 토출할 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 선형 증발 증착 장치를 설명하는 폭 방향의 단면도이다.
도 6을 참조하면, 선형 증발 증착 장치(600)는 도전 도가니부(660), 노즐 블록(120), 유도 가열 코일(132,134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전 도가니부(660)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(660a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부(660)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(660)를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열한다. 상기 교류 전원(138)은 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(660a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
상기 버퍼 블록(660)은 제1 방향으로 연장되는 원통 형상일 수 있다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 노즐 블록(120) 및 버퍼 블록(660)과 일정한 간격을 가지고 상기 노즐 블록의 연장 방향을 따라 연장될 수 있다.
상기 선형 증발 증착 장치(600)의 노즐 블록(120)은 중력에 반하여 상향식으로 상기 증기를 토출할 수 있다. 구체적으로, 중력 방향(g)은 음의 제2 방향(음의 y축 방향)일 수 있다. 상기 관통 노즐(122)은 중력에 반하여 상기 진공 용기(144)의 내측 상부에 배치된 기판(146)에 증기를 토출할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 관통 노즐의 형상을 나타내는 단면도이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 선형 증발 증착 장치(100)는 도전 도가니부(160), 노즐 블록(120), 유도 가열 코일(132,134), 및 교류 전원(136)을 포함한다. 상기 도전 도가니부(160)는 제1 방향(x축 방향)으로 연장되고 진공 용기(144)의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간(160a) 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질(10)을 가열하여 증기를 생성한다. 상기 노즐 블록(120)은 상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향(y축 방향)으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향(z축 방향)으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부(160)에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된다. 상기 유도 가열 코일(132,134)은 상기 진공 용기(144)의 내부에서 상기 노즐 블록(120) 및 상기 도전 도가니부(160)를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열한다. 상기 교류 전원(138)은 상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공한다. 상기 복수의 관통 노즐(122)은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간(160a)과 서로 연통되고 상기 제2 방향(y축 방향)을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출한다.
예를 들어, 관통 노즐(a)은 증기 입구, 증기 연결부, 및 증기 출구를 포함하고, 증기 입구는 토출 방향으로 진행함에 따라 점차 직경이 감소하고, 상기 증기 연결부는 일정한 직경을 가지고, 상기 증기 출구는 토출 방향으로 진행함에 따라 점차 직경이 증가할 수 있다.
예를 들어, 관통 노즐(b)은 증기 입구 및 증기 출구를 포함하고, 상기 증기 입구는 토출 방향으로 진행함에 따라 점차 직경이 감소하고, 상기 증기 출구는 토출 방향으로 진행함에 따라 일정한 직경을 가질 수 있다.
예를 들어, 상기 관통 노즐(c)은 토출 방향에 따라 점차 감소하는 직경을 가질 수 있다.
예를 들어, 상기 관통 노즐(d)은 토출 방향으로 진행함에 따라 일정한 직경을 가지는 증기 입구와 토출 방향으로 진행 함에 따라 점차 직경이 증가하는 증기 출구를 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 관통 노즐(e)은 토출 방향으로 진행함에 따라 점차 증가하는 직경을 가질 수 있다.
예를 들어, 상기 관통 노즐(f)은 토출 방향으로 진행함에 따라, 직경이 점차
직경이 증가하다가 갑자기 직경이 감소하는 부위를 적어도 하나 이상 포함할 수 있다.
예를 들어, 상기 관통 노즐(g)는 일정한 직경을 가지는 홀이 노즐 블록의 배치 평면에서 경사지도록 배치될 수 있다.
예를 들어, 상기 관통 노즐(h)는 일정한 직경을 가지는 노즐 입구와 상기 노즐 입구의 직경보다 큰 직경을 가지는 일정한 직경을 가지는 노즐 출구를 포함할 수 있다. 상기 노즐 입구와 노즐 출구의 경계 부위에서 상기 노즐 입구의 직경 보다 작은 직경을 가진 와셔 형상의 중간 노즐이 배치될 수 있다.
예를 들어, 상기 관통 노즐(i)는 일정한 직경을 가지는 노즐 입구와 상기 토출 방향으로 진행함에 따라 점차 직경이 감소하는 노즐 출구를 포함할 수 있다.
본 발명의 변형된 실시예에 따르면, 상기 관통 노즐의 형상은 다양하게 변형될 수 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되지 않으며, 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 실시할 수 있는 다양한 형태의 실시예들을 모두 포함한다.
