KR102235367B1 - 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원에 관한 것으로, 본 발명의 선형 증발원은 증착 물질을 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관과, 상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 배출하기 위한 분배통로가 형성되는 분배관과, 상기 분배통로를 통해 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하도록 복수개의 슬릿이 형성되며, 상기 분배통로의 상단부에 착탈식으로 끼워지는 노즐과, 상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함함으로써, 복수개의 슬릿이 형성된 노즐을 착탈식으로 분배관에 설치하여 노즐의 설치 및 분해가 용이하고, 분배관 또는 노즐의 클리닝 등 유지보수가 용이한 효과가 있다.

Description

슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원{A Linear Type Evaporator with a Slit Nozzle}
본 발명은 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 슬릿(Silt) 형태의 배출공이 형성되어 증착 물질을 분사하는 노즐을 착탈식으로 분배관에 설치함으로써, 유지보수 및 클리닝이 용이한 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 소자(OLED: Organic Light Emitted Device)를 제작하는데 있어서, 가장 중요한 공정은 유기박막을 형성하는 공정이며, 이러한 유기 박막을 형성하기 위해서는 진공 증착이 주로 사용된다.
이러한 진공 증착은 챔버 내에 글라스(glass)와 같은 기판과 파우더(powder) 형태의 원료 물질이 담긴 포인트 소스(point source) 또는 점증발원과 같은 증발원을 대향 배치하고, 증발원 내에 담긴 파우더 형태의 원료 물질을 증발시켜 증발된 원료 물질을 분사함으로써 기판의 일면에 유기 박막을 형성한다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라, 포인트 소스 또는 점증발원으로 알려진 증발원 대신 대면적 기판의 박막 균일도가 확보되는 선형 증발원이 사용된다. 이러한 선형 증발원은 도가니 내에 원료 물질을 저장하고, 저장된 원료 물질을 증발시켜 기판을 향해 분사하는 서로 이격된 복수의 노즐 또는 분배공을 구비한다.
이와 관련한 종래의 기술로서, 본 출원인이 출원하여 등록받은 한국등록특허 제10-1057552호에는 증착 물질을 배치 및 가열하여 증발시키는 도가니, 하부가 도가니의 상부와 중통하며 증발된 증착 물질을 이송하는 이송관, 이 이송관의 일부와 결합하고, 상부에 복수의 개구를 구비하여 증착 물질을 분배하는 분배관, 이 분배관의 개구와 중통하도록 결합된 복수의 노즐을 포함하는 증착 물질 공급장치가 개시되어 있다.
상기와 같은 선행문헌에서는 각각의 노즐이 분배관의 상부에 구비된 개구와 일대일로 결합되어 일체화되므로, 분배관 또는 노즐의 클리닝 시 각각의 노즐을 분해하여야 하는 등 유지보수에 어려움이 있었다.
또한, 분배관이 원통형으로 이루어지고 상기 노즐이 분배관의 상부로 돌출되게 결합되어, 상기 노즐을 통해 분사되는 증착 물질을 가열하기 위해서는 상기 분배관의 외부를 히팅코일로 감아서 설치하였으므로 히터의 구성이 용이하지 않고 유지보수도 불편한 단점이 있었다.
한국등록특허 제10-1057552호.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 복수개의 슬릿이 형성된 노즐을 착탈식으로 분배관에 설치하여 노즐의 설치 및 분해가 용이하고, 분배관 또는 노즐의 클리닝 등 유지보수가 용이한 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 상기 분배관을 직육면체 형상으로 구성하여 그 내부에 영역별로 히터 블럭을 설치함으로써, 기존의 히팅코일을 감는 형태보다 히터의 구성이 용이하고 유지보수가 편리하면서도 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있도록 하는 선형 증발원을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 증착 물질을 수용하는 도가니와, 상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관과, 상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 배출하기 위한 분배통로가 형성되는 분배관과, 상기 분배통로를 통해 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하도록 복수개의 슬릿이 형성되며, 상기 분배통로의 상단부에 착탈식으로 끼워지는 노즐과, 상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하는 선형 증발원이 제공된다.
