KR101573811B1 - 증발원 및 이를 포함하는 증착장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 증발원 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다. 본 발명은 기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 있어서, 상기 증발물질이 유입되어 상기 기판을 향해 분사되는 노즐부; 상기 노즐부의 외면에 감아지는 열선부; 및 상기 노즐부의 외면에 돌출되게 형성되고, 상기 열선부 사이에 배치되어 상기 열선부 사이의 간격이 유지되도록 하는 간격유지 돌기를 포함할 수 있다.

Description

증발원 및 이를 포함하는 증착장치{Evaporation source and apparatus for deposition including the same}

본 발명은 증발원 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 노즐부에 열선부가 간격을 유지하면서 감기도록 하여 노즐부를 균일하게 가열할 수 있는 증발원 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.

유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.

진공열 증착방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.

일반적으로 증발원은 증발물질이 담겨 있는 도가니와, 도가니를 감싸도록 설치되어 열을 공급하는 히터로 구성된다. 이때, 히터에서 발열되는 열이 도가니에 전달되면 도가니의 온도가 증가되면서 도가니에 저장된 증발물질이 증발된다. 증발물질을 증발시키기 위해서는 증발원에서 고온으로 발열이 되어야 한다.

또한, 도가니의 상부에 연결된 노즐부에서는 증발입자들이 분사된다. 상기 노즐부에는 와이어 형태의 열선이 감아져 노즐부를 고온으로 가열하게 된다. 이때, 열선은 수작업을 통해 노즐부에 감아지기 때문에, 작업자가 열선의 간격을 일정하게 유지하여 노즐부가 전체적으로 균일하게 가열되도록 하는 것이 필요하다.

대한민국 공개특허공보 제10-2012-0124889호(2012.11.14. 공개)

본 발명은 노즐부에 열선부가 간격을 유지하면서 감기도록 하여 노즐부를 균일하게 가열할 수 있는 증발원 및 이를 포함하는 증착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 증발원은 기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 있어서, 상기 증발물질이 유입되어 상기 기판을 향해 분사되는 노즐부; 상기 노즐부의 외면에 감아지는 열선부; 및 상기 노즐부의 외면에 돌출되게 형성되고, 상기 열선부 사이에 배치되어 상기 열선부 사이의 간격이 유지되도록 하는 간격유지 돌기를 포함할 수 있다.

상기 열선부는 상기 노즐부의 외면에 복수의 턴수로 감아질 수 있다.

상기 열선부는 상기 노즐부의 양측부에서 중앙부로 갈수록 상대적으로 많은 턴수로 감아질 수 있다.

상기 노즐부는, 도가니에서 증발되는 증발물질이 유입되는 이동관; 상기 이동관의 상단에서 횡방향으로 결합되어 상기 이동관과 연통되는 분배관; 및 상기 분배관의 길이방향을 따라 복수개가 이격되어 형성되고, 상기 기판을 향해 증발입자를 분사하는 분사노즐 어셈블리를 포함할 수 있다.

상기 간격유지 돌기는 상기 분사노즐 어셈블리의 반대편에 대응되는 상기 노즐부의 외면에 형성될 수 있다.

상기 열선부는 상기 분사노즐 어셈블리의 사이에 대응되는 노즐부의 외면마다 복수의 턴수로 감아질 수 있다.

상기 간격유지 돌기는 복수의 턴수로 감아지는 열선부의 사이에 두 개가 인접하게 형성될 수 있다.

상기 두 개의 간격유지 돌기를 통과하는 열선부는 상기 간격유지 돌기의 사이를 지나도록 굴곡지게 형성되고, 양단부는 서로 반대방향으로 연장될 수 있다.

상기 분사노즐 어셈블리는, 분사노즐 몸체; 상기 분사노즐 몸체의 외면에 감아지는 열선부; 상기 열선부의 상부에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되어, 상기 증발원의 온도를 측정하는 노즐 온도측정기; 및 상기 열선부와 상기 노즐 온도측정기의 사이에 개재되도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되는 스페이서를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 증착장치는 기판에 증발입자를 증착하는 증착장치에 있어서, 진공챔버; 상기 진공챔버 내부에 배치되며, 상기 기판이 안착되는 기판 안착부; 및 상기 기판에 대향하여 상기 증발입자를 분사하는 증발원을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 노즐부에 열선부가 간격을 유지하면서 감기기 때문에, 노즐부가 전체적으로 균일하게 가열될 수 있다.

