KR101057552B1 - 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치 - Google Patents

박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 증착 물질의 변성 방지를 위해 온도 및 압력을 일정하게 유지하고, 진공 챔버 내로 증착 물질 분사 시 분사량의 균일도를 확보할 수 있는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치에 관한 것으로, 하단 부에 삽입 홈을 구비하고, 증착 물질을 배치 및 가열하여 증발시키는 도가니, 하부가 도가니의 상부와 중통하며, 증발된 증착 물질을 이송하는 이송관, 이 이송관의 일부와 결합하고, 상부에 복수의 개구를 구비하며 이 개구들이 상이한 간격으로 형성되고, 양 측방으로 연장된 증착 물질을 분배하는 분배관, 이 분배관의 개구와 중통하고, 가로 축을 기준으로 0°~ 90°범위에 속하는 각을 이루며 결합된 복수의 노즐을 포함한다. 아울러, 도가니, 이송관, 분배관의 각 내부 단면적이 모두 동일하고, 복수로 이루어진 노즐의 내부 단면적의 합이 각 장치의 내부 단면적보다 작거나 동일하며, 각 장치들의 내부 온도의 구배가 최소화하는 것을 특징으로 한다.

Description

박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치{Apparatus for supplying source gas in Deposition device}
본 발명은 유기 발광 소자의 박막 증착을 위한 증착 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착 물질의 변성 방지를 위해 온도 및 압력을 일정하게 유지하고, 진공 챔버 내로 증착 물질 분사 시 분사량의 균일도를 확보할 수 있는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 박막 증착 장치는 진공으로 이루어진 챔버, 이 챔버 내부에 배치되는 기판, 챔버 내에서 박막 증착을 위해 증착 물질을 공급하는 증착 물질 공급장치를 포함한다. 증착 물질은 유기, 무기 또는 금속 재료를 이용하며, 기화 또는 승화에 의해 증기 상태로 박막 증착을 위해 이 증착 물질을 기판에 분사한다.
여기서, 유기 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치는 투명전극이 도포된 유리 혹은 플라스틱 기판상에 유기 또는 무기박막 및 금속 전극을 형성하기 위해 진공으로 이루어진 챔버 내로 증착 물질을 공급하는 장치다. 유기 박막 증착 공정에서 사용되는 유기 재료는 무기 재료와는 달리, 증기 상태에서 증기압이 낮음으로, 고온 또는 고압에서 변성 및 분해되는 특성을 가진다. 이로 인해, 증착된 유기 박막의 물성이 저하되거나 균일하게 이루어지지 않고, 전체 소자의 물성 및 균일성을 떨어뜨린다.
따라서, 유기발광소자의 불량률이 현저히 높아지고, 공정 수율이 낮아지게 된다. 또한, 기판상에 증기 상태의 증착 물질 분사 시 장치 내부 압력차에 의해 일정한 분사량의 확보가 어렵고, 분사구의 증착 물질 퇴적 현상이 발생하게 된다.
본 발명은 위에서 서술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기 박막 증착 시 증착 물질 공급장치에서 챔버 내로 공급되는 과정에서 온도 및 압력 차로 인해 발생하는 증착 물질의 변성을 최소화할 수 있는 증착 물질 공급장치를 제공함을 목적으로 한다.
나아가, 기판상에 증착 물질 분사 시 증착 물질 공급장치 내부와 분사구의 온도 및 압력 차로 인해 발생하는 증착 물질의 퇴적현상 및 분사구 막힘 현상을 방지함과 동시에, 일정한 분사량을 확보함을 목적으로 한다.