본 발명에서, 상기 분배관은 선형 분배관이며, 상기 분배통로의 상단부에 상기 분배관의 길이방향으로 길게 형성되는 배출구가 구비되어, 상기 배출구에 노즐이 끼워지는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐은 상기 배출구에 끼워지는 끼움편이 하방향으로 돌출형성되고, 상기 끼움편의 상부에는 상기 배출구를 폐쇄할 수 있는 폭을 갖는 노즐캡이 구성되어, 'T'자형 단면을 갖는 모양으로 이루어질 수 있다.
상기 노즐캡에는 복수 개의 슬릿이 일렬로 나란하게 형성될 수 있으며, 상기 슬릿은 일정간격 또는 노즐캡의 중앙부보다 양단부에 더욱 촘촘하게 형성될 수 있다.
또한, 상기 끼움편은 상기 배출구에 상기 노즐이 끼워지어 고정력을 충분히 발휘하도록 일정 간격으로 복수 개가 형성되는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 끼움편은 상기 슬릿과 번갈아가며 교대로 형성되어 인접한 슬릿의 사이사이에 형성될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐은 가열되면 열팽창되는 금속재질로 이루어지어 증착 공정 시 상기 분배통로의 배출구와 틈새 없이 결합될 수 있다.
또한, 상기 노즐은 상기 가열부재의 가열에 의해 상기 배출구와 틈새 없이 결합되도록 특정 온도에서 형상기억 반응을 나타내는 형상기억합금으로 이루어질 수 있다.
한편, 상기 도가니는 원형으로 이루어지고, 상기 도가니의 내경은 상기 유출구의 직경보다 크게 형성되어 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시킬 수 있다.
또한, 상기 연결관의 연결통로는 하단부에서 상단부로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 이루어질 수 있다.
본 발명에서, 상기 가열부재는 히팅 블럭으로 이루어지어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관 내부에 설치될 수 있다.
이 경우, 상기 가열부재는 상기 도가니에 형성되는 도가니 히터와, 상기 연결관에 장착되는 연결관 히터와, 상기 분배관에 장착되는 분배관 히터로 이루어질 수 있다.
상기 도가니 히터는 상부 도가니 히터와 하부 도가니 히터로 이루어지어, 히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분될 수 있다.
상기 도가니 히터, 연결관 히터 및 분배관 히터의 배면에는 단열재가 설치되어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 히터로 인한 열변형을 최소화한다.
본 발명에서, 상기 배출구는 증착 물질의 압력을 상대적으로 높이기 위해서 상기 연결관의 연결통로 폭보다 좁은 폭으로 이루어질 수 있다.
이상에서 살펴본 본 발명에 의하면, 복수개의 슬릿이 형성된 노즐을 착탈식으로 분배관에 설치하여 노즐의 설치 및 분해가 용이하고, 분배관 또는 노즐의 클리닝 등 유지보수가 용이한 효과가 있다.
또한, 상기 분배관을 직육면체 형상으로 구성하여 그 내부에 영역별로 히터 블럭을 설치함으로써, 기존의 히팅코일을 감는 형태보다 히터의 구성이 용이하고 유지보수가 편리하면서도 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있는 효과가 있다.
또한, 원통형 도가니의 지름을 넓게 하여 충분히 필요한 용량을 제공할 수 있으므로, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원을 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 선형 증발원을 도시한 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 선형 증발원을 도시한 평면도이다.
이하에서는 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 슬릿 노즐이 구비된 선형 증발원을 도시한 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명의 선형 증발원을 도시한 측단면도이다.
본 발명의 선형 증발원은 증착 물질을 수용하는 도가니(10)와, 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 연통되어 상기 도가니(10)에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로(22)가 형성되는 연결관(20)과, 상기 연결관(20)의 연결통로(22)에 연통되어 상기 연결통로(22)에서 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하는 분배통로가 형성되는 분배관(30)과, 상기 분배통로를 통해 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하도록 복수개의 슬릿(42)이 형성되는 노즐(40)과, 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재를 포함하여 구성된다.
상기 노즐(40)은 상기 분배관(30)에 착탈식으로 끼워지는 것으로, 이에 대한 상세한 내용은 후술하기로 한다.