또한, 작업자가 노즐부에 형성된 간격유지 돌기 사이에 열선부를 감을 수 있기 때문에, 열선부를 결합하는 작업성이 향상될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 하부를 보인 사시도.
도 3은 분사노즐 어셈블리의 정면도.
도 4는 관 온도측정 어셈블리의 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치를 개략적으로 보인 도면.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명에 의한 증발원의 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원의 하부를 보인 사시도이며, 도 3은 분사노즐 어셈블리의 정면도이고, 도 4는 관 온도측정 어셈블리의 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치를 개략적으로 보인 도면이다.

이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 증발원은 기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 있어서, 상기 증발물질이 유입되어 상기 기판(110)을 향해 분사되는 노즐부(10); 상기 노즐부(10)의 외면에 감아지는 열선부(20); 및 상기 노즐부(10)의 외면에 돌출되게 형성되고, 상기 열선부(20) 사이에 배치되어 상기 열선부(20) 사이의 간격이 유지되도록 하는 간격유지 돌기(30)를 포함할 수 있다.

노즐부(10)는 진공챔버(100, 도 5 참조) 내부에 설치되어 기판(110)에 증착을 위한 증발입자를 제공하는 기능을 수행하는 것으로서, 이동관(12) 및 분배관(14)을 포함할 수 있다.

이동관(12)은 튜브 형태로서, 하단의 도가니(140)의 개방된 상단과 연통되도록 결합될 수 있다. 도가니(140)에서 분출되는 증발입자는 이동관(12)을 통해 분배관(14)으로 안내된다.

분배관(14)은 좌우 양단이 막힌 튜브 형태로서, 이동관(12)의 상단에 횡방향으로 결합되어 이동관(12)과 연통된다. 서로 결합된 이동관(12)과 분배관(14)은 대략 T자 형상을 가진다. 분배관(14)의 상단에는 분배관(14)의 길이방향으로 분사노즐 어셈블리(40)가 구비된다.

이와 같은 구조를 가진 노즐부(10)의 외면에는 와이어 형상의 열선부(20)가 감아진다. 열선부(20)는 노즐부(10)의 외면에 다양한 복수의 턴수로 감아지는 제1 열선(22), 제2 열선(24) 및 제3 열선(26)을 포함할 수 있다. 본 실시예에서 제시하는 제1 열선(22), 제2 열선(24) 및 제3 열선(26)은 일 예로 제시한 것에 불과하고, 각각의 열선(22,24,26)의 턴수는 다양하게 설정될 수 있다. 도 1에서는 제1 열선(22)은 4번의 턴수, 제2 열선(24)은 3번의 턴수, 제3 열선(26)은 2번의 턴수를 가지도록 노즐부(10)의 외면에 감아지며, 제1 열선(22)이 감아지는 영역은 'A', 제2 열선(24)이 감아지는 영역은 'B', 제3 열선(26)이 감아지는 영역은 'C'로 도시하였다.

노즐부(10)에 감아지는 열선부(20)는 도 1에서와 같이 노즐부(10)의 좌우방향을 따라 대칭되게 감아져 노즐부(10)가 전체적으로 균일하게 가열될 수 있도록 한다. 또한, 노즐부(10)의 양측부가 가장 적은 턴수로 감아지고 중앙부로 갈수록 상대적으로 많은 턴수로 감아져 중앙부에서 보다 높은 온도로 증발되도록 한다. 이와 같이 되면, 노즐부(10)의 중앙부에서 보다 활발하게 양측부로 증발입자를 분배할 수 있어 증착 균일도를 높일 수 있다.

열선부(20)는 상술한 바와 같이 복수의 턴수가 하나의 묶음을 형성하면서 노즐부(10)의 외면에 감아진다. 이때, 하나의 묶음을 형성한 열선부(20) 사이의 간격을 일정하게 유지하는 것이 필요하다. 즉, 열선부(20) 사이의 간격이 일정하게 유지되어야 노즐부(10) 전체에 걸쳐 열선부(20)가 균일하게 가열을 할 수 있는 것이다. 실제로 열선부(20)는 강선의 와이어이기 때문에 작업자가 노즐부(10)의 외면에 감는 작업 중 열선부(20)를 일정한 간격으로 유지하는 데에 어려움이 있었다. 따라서, 본 실시예에서는 이를 해결하고자 열선부(20) 사이에 간격유지 돌기(30)를 형성한 것이다.