나아가, 증착 물질의 안정성을 높이고, 증착 물질 공급 장치의 형상 및 성능 개선을 통해 유기 발광 소자의 균일한 증착을 가능하게 하는 증착 물질 공급 장치를 제공함을 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위한 일 실시 예에 따르면, 하단 부에 삽입 홈을 구비하고, 증착 물질을 배치 및 가열하여 증발시키는 도가니, 하부가 도가니의 상부와 중통하며, 증발된 증착 물질을 이송하는 이송관, 이 이송관의 일부와 결합하고, 복수의 개구를 구비하며 상기 개구들이 상이한 간격으로 형성되고, 양 측방으로 연장된 증착 물질을 분배하는 분배관, 이 분배관의 개구와 중통하고, 가로축을 기준으로 각을 이루는 복수의 노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 도가니의 단면적과 이송관의 단면적이 동일하고, 이 단면적은 분배관의 단면적과도 동일하다. 또한, 이 단면적은 복수로 이루어진 노즐의 단면적의 합보다 크거나 동일한 것을 특징으로 한다.
더 나아가, 분사 압력을 제어할 수 있도록 복수의 노즐과 탈부착이 가능하고, 개구가 형성된 압력제어부재, 도가니의 삽입 홈에 삽입되어 도가니를 가열하는 도가니 가열부재, 각 장치를 가열하는 가열부재, 지지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
위에서 상술한 바와 같이 본 발명은 도가니, 이송관, 분배관 각각의 단면적이 서로 동일하고, 이 단면적이 복수로 이루어진 노즐의 각 단면적의 합보다 크거나 동일함으로, 증착 물질 공급장치 내의 압력 변화를 최소화하며, 일정하게 유지시켜 온도구배를 최소화할 수 있다.
나아가, 각 장치들을 가열하는 가열부재와 이 가열부재의 온도 제어를 통해 증착 물질 공급장치의 내부 온도를 동일하고, 일정하게 유지할 수 있다. 따라서, 기화된 유기 증착 물질의 변성 및 분해를 방지할 수 있다.
나아가, 분배관에 형성된 복수의 개구와 중통하는 복수로 이루어진 노즐의 온도와 도가니, 이송관, 분배관의 내부 온도구배를 최소화 시켜줌으로써, 증착 물질 분사시 발생하는 분사구 혹은 내부에서의 물질 퇴적현상을 최소화함과 동시에, 증착 물질의 변성문제도 해결할 수 있다.
아울러, 챔버 내의 기판상에 증착 물질 분사시 분사량을 일정하게 유지하고, 균일도를 확보할 수 있다. 또한, 분사구. 즉, 노즐에 다양한 형태로 구현이 가능한 압력조절부재를 탈부착하여 분사 압력의 제어가 용이하다.
나아가, 증착 물질을 배치 및 가열하여 기화시키는 도가니의 하단부에 형성된 삽입 홈으로 도가니 가열 부재를 삽입하고, 외부의 가열 수단과 함께 내부까지 가열함으로써, 도가니의 효율을 높일 수 있다.
나아가, 증발된 증착 물질을 이송하는 이송관과 개구들이 상이한 간격으로 형성되고, 양 측방으로 연장된 분배관이 직각을 이루도록 결합되어, 대면적으로 증착 물질을 균일하게 분사할 수 있다.
도 1은 일반적인 박막 증착 장치의 간략한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착 물질 공급장치의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른, 증착 물질 공급 장치의 부분 확대 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른, 증착 물질 공급 장치의 측면 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시 예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다.
도 1은 일반적인 박막 증착 장치의 간략한 단면도이다. 도시된 바와 같이 종래의 박막 증착 장치(100)는 증착 공정이 이루어지는 챔버(101), 내부에 배치되는 기판(102), 기판 표면상에 부착하는 마스크(103), 하부에 증착 원료(105)를 저장 및 기화시키는 증발원(104), 이 증발원(104)를 가열하는 가열수단(107)을 포함한다.