본 발명에서 상기 도가니(10)는 원통형 형상의 것을 사용하는 것이 바람직하다. 원통형 도가니(10)는 그 지름을 크게 하여 충분히 필요한 용량을 제공할 수 있도록 하고, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있는 장점이 있다.
상기 도가니(10)의 유출구(12)는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시키도록 도가니(10)의 내경보다 작게 형성될 수 있다.
종래에는 통상 도가니의 내경과 증착 물질이 배출되는 입구가 동일한 직경을 갖도록 형성되는 예가 많았으나, 본 발명에서는 도가니(10)의 크기를 키워 대용량의 증착 물질을 담을 수 있도록 함과 동시에 도가니(10)에서 배출되는 증착 물질의 기화압력을 증가시킬 수 있도록 도가니(10)의 유출구(12)의 직경을 작게 형성한 것이다.
여기서, 상기 도가니(10)의 유출구(12)는 도가니 내경에 대비하여 대략 50% 이하의 면적을 갖도록 형성되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 연결관(20)은 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 연통되어 상기 도가니(10)에서 증발되는 증착 물질을 상기 분배관(30)으로 이송시키는 역할을 하는 것으로서, 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 하단부가 상기 도가니(10)의 유출구(12)와 동일한 직경으로 형성된다.
여기서, 상기 연결관(20)의 연결통로(22)는 도 3에서 보는 바와 같이, 하단부에서 상단부로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 이루어질 수 있다. 이는 연결관(20)을 통과하는 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시키기 위한 것으로, 바람직하게는 연결통로(22)의 하단부와 대비하여 연결통로(22)의 상단부가 50% 이하의 면적을 갖도록 형성된다.
이와 같이, 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)보다 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)가 작게 되면, 도가니(10)에서 발생된 증기가 연결관(20)의 상단부에 도달하는데 소요되는 시간까지의 변동에 의한 증발속도의 불안정성을 배제할 수 있다.
이와 같은 본 발명에서, 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 1≤CA/CB≤10 이 될 수 있다. 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비가 1 이하이면 원활한 증기의 흐름이 저해되어 증착률이 적게 되고, 10보다 크면 외부로 열이 방출되어 피증착 기판에 악영향을 줄 수 있기 때문이다.
가장 바람직하게는 상기 연결통로(22)의 하단부의 컨덕턴스(CA)와 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부의 컨덕턴스(CB)의 비는 2≤CA/CB≤10 이 될 수 있다. 이는 연결통로(22)의 하단부와 대비하여 연결통로(22)의 상단부가 적어도 50% 이하의 면적을 갖는 것이 증착 물질의 기화되는 압력을 증가시켜 증착 물질의 속도 및 온도 상승의 효과가 있기 때문이다.
선형 증발원에서, 재료의 분배 및 가열의 불균일성을 배제하기 위한 중요한 설계 변수는 컨덕턴스로서, 소정의 증착 속도를 발생시키는데 필요한 압력은 구멍의 크기가 감소할수록 증가할 것이므로 증착 물질이 배출되는 구멍의 크기를 감소시켜 컨덕턴스를 줄일 필요가 있다.
이와 같은 본 발명의 선형 증발원은 상기 도가니(10)의 유출구(12)가 원형 도가니(10) 내경보다 50% 이하로 형성되어 1차적으로 컨덕턴스가 줄어들고, 연결관(20)의 연결통로(22) 상단부도 하단부에 비해 50% 이하로 형성되어 2차적으로 컨덕턴스가 줄어들게 되므로, 증착 물질이 도가니(10)에서 분배관(30)으로 배출되는 동안 배출구멍의 직경이 25% 이하로 축소되어 컨덕턴스가 크게 줄어들고 분사압력은 크게 높일 수 있는 구성을 갖는다.
한편, 상기 연결관(20)의 상부에는 분배관(30)이 설치되는데, 상기 분배관(30)은 박막이 증착될 기판(도시안함)의 일면과 대향하도록 이격 배치되는 것으로, 본 발명에서는 수평방향으로 길게 연장된 직육면체 형상의 선형 분배관을 실시예로 설명한다.