간격유지 돌기(30)는 노즐부(10)의 외면에서 소정의 두께로 돌출되는 원통 형상을 가진다. 간격유지 돌기(30)는 노즐부(10)의 외면이라면 어떠한 부분이라도 형성될 수 있지만, 열선부(10)가 실제로 감아지는 분사노즐 어셈블리(40)의 반대편에 대응되는 노즐부(10)의 외면에 형성되어 열선부(10)가 서로 반대부분에서 견고하게 지지되도록 할 수 있다. 도 1에서 분사노즐 어셈블리(40)는 노즐부(10)의 상부에 구비되기 때문에 이와 반대편인 노즐부(10)의 하부에 간격유지 돌기(30)가 형성된다.

또한, 본 도면에는 구체적으로 도시되지 않았지만, 간격유지 돌기(30)는 노즐부(10)의 하부뿐만 아니라 노즐부(10)의 양측부에도 각각 형성되어 열선부(10)가 감기는 것을 가이드할 수 있다.

한편, 도 2를 참조하면, 일부 간격유지 돌기(30)는 복수의 턴수로 감아지는 열선부(20)의 사이에 두 개가 인접하게 형성될 수 있다. 이와 같이 간격유지 돌기(30)가 형성될 경우에는 도 2에서와 같이 두 개의 간격유지 돌기(30)를 통과하는 열선부(20)는 간격유지 돌기(30)의 사이를 지나도록 굴곡지게 형성되고, 양단부는 서로 반대방향으로 연장될 수 있다. 보다 구체적으로 설명하면, 상부로부터 하부로 연장되는 열선부(20)가 좌측의 첫 번째 간격유지 돌기(30)의 외면을 타고 반대방향으로 굴곡되면서 두 번째 간격유지 돌기(30)의 외면을 타고 다시 반대방향으로 굴곡되도록 감아지는 것이다. 결국, 열선부(20)는 두 개의 간격유지 돌기(30)의 외면 절반에 대응되는 부분에 교차하도록 감아지므로, 보다 견고하게 노즐부(10)의 외면에 감아질 수 있다.

또한, 도 2에서와 같이 간격유지 돌기(30)는 열선부(20) 사이의 간격이 좁을 때에는 하나만 형성되어 열선부(20) 사이를 구획할 수도 있고, 간격이 넓을 때에는 가장 인접한 하나의 열선이 그 사이를 교차하여 감아지도록 두 개가 형성될 수도 있다. 본 도면에서는 노즐부(10)의 중앙부가 가장 많은 턴수로 감아져 있고 이동관(12)이 연결되어 있기 때문에, 하나의 간격유지 돌기(30)로만 구획되는 것으로 도시하였다.

한편, 분배관(14)의 상부에는 복수개의 분사노즐 어셈블리(40)가 길이방향을 따라 구비될 수 있다. 본 도면에서는 분사노즐 어셈블리(40)가 구멍 형태로 형성된 것으로 도시하였으나, 이에 반드시 제한되는 것은 아니고 분배관(14)의 길이방향을 따라 긴 슬릿 형태로 형성될 수도 있다.

도 3을 참조하면, 분사노즐 어셈블리(40)는 분사노즐 몸체(42); 상기 분사노즐 몸체(42)의 외면에 감아지는 열선부(20); 상기 열선부(20)의 상부에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체(42)의 외면에 삽입되어, 상기 증발원의 온도를 측정하는 노즐 온도측정기(46); 및 상기 열선부(20)와 상기 노즐 온도측정기(46)의 사이에 개재되도록 상기 분사노즐 몸체(42)의 외면에 삽입되는 스페이서(44)를 포함할 수 있다.

분사노즐 몸체(42)은 일반적인 노즐과 같이 중공의 원통 형상을 가진다. 분사노즐 몸체(42)의 외면에는 상술한 열선부(20)가 감아진다. 즉, 열선부(20)는 분사노즐 몸체(42)의 외면을 일정 턴수만큼 감고 다시 노즐부(10)의 외면을 감는 것을 반복함으로써 노즐부(10) 전체를 감게 된다.