일 실시 예에 있어서, 챔버(101)는 내부에 기판(102), 마스크(103), 증발원(104) 및 가열수단(107)을 포함하고, 기판(102)의 크기 또는 증착 방법에 따라 대응하는 형상으로 형성될 수 있으며, 진공 상태의 내부에서 증착 공정이 이루어진다. 진공 처리는 기판(102) 표면상에 순수한 유기물 또는 금속 재료를 증착시키기 위한 것으로, 이를 위한 장치. 즉, 진공펌프(도시하지 않음)는 내부 또는 외부에 구비 가능하고, 챔버(101)의 내부 압력을 제어한다. 또한, 챔버(101)는 어느 한 일 측면에 기판(102) 및 마스크(103)가 출입 가능하도록 개방되게 이루어질 수 있으며, 이와 달리 일체형으로도 이루어질 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 기판(102)은 지지 부(106)에 의해 수직 또는 수평으로 배치 가능하며, 기판 표면상에 부착하는 마스크(103)의 패턴에 따라 기판(102)상에 박막이 증착된다. 마스크(103)의 패턴, 크기 등은 다양한 형태와 방법으로 구현 가능하다.
일 실시 예에 있어서, 증발원(104)은 박막 증착을 위한 유기, 무기 또는 금속 재료를 배치하고, 가열수단(107)을 통해 재료를 가열하여 기화시킨다. 증발원(104)은 기화된 증착 재료. 즉, 증착 물질(105)을 챔버(101) 내 기판(102)에 분사한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 증착 물질 공급장치의 단면도이다. 도시된 바와 같이 증착 물질 공급 장치(200)는 증착 물질을 배치 및 가열하여 기화시키는 도가니(201), 증발된 증착 물질을 이송하는 이송관(202), 복수의 개구를 구비하고, 이 개구들이 동일 또는 상이한 간격으로 형성되며, 양 측방으로 연장된 증착 물질을 분배하는 분배관(203), 분배관의 개구와 중통하는 복수의 노즐(204)을 포함한다.
추가적으로, 도가니(201)에 삽입되고, 내부를 가열하는 도가니 가열 수단(206), 각 장치들을 가열하는 가열 부재(207a~207d) 및 이 가열 부재(207a~207d)의 온도를 제어하는 복수의 온도 제어부(도시하지 않음), 노즐(204)에 탈부착이 가능한 노즐캡(205), 분배관(203) 하부에 접촉하고 증착 물질 공급장치(200)를 지지하는 지지부재(208)를 더 포함한다.
도시된 일 실시 예에 있어서, 도가니(201)는 원기둥과 같은 형상을 이루며, 외부 측면에 수직 방향으로 길이를 가지는 홈을 형성한다. 상부가 이송관(202)의 하부와 결합하고, 내부는 공간으로 이루어져 이송관(202)과 중통한다. 이때, 도가니의 내부 단면적은 이송관(202)의 내부 단면적과 동일하다. 또한, 내부 공간에는 박막 증착을 위한 유기 또는 무기 재료, 금속 재료와 같은 증착 물질(209)이 배치된다. 도가니(201)는 이 증착 물질(209)을 가열하고 기화시킨다.
이를 위한 도가니(201)의 가열은 외부 측면을 따라 수직으로 배치된 도가니 가열 부재(207a)에 의해 이루어지고, 나아가 도가니(201) 하단부에 구비된 삽입 홈으로 삽입되는 도가니 가열수단(206)를 통해 이루어진다. 따라서, 도가니(201) 내외부의 균일한 가열이 가능하고, 증착에 필요한 순도 높은 증착 재료를 공급할 수 있다. 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 코일 방식 또는 Sheet 타입의 면저항 발열체를 사용할 수 있다.
도시된 일 실시 예에 있어서, 이송관(202)은 상부가 분배관(203)의 하부 측면과 결합하고, 이송관(202)의 하부는 도가니(201)의 상부와 결합한다. 결합은 이송관(202) 하부의 외 측면에 구비된 결합 구조에 의해 이루어진다. 또한, 이송관(202)은 분배관(203) 및 도가니(201)와 중통하고, 도가니(201)에서 기화된 증착 물질을 분배관(203)으로 이송한다.