상기 분배관(30)의 내부에 형성된 상기 분배통로는 상기 연결통로(22)에 연통되는 인입구와, 증착 물질을 기판의 일면에 분사하기 위한 배출구(32c)로 이루어지는데, 상기 배출구(32c)는 상기 분배관(30)의 길이방향으로 길게 형성된다.
본 발명은 상기 배출구(32c)에 상기 노즐(40)이 착탈식으로 끼워지는 구성을 갖는다.
상기 노즐(40)은 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 배출구(32c)에 끼워지는 끼움편(44)이 하방향으로 돌출형성되고, 상기 끼움편(44)의 상부에는 상기 배출구(32c)를 폐쇄할 수 있는 폭을 갖는 노즐캡이 구성되어, 'T'자형 단면을 갖는 모양으로 이루어진다.
상기 노즐캡에는 증착 물질을 분사하기 위한 복수 개의 슬릿(42)이 형성되는데, 상기 슬릿(42)은 도 2에서와 같이 일정간격으로 형성될 수 있다.
그러나, 통상 도가니(10)가 분배관(30)의 중앙에 위치하는 'T'형 증발원에서는 분배관(30)의 양단부를 통해 분사되는 증착 물질이 분배관(30)의 중앙부보다 적을 수 있으므로, 균일한 박막을 얻기 위해 상기 슬릿(42)은 노즐캡의 중앙부보다 양단부에 더욱 촘촘한 간격으로 형성되는 것이 바람직하다.
또는, 상기 슬릿(42)의 길이를 중앙부와 양단부에 달리하여, 양단부에 형성된 슬릿(42)이 중앙부에 형성된 슬릿(42)보다 길게 형성하는 것도 가능하다.
본 발명에서, 상기 끼움편(44)은 복수 개로 형성될 수 있다.
즉, 분배관(30)의 길이방향으로 형성된 상기 배출구(32c)에 상기 노즐(40)이 끼워지어 고정력을 충분히 발휘할 수 있도록 복수 개의 끼움편(44)이 소정의 간격으로 형성되는 것이다.
이 경우, 상기 끼움편(44)은 상기 슬릿(42)과 번갈아가며 교대로 형성될 수 있다. 즉, 상기 끼움편(44)이 인접한 슬릿(42)의 사이사이에 형성되는 것이다.
이와 같은 구조의 노즐(40)은 상기 복수개의 끼움편(44)이 배출구(32c)에 끼워지어 고정되므로 고정된 상태를 견고하게 유지할 수 있고, 착탈식으로 노즐(40)을 설치함으로써, 필요시에는 노즐(40)의 분리가 가능한 장점이 있다.
따라서, 분배관(30) 또는 노즐(40)의 클리닝 등 유지보수가 용이한 효과가 있다.
본 발명에 있어서, 상기 노즐(40)은 가열되면 열팽창되는 금속재질로 이루어질 수 있다.
착탈식으로 끼워짐이 가능한 본 발명의 노즐(40)은 상기 배출구(32c)와의 미세한 틈새가 있을 수 있고, 상기 노즐(40)이 상기 배출구(32c)에 끼워진 후 증착 공정을 진행하면 상기 노즐(40)과 배출구(32c) 사이의 틈새를 통해 증착 물질의 누출(leakage)이 발생할 수 있다.
따라서, 이를 방지하기 위한 수단으로서, 본 발명에서는 상기 노즐(40)을 열팽창계수를 가지는 금속재질로 하여, 증착 공정 시 상기 가열부재가 가열하여 일정 온도에 도달하면 상기 노즐(40)이 열팽창하여 상기 분배통로의 배출구(32c)와 틈새 없이 결합될 수 있도록 한다.
따라서, 증착 공정 중의 고온에서는 상기 노즐(40)이 팽창하여 상기 노즐(40)과 배출구(32c) 사이에 기밀을 유지할 수 있기 때문에 증착되는 박막의 품질에 악영향을 미치지 않을 뿐 아니라, 유지보수를 위해 노즐(40)을 분리해야 할 경우에는 전체 장비가 냉각되므로, 상기 노즐(40)이 팽창되었던 상태에서 원상태로 복구됨으로써, 상기 노즐(40)이 배출구(32c)에서 비교적 용이하게 분리될 수 있게 된다.