한편, 노즐 온도측정기(46, T/C: Temperature Controller)는 증발원의 온도를 정확하게 측정하여 노즐부(10)가 소정의 온도로 가열될 수 있도록 제어하는 역할을 한다. 일반적으로 온도측정기로는 비례식 온도측정기, 온·오프식 온도측정기 등이 사용될 수 있다. 본 실시예에서 노즐 온도측정기(46)는 링 형상으로 형성되어 분사노즐 몸체(42)의 외면에 삽입되도록 결합된다. 이와 같이 노즐 온도측정기(46)가 분사노즐 몸체(42)의 외면에 결합되면 노즐부(10)의 가열 과정에서 열팽창으로 인하여 유동되는 것이 방지될 수 있고, 조립성이 향상될 수 있다. 또한, 노즐 온도측정기(46)의 일측에는 온도측정 와이어(미도시)가 구비될 수 있다.

다음으로, 스페이서(44)는 열선부(20)와 노즐 온도측정기(46)의 사이에 개재될 수 있다. 스페이서(44)는 열선부(20)에 발생되는 열이 노즐 온도측정기(46)로 전달되는 것을 차단하는 역할을 한다. 이를 위해 스페이서(44)는 단열 소재로 만들어질 수 있다.

또한, 노즐 온도측정기(46)의 상부에는 노즐 캡(48)이 결합된다. 노즐 캡(48)은 증발입자가 증발될 수 있도록 중공 형상을 가지며, 분사노즐 몸체(42)의 상부에 결합되어 마감재 역할을 한다.

한편, 도 4를 참조하면, 이동관(12) 및 분배관(14)의 외면에는 온도 측정을 위한 관 온도측정 어셈블리(50)가 결합될 수 있다. 관 온도측정 어셈블리(50)는 분사노즐이 아닌 이동관(12) 및 분배관(14)에 직접 결합되어 관의 온도를 측정하고 소정의 온도로 가열된 상태를 유지할 수 있도록 조절하는 역할을 한다.

관 온도측정 어셈블리(50)는, 상기 이동관(12) 및 분배관(14)의 온도를 측정하는 관 온도측정기(54); 상기 관 온도측정기(54)의 선단 외측에 구비되는 와셔(55); 및 상기 와셔(55)를 관통하여 상기 이동관(12) 및 분배관(14)에 체결시키는 체결구(60)를 포함할 수 있다.

또한, 이동관(12) 및 분배관(14)의 외면에는 상기 와셔(55)가 결합되는 결합돌기(52)가 돌출되어 형성된다. 결합돌기(52)에는 결합공(미도시)이 형성되어 있고, 관 온도측정기(54)는 도 4에서와 같이 와셔(55)의 체결공(56)과 결합돌기(52)의 결합공의 중심이 일치한 상태에서 체결구(60)의 체결에 의해 결합될 수 있다. 도면부호 58은 관 온도측정기(54)의 단부에서 연장되는 온도측정 와이어이다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 노즐 온도측정기(46)는 링 형상으로 형성되어 분사노즐 몸체(42)에 스페이서(44), 노즐 캡(48)과 함께 고정되게 결합된다. 또한, 관 온도측정 어셈블리(50)는 체결구(60)의 간단한 조립에 의해 이동관(12) 및 분배관(14)에 고정되게 결합된다. 따라서, 전체적으로 온도측정기를 노즐부(10)에 결합시키는 조립공정이 간소화되고 작업자에 관계없이 온도측정기가 노즐부(10)에 안정적으로 고정되게 결합될 수 있다.

이하에서는 상기한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명에 의한 증착장치에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 증착장치를 개략적으로 보인 도면이다.

이에 도시된 바에 따르면, 기판(110)에 증발입자를 증착하는 증착장치에 있어서, 진공챔버(100); 상기 진공챔버(100) 내부에 배치되며, 상기 기판(110)이 안착되는 기판 안착부(120); 및 상기 기판(110)에 대향하여 상기 증발입자를 분사하는 증발원을 포함할 수 있다.

진공챔버(100)는 기판(110)의 표면에 유기박막이 형성되는 증착공정이 이루어지는 반응공간을 제공하는 수단으로서, 그 내부는 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지된다. 진공챔버(100)의 내부에는 별도의 지지수단에 의해 지지되는 기판 안착부(120)가 구비되는데, 이러한 기판 안착부(120)의 하부에 기판(110)이 안착되어 지지될 수 있다.