나아가, 이송관(202)의 내부 단면적은 도가니(201)의 내부 단면적 및 분배관(203)의 내부 단면적과 동일하고, 내부 온도는 외 측면을 따라 구비된 이송관 가열 부재(207b)에 의해 도가니(201)의 내부 온도보다 높게 유지된다. 이송관 가열 부재(207b)는 각 가열 부재에 개별적으로 구비된 온도 제어부에 의해 온도가 제어되고, 도가니(201) 및 분배관(203)의 내부 온도를 감지하여 이송관(202)을 가열한다. 따라서, 증착 물질 이동시 내부의 온도 및 압력차로 발생하는 증착 물질의 변성 및 분해를 방지한다.
도시된 일 실시 예에 있어서, 분배관(203)은 하부의 일 측면이 이송관(202)의 상부와 중통하도록 결합하고, 이송관(202)과 직각을 이룬다. 상부의 일 측면에 복수의 개구를 구비하고, 이 개구들은 서로 동일하거나, 상이한 간격을 가진다. 또한, 분배관(203)은 양 측방으로 연장되어 일정 이상의 길이를 가지고, 하부에는 지지 부재(208)를 고정하는 돌기를 구비한다. 개구들의 간격은 양 측방으로 갈수록 좁아지거나 동일하게 구현할 수 있다. 본 발명은 이에 한정되지 않으며 기판의 면적, 증착 물질의 종류, 증착 방법에 따라 여러 가지로 구현 가능하다.
나아가, 분배관(203)의 내부 단면적은 도가니(201)의 내부 단면적 및 이송관(202)의 내부 단면적과 동일하고, 상부에 구비된 복수의 개구와 결합한 복수로 이루어진 노즐(204)의 단멱적의 합보다 크거나 동일하다. 또한, 내부 온도는 양 측방으로 연장되어 일정 이상의 길이를 가지는 분배관(203)의 외부 측면을 따라, 구비된 분배관 가열 부재(207c)에 의해 도가니(201), 이송관(202)의 내부 온도보다 높게 유지된다.
분배관 가열 부재(207c)는 각 가열 부재에 개별적으로 구비된 온도 제어부에 의해 온도가 제어되고, 도가니(201), 이송관(202) 및 노즐(204)의 내부 온도를 감지하여 분배관(203)을 가열한다. 따라서, 증착 물질 이동시 내부의 온도 및 압력차로 발생하는 증착 물질의 변성 및 분해를 방지한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른, 증착 물질 공급 장치의 부분 확대 사시도이다. 도 3은 도 2에서 N을 부분 확대한 것으로, 도시된 바와 같이, 노즐(204)은 하부가 분배관(203)의 상부에 구비된 복수의 개구와 중통하도록 결합한다. 노즐(204)의 상부는 탈부착이 가능하고 분사 압력을 제어할 수 있도록 개구가 형성된 노즐캡(205)과 결합한다. 노즐(204)의 상부 외부면은 노즐캡(205)와 끼움 결합하도록 절삭 등의 방법으로 하부의 외부면보다 얇게 이루어진다.
도시된 일 실시 예에 있어서, 노즐캡(205)은 노즐(204)과 끼움 결합하고, 노즐(204)로부터 노즐 가열 부재(207d)의 이탈 방지 및 고정하고, 열차단(Reflector) 역할을 한다. 또한, 상부에 개구가 형성되고, 분사 압력을 상황에 따라 제어할 수 있도록 압력조절링(301)을 이 개구에 부착한다. 압력조절링(301)의 크기는 온도 또는 증착 물질에 따라 다양하게 구현 가능하고, 크기에 따라 증착 물질 분사시 분사 압력이 상이해진다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른, 증착 물질 공급 장치의 측면 단면도이다. 도 4는 도 2에서 N의 측면 단면도로, 노즐(204)이 가로 축을 기준으로 20°의 각을 이루며, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 가로축을 기준으로 0°~ 90°범위에 속하는 각을 이룰 수 있다.