110: 도전 도가니
120: 노즐 블록
132,134: 유도 가열 코일
120: 노즐 블록
132,134: 유도 가열 코일
Claims (13)
- 제1 방향으로 연장되고 진공 용기의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 생성하는 도전 도가니부;
상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된 노즐 블록;
상기 진공 용기의 내부에서 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열하는 유도 가열 코일; 및
상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원을 포함하고,
상기 복수의 관통 노즐은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간과 서로 연통되고 상기 제2 방향을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출하고,
상기 관통 노즐은 양의 제2 방향인 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출하고,
상기 도전 도가니부는:
상기 제1 방향으로 연장되는 증착 물질 수납 공간을 구비하는 도가니 몸체;
상기 증착 물질 수납 공간의 하부면에서 돌출된 돌출부 및 상기 돌출부를 관통하여 상기 관통 노즐과 각각 정렬되는 가이드 관통홀을 구비하는 증기 가이드부;
상기 증기 가이드부를 덮고 있는 도전 덮개부;및
상기 도전 덮개부를 덮고 있는 단열 덮개부를 포함하고,
상기 증기 가이드부는 상기 돌출부와 상기 가이드 관통홀을 연통시키는 가이드 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 방향으로 연장되고 진공 용기의 내부에 배치되고 증착 물질 수납 공간 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하고 상기 증착 물질을 가열하여 증기를 생성하는 도전 도가니부;
상기 진공 용기의 내부에서 상기 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 일정한 폭을 가지는 직육면체 형상이고, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 상기 도전 도가니부에 장착되고, 그리고 도전체 재질로 형성된 노즐 블록;
상기 진공 용기의 내부에서 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 감싸도록 배치되고 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부를 가열하는 유도 가열 코일; 및
상기 유도 가열 코일에 교류 전력을 제공하는 교류 전원을 포함하고,
상기 복수의 관통 노즐은 상기 도전 도가니부의 증착 물질 수납 공간과 서로 연통되고 상기 제2 방향을 따라 각각 형성되고 상기 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 상기 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출하고,
상기 관통 노즐은 양의 제2 방향인 중력 방향으로 하향식으로 상기 증기를 토출하고,
상기 도전 도가니부는:
상기 제1 방향으로 연장되는 증착 물질 수납 공간을 구비하는 도가니 몸체;
상기 증착 물질 수납 공간의 하부면에서 상기 제1 방향으로 연장되고 음의 제2 방향으로 돌출된 돌출부 및 상기 돌출부를 관통하여 상기 관통 노즐과 각각 정렬되는 가이드 관통홀을 구비하는 증기 가이드부;
상기 제3 방향으로 관통하는 격벽 개구부를 포함하고, 상기 증기 가이드부의 양측에서 상기 제1 방향으로 나란히 연장되는 가이드 격벽;
상기 증기 가이드부를 덮고 있는 도전 덮개부;및
상기 도전 덮개부를 덮고 있는 단열 덮개부를 포함하고,
상기 증기 가이드부는 상기 돌출부와 상기 가이드 관통홀을 연통시키는 가이드 개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 관통 노즐은 원기둥 형상이고, 상기 관통 노즐의 종횡비(aspect ratio)는 5 내지 100인 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 복수의 관통 노즐들은 제1 방향으로 나란히 배치된 제1 행, 상기 제1 행의 좌측에 배치된 제2 행, 및 상기 제1 행의 우측에 배치된 제3 행을 포함하고,
상기 제2 행의 노즐과 상기 제3 행의 노즐은 제2 방향으로 서로 정렬되고,
상기 제1 행의 노즐은 상기 제2 행의 이웃한 노즐들 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 노즐 블록은 상기 도전 도가니부의 내부에 삽입되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 관통 노즐들의 단면적의 총합은 상기 제2 방향 및 제3 방향에 의하여 정의된 평면에서 도전 도가니부의 단면적 보다 작은 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 노즐 블록의 양단 주위에서 관통 노즐의 밀도가 증가하거나 상기 관통 노즐의 직경이 증가하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 유도 가열 코일은 상기 노즐 블록을 감싸는 노즐 유도 가열 코일 및 상기 도전 도가니부를 감싸는 도가니 유도 가열 코일을 포함하고,
상기 노즐 유도 가열 코일과 상기 도가니 유도 가열 코일은 전기적으로 직렬 연결된 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 유도 가열 코일과 상기 노즐 블록 및 상기 도전 도가니부 사이의 간격은 상기 제1 방향을 따라 연장되면서, 적어도 한번 변경되는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치. - 제1 항 또는 제2 항에 있어서,
상기 관통 노즐은 상기 증기의 토출 방향으로 진행함에 따라 직경이 점차 증가하는 것을 특징으로 하는 선형 증발 증착 장치.
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