한편, 상기 노즐(40)은 상기 가열부재의 가열에 의해 상기 배출구(32c)와 틈새 없이 결합되도록 특정 온도에서 형상기억 반응을 나타내는 형상기억합금으로 이루어질 수 있다. 즉, 증착 공정 중 노즐(40)이 갖는 온도범위에 형상기억 반응을 나타내는 형상기억합금으로 상기 노즐(40)을 제조함으로써, 증착 공정 시 상기 노즐(40)이 배출구(32c)와의 틈새를 막아 기밀을 유지할 수 있도록 한다.
본 발명에서, 상기 배출구(32c)는 증착 물질의 압력을 상대적으로 높이기 위해서 상기 연결관(20)의 연결통로(22) 폭보다 좁은 폭으로 이루어질 수 있다.
한편, 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)에는 각각의 구성부품에 열을 제공하며, 그 내부에 저장되거나 통과되는 원료 물질을 기화시키는 역할을 하는 가열부재가 설치되는데, 본 발명에서 상기 가열부재는 히팅 블럭(heating block)으로 이루어지어 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30) 내부에 설치된다.
이와 같은 본 발명의 가열부재는 종래의 열선과는 달리 히팅 블럭으로 설치되므로, 히터의 구성이 용이하여 유지보수가 편리하고, 영역별로 구성하여 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있다.
상기 가열부재는 상기 도가니(10)에 형성되는 도가니 히터(52)와, 상기 연결관(20)에 장착되는 연결관 히터(54)와, 상기 분배관(30)에 장착되는 분배관 히터(56)(58)로 이루어질 수 있다.
상기 도가니 히터(52), 연결관 히터(54) 및 분배관 히터(56)(58)의 배면에는 단열재(62)가 설치되어 상기 도가니(10), 연결관(20) 또는 분배관(30)이 상기 히터들로 인한 열변형을 최소화한다.
한편, 상기 도가니 히터(52)는 상부 도가니 히터(52b)와 하부 도가니 히터(52a)로 이루어지어, 히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분된다. 이와 같이 2개의 영역으로 구분되는 도가니 히터(52)는 상기 도가니(10)에 수용되는 증착 물질을 보다 효율적으로 가열하게 되며, 증착 물질이 일정량 소모되더라도 상기 하부 도가니 히터(52a)가 남겨진 증착 물질을 효과적으로 가열할 수 있으므로 증착 물질의 사용효율을 향상시키는 장점이 있다.
또한, 상기 분배관 히터(56)(58)는 분배관(30)의 일면과 타면, 양측으로 설치되는데, 상기 분배관(30)이 일방향으로 긴 직육면체의 형상으로 이루어져 있으므로, 예컨대 상기 분배관(30)의 전면과 후면에 각각 설치될 수 있다.
이 경우, 일면에 설치되는 히터는 3개의 영역으로 구분된다. 즉, 상기 인입구 측부에 설치되는 하부 분배관 히터(56a)와, 상기 중간영역에 설치되는 중앙 분배관 히터(56b)와, 상기 배출구(32c) 측부에 설치되는 상부 분배관 히터(56c)로 이루어질 수 있다.
이와 같은 하부 분배관 히터(56a), 중앙 분배관 히터(56b), 상부 분배관 히터(56c)는 상기 인입구, 중간영역, 배출구(32c)를 통과하는 증착 물질을 직접 가열하기 위해 설치되는 것으로, 상기 인입구, 중간영역, 배출구(32c)에 근접하게 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 분배관(30)의 타면에 설치되는 히터(58)는 분배관(30)의 열을 유지시켜주기 위한 목적으로 설치되며, 따라서 한 개의 영역으로 설치됨도 가능하다.
이와 같은 본 발명은 영역별로 히터 블럭을 설치함으로써, 기존의 히팅코일을 감는 형태보다 히터의 구성이 용이하고 유지보수가 편리하면서도 증착 물질을 균일하게 가열할 수 있는 효과가 있다.