일 예로, 단일 증착 물질을 이용한 박막 증착을 위해서는 증착 물질 공급장치의 노즐 각이 0°를 이루도록 하고, 하나 이상의 증착 물질을 이용한 박막 증착을 위해서는 증착 물질 공급장치의 노즐 각이 20°를 이루도록 한다. 이는 하나 이상의 증착 물질. 즉, 호스트, 도펀트 물질을 동일한 비율로 혼합해 증착하기 위함이다. 수직형 기판상에 박막 증착을 위해서는 노즐 각이 90°를 이루도록 한다.
또한, 복수로 이루어진 노즐의 내부 단면적의 합은 도가니(201), 이송관(202) 및 분배관(203)의 각 내부 단면적보다 작거나 동일하다. 또한, 내부 온도는 노즐(204)의 외부 측면을 따라 구비된 노즐 가열 부재(207d)에 의해 도가니(201), 이송관(202), 분배관(203)의 내부 온도보다 조금 높게 유지된다.
노즐 가열 부재(207d)은 각 가열 부재에 개별적으로 구비된 온도 제어부에 의해 온도가 제어되고, 도가니(201), 이송관(202) 및 분배관(203)의 내부 온도를 감지하여 노즐(204)을 가열한다. 따라서, 증착 물질 이동시 내부의 온도 및 압력차로 발생하는 증착 물질의 변성 및 분해를 방지하고, 증착 물질 분사시 노즐(204)에 발생하는 증착 물질 퇴적 현상 및 막힘 현상을 해결한다.
도가니(201), 이송관(202), 분배관(203)의 각 내부 단면적이 모두 동일하고, 이 내부 단면적이 복수의 노즐(204) 내부 단면적의 합보다 크거나 동일하기 때문에, 각 장치들의 내부 온도 차를 최소화하고, 기화된 증착 물질의 이동시 발생하는 변성 및 분해를 방지함과 동시에 균일한 박막 증착을 가능하도록 한다. 또한, 노즐 부근의 막힘 현상이 없기 때문에 증착 물질 분사시 일정한 분사량을 확보할 수 있고, 분사 비율의 균일도를 높일 수 있다. 나아가, 증착 공정의 효율을 증대시고 불량율을 현저히 감소시킨다.
도시된 일 실시 예에 있어서, 가열 부재(207a~207d)은 유기, 무기 또는 금속 재료를 기화시키고, 기화된 증착 물질이 변성 또는 분해되지 않도록 각 장치들의 온도를 제어한다. 온도 제어는 각 가열 부재(207a~207d)에 해당하는 온도 제어부에 의해 이루어지고, 저항식 가열 방식으로 가열이 이루어진다. 본 발명은 이에 한정되지 않으며, RF 유도 가열 방식으로 가열 가능하고, 면저항 가열 부재를 통해 가열 가능하다.
위에서 상술한, 온도 제어기(도시하지 않음)는 기화된 증착 물질이 통과하는 각 장치들의 내부 온도를 동일하게 유지할 수 있도록, 가열 부재(207a~207d)을 제어한다. 이는 곧, 도가니(201)에서 노즐(204)까지의 내부 온도의 차이를 최소화함을 뜻한다. 또한, 온도 측정에 따른 온도 설정은 각 온도 제어부가 포함하는 온도계, 계측기와 같은 측정장치의 측정 오차 및 온도 편차를 감안하여 이루어진다.
일 예로, 증착 물질 공급장치(200)의 하부 도가니(201)의 내부 온도와 상부 노즐(204)의 내부 온도를 측정하는 온도 측정장치의 자체 정확성이 높다면 실질적으로 상하부 온도는 대략 10 ~ 20℃의 온도 구배를 나타낼 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른, 온도 제어부는 이 온도 구배를 최소화시켜 증착 물질의 변성 및 분해를 방지하고 노즐(204) 내부의 막힘 현상을 방지한다.
도시된 일 실시 예에 있어서, 도가니 가열 부재(207a)는 하나 이상의 환형과 환형 사이를 가열 부재가 연결하여 하나의 틀 형성을 가지며, 도가니(201)가 그 중앙을 관통하며 위치한다. 이 외의 가열 부재(207b~207d)은 이송부(202), 분배관(203), 노즐(204)의 외 측면을 따라 나선형을 이루며 감싸거나 패턴형태의 면저항 가열체로 감쌀 수 있다.