기판 안착부(120)의 하부에는 소정의 패턴이 형성된 금속 재질의 마스크(130)가 고정되고, 그 위에 기판(110)이 별도의 고정용 지그(jig) 등을 통해 고정되어 지지된다. 그리고, 기판(110)의 상부에는 별도의 마그넷(미도시) 등이 설치되어 마스크(130)와 기판(110)을 밀착시키게 된다. 이러한 구조를 통하여 기판(110)의 저면은 마스크(130)에 형성된 패턴을 통하여 일부분만이 선택적으로 노출된다.

한편, 마스크(130)를 중심으로 기판(110)과 대향되는 위치에는 상술한 증발원이 배치되는데, 도가니(10)에 수용되는 증발물질이 가열되어 증발입자로 변형된 뒤 이동하여 마스크(130)를 통해 기판(110)의 표면에 증착된다.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 노즐부 12 : 이동관
14 : 분배관 20 : 열선부
22 : 제1 열선 24 : 제2 열선
26 : 제2 열선 30 : 간격유지 돌기
40 : 분사노즐 어셈블리 42 : 분사노즐 몸체
44 : 스페이서 46 : 노즐 온도측정기
48 : 노즐 캡 50 : 관 온도측정 어셈블리
52 : 결합돌기 54 : 관 온도측정기
55 : 와셔 56 : 체결공
58 : 온도측정 와이어 60 : 체결구
100 : 진공챔버 110 : 기판
120 : 기판 안착부 130 : 마스크
140 : 도가니

Claims (10)

1. 기판에 증착을 위한 증발물질을 공급하는 증발원에 있어서,
   상기 증발물질이 유입되어 상기 기판을 향해 분사되는 노즐부;
   상기 노즐부의 외면에 감아지는 열선부; 및
   상기 노즐부의 외면에 돌출되게 형성되고, 상기 열선부 사이에 배치되어 상기 열선부 사이의 간격이 유지되도록 하는 간격유지 돌기를 포함하고,
   상기 간격유지 돌기는 노즐부의 외면에 감아지는 열선부의 사이에 두 개가 인접하게 형성되는 것을 특징으로 하는 증발원.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 열선부는 상기 노즐부의 외면에 복수의 턴수로 감아지는 것을 특징으로 하는 증발원.
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 열선부는 상기 노즐부의 양측부에서 중앙부로 갈수록 상대적으로 많은 턴수로 감아지는 것을 특징으로 하는 증발원.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐부는,
   도가니에서 증발되는 증발물질이 유입되는 이동관;
   상기 이동관의 상단에서 횡방향으로 결합되어 상기 이동관과 연통되는 분배관; 및
   상기 분배관의 길이방향을 따라 복수개가 이격되어 형성되고, 상기 기판을 향해 증발입자를 분사하는 분사노즐 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 간격유지 돌기는 상기 분사노즐 어셈블리의 반대편에 대응되는 상기 노즐부의 외면에 형성되는 것을 특징으로 하는 증발원.
6. 제 4 항에 있어서,
   상기 열선부는 상기 분사노즐 어셈블리의 사이에 대응되는 노즐부의 외면마다 복수의 턴수로 감아지는 것을 특징으로 하는 증발원.
7. 삭제
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 두 개의 간격유지 돌기를 통과하는 열선부는 상기 간격유지 돌기의 사이를 지나도록 굴곡지게 형성되고, 양단부는 서로 반대방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 증발원.
9. 제 4 항에 있어서, 상기 분사노즐 어셈블리는,
   분사노즐 몸체;
   상기 분사노즐 몸체의 외면에 감아지는 열선부;
   상기 열선부의 상부에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되어, 상기 증발원의 온도를 측정하는 노즐 온도측정기; 및
   상기 열선부와 상기 노즐 온도측정기의 사이에 위치하도록 상기 분사노즐 몸체의 외면에 삽입되는 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.
10. 기판에 증발입자를 증착하는 증착장치에 있어서,
    진공챔버;
    상기 진공챔버 내부에 배치되며, 상기 기판이 안착되는 기판 안착부; 및
    상기 기판에 대향하여 상기 증발입자를 분사하는 제 1 항, 제 2 항, 제 3 항, 제 4 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 8 항 또는 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 증발원을 포함하는 증착장치.

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