또한, 대용량의 도가니(10)를 적용하여 충분히 필요한 양만큼의 원료 물질을 제공할 수 있고, 선형 증발원의 높이를 줄여서 장치의 패스 라인(pass line)을 낮출 수 있으며, 복수개의 슬릿(42)이 형성된 노즐(40)을 착탈식으로 분배관(30)에 설치하여 노즐(40)의 설치 및 분해가 용이하고, 분배관(30) 또는 노즐(40)의 클리닝 등 유지보수가 용이한 효과가 있다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
10: 도가니 12: 유출구
20: 연결관 22: 연결통로
30: 분배관 32c: 배출구
40: 노즐 42: 슬릿
44: 끼움편

Claims (12)

  1. 증착 물질을 수용하는 도가니;
    상기 도가니의 유출구와 연통되어 상기 도가니에서 증발되는 증착 물질을 통과시키는 연결통로가 형성되는 연결관;
    상기 연결관의 연결통로에 연통되어 상기 연결통로에서 유입되는 증착 물질을 배출하기 위한 분배통로가 형성되는 분배관; 및
    상기 분배통로를 통해 유입되는 증착 물질을 다수의 경로로 분기시켜 배출하도록 복수개의 슬릿이 형성되며, 상기 분배통로의 상단부에 착탈식으로 끼워지는 노즐;
    을 포함하고,
    상기 도가니 및 상기 연결관 및 상기 분배관은,
    개별적으로 볼 때, 하부측 보다 상부측에 더 작은 내경을 가지고,
    직육면체로 이루어진 상기 분배관을 절단시 상기 분배관의 중심 축을 지나면서 상기 직육면체의 단(短)변을 보이는 절단면을 볼 때, 상기 도가니로부터 상기 연결관을 지나 상기 분배관을 향해 점진적으로 작아져 상기 증착물질의 흐름을 유도하도록 상기 도가니에 상기 유출구 및 상기 연결관에 상기 연결 통로 및 상기 분배관에 상기 분배 통로를 가지고,
    상기 노즐은,
    상기 분배관의 상기 분배통로에 끼워진 후, 상기 분배관의 상기 분배통로에서 복수의 끼움편을 통해 가열되어 열팽창되거나 냉각되어 수축되고, 상기 분배관의 상기 분배통로 주변에서 노즐캡을 통해 가열되어 열팽창되거나 냉각되어 수축되는 금속재질로 이루어져 상기 분배관의 상기 분배통로에 착탈되고,
    상기 복수의 끼움편은,
    상기 분배관의 상기 분배통로에 끼워져 상기 분배관에 대해 고정력을 발휘하고,
    상기 노즐캡은,
    상기 분배관 상에서 상기 분배관과 접촉하는 선형 증발원.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 노즐캡에 복수 개의 슬릿이 일정간격 또는 노즐캡의 중앙부보다 양단부에 더욱 촘촘하게 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 끼움편은 상기 슬릿과 번갈아가며 교대로 형성되어 인접한 슬릿의 사이사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  7. 삭제
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 분배관의 상기 분배통로는 상기 연결통로에 연통되는 인입구와, 상기 증착 물질을 기판의 일면에 분사하기 위한 배출구로 이루어지고,
    상기 노즐은 가열부재의 가열에 의해 상기 배출구와 틈새 없이 결합되도록 특정 온도에서 형상기억 반응을 나타내는 형상기억합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 도가니, 연결관 또는 분배관에 증착 물질을 가열하기 위한 가열부재가 더 포함되고,
    상기 가열부재는 히팅 블럭으로 이루어지어 상기 도가니, 연결관 또는 분배관 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 가열부재는 상기 도가니에 형성되는 도가니 히터와,
    상기 연결관에 장착되는 연결관 히터와,
    상기 분배관에 장착되는 분배관 히터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 도가니 히터, 연결관 히터 및 분배관 히터의 배면에는 단열재가 설치되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.
  12. 청구항 10에 있어서,
    상기 도가니 히터는 상부 도가니 히터와 하부 도가니 히터로 이루어지어,
    히터 제어 영역이 2개의 영역으로 구분되는 것을 특징으로 하는 선형 증발원.

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