도시된 일 실시 예에 있어서, 지지 부재(208)는 일정 이상의 넓이와 길이를 가지는 상부판(208a)과 이 상부판(208a)의 밑면 양측의 돌기와 결합된 원기둥 형상의 지지대(208b)를 포함한다. 지지대(208b)의 상부는 분배관(203) 하부의 일 측면에 구비된 돌기와 결합하고, 원기둥 형상의 지지대(208b)는 수직 방향으로 내부가 중공이다. 이 지지대(208b)의 상측 내부는 둘레를 따라 홈을 구비하여, 상부판(208a) 밑면의 돌기와 끼움 결합한다. 또한, 상부판(208a)은 금속 계열 소재 및 세라믹 소재로 이루어진다. 또한, 지지대(208b)는 세라믹 소재로 이루어져, 지지 부재(208)로 인한, 분배관(203)의 열손실을 최소화한다.
100: 박막 증착 장치 204: 노즐
101: 챔버 205: 노즐캡
102: 기판 206: 도가니 가열수단
103: 마스크 207a: 도가니 가열 부재
104: 증발원 207b: 이송관 가열 부재
105: 증착물질 207c: 분배관 가열 부재
106: 지지 부 207d: 노즐 가열 부재
107: 가열 수단 208: 지지 부재
200: 증착 물질 공급장치 208a: 상부판
201: 도가니 208b: 지지대
202: 이송관 301: 압력조절링
203: 분배관

Claims (18)

  1. 하단 부에 삽입 홈을 구비하고, 증착 물질을 배치 및 가열하여 증발시키는 도가니;
    내부 단면적이 상기 도가니의 내부 단면적과 동일하고, 하부가 상기 도가니의 상부와 중통하며, 증발된 증착 물질을 이송하는 이송관;
    상기 이송관과 직각을 이루도록 결합하고, 상부에 복수의 개구를 구비하며 상기 개구들이 상이한 간격으로 형성되고, 양 측방으로 연장된 증착 물질을 분배하는 분배관;
    상기 분배관의 개구와 중통하고, 가로 축을 기준으로 0°~ 90°범위에 속하는 각을 이루며 결합된 복수의 노즐;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.



  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서, 상기 도가니는,
    내부 단면적이 상기 분배관의 단면적과 동일한 것을 특징으로 하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 도가니는,
    내부 단면적이 복수로 이루어진 상기 노즐의 단면적의 합보다 크거나 동일한 것을 특징으로 하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서, 상기 분배관은,
    내부 단면적이 복수로 이루어진 상기 노즐의 단면적의 합보다 크거나 동일한 것을 특징으로 하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 3항에 있어서, 상기 도가니는,
    내부 단면적이 복수로 이루어진 상기 노즐의 단면적의 합보다 크거나 동일한 것을 특징으로 하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제 1항, 제 3항, 제 4항, 제 7항 또는 제 10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치는,
    복수로 이루어진 상기 노즐과 탈부착이 가능한 노즐캡을 더 포함하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
  14. 제 1항, 제 3항, 제 4항, 제 7항 또는 제 10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치는,
    상기 도가니의 삽입 홈에 삽입되어 상기 도가니를 가열하는 도가니 가열 부재를 더 포함하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
  15. 제 1항, 제 3항, 제 4항, 제 7항 또는 제 10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치는,
    상기 도가니, 상기 이송관, 상기 분배관, 상기 노즐을 가열하는 복수의 가열 부재를 더 포함하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치는,
    복수의 상기 가열 부재의 온도를 제어하는 복수의 온도 제어기를 더 포함하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.



  17. 삭제
  18. 제 13항에 있어서, 상기박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치는,
    상기 노즐캡의 개구에 부착하고, 상기 노즐에서 분사되는 상기 증착 물질의 분사 압력을 조절하는 압력조절링을 더 포함하는 박막 증착을 위한 증착 물질 공급장치.
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